北京金属靶材新建项目可行性分析报告

北京金属靶材新建项目可行性分析报告

投资分析/实施方案

北京金属靶材新建项目可行性分析报告

高纯溅射靶材行业是典型的技术密集型行业，要求业内厂商具有较强的技术研发实力和先进的生产工艺，具有完善的品质控制能力。其主要技术门槛表现在以下几个方面。纯度和杂质含量控制是靶材质量最重要的指标。靶材的纯度对溅射薄膜的性能有很大影响。若靶材中夹杂物的数量过高，在溅射过程中，易在晶圆上形成微粒，导致互连线短路或断路。靶材的成分与结构均匀性也是考察靶材质量的关键。对于复相结构的合金靶材和复合靶材，不仅要求成分的均匀性，还要求组织结构的均匀性。晶粒晶向控制是产品研发主要攻克的方向。溅射镀膜的过程中，致密度较小的溅射靶材受轰击时，由于靶材内部孔隙内存在的气体突然释放，造成大尺行业深度研究寸的靶材颗粒或微粒飞溅，或成膜之后膜材受二次电子轰击造成微粒飞溅，这些微粒的出现会降低薄膜品质。例如在极大规模集成电路制作工艺过程中，每150mm直径硅片所能允许的微粒数必须小于30个。怎样控制溅射靶材的晶粒，并提高其致密度以解决溅射过程中的微粒飞溅问题是溅射靶材的研发的关键。靶材溅射时，靶材中的原子最容易沿着密排面方向优先溅射出来，材料的结晶方向对溅射速率和溅射膜层的厚度均匀性影响较大，最终影响下游产品的品质和性能。需根据靶材的组织结构特点，采用不同的成型方法，进行反复的塑性变形、热处理工艺加以控制。

该金属靶材项目计划总投资8901.86万元，其中：固定资产投资

7019.05万元，占项目总投资的78.85%；流动资金1882.81万元，占项目

总投资的21.15%。

达产年营业收入15613.00万元，总成本费用11822.40万元，税金及

附加171.54万元，利润总额3790.60万元，利税总额4484.98万元，税后

净利润2842.95万元，达产年纳税总额1642.03万元；达产年投资利润率42.58%，投资利税率50.38%，投资回报率31.94%，全部投资回收期4.63年，提供就业职位259个。

报告从节约资源和保护环境的角度出发，遵循“创新、先进、可靠、

实用、效益”的指导方针，严格按照技术先进、低能耗、低污染、控制投

资的要求，确保投资项目技术先进、质量优良、保证进度、节省投资、提

高效益，充分利用成熟、先进经验，实现降低成本、提高经济效益的目标。

......

溅射是制备薄膜材朴的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在

真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子

和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底

表面，被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材籵，称为溅射靶材。

北京金属靶材新建项目可行性分析报告目录

第一章申报单位及项目概况

一、项目申报单位概况

二、项目概况

第二章发展规划、产业政策和行业准入分析

一、发展规划分析

二、产业政策分析

三、行业准入分析

第三章资源开发及综合利用分析

一、资源开发方案。

二、资源利用方案

三、资源节约措施

第四章节能方案分析

一、用能标准和节能规范。

二、能耗状况和能耗指标分析

三、节能措施和节能效果分析

第五章建设用地、征地拆迁及移民安置分析

一、项目选址及用地方案

二、土地利用合理性分析

三、征地拆迁和移民安置规划方案第六章环境和生态影响分析

一、环境和生态现状

二、生态环境影响分析

三、生态环境保护措施

四、地质灾害影响分析

五、特殊环境影响

第七章经济影响分析

一、经济费用效益或费用效果分析

二、行业影响分析

三、区域经济影响分析

四、宏观经济影响分析

第八章社会影响分析

一、社会影响效果分析

二、社会适应性分析

三、社会风险及对策分析

附表1：主要经济指标一览表

附表2：土建工程投资一览表

附表3：节能分析一览表

附表4：项目建设进度一览表

附表5：人力资源配置一览表

附表6：固定资产投资估算表

附表7：流动资金投资估算表

附表8：总投资构成估算表

附表9：营业收入税金及附加和增值税估算表附表10：折旧及摊销一览表

附表11：总成本费用估算一览表

附表12：利润及利润分配表

附表13：盈利能力分析一览表

第一章申报单位及项目概况

一、项目申报单位概况

（一）项目单位名称

xxx科技公司

（二）法定代表人

严xx

（三）项目单位简介

公司一直秉承“坚持原创，追求领先”的经营理念，不断创造令客户

惊喜的产品和服务。公司致力于一个符合现代企业制度要求，具有全球化、市场化竞争力的新型一流企业。公司是跨文化的组织，尊重不同文化和信仰，将诚信、平等、公平、和谐理念普及于企业并延伸至价值链；公司致

力于制造和采购在技术、质量和按时交货上均能满足客户高标准要求的产品，并使用现代仓储和物流技术为客户提供配送及售后服务。

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断努力。先后获得国家级高新技术企业等资质荣。

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础建设。通过研发平台的建设，使产品研发管理更加规范化和信息化；通

过产品监测中心的建设，不断完善产品标准，提高专业检测能力，提升产

品可靠性。公司注重建设、培养人才梯队，与众多高校建立了良好的校企