微电子技术发展历程——从基础研究到产业化

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丝 会 向电极放 电产 生 电 流 ， 个 物 理 现象 被 称 为 这
“ 迪生效 应” 爱 ．
互作 用和互 相 支持 的． 实际 上 ， 现 代科 学 研究 ” 在
和技术发 展历 程 中， 基础 研 究 和新 技 术 交 互 作用
１０ ９ ４年 ， 曾担任 伦 敦 的爱迪 生 电灯公 司顾 问 的英 国科学 家 Ｊ Ａ． ｌ ｎ ． Ｆ ｅ ｇ发明 了用 于无线 电通 ｍｉ 信 中检波器 的真 空二 极 管 ， 这个 重大 发 明 的基 础
关 键 词 微 电 子 ； 础 研 究 ； 业 化 基 产
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成 电路 、 盘技 术 及 扫描 电子 显 微镜 发 展 的 ３个 硬
１ 引 言
例子， 探讨 基础研 究和新 技术 发展 的相互 关 系 ， 希
望 能给读 者一些启 迪和思 考．
诺 贝尔 奖委 员 会 在 ２０ ０ ７年 的 诺 贝 尔 奖 授 奖 公 告 ＿ 中 指 出 ：巨 磁 电 阻 效 应 的 发 现 打 开 了 一 扇 １ “ 通 向技 术 新 世 界 的大 门 ， 这 里 ， 同 时 利 用 电子 在 将 的 电荷 自旋 特 性 ． 兴 的 纳 米 技 术 是 发 现 巨 磁 电 新 ２ 集 成 电路 技 术 的 发 展 简 介
与互相支持 的事例 是 非 常 多 的． 文 简要 介 绍集 本
作者 简 介
刘亚俊 ， 工学 博 士 ， 副教 授 ， 南 理工 大 学 机 械 工程 学 院 华
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
物理 与工程
Ｖｏ ． ８ Ｎｏ ６ ２ ０ １１ ． ０ ８
体管 相较 于真 空 管具 有 显 著 的优 越 性 能 ， 因此 晶 体管促 进并 带 来 了“ 固态 革命 ” 进 而 推 动 了全 球 ， 范 围内 的半 导 体 电 子 工业． 为 主 要 部 件 ， 及 作 它
物理与工 程
Ｖｏ． ８ Ｎｏ ６ ２ ０ １１ ． ０ ８
微 电 子 技 术 发 展 历 程— — 从 基 础 研 究 到 产 业 化
刘 亚 俊
（ 南理工 大学机械 工程 学院 ， 东 广 州 ５ ０ ４ ） 华 广 １ ６ ０
（ 稿 日期 ：２ ０—４１ ） 收 ０ ８０ —５
摘 要 本 文简要分 析微 电子技术发 展 的 ３个 重要 发 明： 成 电路 、 盘和 扫描 隧道 显 微镜 的 集 硬 发展 历程 ， 现其都 异常清 晰地 遵 循基 础 研 究一 技 术进 步一 大规模 生产 的 ３个 阶段． 发 基础 研 究导致 技术进 步 ， 术进 步导致产 业发展 的发展规 律值 得思考 和借鉴． 技
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１８ ８ ０年 ， 迪生 意 外地 发 现在 灯 泡里 加 入 一 爱 支 电极 ， 并将 它连接 到钨 丝 的电源 ， 被加 热 后 的钨
阻 的前 提条 件 ， 自旋 电子 学 反过 来 成 为 促 进纳 而
米技 术迅速 发 展 的 动力． 为 研 究领 域 树 立 了一 这 个异 常清晰 的 例子 ： 础 研 究 和新 技 术 是 如 何 交 基