2016级电镜部分考试复习提纲

2016级电镜部分考试复习提纲：
1．根据衍射分辨率公式推导光学显微镜的分辨率？
2．解释二次电子和背散射电子
二次电子是入射电子在单电子激发过程被入射电子轰击出来的试样电子，二次电子的能量很低，一般小于50eV,它只能从很薄的试样表层内激发出来，表层深度小于10nm，更深的二次电子由于能量小而无力逸出表面。

背散射电子是入射电子进入试样后，被表层固体样品中的原子核或核外电子反弹回来的电子，它包括弹射散射和非弹性散射电子。

有的电子经一次散射就逸出表面，有点电子经过多次散射才反射出来。

背散射电子和二次电子的区别：
背散射电子来源于入射电子，分为弹性散射和非弹性背散射电子，弹性散射电子的能量等于入射电子的能量，非弹性散射背散射电子能量小于入射电子；背散射电子数量与材料元素种类有关。

主要发生在离试样表面300nm区域。

二次电子来源于试样表面，是入射电子击打出来的，不是来源于入射电子。

能量较低，二次电子发射的数量与材料的形貌有关。

背散射电子和二次电子的区别：
性能背散射电子二次电子
1. 来源不同：反射的入射电子激发出来的试样电子
2. 能量不同：数千ev至数万ev 不超过50 ev，一般几ev
3. 测试深度不同：200-300nm 小于10nm
4. 分辨率不同：200-300nm 小于10nm
5. 与原子系数的关系：有没有
6. 图像信息不同：
7. 图像阴影：
形貌及成分分布形貌
有无
3．电镜像差主要有哪些，分别解释并讨论克服像差的主要手段？
4．电子束与样品相互作用会产生哪些信号（至少说出三种）及各种信号产生的原理？
5．加速电压为100KV和200KV时电子束的波长分别是多少？
6．简述AFM工作原理？并比较三种工作模式的优缺点？
7．原子力显微镜、透射电子显微镜和扫描电子显微镜的分辨率各是多少？影响电子显微镜分辨率的因素是哪些？
8．比较分析二次电子和背散射电子的异同点？
9．TEM制样方法有哪些，简述粉末制样过程？
10．什么是图像衬度，TEM衬度有哪些，简述质厚衬度？
11．球差、像散和色差以及焦长和景深的定义？
12．球差、色差和像散是怎样造成的？用什么方法可以减小这些像差？。