ESD 稽核、评估检查表
合集下载
防静电ESD控制审核检查表
4. Summarize each times data for further improvement project in future
01Biblioteka 23Nothing
The APPROACH The approach is The approach is
something new to exists,meaning: SYSTEMATICALLY ASSESSED,meanin
supplier
process/procedure/ DEPLOYED,
g KPIs exist and are
WI is written.
meaning: process, measured for the
WI are deployed to approach or
all relevant people / performance is
projects - evidence assessed, etc…
is available or
Data available !
adequate people
are in place etc…
Remark: For SBI supplier, OQA audit score should not be less than 2.00
Description for use
Purpose
This is tool of PCLZ SQM. To assess the performance of supplier's quality management including production line, productivity, OQA, ESD and RoHS. Use this tool to identify gaps, strengths and opptunity to improving quality management in supplier factory This tool include: A. Production line audit check list B. Production line capacity check list C. OQA check list D. ESD check list E. RoHS check list
ESD内部稽核查检表
Page: 1/2NB R源自 Phone RD W/H1.1 部門內是否有切實可行的ESD/EOS系統標准文件 1.2 部門內是否有專業的ESD窗口 1.3
從事接觸到ESD敏感物件的工作人員,上崗前是否有接受過 ESD訓練
1.4 工齡滿一年的員工是否有年度重新訓練認証 1.5 ESD敏感區域進出口是否設有警示標識 1.6
所有治工具是否采用抗靜電材料制成﹐且機台是否做好接地 處理.
2.6 所有人員進入鋪設導電地板之ESD防護區時,是否有穿靜電鞋 2.7 ESD檢測儀器是否時刻處于設備良好狀態 2.8 靜電衣穿著時是否符合公司標准 2.9 ESD工作站之靜電環,靜電桌墊是否采用并聯接地 2.10 靜電環是否有與設備接地線或各种被誤認為己接地設備上 2.11 靜電接地時采用之鱷魚夾與接地香蕉插頭是否有混合使用 2.12 所有ESD檢測儀器是否均有進行校驗﹐且均在有效期內 2.13 離子風扇安裝位置是否符合要求 2.14 離子風扇送風量是否符合要求 2.15
ESD 內 部 稽 核 查 檢 表
稽核人員: 稽核人員: 日期: 日期: 受稽區域 負責/ 負責/受稽人員 一、ESD 系統要求 IQC IQC COB 物料室 COB COB 產線 COB QC SMT SMT 物料室 SMT 產線 SMT QC QC SMT 維修 BB 物料室 BB A區 A區 BB B 區 BB C 區 BB BB D區 D區 BB E区 E区 BB QC/OBA BB 維修 BB 包裝
作業員在作業時是否有依要求佩戴靜電環﹑靜電手套或靜電 手指套
2.16 所有人員每次上班前是否主動檢測靜電環/鞋接地狀況 2.17 所有ESD敏感零組件,是否放于靜電盒/框或防靜電容器內 2.18 取放ESD敏感零件時,是否使用防靜電鑷子進行操作 2.19 對含有ESD敏感材料之PCB進行清潔時是否使用防靜電刷 2.20 2.21 2.22
ESD 2023版本年度检查表
审核员Auditor：
序号 Serial Number
审核要点 Review points
1
固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到 指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？
2
生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出 来，且粘贴ESD标签？
3
是否定期对工作站接地进行检查，并记录《符合性验证记 录表》？
ESD元件的存储、运输、处理
《ESD静电放电手册》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
27
当运送ESD敏感器件时如果使用如金属手推车一类的移动 工具时，手推车有无通过拖链或导电的脚轮接地？
ESD元件的存储、运输、处理
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋 28 、防静电帽，所有人员在接触静电敏感材料时有无佩戴防 ESD元件的存储、运输、处理
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
备注 Notes
审核员Auditor：
序号 Serial Number
《ESD静电放电手册》
√
√
√
√
√
√
√
序号 Serial Number
审核要点 Review points
1
固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到 指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？
2
生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出 来，且粘贴ESD标签？
3
是否定期对工作站接地进行检查，并记录《符合性验证记 录表》？
ESD元件的存储、运输、处理
《ESD静电放电手册》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
27
当运送ESD敏感器件时如果使用如金属手推车一类的移动 工具时，手推车有无通过拖链或导电的脚轮接地？
ESD元件的存储、运输、处理
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋 28 、防静电帽，所有人员在接触静电敏感材料时有无佩戴防 ESD元件的存储、运输、处理
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
备注 Notes
审核员Auditor：
序号 Serial Number
《ESD静电放电手册》
√
√
√
√
√
√
√
ESD稽核清单
防静电 55.防静电泡沫是否定期喷射防静电液 泡沫/ 包装袋 56.防静电泡沫/包装袋是否满足防静电
要求 料
57.工作台上是否放有非防静电文件夹 防静电 文件夹 58.静电区域内使用的文件夹是否是防静
电材料（小于1000V)
59.静电区域内使用的作业指导书袋是否 防静电 是防静电材料（小于1000V) 作业指 导书及 书袋 60.SOP是否有明显的ESD防护标识
ESD CHECK LIST
被稽核部门：
责任人：
责任主管：
稽核人：
类 项目 别
内容
符合 不符 合
问题点
1.防静电服是否保持清洁，无破损。
2.进入防静电区域的人员是否正确穿戴 防静电 防静电工作服、帽？ 服、帽 3.在作业现场是否无穿、脱工作服和工
鞋的现象？
4.防静电工作服、帽是否进行检测并记 录
防静电 手套、
5.操作ESD敏感器件或单板的人员须戴防 静电静电手套
指套 6.人员静电手套,手指套有无破损超过
1cm
7.所有人员进入防静电区域时是否对防 静电手腕、鞋进行测试并保留有测试记 录
8.操作员接触产品时是否配戴防静电手
腕，手腕带是否在袖口处束紧并与皮肤 防静电 充分接触。 手腕、
鞋 人
9.防静电手腕带是否接地
43.无尘布、镊子、手套、记号笔属于防 静电材料吗？
44.有ESD防护要求的周转车是否连接接
地锁链，并保证能可靠触地吗？ 防静电
周转车
防静电 周转车
45.防静电周转车是否有定期的ESD检测 和记录
46. 在ESD保护台上,有无戴静电保护和 设备接地
47.静电桌的接地静电扣两端是否松动、 静电接 脱落或悬挂 地
防静电ESD控制审核检查表
2.4 provision?
内部审核是否按照规定
的要求开展？
Does the equipment being used for measurements match the equipment 2.5 listed in the Compliance Verification Plan?
测试设备是否满足测符合性验证计划定义的设备要求?
ESD Con trol audi
#
1. ESD Control Plan/控制计划
Check Point 檢查內容
Whether drew up the valid ESD control procedure to combine according to 1.1 the request of the document control carry on is control?
Do you identify the program Technical elements that need to be verified? do 2.1 ESD coordinator know them?
是否有识别要测量哪些技术项目，ESD协调员是否清楚这些技术项目?
2.2
Do you determine the verification frequency for each Technical element ? 是否确定了每个技术项目检测的频率 ?
Audit Date: Auditor: Audited supplier:
Reference 参考
Specification 標準
Tool 工具
符合
现场查阅
符合
现场查阅
符合
现场查阅
符合
ESD内部审核日程计划表+内审检查表+内审报告全套资料
（2）、在部门经理或授权人员的配合下，审核员分别到部门、现场，对实况、记录进行了抽查。经统计，本次审核共调查出不符合项1项（重复者未计），它是ESD S20.20的8.2条款不符合。
（3）、审核员发现的不符合项都已在现场向受审核部门的有关人员指明，并由他们确认。同时，审核人员还就不合格项与受审核部门商讨了纠正方法。
品质部
ESD相关条款
6.1/6.2/7.1/7.2/7.3/8.1/8.2/8.3/8.4/8.5
6月14日
9:00-12:00
相关部门
ESD相关条款
6.1/6.2/7.1/7.2/7.3/8.1/8.2/8.3/8.4/8.5
研发部
ESD相关条款
6.1/6.2/7.2
实验室
ESD相关条款
6.1/6.2/7.1/7.2/7.3/8.1/8.2/8.3/8.4/8.5
建议的纠正措施计划：
1.立即要求员工佩戴静电手环。
2.对此员工安排ESD培训并考核。
3.对车间员工再次培训ESD并考核。
部门负责人： 日期：
批准： 日期：
纠正措施完成情况：
1.现场员工已佩戴静电手环。2.已培训，有培训记录，考核合格。3.已培训，有培训记录，考核合格。
部门负责人：日期：
验证：
已完成。
3.仪器、仪表、电源等设备的电源插头应完全插入到插座上，不允许浮着；
6
周转车
1.周转车链条牢固，并自然下垂至地面
2.每层台垫应单独和链条连接；接地夹2端连接可靠，无脱落；
3.各分支与链条连接端与采用焊接方式固定；
4.台垫表面无污渍、无大面积破损；
7
货架
1.每层货架的台垫单独和地线连接；接地夹2端连接可靠，无脱落；
（3）、审核员发现的不符合项都已在现场向受审核部门的有关人员指明，并由他们确认。同时，审核人员还就不合格项与受审核部门商讨了纠正方法。
品质部
ESD相关条款
6.1/6.2/7.1/7.2/7.3/8.1/8.2/8.3/8.4/8.5
6月14日
9:00-12:00
相关部门
ESD相关条款
6.1/6.2/7.1/7.2/7.3/8.1/8.2/8.3/8.4/8.5
研发部
ESD相关条款
6.1/6.2/7.2
实验室
ESD相关条款
6.1/6.2/7.1/7.2/7.3/8.1/8.2/8.3/8.4/8.5
建议的纠正措施计划：
1.立即要求员工佩戴静电手环。
2.对此员工安排ESD培训并考核。
3.对车间员工再次培训ESD并考核。
部门负责人： 日期：
批准： 日期：
纠正措施完成情况：
1.现场员工已佩戴静电手环。2.已培训，有培训记录，考核合格。3.已培训，有培训记录，考核合格。
部门负责人：日期：
验证：
已完成。
3.仪器、仪表、电源等设备的电源插头应完全插入到插座上，不允许浮着；
6
周转车
1.周转车链条牢固，并自然下垂至地面
2.每层台垫应单独和链条连接；接地夹2端连接可靠，无脱落；
3.各分支与链条连接端与采用焊接方式固定；
4.台垫表面无污渍、无大面积破损；
7
货架
1.每层货架的台垫单独和地线连接；接地夹2端连接可靠，无脱落；
ESD检查记录表
青岛三元摩拓泰电子有限公司
生产线每天静电控制检查表
文件编号 版本 生效日期
日期：
部门：
线体：
责任人:
审核:
NO
项目内容
时
检查所有工作台上防静电皮各接地扣连 上
1
接是否紧固且工作台防静电皮是否清洁 并无破损现象。检查确认手腕报警器合
午 下
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
上 下
备注：每天开工前生产线班长对生产线 进行检查；经检查，通过请打上“√ ”，每天班前填写。不合格及时上报领 导通知责任人整改。
午 下 午
5
检查所有ESD敏感零件，部件或产品都妥 善放置在导电容器内。
上 下
6
检查物料车周转车接地链是否接地良好 。
上 下
穿戴好静电帽静电鞋及静电防护衣：A. 头发不能露出防静电帽外后脑部分的短 7 细的头发不能超过防静电衣领外；B.防
上 午
静电衣服袖口应扎紧；C.员工不可戴手 下
链等饰品。
午
8
根据ESD工艺测量静电环和静电鞋、烙铁 、电动螺丝刀对地电阻
格可用。 检查所有工位的接地线是否被拆开或松
2 动，特别是当仪器或设备被移动过之后
午上 午下
。
午上
如果使用了离子风机，则打开开关检查 午
3 是否正常；各工作台内产生静电的物体， 上
4 如：塑料袋、盒子、泡沫、胶带、及个 人物品，至少放置在30mm以外。
生产线每天静电控制检查表
文件编号 版本 生效日期
日期：
部门：
线体：
责任人:
审核:
NO
项目内容
时
检查所有工作台上防静电皮各接地扣连 上
1
接是否紧固且工作台防静电皮是否清洁 并无破损现象。检查确认手腕报警器合
午 下
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
上 下
备注：每天开工前生产线班长对生产线 进行检查；经检查，通过请打上“√ ”，每天班前填写。不合格及时上报领 导通知责任人整改。
午 下 午
5
检查所有ESD敏感零件，部件或产品都妥 善放置在导电容器内。
上 下
6
检查物料车周转车接地链是否接地良好 。
上 下
穿戴好静电帽静电鞋及静电防护衣：A. 头发不能露出防静电帽外后脑部分的短 7 细的头发不能超过防静电衣领外；B.防
上 午
静电衣服袖口应扎紧；C.员工不可戴手 下
链等饰品。
午
8
根据ESD工艺测量静电环和静电鞋、烙铁 、电动螺丝刀对地电阻
格可用。 检查所有工位的接地线是否被拆开或松
2 动，特别是当仪器或设备被移动过之后
午上 午下
。
午上
如果使用了离子风机，则打开开关检查 午
3 是否正常；各工作台内产生静电的物体， 上
4 如：塑料袋、盒子、泡沫、胶带、及个 人物品，至少放置在30mm以外。
ESD内部审核检查表
研发 研发
研发
4
研发
5
研发
6 二:采购与 开发
研发
7
研发
8 9
研发、采购
采购是否有开发ESD材料供应商？ 采购ESD敏感元件或ESD防护材料时有无选 择认证合格的供应商？
采购
10
采购、SQM
11
对生产ESD元件或ESD防护材料的供应商是否 有周期性审核?是否有对供应商的审核记
SQM
录？
1 2 3 4 5 6 7 三:ESD设 施配置 8 9 10 11 12 13 14
ESD内审员稽查标准条款
项目 NO. 内容 是否建立有明确的ESD组织机构，并有专门的 ESD负责人推行ESD工作？ 是否有完善的防静电体系的文档、制度(如： EPA等级、培训、稽查、考核、人员要求、接 地要求、标识要求、检测方法、工程变更、用 品管理、材料控制等)? 是否有正式的作业指导书(如：腕带和人体电 阻测试方法、离子风机使用方法、接地监控仪 使用方法等)指导员工如何进行正确的防静电 操作？ 防静电操作指导书的内容是否准确、一致，具 有可操作性(合理性)？ 是否有正式的ESD培训计划？ESD入职、在职人 员ESD培训教材？ 员工ESD培训档案是否保存完整，员工培训记 录是否有据可查？ 是否建立了完善ESD稽查制度，包含周度稽查 、月度稽查、季度稽查、年度稽查? 稽查记录是否保存完整，并有据可查？ 是否建立了定期的防静电硬件的维护和检测制 度？ 涉及管控部门 品质中心 审核记录 审核结果或 整改日期 责任人
EPA内是否有温湿度控制系统，当温湿度超标 厂务部、生产 时有无文件规定如何操作、ESD敏感元件或ESD 、IQC、仓库 产品如何操作? EPA、仓库、IQC是否配置温湿度计，是否有校 生产、IQC、 验，是否每班有温湿度记录? 仓库 EPA区域是否安装防静电地板/静电地垫？是否 有定期检测接地电阻？ EPA区域是否有配置人员（含客户/供应商等外 来人员）使用的防静电衣帽鞋、手环手套，外 来人员是否有ESD合格人员陪同? 是否配置手腕带测试仪、人体综合测试仪、手 环报警器、接地插点、接地电阻测试仪、静电 压测试仪？ 防静电检测仪器是否遵循了校验和维护程序，并 处于有效期内? EPA区域是否配置静电接地线、设备接地线供 人员、设备接地？是否有定期检测接地电阻？ 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保
2019年ESD防静电审核检查表(ESD Checklist)
□符合□不符合
3
Where ESD protective flooring is used, is the flooring grounded to the plant's common ESD ground?
是否有使用ESD保護地板並且連接至車間共同接地點?
□符合□不符合
4
Is the ESD protective flooring grounded properly at prescribed intervals?
M5. Measure the resistance between a workstation ESD ground point and the common ESD ground; Spec: < 1 Ohm
測量工作站ESD接地點至共同接地點間的阻值;規格：<1歐姆
□符合□不符合
8
Are personnel wearing grounded wrist straps at the ESD-protected workstations?
一次性腳環是否限定一次性使用?
□符合□不符合
15
Do personnel wear ESD protective garments or smocks in ESD controlled areas
人員在ESD管制區域是否有穿著靜電防護衣?
□符合□不符合
16
Are ESD protective garments correctly worn?
防靜電衣是否有正確穿著?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
3
Where ESD protective flooring is used, is the flooring grounded to the plant's common ESD ground?
是否有使用ESD保護地板並且連接至車間共同接地點?
□符合□不符合
4
Is the ESD protective flooring grounded properly at prescribed intervals?
M5. Measure the resistance between a workstation ESD ground point and the common ESD ground; Spec: < 1 Ohm
測量工作站ESD接地點至共同接地點間的阻值;規格：<1歐姆
□符合□不符合
8
Are personnel wearing grounded wrist straps at the ESD-protected workstations?
一次性腳環是否限定一次性使用?
□符合□不符合
15
Do personnel wear ESD protective garments or smocks in ESD controlled areas
人員在ESD管制區域是否有穿著靜電防護衣?
□符合□不符合
16
Are ESD protective garments correctly worn?
防靜電衣是否有正確穿著?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
ESD查检表
ESD 季稽核查检表部门：组长：日期：A.ESD负责人需求：YES NO N/A1. 是否有ESD负责人之设置？[] []2. 是否每部门，每班都有设置[] []B.训练和资格：YES NO N/A3. 是否有提供ESD资格训练课程，训练资料和资格有效时间是否有监管？[] []4. 训练是否有实作说明和考试？[] []5. 全部的ESD稽核员是否受训合格？[] []6. 静电区的所有工作人员是否皆ESD资格？[] []C.防静电工作桌YES NO N/A7. 防静电工作区内每个ESD敏感的工作站都有标示吗？[] []8. 是否所有电气设备都有做接地？[] [] []9. 全部防静电工作桌是否有接地静电环插座且其连接是否合于规定？[] [] []10. 距离工作桌1公尺内之所有物品其静电电压是否都低于100V？[] [] [][] [] [] 11. 如有局部防静电处置（如防静电喷剂），是否每周实施一次？合乎静电电压低于100V以下之规定？[] [] [] 12. 所有离子风扇动作是否正常而置放是否正确？离子平衡测试是否按月校验？13. 工作桌对地阻抗是否在1MΩ与1000MΩ之间？[] [] []D.个人接地部份YES NO N/A14. 戴上静电环的人其指尖至地的阻抗是否在0.5MΩ与50MΩ之间？[] [] []15. 穿上导电鞋的人其指尖至地的阻抗是否在0.5MΩ与50MΩ之间？[] [] []16. 导电地板对地阻抗是否在25K Ω与5M Ω之间？ [] [] []17. 静电环和导电鞋检查器功能是否正常，每季是否校正？[] []18. 在防静电区内的所有人（包括工程师和访客）是否都接地（戴上静电环或穿上导电鞋）？ [] [] []19. 假如使用静电鞋，则是否同时使用导电地板？[] [] 20. 距离ESD 敏感零组件1公尺内之物品例如外套头发等，其静电电压是否低于100V ？ [] []E. ESD 敏感确认YES NO N/A 21. 是否对ESD 敏感项目予以确认？ [] []F. 包装和标示YES NO N/A22. 若不在防静电桌或区域内，是不是所有的ESD 敏感零组件都置于封闭的 ESD 摒蔽容器内，而不外露？ [] [] 23. 是否有静电源和ESD 敏感零组件一起放在ESD 摒蔽容器内？ [] [] 24. 导电和静电消散包装材料再次回收使用前是否有检查？ [] [] 25. 有否使用过时的防静电包装材料？[] [] []26. 是否使用之包装材料皆为ESD 合格的材料？ [] [] 27. 装ESD 材料之ESD 容器是否有清楚可见的标识？ [] []G. 稽核和资料保管YES NO N/A28. 在有ESD 要求的工作场合之每位工作人员是否每天执行“每日点检”？ [] []29. 每个季的内部稽核结果是否有向经理层和ESD Coordinator 报告？ [] [] 30. 每季内部稽核资料是否完全而准确？ [] [] 31. 年度稽核是否彻底及准时（15个月内）？ [] []H. 矫正措施YES NO N/A 32. 有没有证据来说明矫正措施已被完全正确执行？[] []合计 YES NO N/A[] [] []{}{}{}%%100NO YE S YE S 100＝得分＝⨯+⨯。
稽核项及评分表
项目
责任 人
稽核内容
扣分 累积线别/次数 总扣分 2 1 2 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 2 1 2 2 1 2 1 2 2 1 2 2 1 1 2 2 2 2 1 1 2 2 2 2 1 2 2 1 2 1 1 1 1 1
丝印 工位
LQC工位
手焊/ 维修区
待周转PCBA
静电线/电源 线/信号线/ 气管/设备/ 工具
物料区
冰箱/解冻区 /钢网房
散料放在专用盒/袋/盘内，湿敏元件有管控（开封标签，密封保存，使用前烘烤）待用料整 齐摆放在指定位置. 废料带不允许接触地面；空TRAY及料盘要放在废料箱内或指定区域； 操作 SOP/排位表，放在指定区域且整齐，无过期，无少页，手动修改要签名， 员 排位表与程序一致；报表填写及时，准确，完整，摆放整齐 剪刀，计算器，报表，接料带，放在指定区域。 设备/作业台表面无灰尘（排气扇除外）、胶纸、油污、锡膏残渣及其它杂物；设备按时点检 区域线无损坏，地面无油污、散落元件、纸屑、锡膏残渣及其它杂物 PCB按SOP要求开封并摆放整齐，无裸板机时轨道上最多可放5PCS，钢网无叠放 SOP摆放整齐、无过期,无少页,手动修改要签名;报表填写及时,准确,完整,摆放整齐 小铲刀,擦拭纸要放在指定位置，锡膏使用是否正确，锡膏瓶用完后及时退回 丝印员 清洗剂有标识符合安全存放要求；已搅拌与未搅拌锡膏明确区分， 钢网清洗房,整洁,手套工具放在指定位置,清洗剂有标识符合安全存放要求 设备/作业台表面无灰尘、胶纸、油污、锡膏残渣及其它杂物；设备按时点检 区域线无损坏，地面无油污、散落元件、纸屑、锡膏残渣及其它杂物 SOP摆放整齐、无过期,无少页,手动修改要签名;报表填写及时,准确,完整,摆放整齐 样板要摆放整齐且要有型号标识，有手摆料时要有明确WI，物料要标识摆放； LQC 板架摆放整齐最多可堆放5个板架；轨道上不允许存放与生产无关的物品 正确配戴静电手环并接地;良品与不良品要有明确标识与区分；小工具要标识存放 设备/作业台表面无灰尘、胶纸、油污、锡膏残渣及其它杂物；设备按时点检 正确配戴静电手环并接地 烙铁海棉，抽风机海棉清洁 修理 SOP摆放整齐、无过期,无少页,手动修改要签名;报表填写及时,准确,完整,摆放整齐 员 烙铁,锡线,镊子,热风设备,清洗剂及物料有明确标示,待修品/已修品标示明确,有/无铅区分 设备/作业台表面无灰尘、胶纸、油污、锡渣及其它杂物；设备按时点检 转板 周转架/车/箱有静电防护。 员及 状态卡标示且内容正确 炉后 摆放整齐,标示清楚。夹具表面干净。 QC 设备清洁（内部有散落油污，杂物；油污溢出） 气管要用扎线捆扎,不得散乱的附在地上或机器过道上 工程 电源线，信号线捆扎整齐安全 无破损 设备状态标示明确,周/月点检,维修记录. 设备符合安全作业 文件及物品摆放有条理并有标识，区域划分明确，文件柜整洁 物料放置区整洁有序，且状态标识明确，飞达有标识 物料员 湿敏元件按要求管控（密封，放进干燥箱，开封标签） 静电防护符合要求 锡膏摆放整齐,标识清楚，有明确的台帐 温度达标 辅料 冰箱表面整洁 员 钢网标识清楚.有明确的台帐 钢网摆放整齐,表面干净，放在对应的钢网架上 资料员 文件及物品摆放有条理并有标识，区域划分明确，文件柜整洁 静电防护符合要求 摆放的物品超出斑马线，无警示牌 生产 人虽能通行，但要避开，台车，叉车不能通行 物料 有纸屑、铁屑及其它杂物 周围环境及状态,如不允许三人以上聚在一起.戴工帽,工衣要扣好扣子. 管理员 墙壁是否干净，不允许用脚踩墙壁，柱子，线槽，斑马线等 不允许靠在机器或是轨道过板处.
ESD内部审核检查表
ESD内审 ESD内审 抽样检测表
Ⅰ静电电压抽测
测量标准：无保护的ESD元件：12英寸以内≤±1000伏特（或按照供应商的建议） 标准设备：设备名称：数字静电测量仪. 序号 1 2 工作区域/工作站 校验有效期： 电压测量值（KV） 评价（通过/不通过）
Ⅱ接地及表面电阻抽测
测量标准：一.接地检测类型：工作站ESD接地电阻<1Ω；二.防静电类型：工作台垫表面电阻106Ω≤测量值≤1011Ω 标准设备：设备名称：数字多用表、 表面电阻测试仪. 工作站接地检测 校验有效期：
检验工序
工作站 L L
pt#
阻值（欧姆）
表面电阻
传输带
工作站 L L Ⅲ静电地板表面电阻抽测
标准设备：设备名称：表面电阻测试仪.
生产工序
pt#
表面电阻测量值
记录
测量标准：1.检测值≤1011欧姆/平方。2.检测周期为每季度检测一次。3.测量次数为每90平方米1次。 校验有效期：
检测工段
检测序号
检测值（欧姆）
序号
测试地点编号
测试阻值
状况描述
备注
备注
防静电周转箱、托盘、 Ⅳ防静电周转箱、托盘、元件盒表面电阻抽测
测量标准：1.防静电周转箱的测试点为四周的中间和隔段两区域任意两点，检测值≤1011Ω。2.检测周期为：次/半年 标准设备：设备名称：表面电阻测试仪. 校验有效期：
工段
检测序号
检测值（欧姆）
备注
Ⅴ总接地电阻检测
测量标准：1.测试数值≤4Ω为 接受，>4Ω为 不接受。2.测试点数为5个。3.工厂总接地检测周期：次/每年。 标准设备：设备名称：接地电阻测试仪 校验有效期：
Ⅰ静电电压抽测
测量标准：无保护的ESD元件：12英寸以内≤±1000伏特（或按照供应商的建议） 标准设备：设备名称：数字静电测量仪. 序号 1 2 工作区域/工作站 校验有效期： 电压测量值（KV） 评价（通过/不通过）
Ⅱ接地及表面电阻抽测
测量标准：一.接地检测类型：工作站ESD接地电阻<1Ω；二.防静电类型：工作台垫表面电阻106Ω≤测量值≤1011Ω 标准设备：设备名称：数字多用表、 表面电阻测试仪. 工作站接地检测 校验有效期：
检验工序
工作站 L L
pt#
阻值（欧姆）
表面电阻
传输带
工作站 L L Ⅲ静电地板表面电阻抽测
标准设备：设备名称：表面电阻测试仪.
生产工序
pt#
表面电阻测量值
记录
测量标准：1.检测值≤1011欧姆/平方。2.检测周期为每季度检测一次。3.测量次数为每90平方米1次。 校验有效期：
检测工段
检测序号
检测值（欧姆）
序号
测试地点编号
测试阻值
状况描述
备注
备注
防静电周转箱、托盘、 Ⅳ防静电周转箱、托盘、元件盒表面电阻抽测
测量标准：1.防静电周转箱的测试点为四周的中间和隔段两区域任意两点，检测值≤1011Ω。2.检测周期为：次/半年 标准设备：设备名称：表面电阻测试仪. 校验有效期：
工段
检测序号
检测值（欧姆）
备注
Ⅴ总接地电阻检测
测量标准：1.测试数值≤4Ω为 接受，>4Ω为 不接受。2.测试点数为5个。3.工厂总接地检测周期：次/每年。 标准设备：设备名称：接地电阻测试仪 校验有效期：
ESD防静电年度稽查报告表
5.5 ESSD器件及组件的包装盛放都有明显的防静电警示标识吗？
5.6 ESSD及组件的配料、发料、转储过程是否都存放在防静电容器中？
5.7在操作中没有IC散乱地堆放在工作台面上的操作现象吗？
5.8防静电材料的检验有专职的部门和人员、仪器保证吗？
6.体系文档、制度
6.1有正式的作业指导书（腕带和人体电阻测试方法、离子风机使用方法、接地监控仪使用方法等）指导员工如何进行正确的防静电操作吗？
5.物料
5.1防静电区域内的非防静电材料（包括过期失效的防静电材料）是否及时、正确地进行了处理?
5.2有时效性的防静电材料上是否标明了有效期？
5.3静电敏感物料与非静电敏感物料进行了隔离放置吗？
5.4放置在EPA工作台以外的静电敏感物料采取了防静电保护措施（用防静电容器和包装材料存放），没有PCB板随意裸露叠放现象吗？
2.3防静电区域配备了温湿度计吗？
2.4每工作日都对温湿度作了记录吗？
2.5记录显示温湿度控制正常吗？
2.6温湿度异常时有应急处理措施吗？
2.设备、仪器、工具、工装
2.1 ESSD及其组件的加工设备、测试仪器、工具、装备（如被测整机机框、测试设备仪器、工装和夹具、SMT系列设备、波峰焊机、烘烤箱、成型系列设备、电批、电烙铁等）是否都进行了可靠接地？硬接地电阻是否小于1Ω，软接地电阻满足≥7.5×105Ω≤1×109Ω？
设备仪器工具工装21essd及其组件的加工设备测试仪器工具装备如被测整机机框测试设备仪器工装和夹具smt系列设备波峰焊机烘烤箱成型系列设备电批电烙铁等是否都进行了可靠接地
ESD
CHECKLIST
受检区域/公司：
查检日期：
查检人员：
查检内容
查检结果
5.6 ESSD及组件的配料、发料、转储过程是否都存放在防静电容器中？
5.7在操作中没有IC散乱地堆放在工作台面上的操作现象吗？
5.8防静电材料的检验有专职的部门和人员、仪器保证吗？
6.体系文档、制度
6.1有正式的作业指导书（腕带和人体电阻测试方法、离子风机使用方法、接地监控仪使用方法等）指导员工如何进行正确的防静电操作吗？
5.物料
5.1防静电区域内的非防静电材料（包括过期失效的防静电材料）是否及时、正确地进行了处理?
5.2有时效性的防静电材料上是否标明了有效期？
5.3静电敏感物料与非静电敏感物料进行了隔离放置吗？
5.4放置在EPA工作台以外的静电敏感物料采取了防静电保护措施（用防静电容器和包装材料存放），没有PCB板随意裸露叠放现象吗？
2.3防静电区域配备了温湿度计吗？
2.4每工作日都对温湿度作了记录吗？
2.5记录显示温湿度控制正常吗？
2.6温湿度异常时有应急处理措施吗？
2.设备、仪器、工具、工装
2.1 ESSD及其组件的加工设备、测试仪器、工具、装备（如被测整机机框、测试设备仪器、工装和夹具、SMT系列设备、波峰焊机、烘烤箱、成型系列设备、电批、电烙铁等）是否都进行了可靠接地？硬接地电阻是否小于1Ω，软接地电阻满足≥7.5×105Ω≤1×109Ω？
设备仪器工具工装21essd及其组件的加工设备测试仪器工具装备如被测整机机框测试设备仪器工装和夹具smt系列设备波峰焊机烘烤箱成型系列设备电批电烙铁等是否都进行了可靠接地
ESD
CHECKLIST
受检区域/公司：
查检日期：
查检人员：
查检内容
查检结果
2019年ESD防静电审核检查表(ESD Checklist)
防靜電衣是否有正確穿著?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
測量靜電衣表面電阻率;規格：0 - 10^5歐姆/平方
□符合□不符合
17
Are the ground points of all equipment grounded to the common ESD ground of the plant?
測量工作臺任何絕緣材料及易摩擦帶電的場電壓;規格：<200V的
□符合□不符合
29
Is the RH of ESD controlled areas maintained above 40% and is the RH in these areas monitored?
Is the surface of the worktable where ESD-sensitive devices are handled covered with a static dissipative mat?
處理靜電敏感元件時是否于工作臺上鋪設靜電消散墊子?
□符合□不符合
21
Is the static dissipative mat on the table properly grounded to the ESD common ground at prescribed intervals?
在ESD管制區域是否絕緣材料存在，例如，塑料包裝袋，塑料信封，塑料文件夾，盒子？
□符合□不符合
26
Where insulative materials are present in ESD controlled areas, are ionizers in use?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
測量靜電衣表面電阻率;規格：0 - 10^5歐姆/平方
□符合□不符合
17
Are the ground points of all equipment grounded to the common ESD ground of the plant?
測量工作臺任何絕緣材料及易摩擦帶電的場電壓;規格：<200V的
□符合□不符合
29
Is the RH of ESD controlled areas maintained above 40% and is the RH in these areas monitored?
Is the surface of the worktable where ESD-sensitive devices are handled covered with a static dissipative mat?
處理靜電敏感元件時是否于工作臺上鋪設靜電消散墊子?
□符合□不符合
21
Is the static dissipative mat on the table properly grounded to the ESD common ground at prescribed intervals?
在ESD管制區域是否絕緣材料存在，例如，塑料包裝袋，塑料信封，塑料文件夾，盒子？
□符合□不符合
26
Where insulative materials are present in ESD controlled areas, are ionizers in use?
ESD防护项目检查表
ESD防护项目检查表
频率 每日必巡检 项目 a）腕带 b）ESD防护鞋 c）个人ESD防护衣穿着 d）个人穿着之腕带或ESD防护鞋 a）ESD防护工作站(如：接地） b）ESD防护地板(如：清洁地板，避免破损） c）ESD接地连接（如：腕带，台垫接地线） a）ESD防护区域及工作站静电电压的测量 a）ESD防护静电消散工作表面之ESD接地的电阻值 b）ESD导电工作表面至ESD接地电阻值 c)ESD防护地板至ESD接地的电阻值 d）腕带测试器 e）ESD接地至接地点 a）空气游离器使用 b）空气游离器充电衰减使用 ESD系统符合本规范
建议周检
建议月检
建议季检
建议年检 建议年检
目检查表
允许标准 参考章节 ≥500K to ≤10M 6.4/6.4.1 9 6.4/6.4.1 ≥500K to ≤10 Ω 目视检查 11.4 目视检查 6.3 目视检查 7.3/7.4.1/7.4.2 目视检查 7.3/7.5 目视检查 7.3/7.6 未受保护的ESD敏感元 6.5 件在12英寸内必修≤± 1000 7.3/7.4.1 ≥105 to ≤109Ω ﹤1000K（无串联电阻） 4.3/7.3/2 4 9 7.5 ≥10 to ≤10 Ω ≥500K to ≤10M 6.4.3 ﹤1.0 4.10/7.6/7.7/7.8/7.9 平衡﹤±35v 11.3e 参考制造商规格参数 11.3f 使用ESD稽核表 9.2
频率 每日必巡检 项目 a）腕带 b）ESD防护鞋 c）个人ESD防护衣穿着 d）个人穿着之腕带或ESD防护鞋 a）ESD防护工作站(如：接地） b）ESD防护地板(如：清洁地板，避免破损） c）ESD接地连接（如：腕带，台垫接地线） a）ESD防护区域及工作站静电电压的测量 a）ESD防护静电消散工作表面之ESD接地的电阻值 b）ESD导电工作表面至ESD接地电阻值 c)ESD防护地板至ESD接地的电阻值 d）腕带测试器 e）ESD接地至接地点 a）空气游离器使用 b）空气游离器充电衰减使用 ESD系统符合本规范
建议周检
建议月检
建议季检
建议年检 建议年检
目检查表
允许标准 参考章节 ≥500K to ≤10M 6.4/6.4.1 9 6.4/6.4.1 ≥500K to ≤10 Ω 目视检查 11.4 目视检查 6.3 目视检查 7.3/7.4.1/7.4.2 目视检查 7.3/7.5 目视检查 7.3/7.6 未受保护的ESD敏感元 6.5 件在12英寸内必修≤± 1000 7.3/7.4.1 ≥105 to ≤109Ω ﹤1000K（无串联电阻） 4.3/7.3/2 4 9 7.5 ≥10 to ≤10 Ω ≥500K to ≤10M 6.4.3 ﹤1.0 4.10/7.6/7.7/7.8/7.9 平衡﹤±35v 11.3e 参考制造商规格参数 11.3f 使用ESD稽核表 9.2
ESD-S20.20-2014认证准备检查表
ESD-S20.20-2014认证准备检查表
存放敏感器件（料架/Tray盘&止滑垫&泡棉/CST...）移动设备（台车/推车...）
离子风扇/离子bar
静电监控器/报警器
电烙铁
……
防静电地板
工作表面(静电垫等….)
工作桌
工作椅子
静电手环(内阻&外阻)
静电手环线
静电服鞋
存放敏感器件（料架/Tray盘&止滑垫&泡棉/CST...）
移动设备（台车/推车...）
离子风扇/离子bar
静电监控器/报警器
电烙铁
……
EPA区标识EPA区标识(吊牌)
包装标记
防静电敏感件，系统或包装的标记绝缘体
(EPA区内若有)必要的绝缘体需距离敏感器件>30cm 孤立导体
(EPA区内若有)导体和敏感器件之间电势差<35V 内部稽核
ESD巡检/内部稽核记录文件管制
ESD S20.20等标准纳入外来文件管控仪器校验ESD量测设备清单及校验报告
符合性验证记录（依照符合
性验证计划产出）认可计划产
出）。
特级EPA区域ESD CHECKLIST
B B C B A B A B B B B B B B C B B B
2.环境
2.1防静电区域是否按不同的静电放电敏感度控制要求进行了等级划分并正确张贴EPA区域 等级标识牌? 2.2 是否正确张贴了防静电区域警示标识(如区域地面警示标识)? 2.3 EPA区域是否有封闭，并且在入口处贴挂有外来人员ESD要求指南？ 2.4 防静电区域是否配备了温湿度计？ 2.5 EPA区域内的不防静电工作台是否进行了标识以提醒员工注意? 2.6 每工作日是否都对温湿度作了记录？ 2.7 记录显示温湿度控制异常时是否有应急处理措施？ 2.8 是否对关键工位(如SMT、插件、焊接、操作静电敏感器件且静电敏感器件无法远离静 电源30cm以上距离的工位)进行了离子化？ 2.9 关键工位配置的离子风机是否覆盖到所有涉及区域？ 2.10 配置的离子化设备在作业过程中是否开启，及时、正确地进行了保养并有保养记录、 其离子平衡度、衰减时间等参数是否满足规范规定的要求？ 2.11 在关键工位( 如SMT、插件、焊接、维修、EDFA、光电模块等)是否配置了接地系统监 控仪并处于正常监控的状态? 2.12 是否安装离子风机、接地监控仪ESD数据采集系统并处于正常使用状态?
A
B
A
3.8 设备、仪器、工具和工装上接触静电敏感器件的部分和靠近静电敏感器件的运动部件 是否由防静电材料制成的并有良好的接地；非防静电材料部分进行了防静电处理措施，如 涂防静电液、离子化?(要求抽测摩擦电压:<100V) 3.9 生产设备上的关键部件(即直接接触静电敏感器件或与其距离小于30CM的部分)，如传 送带、传送链、导轮、SMT吸嘴等是否都是由防静电材料制成的，并有有效的接地通路？ (要求抽测摩擦电压:<100V) 3.10 CRT显示器(与静电敏感器件及组件距离小于30CM)是否进行了屏蔽及接地?(防静电工 作台上的LCD显示器是否要处理?) 3.11 现场的用电生产设备或工具是否不存在漏电现象？ 3.12 是否因设备原因导致ESD问题发生，如果是，是否有纠正措施？ 4.人员及操作 4.1 进入防静电区域的人员是否都通过了ESD知识和操作规程的培训与考核？ 4.2 防静电管理骨干人员是否接受过系统的专业ESD培训？ 4.3 所有进入防静电区域的人员是否都正确穿戴防静电工作服、帽、鞋或鞋套，没有防静 电工衣不扣纽扣、工鞋做拖鞋使用、鞋套错误穿着等现象？ 4.4 在作业现场是否没有穿、脱工作服和工鞋的现象？ 4.5 是否为作业人员配发了双回路防静电腕带，并且员工每天都按要求进行了防静电腕带 测试、人体综合电阻测试，并作了真实记录？测试不合格的是否有纠正措施记录，测试记 录每天是否都有相关负责人确认？ 4.6 现场抽检作业人员的腕带和人体综合电阻，是否结果都OK？ 4.7 员工是否没有将个人物品（如个人衣物、食品、香烟、各种塑料等）带入EPA的现象？ 4.8 工作服外部没有携带有除工卡和笔之外的塑料物件？ 4.9 在接触IC、单板、模块等静电敏感器件、组件的过程中员工是否都正确佩戴了防静电 腕带或防静电手套，坐式作业员工是否要求必须佩带防静电腕带？ 4.10 配有接地系统监控仪的工位，员工在使用腕带时是否对其接地进行了监控？ 4.11 人员是否没有将其它物体衬垫防静电椅子上方？ 4.12 人员没有将非防静电的物品(如胶带)粘贴防静电工作台/工具/设备/流水线上？ 4.13 是否对高静电敏感器件的特殊操作要求进行了文件化，并且操作人员知道具体要求？ 4.14 员工是否能方便地查阅到最新的防静电操作指导书和相关规范及相关参考资料？ 4.15 是否对进入EPA区域的外来人员进行了ESD控制和宣传？ 5.物料 5.1 是否所有静电敏感物品都进行了合理的包装防护，如供应商等静电敏感来料未进行屏 蔽时，相关部门是否拒绝接收? 5.2 静电敏感器件及组件的包装盛放是否都有明显的防静电警示标识?
ESD内审检查表范例
审核位置：重工
序 号
审核要点
1 严禁徒手接触ESD元件，是否使用抗静电真空笔或无磁性的镊子取放ESDS元件？
2 ESD元件必须被真空包装，暴露的时间是否在受控的环境中？
审核证据 审核证据
审核证据
参考文件 符合性
ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范
备注
参考文件 符合性
ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范
审核位置：QA巡检员
序 号
审核要点
1 QA巡检员是否每周一次根据ESD稽查表进行检查？
2 发现不符合ESD控制要求的行为，QA如何处理？
3 QA组长是否对提交的ESD稽查表进行了审核确认？
审核位置： ESD相关物品的购买
序 号
审核要点
1 所有和ESD有关的物品供应商有无提供符合国家标准的相关检测报告？
符合性
备注
审核位置：个人腕带的确认及ESD防护
序 号
审核要点
1
腕带使用者换班之前和中午（午夜）吃饭后是否进行腕带检测，并将检测结果记录在 《防静电手环测试记录表》中。
2 《防静电手环检测记录表》是否每天由线长或工段负责人签字审核？
3 ESD控制区作业人员是否穿戴好ESD防护衣服、防静电帽、防静电鞋？
3 在处理电路板时有无戴干净的防静电手套或指套？
4
当运送ESDS时如果使用如金属手推车一类的移动工具时，手推车有无通过拖链或导电 的脚轮接地？
5
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋、防静电帽，所有人员在接 触静电敏感材料时有无佩戴防静电手环？
6 充电物品不可接触ESD敏感元件，是否满足？
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
709 Static Sensor
操作員/修理工有佩帶靜電手帶及佩帶方法正確
目視
檢查靜電敏感工位的工作臺是否鋪靜電席 生 產 線 / IQC 靜電敏感測試夾具之最大容許電壓 靜電敏感工位操作員坐椅之最大容許電壓
目視
< 150 V < 150 V
709 Static Sensor 709 Static Sensor
ESD 評 审 報 告 表
工廠 : 日期 : 項目 內容 獨立的ESD地線與安全地線之間阻值 衰減電阻的安裝是否穩固 地 線 連接ESD地線或安全地線的接合處 ESD地線與地之間串接150k 電阻 靜電手帶內置衰減電阻 靜 電 手 帶 靜電手帶功能檢查測試 靜電手帶夾子須連接ESD地線 靜電手帶/靜電蓆檢查記錄 靜電敏感工位使用ESD SAFE 電鉻鐵 ESD SAFE 電鉻鐵串接150k 電阻與安全線連接 電 鉻 鐵 / 電 批 靜 電 蓆 接觸靜電敏感元件(如鐳射二極管)的ESD SAFE 電 鉻鐵嘴對地電壓 報表編號 : 檢查人員 : 標準 <100 無鬆脫/接觸良好 無鬆脫/無氧化/接觸良好 150K 500k ~5M 有效地連接 無鬆脫/接觸良好 清楚無遺漏 ESD專用電鉻鐵 無鬆脫/接觸良好 工具 Insulation Tester 萬用表(機械式) 目視/萬用表 萬用表(機械式) 萬用表 靜電手帶測試儀 萬用表 目視 目視 萬用表 結果 : 復核 :
標準 < 150 V < 150 V 在有效期內 接地電阻小於10 ,電壓小 於 1 V p-p 接地電阻小於10 ,電壓小 於 1V p-p
工具 709 Static Sensor 709 Static Sensor 目視 萬用表
其 他
檢查所用ESD儀器的計量檢定 檢查所有儀器及設備接地
檢查金屬積架接地狀況
< 1 V p-p
示波器 /萬用表
裝配PCB的電批串接150k 電阻與安全線連接
無鬆脫/接觸良好
萬用表
靜電蓆表面阻值 靜電蓆與ESD地線連接 員工所穿的防靜電工衣之最大容許電 壓
1x105~1x1011 無鬆脫/接觸良好
701 Test kit 萬用表
< 150 V 金屬觸片必需緊貼 佩戴者皮膚 ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ固地鋪放於臺面
盛載靜電敏感元件的容器之最大容許電壓
< 150 V 1x105~1x1011 明顯當眼位置
709 Static Sensor
生產線運輸帶表面阻值 靜電敏感區域有ESD警告標識
701 Test kit 目視
項目
內容 運送PCBA的手推車之最大容許電壓 PCB module 或 CD module 等半製成品的包裝袋之 最大容許電壓
萬用表 OK / NC 總數
結果 OK NC
結果 OK NC