推进半导体制造技术国产化——记浙江大学机械电子控制工程研究所特聘研究员黎鑫博士

大 学 精 密 工 学 研 究 所 ，先 后
担 任博 士 后研 究 员、助 理教 授 和 副教 授研 究员 ，期 间还 兼 任 了 日本 佳 能株 式会 社 的
自动 控 制 理 论 的 讲 师 和 Ｅ ｌ 本
流 体传 动学 会 的气 动技 术理
论 的讲师 。２ ０ １ ３年 ６月 ，黎 鑫 回 到 母 校 浙 江 大 学 机 械 电 子 控 制 工 程 研 究 所 ， 任 职 特
面 形 状 的 负 压 分 布 ， 同 时 ，在 负 压 浮 的 平 台 ／轨 道 上 完 成 。 因 此 ，气 攀 爬 机 器 人 等 方 面 进 行 的 原 创 性 研 分 布 的 外 周 设 计 了 能 够 自主 反 馈 调 悬 浮 技 术 是 液 晶 玻 璃 基 板 生 产 过 程 究 工 作 ，也 为 推 动 我 国半 导 体 制 造
一
定 间距 的情 况 下 实施 吸 附装 载 ， 工作 ，提 出 了具有 微型 涡流 结构 的
２ ０ １ ３ ． １ １ 牛 商科 教廛 章ｌ ６ ７
产业 的 “ 国产 化 ”进 程 积 累 了 宝 贵 节 的 正 压 区 域 。 这 样 一 个 具 有 正 压 中 一 项 重 要 的 基 础 装 备 制 造 技 术 。 反 馈 的 负压 吸 附 能 够 在 与 工 件 保 持 针 对 这 一 技 术 ， 黎 鑫 做 了大 量 研 究 经 验 。
ｒ 创新人物 Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ Ｃ ｈ ａ ｒ ａ ｃ ｔ ｅ ｒ Ｉ
推 进 半导 体 制 造技 术 国产 化
记浙江大学机械 电子控制工程研 究所特聘研 究员黎鑫博士
◎ 文／白文龙
作 为信 息 产 业 的 核 心 和 基 础 ，半 导体 技 术和 产 品 的 每 次 突破 ，都 推 动 着 信 息技 术 的 跃 进 。 曾有 人
占有 一 席 之 地 ， 我 们 要 走 在 别 人 前 并于 ２ ０ ０ ９年 提 前 半 年 破 格 拿 到 博
“ 我 到 日本 留 学 的 目 的 不 是 为 士学位 ；同年 取得 日本计 测与 自动
面 一 步。 ” 浙 江大 学 机 械 电子控 制 了留在 日本 工作 ，而是要 学好 本事 ， 控制控 制学 会认定 的 “ 计 测与控 制 工程 研究所 的黎 鑫博士 长期致 力于 把学 到 的知 识带 回国 ，变 成 中国工 工程 师 资格 ” ，还 获 得 了 日本 流 体
如此 形容半导体产 业的作 用一一 半 导体 制造业 的落后 ，好比一个 国家的经 济、科技和 国防现代 化的地
基 建 在 松 软 的 沙地 上 。 因此 ，世 界各 国都 在 积 极 推 动 半 导 体 制 造 业 的 发展 ，我 国也 不 例 外 。《 国 家 中 长 期 科 学和 技 术 发展 规 划 纲 要 》 将 新 一 代 信 息技 术 产 业 列 入 战略 性 新 兴 产 业 重 点 发展 的 七 大产 业 ，其 中 先 进 半 导体 制 造 业 为 重 点 攻 关方 向 之 一 。 在 种 种 利 好 政 策 和 激 励 机 制 的 推 动下 ，我 国的 半 导 体 产 业取
０ ０ ９年 发 布 的 第 １ ０ 了气 旋 流非接 触 式吸 附装置 ，确 保 产 能 。 例 如 ，２ 黎 鑫 还 建 立 起 自 己 的 研 发 团 ｍ× ３ ｍ ， 而 队 ， 同 时 也 获 得 了更 多 的 独 立 性 和 在 吸 附 起 硅 晶 片 的 同 时 不 与 硅 晶 片 代 液 晶 基 板 长 宽 接 近 ３ ． ７ ａｍ。如 此 大 而 薄 的 液 自主 性 。他 带 领 课 题 团 队 在 液 晶 玻 ｒ 发 生 任 何 接 触 。 他 巧 妙 地 利 用 了空 厚 度 只有 ０ 气 的 旋 转 在 硅 晶 片 的 上 方 形 成 抛 物 晶玻璃基 板 的加工 工序必 须在 气悬 璃 基 板 的 形 变 检 测 、 温 控 式 阀 芯 ，
大 型液 晶玻璃 基 板悬 浮传送 系 的 悬 浮 效 果 。 目前 的研 究 结 果 表 明 ，
位极易产生集 中应力 、静 电和划痕 ， 统 的研 发是黎 鑫 的另一项 代表性 成 该 设 计 能 够 把 供 气 量 削 减 一 半 ，这 从 而 导 致 硅 晶片 的工 作 表 面破 损 。 果 。 液 晶 玻 璃 基 板 一 直 朝 着 大 型 化 对于 大型 气悬 浮轨道 系统 而言 ，节 针对 这 一 问题 ，黎鑫 自主 创新设 计 和 薄型化 的方 向发展 以追 求更 高的 能效果是非常显著 的。
得 了长足 发展 。
“ 我们需要做 的是 自主创新 ，是 大 力 气 攻 关 ，拿 出 自己 的解 决 方 案 ， 出 ，黎鑫得 到 了 日本 文部科学 省 的 针对 核心 技术进 行研 发和突破 ，在 填补 我 国在半 导体 制造设备 研 发方 奖 学 金 以 及 民 间 奖 学 财 团 的 资 助 ， 技术 密集 型、高 附加值 的关键环 节 面 的 空 白 。
楚地 认 识差距 ，直 面 技术难题 ，下 业大 学 留学 。 留学 期 间，因成绩 突 奖 ” 。 毕 业 后 ， 黎 鑫 留任 东 京 工 业
６ ６】 幸 田 辑 技 耆 案２ ０ １ ３ ． １ １
ｒ 创新人物 Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ Ｃ ｈ ａ ｒ ａ ｃ ｔ ｅ ｒ ｌ
聘研 Leabharlann Baidu 员 ，终得一 方 施展 才
华 、为 国尽 力 的舞 台 。 多 年 来 ，黎 鑫主 要 针对 半 导 体 制 造 中 的 一 些 关 键 机 电技 术 开 展 研 究 ， 所 应 用 到 的 专业 知 识 涉 及 机 械 设 计 、
流体力 学 、 材料 ／弹性力学 、 控 制 工学 及检 测 技术 等多 门 学 科。他 通 过 长 年 的研 究 取
得 了多 项 具 有 高度 原 创 性 的成 果 ， 即非 接触 式吸 附装载 。这一 技术实 气 悬浮 元素设 计新 思路 ，并基于 该
在相 关领域得 到广泛认 可 。 现 了在 装载 过程 中对硅 晶片 的零损 思 路 设 计 了 “ 流 量 增 幅 型 气 悬 浮 元 素” 。他 在 气 轨道 的每 一个 悬 浮 单 黎 鑫 的一个 具有 代表 性 的研究 害 ，在 国 内外 获 得 多 项 发 明 专 利 ， 元 里建立 小型 涡流 ，并利用 涡流 中 成 果是 非接 触式 吸 附装载 装置 ，该 并成功地 实现 了技术转让和产 品化 ， ０ １ １ 年 、２ ０ １ ２年在上 海和东京举 心 的 负 压 来 吸 入 额 外 的 流 量 从 而 实 装置 已经被应 用 到了实 际 的硅 晶片 于 ２ 生 产 线上 。众 所周 知 ，硅 晶片是大 行 的国际半 导体 展会 上展 出，引起 现 流量增 幅 的效果 。也就 是说 ，只 规模 集 成 电路 的载体 ，在 生产 及装 产业界 同行的广泛关注 。 配 过程 中与装 载装 置发生 接触 的部 使用 很少 的供 气量就 能够实 现 同等
半 导 体 制造 相 关 的机 电技术 研 究 。 业 赢得 国 际市 场 的 利器 。 ”在 浙 江 传动学会的 “ Ｓ ＭＣ论文奖”的表 彰 ； 在 他 看 来 ， 我 国 的 产 业 规 模 虽 然 得 大 学 机 械 工 程 机 电 一 体 方 向 毕 业 ２ ０ １ １ 年在流体传动 及机 电技术 的国 到 了 迅 速 的 扩 张 ，但 我 们 更 应 该 清 后 ， 黎 鑫 于 ２ ０ ０ ４年 赴 日本 东 京 工 际 会 议 上 获 得 了 “ 最 优 秀 会 议 论 文