DL-7型宽量程BA真空计规管
宜准电子科技WPC400和PVC410宽量程皮拉尼潘宁复合真空计说明书
操作手册宜准电子,让真空测量更简单!INSTRUE , Makes Vacuum Measurement Easier.宽量程皮拉尼潘宁复合真空计WPC400 集成数显皮拉尼冷阴极真空计 PVC410 集成皮拉尼冷阴极变送规● 宽量程,覆盖大气到1.0E-5Pa 高真空检测 ● 支持本地显示,实时读取真空度数值● 特殊电极材料与结构,维护频率低,使用寿命久● 内嵌温度自动补充,消除环境温度波动对测量的干扰 ● 双传感互锁,真空计在任意真空度均可安全启动 ● 可选Pa 、Torr 、mBar 三种单位显示● 双通讯模式,同时输出模拟量与RS485-Modbus 数据通讯 ● 支持双路可编程设置开关量输出●适配GaugeReader 数据采集、配置、存储上位机软件1.型号选择集成数显皮拉尼冷阴极真空计WPC 400 X (X为真空接口,A:KF25,B:KF40,C:CF25,D:CF35) 集成皮拉尼冷阴极变送规PVC 410 X (X为真空接口,A:KF25,B:KF40,C:CF25,D:CF35) 2.参数表参数数值WPC400 PVC410测量范围 (空气, N2) 1.0×10-5 ~1.0×10+5 Pa精度1.0×10-5 ~1.0×10- 4 Pa : ±35% 1.0×10-4 ~1.0×10+4 Pa : ±25% 1.0×10+4 ~1.0×10+5 Pa : ±50%重复性1.0×10-5 ~1.0×10+3 Pa : ±5% 1.0×10+3 ~1.0×10+5 Pa : ±25%耐压(绝对压力) 1.5×10+5 Pa反应时间< 100 ms < 50 ms 工作环境0º C ~ +45º C; 5 ~ 85 %, 不结露存储环境-40º C ~ +75º C;5 ~ 90 %, 不结露信号输出5位LED显示,单位可选NA 双控制开关输出 60VDC 0.5A NARS485, 9600 bps,Modbus RTU模拟量输出+0.0V~+10.0VDC电接口DSub9公插座RJ45插座供电电源+16~+32 VDC /0.5A ;最大功耗 2.5W 防护等级IP40,IEC529真空系统连接标配 DN 25 ISO-KF;其他需定制重量与尺寸420g (KF25), 130H X 60W X50D 310g (KF25),90H X 41Dia.接触真空的材料SS304不锈钢, Kovar 4J50, 钨丝, 馈通玻璃注. 由于研发及新品推出,宜准电子保留修改该文档的权利,请与原厂保持联系!注意D-Sub 9针连接器的区别:公头,母头,焊接侧,插入侧。
真空计使用说明新版
1、复合真空计使用说明1.1 主要性能:1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成.热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。
复合真空计用一支ZJ-54D 热偶规和一支ZJ-10 电离规进行测量。
1.1.2 测量范围:热偶计:103Pa~10-1Pa复合计:103Pa~10-4Pa 。
其中电离规3.5Pa~10-4Pa。
1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口,可与带相应接口的计算机联机。
测量数据由计算机进行管理。
1.1.4 供电:本复合真空计采用单相220V 交流供电。
电压范围:220V AC±10%;消耗功率:≤30W1.1.5 使用和储存环境:温度:5℃~35℃湿度:0~85 %严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。
严禁在工作时猛烈碰撞。
1.1.6 机箱尺寸:宽×高×深=480×119×320重量:约7Kg1.1.7 出厂时规管引线均为5m。
最长建议不要长于10m。
1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。
屏蔽线与机壳相连,并接地。
1.1.9 电离规的启动方式:由面板上的自动、手动开关控制。
自动方式下,热偶规测量值<3.5Pa时接通,>4.0Pa 时关闭。
手动方式下,由面板上的二个ON和OFF按纽控制。
当真空度大于10Pa时,请不要打开电离规。
2.操作说明:本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。
打开电源后,真空计初始化显示“HZ HZ HZ HZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。
没有接入规管或规管暴露在大气中时,都是显示103Pa。
复合计:分手动和自动启动方式,在面板上,设有电离规状态指示灯。
电离规关闭或没接或故障时,ZJ-10 指示灯亮。
在手动方式下,在没有接通电离规之前,若热偶规正常,则指示热偶规测量的真空值。
接通电离规后,显示的是电离规测量的真空度。
电离规测量值≥5.0Pa 时,自动关闭电离规灯丝。
检定指示类量具检定仪的主要标准器及技术指标要求
检定指示类量具检定仪的主要标准器及技术指标要求指示类量具检定仪的主要标准器包括光栅传感器和精密丝杠,它们在检定过程中起到计量标准的作用。
技术指标要求主要包括以下几项:
1. 微分筒端面与固定套管的相对位置:机械式指示类量具检定仪的微分筒上零刻线与固定套管纵刻线对准时,微分筒端面与固定套管毫米刻线的距离,压线不大于5个分度值,离线不大于10个分度值。
2. 固定套管刻线面与微分筒棱边上边缘的距离:这个距离需要满足特定的要求。
以上内容仅供参考,如需了解更准确的信息,建议咨询专业人士或查阅相关书籍文献。
新型宽量程真空计的研制
成度高 、安装调试方便等特点 。
收稿 日期 : 0 —0 —1 2 6 7 0 2
7 1 打 瞄 d 1 r . A 0s 2 II i ^ 。胥 m& p .rI n
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《 动 化 技 术 与 应 用 》2 0 自 0 6年 第 2 5卷 第 1 期 1
L a - ig XI J- ig IZ opn , U i n p
( ahn Huz o gUnv r t f ce c n eh oo yWu a 4 0 7 , ia) ies yo S in ea dT c n lg , h i n 3 0 4 Chn
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维普资讯
《 自动 化技术与应用 2 0 0 6年第 2 5卷第 1 I期
新 型 宽 量 程 真 空 计 的 研 制
李 早 平 ,修 吉 平
( 中科技大学 ,湖北 武汉 4 0 7 ) 华 30 4
摘 要 : 本文介绍 了新型宽量程 真空 计的研制。该设备使用 单片机微控制器 , 并将 电阻式真空计和热阴极 电离真空计的测量原理应用
路、通讯电路等 , 原理框 图如图 1 所示。
本文提 出了一种全新的宽量程真空测量方案 , 那就是将 电阻 式真空计和热阴极 电离真空计 的测量原理应用到 z 2 电离真 卜 型
空规管上。该方案的核心就是利用热阴极灯丝电阻测量低真空 ,
微机型数显复合真空计使用说明
目录1、安全说明 (1)2、技术参数 (2)3、工作原理 (3)4、性能概述 (4)5、使用概述 (5)6、规管性能概述 (7)7、规管外形及安装 (10)8、真空计与规管连线 (12)9、真空计开机及显示说明 (13)10、真空计使用方法 (13)10.1电阻2单元使用方法 (13)10.2电阻1与电离复合单元使用方法 (15)11、真空计去气 (17)*12、控制功能及设定方法 (17)*13、控制输出 (18)*14、扩展功能 (20)机箱规格 (22)15、附录规管接口 (24)常见问题 (27)*号内容属选配功能说明,仅选配了此功能相应配置有效1、安全说明▲为确保该真空计的正常功能,使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命,请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。
·操作、维护和维修该真空计时,请遵守电气设备的安全规范。
′·避免大气压下开启电离规灯丝,这将烧毁电离规灯丝。
·避免真空系统或管道有真空时,强制拆卸规管。
·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管,应安装承受“正压”的规管。
·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极,以延长规管寿命。
·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。
·如未按本说明书操作,我们将不承担任何责任;有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。
该说明书使用符号说明:▲注意:表示必须遵循的信息,如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。
●表示重要的附加信息和技巧或建议。
炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利,而无需事先通知,产品及配件以实物为准。
2、技术参数2.1 电阻单元技术参数:·配用规管型号:ZJ-52T电阻规·电阻规传感丝冷态电阻值(86.5Ω±1.7Ω)·真空度测量范围(对干燥空气或氮气)1.0×105~2.5×103可测范围。
德国THYRACONT真空计、变送器、控制器、真空开关介绍
德国THYRACONT真空计、变送器、控制器、真空开关介绍德国THYRACONT由英格·海因茨·普洛钦格于1970年创立,50多年来一直在开发和生产智能、创新的真空计量。
从一开始,创新精神就是我们取得卓yue 技术成就的动力,这些成就一再在真空测量和控制技术中创造新的动力。
Thyracont的独te之处在于它融合了传统和创新。
“THYRACONT”的名称由冷冻干燥机的功率控制器中的“晶闸管”和“控制器”组成。
50多年的真空测量专业知识是我们不断优化和完善产品的基础。
Thyracont开发的许多创新,例如微型Pirani螺旋丝或在大测量范围内使用组合传感器,已成为真空测量的标准。
产品组合包括真空计、真空传感器、真空变送器、真空表、真空开关、控制器以及配件和真空组件。
根据客户要求,可以提供各种组合的测量原理,如:压电、皮拉尼、电容、冷阴极和热阴极…1) VD8真空计:准确的便携式的数字的测量范围1600至5e-4mbar|1200至5e-4Torr带有集成数据记录器的紧凑型数字真空计可记录您的工艺值。
先进的电子设备保证了精确和可重复的测量结果。
参考型号:VD81 Piezo|VD83 Pirani|VD84 Pirani external|VD85Piezo/Pirani功能:数据记录器,最多可提供2000个测量值使用电源装置或电池进行操作用于数据传输的USB接口泄漏率计算连续运行或自动关闭◆通用仪表VD8真空计可用作便携式仪器或永jiu安装在真空设施中。
真空计可以通过电池或插入式电源进行操作。
◆舒适的测量记录所有VD8紧凑型真空计都具有集成的数据记录器,并在整个测量过程中独立于PC保存压力值。
◆精确的结果紧凑型真空计的显示屏显示精确的绝对压力。
温度补偿传感器和先进的电子设备保证了精确和可重复的测量结果。
◆最大灵活性VD84型仪表在螺旋电缆上有一个外部Pirani传感器。
它非常适合将传感器安装在难以触及的位置。
金属管转子流量计说明书
万丰测控 流量仪表■概述LZ 型系列金属管浮子流量计,采用可变面积式测量原理,应用现代高技术手段及元器件,生产的金属管浮子流量计。
流量计主要由三大基本部分组成:1、测量管体;2、锥形浮子;3、指示器。
浮子的位移量与流量的大小成比例,通过磁耦合系统,以不接触方式,将浮子位移量传给指示器指示出流量的大小。
也可配装不同的转换器,将流量值转换成标准如4-20mA 电远传信号,实现远距离显示、记录、积算和控制等功能。
LZ 型系列金属管浮子流量计,适用于测量液体、气体。
在测量管的设计上针对不同的管道条件、特殊流体的测量要求,配置了多种结构型式的测量管,如保温夹套型、带阻尼器型等。
除了标准的可选外,还可以为用户进行特殊设计,如高压型、高温型等,最大限度的满足用户的要求。
LZ 型系列金属管浮子流量计,在指示器的设计上可以为各种应用场合提供可靠适用的功能组合。
如现场指针指示,LCD 显示瞬时和累积流量等,在指示器供电选择方面有电池供电、24VDC 供电、220V AC 供电,方便用户现场情况进行选择。
LZ 型系列金属管浮子流量计,以其结构简单,使用寿命长、线性刻度、可用于测量液体和气体等优点而得到广泛应用,诸如石油、化工、发电厂、食品工业、制药工业、水处理工业以及其它工业域。
■技术参数:仪表型号 LZ 系列金属管浮子流量计 测量范围 (100%点值)从流量表选择水 20℃ 2.5-150,000L/h空气 1.013bar abs 20℃ 0.07-3000m 3/h量程比 10:1 5:1 精度等级 1.5 2.5 压力损失 见流量表测量管 锥形测量管 孔板测量管 刻度盘分度 依据流量单位划分仪表口径 DN15-DN150 其他口径协商制造法兰连接 DN15-DN50/PN4.0 DN80-DN150/PN1.6 法兰标准 GB/T9119 .10-88 也可按用户提供法兰标准制造如 ANSI B 16.5保温夹套法兰 DN15 DN25/PN4.0 1/2 保温夹套管 ф12特殊类型 高压型、螺纹型和其他特殊型可根据用户要求提供介质粘度 DN15≤5mPa.sDN25~DN150≤250mPa.s介质温度 -80∽200℃ 标准型 0∽85℃ 防腐型 -80∽300℃ 高温型 环境温度 -25∽60℃ 防护等级 IP65电信号输出 输出信号 4-20mA (两线制)线性度 1%温度影响 0.5%/10℃电气接口 M20×1.5 标准型 供电电源 24V DC 标准型 电源消耗 ≤3W限位报警 供电电源 24V DC电源消耗 ≤3W触点容量 3A/220V 工作温度 -25∽60℃ 防爆等级 Exib ⅡCT5 Exd ⅡBT5 防爆关联设备 本安型安全栅LB906■型谱LZ Z 就地指示型D 电远传型口径 DN15 25 50 80 100 150结构型式F10 下进上出型(可以缺省)F11 下进侧出型F12 侧进侧出型F13 右进左出型F14 左进右出型接液材质RR0 0Cr18Ni12Mo2Ti 适用于结构型式 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型RR1 1Cr18Ni9Ti 适用于结构型式 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型RL 316L 适用于结构型式 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型RP PTFE 适用于结构型式 F10型Ti 钛合金适用于结构型式 F10型HC 哈氏合金适用于结构型式 F10型附加结构T 夹套型适用于测量器类型 F10型Z 阻尼型适用于测量器类型 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型G 高温型适用于测量器类型 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型Y 高压型适用于测量器类型 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型指示器 (对于远传4-20mA标准电流信号指示器,可以选择+HART协议)缺省现场指针显示瞬时流量ES1 24VDC供电,现场指针显示瞬时流量,角位移变送器,远传4-20mA标准电流信号ES2 24VDC供电,现场指针显示瞬时流量,非接触变送器,远传4-20mA标准电流信号K1 带一上限报警点输出K2 带一下限报警点输出K12 带一上限和一下限报警点输出JSB 电池供电, LCD显示瞬时流量和累积流量JSC 240VAC供电,LCD显示瞬时流量和累积流量JSD 24V DC供电,LCD显示瞬时流量和累积流量JSE 24V DC供电,LCD显示瞬时流量和累积流量,远传4-20mA标准电流信号防爆型式缺省普通型方表头Exi 本安防爆型方表头Exd 隔爆型圆表头举例:LZ□-□□□□□□□注:无选择项可以缺省。
真空系统的检测技术
设从容器中被抽走的气体流量为 Q,由于 1、2位置间的管道的流阻 的影响,1、2位置间的压差为
Δ P=P1-P2=
S2 P2 C
此处 C为 1 、 2 间管道的流导, S2 、 P2分别为位置 2处的抽速和压力。
图3-1 管路流阻形成的测量误差
气体流阻的影响还与气体压力的高低(即气体分 子运动状态)有关,在低压力(分子流)时气体流导 与管道直径的三次方成正比;在高压力(粘滞流)时 气体流导与管道直径的四次方成正比。同时气体流导
减少电清除抽气的方法是降低电子流和栅极电位。
2)化学清除抽气作用
化学清除抽气作用通常有以下几种:1)活性气体 (H2、N2、CO2、CO等)在规管壁等表面上的化学吸 附效应;2)氧与高温钨丝作用生成WO3,WO3蒸发沉 积在规管壁上形成黑色膜层,此效应随着钨丝阴极温度 的升高而增大;3)气体在高温钨丝表面的热分解作用: H2在高温钨丝表面上可分解为H,H很容易被吸附在规 管及导管壁上。O2也能在热钨丝表面分解为O,并被吸 附在规管壁上。
1.2 真空规管的使用 1.2.1 温度差对规管测量影响 (1) 压力较高(p>130Pa,λ<<d )
严格地讲,当压力较高时,只要两个相连容器处于平 衡状态,则无论其两者的温度是否相等,其压力应该是 相等的。如图3-5 ,根据气体压力公式 P= nkT,有n1 k T1=n2 k T2 ,如T1≠T2,n1≠n2,则有
量时,才需要用式(3-2)进行修正。
如 T1 与 T2 均在常温条件,即使 T1≠T2 ,其影响是不太大 的,只有在作精密测量时,才需要进行温度修正。
图4-5 温度对测量影响的示意图
(2)低压力(λ>>d)情况下
当容器处在低压力下,其余情况仍如图3-5相同,
分项报价表
分项报价表采购编号:CLZ0122ZQ01ZC07项目名称:核酸检测能力提升建设项目设备包号:1投标人名称:江西初瑞医疗器械有限公司货币及单位:人民币/元品目号序号货物名称规格型号品牌产地是否节能产品是否环境标志产品制造商名称单价数量总价1-1196孔荧光定量P C R 仪Gentier 96R天隆西安否否西安天隆科技有限公司147,000.002.00 (台)294,000.001-21全自动核酸提纯及荧光P C R 分析系统Anadas 9850安普利厦门否否厦门安普利生物工程有限公司1,468,500.005.00 (台)7,342,500.001-3196孔全自动核酸提取仪GeneRotex 96天隆西安否否西安天隆科技有限公司135,000.001.00 (台)135,000.001-41生物安全柜BSC-1500 II A2-X鑫贝西济南否否济南鑫贝西生物技术有限公司38,700.001.00 (台)38,700.001-51移液器(0.5-10μL )F3赛默飞上海否否赛默飞世尔(上海)仪器有限公司1,000.004.00 (把)4,000.001-61移液器(5-50μL )F3赛默飞上海否否赛默飞世尔(上海)仪器有限公司1,000.004.00 (把)4,000.001-71移液器(100-1000μL )F3赛默飞上海否否赛默飞世尔(上海)仪器有限公司1,000.004.00 (把)4,000.001-81移液器(20-200μL )F3赛默飞上海否否赛默飞世尔(上海)仪器有限公司1,000.004.00 (把)4,000.001-91手动8通道移液器(0.5-10μL )F2赛默飞上海否否赛默飞世尔(上海)仪器有限公司4,800.002.00 (把)9,600.001-101电动单道可调移液器(15-300μL )dPette大龙北京否否大龙兴创实验仪器(北京)股份公司6,500.001.00 (把)6,500.001-111电动单道可调移液器(50-10dPette 大龙北京否否大龙兴创实验仪器(北京)股份公6,500.00 1.00 (把)6,500.00广东政府采购智慧云平台C L Z0122Z Q01Z C07 第(1) 采购包2022-09-3015:44:11江西初瑞医疗器械有限公司2022-09-3015:44:1100μL )司1-12196通道全自动液体工作站PANA S401天隆西安否否西安天隆科技有限公司159,000.001.00 (台)159,000.001-13180L 立式灭菌器LMQ.C 新华山东否否山东新华医疗器械股份有限公司20,000.001.00 (台)20,000.001-141小型离心机Mini-12英泰长沙否否长沙英泰仪器有限公司2,900.002.00 (台)5,800.001-151小型混匀仪VORTEX-10其林贝尔江苏否否海门市其林贝尔仪器制造有限公司3,000.002.00 (台)6,000.001-161漩涡混匀仪QL901其林贝尔江苏否否海门市其林贝尔仪器制造有限公司1,200.002.00 (台)2,400.001-171八联管离心机Mini-5鑫驰济南否否济南鑫驰医疗科技有限公司1,800.002.00 (台)3,600.001-181样本架/欧莱博山东否否山东欧莱博仪器有限公司35.00100.00 (个)3,500.00投标人盖章:日期:2022 年 09 月 30 日广东政府采购智慧云平台C L Z0122Z Q01Z C07 第(1) 采购包2022-09-3015:44:11江西初瑞医疗器械有限公司2022-09-3015:44:11。
睿宝电子科技有限公司复合真空计使用说明书
ZDF-5227系列/ZDF-5210系列/ZDF-5201系列复合真空计使用说明书成都睿宝电子科技有限公司地址:成都市双流区西航港腾飞二路355号9栋邮编(P.C.):610207 电话(TEL):************85535103 传真(FAX):************网址: E-mail:**************尊敬的客户:首先感谢您的信赖并选择了我公司的真空计产品,我公司是从事研发、生产和销售真空测量仪器的专业制造厂家。
是通过并运行ISO9001质量体系的企业。
我们希望通过我们的产品能为您带来更大的效益,通过我们的服务能更好地满足您的需求。
请在使用我公司产品前仔细先阅读本使用说明书。
请关注您所使用的那一款真空计的各种文字条款和图片解释,以帮助您更好地使用我公司产品。
如果您在使用本公司产品时,还有什么问题或疑虑,请及时和我们联系。
再次感谢您的使用!本用户手册中ZDF-5227系列代表ZDF-5227、ZDF-5227B、ZDF-5227BY三种真空计;ZDF-5210系列代表ZDF-5210、ZDF-5210B、ZDF-5210BY三种真空计;ZDF-5201系列代表ZDF-5201、ZDF-5201B、ZDF-5201BY三种真空计。
售后电话:************-613该系列复合真空计是由一路或者二路皮拉尼电阻真空计(ZJ-52T)和一路热阴极电离(ZJ-27\ZJ-10\ZJ-12)真空计组合而成。
ZDF-5227由一路电阻和一路电离组成;ZDF-5227B\ZDF-5227BY由两路电阻和一路电离组成。
ZDF-5210由一路电阻和一路电离组成;ZDF-5210B\ZDF-5210BY由两路电阻和一路电离组成。
ZDF-5201由一路电阻和一路电离组成;ZDF-5201B\ZDF-5201BY由两路电阻和一路电离组成。
共计9种型号复合真空计,其中电阻1单独测量,电阻2和电离复合测量。
真空规管中文手册
带有本底照明
尺寸16.0×11.2毫米2
压强单位毫巴(缺省),乇,帕
电源
危险
真空计必须连接符合超低电压接地保护(SELV-E,按照EN 61010)要求的电源和测量仪器。连接真空计必须有保险丝。
真空计电压24伏直流(20至28伏)2)
最大纹波2 Vpp
功率损耗
120 90(法兰DN 25 ISO-KF)
120 92(法兰DN 40 CF-R)
带显示器
120 91(法兰DN 25 ISO-KF)
120 94(法兰DN 40 CF-R)
产品的件号在标牌上标明。
本公司保留对说明书不预先通知的技术更改权。
使用范围IR090用于在压强5×10-10…1000毫巴范围内非易燃性气体和气体混合物的真空测量。
F热阴极(灯丝)
IC离子收集极
EC电子收集极(筛网)
皮拉尼计在一定限值内气体的热导与压强有关。Pirani将这个物理现象用于压强测量。采用自调整电桥作为测量电路(见图2)。传感元件采用细的钨丝。通过适当的控制电路将丝电阻(即温度)保持不变。测量供应给丝的电功率来测量热导从而测量压强。自调整电桥的基本原理示于图2中。
1.4赔偿与保修责任如最终用户或第三方有以下情况,Leybold Inficon将不承担赔偿
与保修责任。
不理会本说明书中的要求
在不适当的状态下使用本产品
对产品作任何变动(修改,更改等)
使用不是相应产品文件中所列的附件
对所使用的过程介质,由最终用户负责。
2技术参数
测量测量范围(空气,氮,氧)5×10-10至1000毫巴,连续
3.2.2与其它测量仪器一起使用
何谓分子泵、离子泵?
何谓分子泵、离子泵?应该都是真空泵。
激光陀螺是迄今为止在惯性技术领域唯一真正获得了卓有成效的实际应用的非机电式中高精度惯性敏感仪表。
它具有稳定性好、精度高、动态范围宽、寿命长等诸多优点。
而超高真空的获取是激光陀螺制造过程中至关重要的环节。
在激光陀螺的密封、抽真空、检漏、等离子清洗等过程中,都涉及到超高真空的获取技术。
本文将对激光陀螺生产过程中超高真空的获取技术进行探讨。
1 真空系统的构成激光陀螺在生产中要求其真空系统具有较高的真空度,并且要求真空系统密封效果好、密封性可靠、可充入惰性气体和启动快速。
要实现这一目标,不同的厂家根据自己的能力和用户的要求设计出了不同的真空系统。
但总的来说,采用的设备大同小异,图 1 为生产激光陀螺所用的真空系统的典型结构。
图1中分子泵(次级泵)是这个真空系统的主要抽气工具,但由于它不能单独从大气环境开始工作,因而在它前面要串联一个能从大气开始工作而能达到的真空度往往不高的机械泵(前级泵),并在分子泵和机械泵之间串联一个油扩散泵(增压泵)。
同时,为了在较短的时间内达到超高的真空度,本真空系统还使用了钛升华泵作为辅助抽气的无油泵。
当然,也有一些系统由于采用了性能较好的分子泵,省略了油扩散泵,而最后一级也可以加入离子泵或锆泵来提高真空系统的性能。
2 主要设备2.1 真空泵2.1.1 前级泵早期的激光陀螺超高真空台一般采用油封旋片机械泵作为前级泵。
机械泵价格便宜,适合在粗真空和中真空中使用,因而被广泛采用。
但它也有明显的缺点:首先,油封机械泵不是无油真空泵,虽然在次级加入冷阱和分子泵可基本消除油污染,但对于超高真空系统来说,仍然存在一定的污染隐患;其次,机械泵排水蒸气能力较差,这对潮湿环境下的真空作业十分不利;另外,油封机械泵自身密封性较差,因此不利于抽除和传输含有放射性物质的气体。
所以现在机械泵有被性能更优越的干泵取代的趋势。
干泵分为薄膜式以及罗茨式干泵两种。
抽速从0.9 米 3 / 小时到50 米3 / 小时,具有不产生油污和粉尘、排水蒸气能力强、低能耗,坚固耐用,可靠性高的优点,另外应用磁力传动电机技术的干泵还能够使轴头动密封变成静密封,外漏和内漏做到了“ 零” 泄漏。
第八章真空热处理炉
三、机械真空泵 真空泵:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容
器进行抽气而获得真空的器件或设备。
抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限 压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的超高真空范围。
机械真空泵:是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵。
1、机械真空泵的分类 1)变容真空泵:利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目
排气阀浸在油里以防止大气流入泵中。泵油通过油孔及排气阀进 入泵腔,使泵腔内所有的运动表面被油覆盖,形成了吸气腔与排气腔 之间的密封。
单级旋片泵一般极限压力只能达到1.3Pa(个别可达0.1Pa),为 什么极限压力不能再低呢?
(1)泵的结构上存在有害空间,该空间中 的气体是无法排除的。当旋片转过排气口 后,这一部分气体又被压缩,经过转子与 泵腔间的缝隙又回到吸气空间,所以每次 总有些气体排不尽。
§8-1 真空系统
一、真空概念 1、真空:在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。 2、真空度:真空状态下气体的稀薄程度,用压力表示;
单位:1标准大气压≈1.013×105Pa=9.7×10-1Kg/cm2; 1bar(巴)=105Pa=0.9869标准大气压
1Torr ≈133Pa=1mmHg
油,所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干式真空泵:它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。 4)罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转
子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
2.动量传输泵:依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体
或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
分子真空泵:利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,
DL-7(ZJ-12)型石英真空计的研制
DL-7(ZJ-12)型电离规管的研制王逊何焕玮张宛予孙瑞芬原载真空,2,24(1983)本文介绍北大无线电系与无线电工厂研制的DL-7(ZJ-12) 型宽量程超高真空电离计管,采用B-A式结构,玻璃外壳,测量范围为10-2—5×10-10Toor。
一、引言越来越多的真空设备要求测量的压强范围很宽。
例如:真空镀膜机,无油机组等,都希望配有能从低真空一直到超高真空的规管。
而且前国内还是采用复合计的形式来解决这个问题。
DL-7型电离规的研制就是试图采用一只规管来满足宽量程的要求。
由于B-A计有较低的下限,用扩展B-A计的上线的犯法开设计宽量程电离计引起很多人的注意。
扩展B-A计的上限有两条途径:一时在B—A计中增加电极,在高压强是使用[1-3],或在玻壳上涂敷氧化亚锡导电层,在高压强时作电子加速极[4],而在高真空时,仍按B-A计接法使用。
另一用途是不增加任何电极,只是把阴极换成抗氧化能力强的材料,在高压强时采用较小的发射电流即可扩展上限[5,6]。
DL-7型电离规再用用后一种方案。
国外用B-A计能测试较高压强的产品如图一所示[5,6]。
一般B-A计在压强高于5×10-4Torr时,已开始偏离现行,而表1所列B-A计能测量高达1×10-2Torr或1×10-1Torr 的压强。
二、DL-7型规管的结构与参量作为B-A计,不同的几何尺寸有不同的灵敏度,表2列出一个B-A集的尺寸与灵敏度的数值[7]。
16-18 9.1 50A.C75D.C20A.C140由表2可见,B-A计的灵敏度一般在10Torr-1—50Torr-1之间。
要得到高的灵敏度,尺寸就要做到很大。
而且结构复杂。
例如:栅极要封闭,但是灵敏度的增加也有限。
DL—7型电离计采用较小的尺寸,叫简单的结构,如图1所示。
灵敏度选择10Torr-1。
它的结构材料与尺寸如图3所示。
该规管电参量列于表4。
D类—7型规管作为B—A计,它的本低压强显示值为5×10-11Torr,与一般B—A计是一致的。
《真空测量》PPT课件
在一定压力范围内K为一常数,若保持发射电子流Ie为一恒量时,则 离子流Ii与压力p呈线性关系(如图4-10所示)。
当压力高到某一值时,K值会随压力p而变化,这就达到了压力线性 测量上限pmax,它由电极的几何结构、电极间电位分布以及发射 电流大小所决定。
C
G K(F)
图4-9 热阴极电 离真空计结构
规管系数K在气体压力p很低时仍可保持为常数,但离子流Ii随压力p降 低而减小到一定限度后,将会埋没在电离计工作中不可避免地存 在着的其它与压力p无关的本底电流之中,因而达到其压力测量下 限pmin。这种本底电流包括X射线光电流等。
22
校准曲线如图4-15。
若能因改变p而改变热电动势 ,则P~ 的关系就有一定的意义。
T0
A
B
T
T
热偶计规管结构(图4-6):热丝(红色),热偶(黑色)
接被抽容器
真空计工作时,接通热丝电源,开始加热,热量通过结点传到
热偶的工作端,热偶另两端通过基座连接到仪表上。当规管内压强
(真空度)变化时气体热传导能力发生变化,在保持热丝加热电流一定
压缩式真空计(一般型) 10-1~10-3
压缩式真空计(特殊型) 10-1~10-5
热传导真空计(一般型) 热传导真空计(对流型)
102~10-1 105~10-1
分压力真空计
10-1~10-14
高真空电离真空计 高压力电离真空计 B-A计
宽量程电离真空计 放射性电离真空计 冷阴极磁放电真空计 磁控管型电离真空计
编辑课件ppt一些真空计的压力测量范围水银u型管1010高真空电离真空计101105高压力电离真空计10104光干涉油微压计1102ba计101108压缩式真空计一般型101103宽量程电离真空计10108压缩式真空计特殊型101105放射性电离真空计10101热传导真空计一般型10101冷阴极磁放电真空计1105热传导真空计对流型10101磁控管型电离真空计1021011分压力真空计1011014编辑课件ppt42绝对真空计绝对真空计的读数是对被测气体在单位面积上作用力的量度
陕西上太自动化仪表有限公司 wwwshang-taicom 地址:西安市西
代号
C Z G D
介质温度
-20 ~ 80°C (常温) 80~ 200°C (中温) 200~450°C (高温) -200~-20°C (低温)
代号
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输出形式
脉冲输出 4~20mA 通讯输出 H K HART 协议 开关量输出
代号
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防爆标识
本安型 D 隔爆型
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C S T
壳体材质
碳钢 不锈钢 特殊材料
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代号
L
介质类型
液体 G 气体 S 蒸汽
代号
A B C D
压力等级
0.6 Mpa 1.0 Mpa 1.6 Mpa 2.0 Mpa E F G H 2.5 Mpa 4.0 Mpa 5.0 Mpa 6.3 Mpa I J K L 10 Mpa 11 Mpa 15 Mpa 16 Mpa M N O P 20Mpa 25 Mpa 26 Mpa 42 Mpa
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STF 系列电子靶智能流量计选型表
STF- ���� � � � �Байду номын сангаас� � � �
电子靶
代号
0010 0100 …… 5000
公称通径
DN10 DN100
DN5000
代号
F C D U L E
连接方式
法兰管道式 插入式 对夹式 在线拆装式 锥管螺纹式 其他
代号
H T S E 地址:西安市西二环南段 10 号艺腾国际大厦 8 楼 销售热线: ( 029)84211211 邮编:710077
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(3)钨灯丝在高温时易氧化烧断。为使BA计能测更高压强,应选择抗氧化能力强的材料。DL-7规管阴极选择敷氧化钇的铱丝。这种灯丝甚至在突然暴大气时,也不会烧坏。
个压强值。实验还发现,随着电子加速电压的提高,这两个规管系数的区域向低压强的方向移动。电子加速极电压越高,规管系数跳动幅度值越大。电子加速极电压为100V时,高规管系数值是低规管系数值得3倍多,而当电子加速极电压为40V时,高规管系数值是低规管系数值得1.3倍。并且,电子加速极电压越高,规管系数有双值的范围越宽。当电子加速极电压为100V时,有双值的范围从1.3×10-2Pa到2.3×10-1Pa,超过一个数量级;60V时,从1.6×10-1Pa到5.3×10-1Pa,小于一个数量极;而40V时,从1.33Pa到2.66Pa,范围更窄,有些规管在这个电压时甚至不发生跳变。规管系数的突变,对于不同的规管带有偶然性,突变的位置各不相同,甚至有些规管不存在突变。即使是同一只规管,甚至在除气前后,规管系数的突变情况也不一样。这种突变的原因如下:由于DL-7是玻璃外壳BA计结构,玻壳暴露在放电空间,玻壳电压会发生突变。玻壳电压的变化引起规管系数的变化。这种变化可以从以下实验看到。我们在规管外壳的内壁用氯化亚锡制备导电层,给导电层加上不同的电压,发现收集极离子流跟着变化。
(2)DL-7规管在高压强时离子流与电子加速电压的关系曲线
电离规在高真空时,离子流与加速极电压之关系曲线类似于电离效率与电子能量之关系。图4示出DL-7在7.6×10-3Pa时离子流与电子加速极电压的关系曲线。在更低压强,曲线的形状都相似,可是在高压强,曲线形态就显著不一样。
图5示出DL-7规管在高压强时相应的曲线。显然,离子流在一定的电压下出现突变,并且电压在上升与下降的过程,突变的位置不同。为了理解产生突变的原因,还借助于带有导电层的规管。图6示出带有导电层的规管的导电层电流与导电层电压之间的关系,压强为1.33Pa,阴极电压为50V。纵坐标电流正值表示电子流流向导电层方向。当电子加速极电压为150V、导电层电压为阴极电压时,电流为零。对于没有导电层的玻壳规管,玻壳只能平衡在净电流为零的电压。也就是说,当电子加速极电压较小时,玻壳应平衡在阴极电压值,因而规管系数较大;当电子加速极电压大时,玻壳应平衡在较高电压,故规管系数较小。这样就解释了当电子加速极电压高到一定值时离子流就突然减小的现象。
图2示出玻壳上导电层电压与离子流的关系曲线。由曲线可见,当玻壳导电层电压高时,离子流下降。这是由于玻壳导电层为高电压时,从阴极发射的电子,有一部分打到导电层上,这部分电子电离产生的离子不能越过带正电位的栅网而被离子收集极
收集,因而对收集极的离子流没有贡献,并且玻壳导电层的电压改变了电子运动的轨迹,使电子电离的数量下降,因为在玻壳为低电位时,电子可以通过栅网来回振荡,电离数量较大。因此我们可以认为,在高压时离子流突然下降是由于玻壳电压突然上升所致。在高真空时,玻壳为阴极电压。
参考文献
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(A.V.S),1,494(1961)
[2]孙企达、陈建中、真空测量与仪表、P.188
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[7]G.Carter and J.E.Leck,Brit J App.phys.,10,
1不存在净电流为零的点。当到达B点,在导电层的电压很高时,所产生的次级电子中回到导电层的增多,所以随着电压的上升,电流又开始上升。有曲线可见整个曲线的电流为正值,即在任何电压下,入射电子流大于离子流与离开导电层的次级电子流之和。
图3中曲线2为压强1.33Pa的曲线。曲线与横坐标相交于C,在电压小于C点电压时,电流为负值,这表示由于压强较高,离子流较大,离子流与离开导电层的次级电子之和大于入射电子流,当电压超过C点电压,净电流为正值。对于有导电层的规管,导电层的电压可以为任意值。但是对于绝缘玻壳规管,玻壳的电压只可能对应于到达玻壳的净电流为零的电压。所以在高真空时,玻壳只能是阴极电压,而当压强足够高时,玻壳可以稳定在较高电压,即相应于图3曲线2的C点。这样规管系数就发生突变,从较高值降为较低之。当压强再次降低时,玻壳电压只能稳定在阴极电压,规管系数又回到较高数值。压强值在
[8]陈千寿等,真空,2,28(1979).
由图5可见,在电子加速极电压较高并且压强较高时,会发生离子流的跳动,因而规管系数会不稳定。但是从以上曲线见到,在电子加速极电压较低时,虽然离子流随电子加速极电压的上升而上升,但是,在不同的压强下,曲线都是相似的,不发生突变现象。
BA规在高真空工作时,离子流与电子加速极电压之间的关系是稳定的。在低真空时,如果电子加速极电压较高,离子流与电子加速极电压的关系会出现不稳定现象,即发生离子流的突变。可是电子加速极电压较低时,曲线是稳定。因此BA规在高压强使用时,应选择低的电子加速极电压,这样稳定性好。BA规在高真空使用时,选择较高的电子加速极电压,这样规管系数较高,离子流随电子加速极电压的变化小,因而对电压稳定性要求低。DL-7规管的电参量正是按照这样的原理确定的。在DL-7的电参量下,规管系数不会在测量过程中跳动。
规管系数(0.8× )
2.7
10
除气功率(W)
<70
该规管作为BA计,它的X射线光电流相应的压强值为6.5× ,这与一般BA计是一致的。如何延伸上限,是我们工作的重点,下面较详细地讨论这个问题。
一、BA计的上限由以下诸因素决定
(1)离子的空间电荷。当压强足够大时,离子流也足够大。因此离子的空间电荷增大,使离子不易打到收集极上,因而规管系数下降。为克服离子空间电荷的影响,在测量高压强时离子流减小。因此DL-7规管在1— 范围测量时发射电流选择小于50µA。
由图2可见,这时规管系数较大。如果玻壳稳定在较高电压,因为玻壳是绝缘的,所以必然在此电压下,入射电子应等于离开玻壳的次极电子及入射离子之和,即到达玻壳的净电流为零。先用带有导电层的规管做实验,测量导电层的电流与电压的关系。规管工作在阴极电压50V,电子加速极对地电压200V的情况。图3中曲线1为压强6.7×10-2Pa的曲线。电流正表示电子流向导电层的方向。这时压强较低,离子流较小。在导电层电压较低时,随着电压的上升电流上升。这是由于在电压上升时,流到电子加速极及导电层的电子流的分配改变的缘故。到达A点,随着电压的上升,电流下降,这是由于入射电子能量足够高,已产生次级电子,次级电子数随入射电子能量的增大而增大,这样离开导电层的次级电子增多。这时出现“负阻”现象。图3中曲线
(4)玻壳BA计规管系数的突变。既当气体压强高于某一数值时,玻壳BA计会有两个稳定的规管系数。这个现象早就有人发现 。下面较详细地研究规管系数的突变过程。
二、DL-7规管在高压强的特性
(1)DL-7规管在高压强端离子流与压强的关系曲线
离子流与压强的关系在高压强端如图1所示。当压强达到一定值时离子流突变。压强上升时,沿ABCD变化;压强下降时,沿DCEFA变化。这样图中阴影部分存在两个规管系数,即一个离子流值对应两个压强值。因此我们由离子流不能辨别究竟是哪
DL-7型宽量程BA真空计规管
王逊张宛予孔瑞芬
原载真空科学与技术,6,2,91(1968)
DL-7型宽量程BA计规管的测量范围是1— Pa。本文介绍此规管在拓宽BA计上限方面所采取的措施及BA计在高压强时的特性。
扩展BA计的上限有两条途径:一是在BA规中增加电极。在高压强时使用 或在玻壳上涂氯化亚锡导电层做电子加速极 ,而在高真空使用时,仍按BA规接法使用。另一途径是不增加任何电极,只是把阴极换成抗氧化能力强的材料,在高压强时,采用较小的发射电流即可扩展上限 。DL-7型规管采用后一种方案。
6.7×10-2Pa至1.33Pa之间,相应的曲线连续分布在曲线1与2之间。在压强从低逐渐升高时,只有当相当于曲线1 的峰值A降到横坐标以下时,玻壳才可能跳到较高电压。而当压强从高再逐渐降低,需相当于曲线2的谷值E达到横坐标以上时,玻壳就从高电压跳到阴极电压值。显然玻壳从低电压跳到高电压与从高电压跳到低电压不对应相同的压强值,这就说明图2曲线的跳动有一个范围,而不是从同一压强值跳上或跳下。
DL-7型规管是玻壳BA计结构,尺寸较小,栅网直径为15mm,长20mm,阴极为涂敷氧化钇的铱丝。具有抗氧化,耐大气冲击,除气容易,功耗低等优点。测量范围是
1—6.7× Pa 。
表1规管电参量
压强P(Pa)
1—
—6.7×
阴极对地电压()
10
50
加速极对地电压(V)
45
200
发射电流
25—50µA
5mA