溶胶-凝胶法制备二氧化硅薄膜工艺

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..溶胶-凝胶法制备二氧化硅薄膜

一酸性催化剂制备溶胶溶液

1 主要配方及比例

主要配方：正硅酸乙酯（TEOS）、无水乙醇（EtOH）、去离子水（H2O）、市售浓盐酸(HCl)

配方体积比例：TEOS:EtOH:H2O:HCl=15:40:5:0.07

2 配制步骤

1）去一定量无水乙醇溶液分为两份，一份与TEOS在磁力搅拌机上混合10min，为A液；

2）另一份与浓盐酸和去离子水在磁力搅拌机上混合，为B液；

3）在B液搅拌过程中，将A液缓慢滴加到B液中；

4）滴加完成后得到C液，C液用保鲜膜密封好继续在磁力搅拌机上室温搅拌3-5h；5）静置，陈化3天，得到SiO2溶胶

3 基片准备

将基片分别放入去离子水中初步清洗后，再分别用洗涤精、丙酮、无水乙醇和去离子水经超声波充分洗涤,放入烘台上烘干后,置于干燥器中备用。

4 提拉法涂膜

将经过洗洁精、丙酮、酒精和去离子水清洗干净并烘干的样片用等离子氧处理，将其夹持在电机一端，以6cm/min速度浸入溶胶溶液中，待其全部进入后，保持浸入状态4min，然后以同样的速度提拉出溶液

5 干燥处理

将提拉出溶液的样品，先放置空气中干燥使其表面乙醇挥发胶层固定，然后放入60℃干燥箱中干燥1小时

6 热烧结处理

在管式炉中，从室温以2℃/min升温至500℃，保温1 h，随炉冷却