多晶硅生产工艺
多晶硅生产工艺流程
多晶硅生产工艺流程
《多晶硅生产工艺流程》
多晶硅是一种常见的半导体材料，广泛应用于光伏发电、集成电路和光电器件等领域。
多晶硅的生产工艺流程主要包括石英矿石提炼、气相法制备、液相法制备和晶体生长等几个主要步骤。
首先，石英矿石提炼是多晶硅生产工艺的第一步。
石英矿石是多晶硅的原料，通过石英矿石提炼可以得到高纯度的二氧化硅。
高纯度的二氧化硅是制备多晶硅的重要原料，其纯度和质量对多晶硅的品质有着重要影响。
接下来是气相法制备。
气相法制备多晶硅是目前最常用的生产工艺之一。
该工艺利用氯化硅和氢气作为原料，在高温炉中反应生成三氯化硅，再通过还原反应得到多晶硅。
在这一过程中，要控制好温度、压力和气相成分等参数，以确保多晶硅的纯度和晶体结构的良好性能。
除了气相法制备外，液相法制备也是一种常见的多晶硅生产工艺。
液相法制备多晶硅是利用高纯度的硅溶液，在特定条件下结晶成多晶硅体。
这种工艺比气相法更容易控制晶体形貌和性能，但也需要严格控制各种条件参数，以确保多晶硅的品质。
最后一步是晶体生长。
多晶硅晶体生长是制备高纯度、大尺寸多晶硅的关键步骤。
通过合理设计工艺和设备，控制晶体生长速率和结晶方向，可以获得高质量的多晶硅晶体。
总的来说，多晶硅的生产工艺流程包括石英矿石提炼、气相法制备、液相法制备和晶体生长等几个主要步骤。
通过合理控制工艺参数和采用高质量的原料，可以获得高纯度、优质的多晶硅产品，满足不同领域的应用需求。
多晶硅生产工艺
多晶硅生产工艺多晶硅是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子、光伏等领域。
多晶硅的生产过程主要包括硅矿原料的提取和净化、硅的还原和晶体生长、硅棒的切割和制片等环节。
首先，硅矿原料的提取和净化是多晶硅生产的第一步。
多晶硅的主要原料是石英矿石，常见的有石英、石英砂等。
首先，将硅矿矿石进行破碎，得到较小的石英颗粒。
然后，通过重力分选、磁选等方法去除其中的杂质，提高石英的纯度。
此外，还可以通过化学法进行浸出、溶解等处理，进一步提纯石英。
接下来，是硅的还原和晶体生长过程。
净化后的石英颗粒与碳粉（还原剂）一起放入电炉，通过高温还原反应得到多晶硅。
在高温下，碳粉与石英颗粒反应生成一氧化碳和二氧化硅，其中一氧化碳还原过程中生成的硅蒸气会在冷却的条件下凝结成硅颗粒。
这些硅颗粒会逐渐堆积成多晶硅块，即锭。
在晶体生长过程中，会使用锭来制备硅棒。
首先，锭经过淬火处理，使硅颗粒的结构更加致密。
然后，将锭放入石英坩埚中，在高温下进行熔化。
通过控制温度梯度和坩埚的旋转速度，使熔融的硅颗粒在坩埚内缓慢生长。
这个过程通常称为Czochralski法生长。
最后，是硅棒的切割和制片。
通过机械切割或者电火花切割等方法，将硅棒切割成合适的长度。
然后，将切割后的硅棒进行表面处理，去除表面的氧化层。
最后，将硅棒切割成合适厚度的硅片，用于电子器件的制造。
总的来说，多晶硅生产工艺主要包括硅矿原料的提取和净化、硅的还原和晶体生长、硅棒的切割和制片等几个阶段。
该工艺需要高温条件并且对控制温度、压力、纯度等都有一定的要求。
多晶硅的生产工艺在不断改进中，以提高产能和降低成本，为多晶硅的广泛应用提供更好的支持。
多晶硅片生产工艺介绍
多晶硅片生产工艺介绍1.原料准备多晶硅片的制备主要以硅矿为原料。
硅矿是一种含有较高纯度的二氧化硅的矿石，通常采用开采和浙江两个方法。
开采是通过挖掘硅矿矿体，然后将其破碎成较小的块状。
济洪则是通过化学反应将二氧化硅从硅酸钠溶液中析出。
2.熔炼将多晶硅片的原料，即硅矿通过高温熔炼的方式得到多晶硅。
这个过程通过将硅矿与炭混合在一起，并加入熔剂（如氯化铝或氯化钠）进行反应，从而产生气相SiCl4、然后，将SiCl4通过沉淀反应与氢气反应得到纯的多晶硅。
3.铸造将熔融的多晶硅倒入铸模中，并冷却硬化形成多晶硅的块状。
通常使用的铸模是由石墨制成的，具有良好的热传导性和耐高温特性。
在铸造过程中，多晶硅的结晶体会固化并生成晶界，形成多晶硅。
4.切割经过铸造得到的多晶硅块需要进一步切割成薄片，即多晶硅片。
切割方法通常使用线切割或磨削切割两种。
线切割是通过将钢丝用电流加热，然后通过刀片的压力将多晶硅切割成薄片。
磨削切割则是使用砂轮将多晶硅块磨削成薄片。
5.切割后处理切割得到的多晶硅片通常会经过一系列的后处理工艺。
这些工艺包括腐蚀、取样、清洗等。
腐蚀是为了去除硅片表面的杂质和缺陷，以提高硅片的品质。
取样是为了检测硅片的纯度和晶格结构。
清洗是为了去除硅片表面的油污和杂质。
6.晶圆制备切割得到的多晶硅片通常会通过研磨和抛光等工艺来制备晶圆。
研磨是通过使用磨蚀液和砂纸将硅片的表面进行研磨，从而达到平坦度和光洁度的要求。
抛光则是通过使用化学溶液和机械装置将硅片表面进行抛光，以使其表面变得更加平整和光滑。
7.器件制备晶圆制备完成后，可以通过一系列工艺步骤来制备具体的硅器件。
这些工艺步骤包括光刻、沉积、蚀刻、离子注入、金属化等。
光刻是使用光刻胶和光影系统将图案投影到晶圆上，从而形成所需的结构。
沉积是将材料沉积在晶圆上，通常使用的方法有化学气相沉积、物理气相沉积和溅射法等。
蚀刻是通过将特定的化学溶液或气体与晶圆表面反应，来去除不需要的材料。
多晶硅生产工艺流程
多晶硅生产工艺流程1.原料准备：多晶硅的主要原料是二氧化硅（SiO2）。
二氧化硅可以通过石英砂的氧化或由硅酸盐矿石提取得到。
在这一阶段，原料经过破碎和乳磨处理，使其达到所需的颗粒度和纯度要求。
2.冶炼：原料经过冶炼处理，通常采用电弧炉。
将原料装入电弧炉中，电极产生电弧，在高温下使原料中的二氧化硅还原为Si元素。
此时，通过调节电弧能量和保护气氛，可以控制冶炼过程中硅的还原率和杂质含量。
3. 晶体生长：冶炼得到的熔体在结晶炉中逐渐冷却形成固态晶体。
晶体生长通常分为凝固和维持两个阶段。
在凝固阶段，通过从熔体中引出硅棒（seed rod）开始结晶。
维持阶段是为了确保晶体的一致性和品质，稳定恒温和恒噪声的条件。
4.修整和截切：生长得到的多晶硅棒经过修整和截切。
修整是将棒顶部和侧面修整成规定的形状和尺寸。
截切是将棒切割成整块多晶硅圆片，供下一步加工使用。
5.加工：截切得到的多晶硅圆片经过机械加工和化学加工，准备成为太阳能电池片的衬底材料。
机械加工包括剪切、研磨和抛光，以去除表面缺陷和提高光学性能。
化学加工则是通过腐蚀和蚀刻来改善表面质量和减少电阻。
6.染色：在加工完成后，多晶硅圆片表面通常会进行染色。
染色是为了增加表面的光吸收能力，提高太阳能电池的光电转换效率。
常见的染色方法有浸渍染色和蘸涂染色。
7.电池芯片制造：染色后的多晶硅圆片经过腐蚀和清洗，然后通过光刻、扩散、沟槽加工等步骤，制备成太阳能电池芯片。
光刻是指用光刻胶进行图案制作，并以光为媒介进行刻蚀或扩散。
扩散是为了向硅片中掺入杂质，形成p型和n型硅层，形成p-n结，并在结界面形成能提高光电转换效率的电场。
8.封装和测试：电池芯片完成后，进行封装和测试。
封装是将电池芯片与电路连接、封装成太阳能电池模组。
测试是通过电流-电压曲线、光谱响应和效率测量等方法，对太阳能电池进行性能评估和质量控制。
以上是多晶硅生产的基本流程。
不同工厂和生产线可能会有一些细微的差别和特殊要求。
多晶硅的生产工艺及研究
多晶硅的生产工艺及研究1.引言多晶硅是一种重要的半导体材料，广泛应用于太阳能电池、集成电路和微电子设备中。
它具有较高的电导率和热导率，因此在能源转换和电子器件方面具有巨大的应用潜力。
本文将介绍多晶硅的生产工艺及相关研究。
2.多晶硅的制备方法多晶硅的制备方法通常包括以下几个步骤：2.1原料制备：将硅砂经过粉碎、筛分和洗涤等处理，得到纯度较高的硅粉。
2.2单晶硅的生长：将硅粉在高温环境下进行还原反应，得到单晶硅块。
2.3多晶硅的制备：将单晶硅块经过熔化、晶化和切割等处理，得到多晶硅块。
2.4多晶硅片的制备：将多晶硅块经过切割、抛光和清洗等处理，得到多晶硅片。
3.多晶硅的电化学沉积法电化学沉积法是一种制备多晶硅的重要方法。
它利用电解质中的离子进行电极反应，沉积出多晶硅薄膜或纳米颗粒。
该方法具有简单、可控性强和成本低等优点，广泛应用于太阳能电池和微电子器件中。
4.多晶硅的激光熔化法激光熔化法是一种利用激光高能量密度对硅材料进行局部熔化和凝固的方法。
该方法可以获得高纯度、低缺陷的多晶硅薄膜，并具有较高的结晶度和电学性能。
该方法广泛应用于太阳能电池的制备中。
5.多晶硅的晶体生长技术多晶硅的晶体生长技术是一种通过控制晶界生长来提高多晶硅的结晶质量和电学性能的方法。
该技术包括定向凝固法、温度梯度法和溶液热法等。
这些方法通过调节温度梯度和晶体生长速度等参数，可以获得较大晶界能量和较高的晶界能垂直度，从而提高多晶硅的结晶质量和电学性能。
6.多晶硅的表面处理技术多晶硅的表面处理技术是一种通过改变表面形貌和化学性质来改善多晶硅的光吸收性能和光电转换效率的方法。
常用的表面处理技术包括湿法刻蚀、化学气相沉积和表面涂覆等。
这些技术可以形成纳米结构、提高表面反射率和降低表面缺陷密度，从而提高多晶硅的光吸收性能和光电转换效率。
7.多晶硅的尺寸效应研究多晶硅的尺寸效应研究是一种通过调控多晶硅的尺寸和形貌来改善其电学性能和光电转换效率的方法。
多晶硅生产工艺
多晶硅生产工艺多晶硅是一种高纯度的硅材料，广泛应用于电子、光电和太阳能等领域。
多晶硅的制备工艺主要包括净化硅材料、化学气相沉积和熔融法等。
本文将从多晶硅生产的三个关键步骤入手，详细介绍多晶硅的生产工艺。
一、净化硅材料多晶硅的生产基础是高纯度硅材料，一般采用电石法或硅锭法生产。
在电石法中，石油焦、白炭黑等原料经高温炉处理生成硅单质，再通过进一步的加热处理和气相冷却得到高纯度的硅粉末。
硅锭法是利用单晶硅作为原料，通过高温熔化并在特殊条件下生长出大型晶体锭。
这两种方法都需要对产生的硅材料进行净化处理，以获得较高的纯度。
在净化过程中，首先需要通过化学方法除去硅杂质，例如氧化物、碳和氮等。
一般采用氢氧化钠或氢氧化铝作为碱性还原剂，使硅材料与还原剂反应生成挥发性化合物的气体，通过气体与净化剂的反应使杂质得到去除。
其次，通过热处理和气相冷却等方法去除非金属杂质，例如碳、氧、氮、铁、铝等。
最后，通过电石法或硅锭法制备出较高纯度的硅粉或硅锭，成为制备多晶硅的基础原料。
二、化学气相沉积法化学气相沉积法是多晶硅生产的主要方法之一。
其基本原理是利用硅化合物热分解生成硅单质并在沉积基底上生长晶体。
一般采用氯硅烷、氯化硅、三氯硅烷等硅化合物作为原料气体，通过加热至高温（1000-1400℃）使硅化合物分解，生成氯离子和硅单质原子。
硅单质原子进一步在沉积基底上生长成为多晶硅晶体。
在化学气相沉积法中，氯化氢和二氧化硅等气体通入反应器内，使反应器内维持一定的反应压力（约5-10kPa），并保证反应器内气氛处于还原条件下。
在材料沉积过程中，需要控制反应器的温度、反应气压和气体流量等参数，以使沉积层的粗细、取向和晶界质量达到理想状态。
三、熔融法熔融法是多晶硅生产的另一种常用方法。
其主要流程是将高纯度硅材料加热至熔化状态，然后在特定条件下进行成型和冷却。
其中的关键步骤包括炼铝电池法、湖式法和化学熔融法等。
炼铝电池法是将硅粉末加入熔融的铝中，在高温高压下反应生成硅铝合金，然后通过冷却、破碎等过程，得到晶粒尺寸较小的多晶硅。
多晶硅生产工艺流程(3篇)
第1篇一、引言多晶硅是光伏产业和半导体产业的重要原材料，广泛应用于太阳能电池、太阳能热利用、半导体器件等领域。
随着新能源产业的快速发展，对多晶硅的需求量日益增加。
本文将详细介绍多晶硅的生产工艺流程，旨在为相关企业和研究人员提供参考。
二、多晶硅生产工艺流程概述多晶硅的生产工艺流程主要包括以下几个阶段：原料处理、还原反应、熔融提纯、铸造、切割、清洗、包装等。
三、多晶硅生产工艺流程详解1. 原料处理多晶硅的生产原料主要是冶金级硅（Si），其含量在98%以上。
首先，将冶金级硅进行破碎、研磨等处理，使其达到一定的粒度要求。
2. 还原反应还原反应是多晶硅生产的关键环节，其主要目的是将冶金级硅中的杂质去除，得到高纯度的多晶硅。
还原反应分为以下几个步骤：（1）将处理后的冶金级硅加入还原炉中。
（2）在还原炉中通入还原剂，如碳、氢气等，与冶金级硅发生还原反应。
（3）在还原过程中，炉内温度保持在约1100℃左右，反应时间为几小时至几十小时。
（4）反应结束后，将还原炉内的物料进行冷却、破碎、研磨等处理。
3. 熔融提纯还原反应得到的粗多晶硅中仍含有一定的杂质，需要通过熔融提纯的方法进一步去除。
熔融提纯主要包括以下几个步骤：（1）将粗多晶硅加入熔融炉中。
（2）在熔融炉中通入提纯剂，如氢气、氯气等，与粗多晶硅发生反应，生成挥发性杂质。
（3）将挥发性杂质通过炉顶排气系统排出，实现提纯。
（4）提纯结束后，将熔融炉内的物料进行冷却、破碎、研磨等处理。
4. 铸造将提纯后的多晶硅熔体倒入铸造炉中，进行铸造。
铸造过程主要包括以下几个步骤：（1）将熔融的多晶硅倒入铸锭模具中。
（2）在铸锭模具中通入冷却水，使多晶硅迅速凝固。
（3）待多晶硅凝固后，将铸锭模具从熔融炉中取出，得到多晶硅铸锭。
5. 切割将多晶硅铸锭切割成所需尺寸的硅片。
切割过程主要包括以下几个步骤：（1）将多晶硅铸锭放置在切割机上。
（2）在切割机上安装切割刀片，将多晶硅铸锭切割成硅片。
多晶硅生产工艺
多晶硅生产工艺多晶硅是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子、光伏等领域。
它具有良好的导电性和光学性能，成为了现代科技领域的重要材料之一。
多晶硅的生产工艺是多段复杂的过程，下面将对其生产工艺进行详细介绍。
多晶硅的生产工艺可以分为熔炼、提纯和生长三个主要步骤。
首先是熔炼阶段，也被称为硅材料制备阶段。
在该阶段，将高纯度的硅原料与一定比例的草酸和氯化氢溶解在相应的溶剂中，经过混合、搅拌和过滤等工艺处理后，得到硅原料混合液。
然后将混合液加热至高温，使其熔融成为硅液。
硅液通过特殊的冷却方式，形成固态硅块，即硅锭。
接下来是提纯阶段。
硅锭虽然已经形成，但其中仍然包含着杂质元素，必须进行进一步的提纯。
提纯是为了降低杂质含量，提高硅材料的纯度。
提纯工艺主要包括气相法、液相法和固相法等。
其中，气相法是最常用的提纯方法。
在气相法中，通过将硅锭放入反应炉中，利用氢气将硅锭表面的氧化硅还原为气态氧化硅，然后再通过冷凝和净化等工艺，将气态氧化硅转化为高纯度的气态硅。
这样就可以获得高纯度的硅材料。
最后是生长阶段。
生长是将高纯度的硅材料制备成多晶硅晶体的过程。
生长工艺主要有Czochralski法和漂移法两种方法。
Czochralski法是较为常用的生长方法。
在Czochralski法中，通过将高纯度的硅材料放入石英坩埚中，加热后形成熔融的硅液。
然后将从石英坩埚中拉出的单晶硅丝与旋转的种子晶体接触，通过旋转与拉扯的方式，将硅液逐渐凝固成为多晶硅晶体。
漂移法则是通过控制熔融硅液中的温度梯度和控制气氛中的杂质浓度来实现多晶硅的生长。
综上所述，多晶硅的生产工艺是一个复杂而严谨的过程。
通过熔炼、提纯和生长三个主要步骤，将原材料转化为高纯度的多晶硅晶体。
这些高纯度的多晶硅晶体能够广泛应用于电子、光伏等领域，推动了现代科技的发展。
多晶硅的生产工艺在不断改进和创新，为提高多晶硅质量和产量起到了重要作用。
多晶硅制作工艺流程
多晶硅制作工艺流程
多晶硅的制备工艺主要包括多晶硅原料的制备、氯化还原法和硅热法
制备多晶硅两种主要工艺流程。
多晶硅制备工艺的第一步是原料的制备。
常用的多晶硅原料有硅矿石、金属硅等。
硅矿石是一种含有高纯度二氧化硅的矿石，通过富集和提纯可
以制备出多晶硅。
金属硅是通过化学还原法将二氧化硅直接还原得到的。
第二步是氯化还原法制备多晶硅。
这种方法利用三氯化硅（SiCl3）
作为中间产物，由氢气还原得到多晶硅。
具体流程如下：
（1）将原料硅矿石破碎、研磨成一定粒度的颗粒；
（2）将硅矿石与氢气在矿炉内进行反应生成氯化硅；
（3）将氯化硅与氢气在还原炉内进行反应，得到多晶硅和氯化氢。
氯化还原法制备多晶硅的优点是工艺相对简单，生产周期短，但由于
使用氯化氢等有毒气体，对环境污染较严重。
第三步是硅热法制备多晶硅。
这种方法用纯度较高的二氧化硅与金属
硅在高温下进行反应，得到多晶硅。
具体流程如下：
（1）将二氧化硅和金属硅混合均匀；
（2）将混合物放入反应炉内，在高温下进行反应；
（3）将反应后的产物进行冷却处理，得到多晶硅。
硅热法制备多晶硅的优点是生产过程中无需使用有毒气体，对环境污
染相对较少。
但工艺相对复杂，生产周期较长。
以上是多晶硅制备的两种主要工艺流程。
在实际生产中，根据企业的需求，可以选择其中一种或两种工艺进行制备。
此外，为了提高多晶硅的纯度和晶体结构，还可以通过后续的熔融、浮选、凝固等工艺步骤进行进一步的提纯和改善晶体质量。
多晶硅生产工艺和反应原理
多晶硅生产工艺和反应原理多晶硅是一种用于制造太阳能电池板的关键材料。
其制备工艺涉及多个步骤和反应原理。
多晶硅的生产工艺可以概括为以下几个主要步骤：1. 原料准备：多晶硅的主要原料是冶炼硅、矽酸钠和氢氯酸等。
这些原料在制备过程中需要进行精确的配比，以确保最终产品的质量和效能。
2. 冶炼硅的制备：首先，将原料中的冶炼硅与氢氧化钠进行反应，生成硅酸钠溶液。
然后，在高温下将溶液与电解质反应，从中析出粗硅。
这个过程主要是通过液相冶炼和电解两个步骤来完成的。
3. 精炼多晶硅：将粗硅放入电炉中，并在控制温度和环境的条件下进行加热。
通过向炉内加入能与杂质反应的物质（如氯化氢），可以将杂质从硅中去除。
这个过程被称为精炼，其目的是提高多晶硅的纯度。
4. 抽拉和切割：经过精炼的多晶硅会以一定的比例被抽拉成圆柱形的晶棒。
这个晶棒通常被切割成薄片，用于制造太阳能电池板。
切割过程需要高精确度的设备和操作，以确保最终产品的品质。
在多晶硅生产过程中，存在多个反应原理的作用：1. 溶液反应：冶炼硅与氢氧化钠反应形成硅酸钠溶液，这个反应产生了大量的热量。
同时，在高温下进行的电解质反应中，硅酸钠溶液被分解为纯硅和氢氧化钠，从而促使多晶硅的形成。
2. 杂质去除反应：在精炼多晶硅的过程中，通过向电炉中加入氯化氢等物质，可以与多晶硅中的杂质发生反应。
这些杂质会以气体或液体的形式被移出，从而提高多晶硅的纯度。
3. 抽拉和切割反应：在多晶硅被抽拉和切割的过程中，需要使用高精确度的设备和工艺控制，以确保晶棒和切片的质量。
这个过程主要是机械物理反应，通过切割工具对多晶硅进行切割和加工。
总而言之，多晶硅的生产工艺涉及多个步骤和反应原理。
从原料准备、冶炼、精炼到抽拉和切割，每一步骤都是为了提高多晶硅的纯度和形状，以满足太阳能电池板制造的要求。
通过控制反应条件和使用精确的设备，可以实现高质量的多晶硅生产。
多晶硅是一种非常重要的材料，广泛应用于太阳能电池板的制造。
多晶硅工艺生产技术概述
多晶硅工艺生产技术概述多晶硅（Polycrystalline silicon，简称Poly-Si）是一种用于太阳能电池、集成电路等领域的重要材料，其制备工艺主要包括气相沉积法和自然气化法两种。
以下是对多晶硅工艺生产技术的概述。
气相沉积法是多晶硅的主要制备方法之一、该方法通过将硅源气体（通常是三氯化硅或硅氢化合物）与载气（通常是氢气）在高温下反应，使得硅在基片上沉积并形成多晶硅薄膜。
具体工艺流程如下：1.基片准备：选用高纯度的硅片作为基片，将其表面进行清洗和处理，以确保多晶硅的质量和纯度。
2.基片预处理：将基片放置在预处理炉中，进行预热处理，以去除背面的化学草胎和金属杂质。
3.多晶硅沉积：将预处理后的基片放置在反应炉中，与硅源气体和载气进行反应。
在高温下，硅源气体分解生成硅原子，然后在基片上沉积形成多晶硅薄膜。
同时，通过控制反应温度、气体流量和压力等参数，可以控制多晶硅薄膜的形貌和性质。
4.多晶硅退火：对沉积的多晶硅薄膜进行退火处理，以去除内部应力和晶界缺陷，提高材料的结晶度和电子迁移率。
5.薄膜处理：对退火后的多晶硅薄膜进行磨削和抛光处理，使其达到所需的厚度和光洁度。
通过气相沉积法制备的多晶硅具有较高的纯度和电子迁移率，适用于制备高性能的太阳能电池、集成电路等器件。
另一种多晶硅的制备方法是自然气化法。
该方法利用金属硅与氢气在高温下反应生成氯化硅和硅，然后经过凝结和化学纯化等步骤得到多晶硅。
具体工艺流程如下：1.原料处理：将金属硅进行粉碎和清洗处理，以去除杂质和氧化物。
2.反应：将处理后的金属硅与氢气在高温下反应，生成氯化硅和硅。
3.凝结：通过控制反应温度和压力，使得氯化硅在凝固器中凝结成固体。
4.纯化：对凝结的氯化硅进行化学方法或物理方法的纯化，去除杂质和杂质。
5.氯化还原：将纯化后的氯化硅与金属硅在高温下反应，还原生成多晶硅。
6.处理：对得到的多晶硅进行处理，以去除残留的气体和杂质。
通过自然气化法制备的多晶硅在纯度和性能上可以达到较高水平，适用于大规模工业生产，并且具有较低的成本。
多晶硅生产工艺
多晶硅生产工艺1，改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。
国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。
2，硅烷法——硅烷热分解法硅烷（SiH4）是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法制取。
然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。
以前只有日本小松掌握此技术，由于发生过严重的爆炸事故后，没有继续扩大生产。
但美国Asimi和SGS公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高的电子级多晶硅产品。
3，流化床法以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内（沸腾床）高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。
制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅产品。
因为在流化床反应炉内参与反应的硅表面积大，生产效率高，电耗低与成本低，适用于大规模生产太阳能级多晶硅。
唯一的缺点是安全性差，危险性大。
其次是产品纯度不高，但基本能满足太阳能电池生产的使用。
此法是美国联合碳化合物公司早年研究的工艺技术。
目前世界上只有美国MEMC公司采用此法生产粒状多晶硅。
此法比较适合生产价廉的太阳能级多晶硅。
4，太阳能级多晶硅新工艺技术除了上述改良西门子法、硅烷热分解法、流化床反应炉法三种方法生产电子级与太阳能级多晶硅以外，还涌现出几种专门生产太阳能级多晶硅新工艺技术。
1）冶金法生产太阳能级多晶硅据资料报导[1]日本川崎制铁公司采用冶金法制得的多晶硅已在世界上最大的太阳能电池厂（SHARP公司）应用，现已形成800吨/年的生产能力，全量供给SHARP公司。
主要工艺是：选择纯度较好的工业硅（即冶金硅）进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分，经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中去除磷和碳杂质，直接生成太阳能级多晶硅。
多晶硅生产工艺流程
多晶硅生产工艺流程多晶硅（Polysilicon）是半导体材料中最重要的原料之一，广泛应用于太阳能电池、集成电路芯片等领域。
多晶硅的生产是一个复杂的过程，通常包括原料准备、熔炼、纯化、成型等多个环节。
首先，原料准备是多晶硅生产的第一步。
多晶硅的主要原料是二氧化硅（SiO2），常见的来源有矿石矿石石英石（石英砂）、电子级硅等。
其中石英石是最常用的原料之一，它经过破碎、磨粉等工艺处理后，得到细粉状物料，用于后续生产。
接下来是熔炼环节。
熔炼是将原料中的硅元素提取出来并形成多晶硅的过程。
一般采用的熔炼方法有电阻炉法和化学气相沉积法。
在电阻炉法中，将原料物料和还原剂（通常是木炭或硅铁）放入电阻炉中，通过电能加热使其熔化。
在熔化过程中，还原剂将二氧化硅还原成硅，然后硅在熔融状态下凝结形成多晶硅。
而化学气相沉积法则是将升华的硅气体通过化学反应沉积在移动的硅棒上，形成多晶硅。
然后是纯化环节。
熔炼后的多晶硅中还含有杂质如B、P、Fe、Al等，需要通过纯化工艺去除。
一般采用的纯化方法有溶剂萃取法、氢气冲洗法等。
在溶剂萃取法中，通过在多晶硅中加入溶剂如氢氧化钾，将杂质与溶剂发生反应并沉淀，然后采用离心分离、洗涤等步骤将纯净的多晶硅分离出来。
而氢气冲洗法则是将多晶硅浸泡在高温下的氢气中，通过氢气的还原作用，使多晶硅中的杂质氧化为气体或进行溶解，从而提高多晶硅的纯度。
最后是成型环节。
纯化后的多晶硅需要以某种形式进行成型，以便投入生产。
常见的成型方法有拉单晶法和铸多晶法。
在拉单晶法中，通过将纯化后的多晶硅棒放入拉单晶设备中，通过下拉和旋转操作将多晶硅棒拉长成单晶硅棒。
而铸多晶法则是将纯化后的多晶硅溶液倒入铸锭槽中，在逐渐冷却的过程中形成多晶硅铸锭。
综上所述，多晶硅的生产工艺涉及原料准备、熔炼、纯化和成型等多个环节。
通过这些步骤，可以生产出高纯度、适用于太阳能电池、集成电路等应用的多晶硅材料。
多晶硅生产工艺
多晶硅生产工艺
多晶硅生产工艺是制造多晶硅材料的过程。
具体工艺步骤
如下：
1. 原料准备：将硅粉和酸洗的硅块混合，得到硅料。
硅粉
是由高纯度的硅矿石经过破碎、磨粉等处理得到的。
2. 熔炼：将硅料放入炉子中，在高温下熔化成液态。
通常
使用电炉或石英炉进行熔炼。
3. 晶种制备：从熔融硅液中选取一小块晶种（单结晶硅），并将其放入蓄能炉中进行预热。
4. 晶体生长：将预热好的晶种通过轻轻放入熔融硅液中，
使用拉升技术（如 CZ法、FZ法、MCZ法等）使硅液凝固并逐渐形成多晶硅棒。
5. 切割硅棒：多晶硅棒在成长后被切割成合适的长度，通常使用钢丝锯或切割盘进行切割。
6. 清洗和加工：切割后的多晶硅棒经过酸洗、去包膜和其他清洁过程，然后进行表面处理和探伤。
最后，可以进行切片、多晶硅片的制备和其它加工工艺。
以上是多晶硅生产的一般工艺流程，不同的生产厂家和技术可能会有一些差异。
多晶硅的生产工艺及设备
多晶硅的生产工艺及设备
多晶硅，又称为多晶硅材料，是一种半导体材料，主要用于制造太阳能电池、集成电路、液晶显示器等电子产品。
多晶硅的生产工艺及设备是制造多晶硅材料的重要过程，下面将介绍多晶硅的生产工艺及设备。
多晶硅的生产工艺主要包括三个步骤：硅粉制备、多晶硅生长和多晶硅切片。
硅粉制备是将高纯度硅块研磨成微米至毫米级的细粉末，并按照一定比例与电子级氢气混合。
多晶硅生长是将氢化硅气体在高温高压的条件下沉积在硅衬底上，形成多晶硅晶粒。
多晶硅切片是将多晶硅晶块进行机械或化学切割，制成薄片，用于制造太阳能电池、集成电路、液晶显示器等电子产品。
多晶硅的生产设备包括硅粉制备设备、多晶硅生长设备和多晶硅切片设备。
硅粉制备设备主要有球磨机、振动磨机、风力磨机等，用于将高纯度硅块研磨成硅粉。
多晶硅生长设备主要有气相沉积设备、区熔设备、退火设备等，用于将氢化硅气体沉积在硅衬底上，形成多晶硅晶粒。
多晶硅切片设备主要有机械切割机、钻床、拉磨机等，用于将多晶硅晶块切割成薄片。
总之，多晶硅的生产工艺及设备是制造多晶硅材料的重要过程，其质量和效率决定了多晶硅材料的品质和成本。
随着技术的不断发展，多晶硅的生产工艺及设备也在不断创新和提升，以满足电子产品对多晶硅材料的需求。
- 1 -。
多晶硅的生产工艺
多晶硅的生产工艺
多晶硅的生产工艺大致分为两种：电弧炉法和硅烷法。
1. 电弧炉法：首先将高纯度的二氧化硅粉末和碳粉按一定比例混合，然后将混合物放入电弧炉中进行加热，通过电弧的高温作用，使混合物在炉内发生化学反应，生成多晶硅。
这种方法生产出的多晶硅质量较好，但对设备和能源的要求较高。
2. 硅烷法：将氯硅烷和氢气在高温下反应，生成多晶硅。
这种方法需要少量的能源和设备，生产效率高，但多晶硅质量较差，需要进行后续的精制处理。
无论是哪种生产工艺，多晶硅都需要经过精细处理，以达到高纯度和合格的晶体结构。
这个工艺流程非常复杂，具体包括原料装配、气体净化、熔炼晶化、加热冷却、剥离、切割等环节。
最后通过各种检测手段对多晶硅产品进行严格检测，确保其能够满足各种应用领域的要求。
多晶硅生产工艺流程(精心汇编)
多晶硅生产工艺流程（精心汇编）
多晶硅生产工艺流程包括原料处理、熔融淬火、精细加工、表面处理四个主要工艺步骤，以下分别介绍各个步骤：
一、原料处理：原料处理包括石英料和硅油的混合，这两种原料需要分别进行粉碎实验，确保大小粒度符合标准，其次将石英料和硅油混合成膏状，添加调节物质，以调节膏体粘度；最后将混合后的原料膏状材料压入特殊的铸模中，加热，冷却，成型。
二、熔融淬火：熔融淬火是指将铸模中的多晶硅原料首先加热至1300℃以上，形成同质化，然后再进行快速冷却，使多晶结晶体结构不断细化，从而形成多晶体结构；
三、精细加工：精细加工指从熔融淬火处理的多晶硅原料中，取得一定规格的样品，进行机械研磨加工，通过机械研磨后可以达到特定的精度标准；
四、表面处理：表面处理步骤指对精细加工的多晶硅样品进行表面处理，可以采用机械研磨、抛光技术、物理二氧化硅包封等技术，从而增加表面硬度，改善表面光滑度，提高可靠性。
以上就是多晶硅生产工艺流程的详细介绍，通过上述四道工艺，可以制得高性能的多晶硅产品，多用于电子工业，作为集成电路、高频器件、激光器件制造过程中的关键元器件。
多晶硅的生产工艺
多晶硅的生产工艺多晶硅是一种重要的半导体材料，广泛应用于光伏电池和集成电路等领域。
多晶硅的生产工艺包括硅矿石提取、硅块制备、硅片切割和晶体生长，下面将对其详细进行介绍。
多晶硅的生产工艺首先是硅矿石提取。
硅矿石主要包括二氧化硅、二氧化硅含量高达99%以上的化合物。
硅矿石通常采用地下或露天矿石矿井开采，经过碾磨和浮选等过程提取出硅矿石。
然后进行硅块制备，硅矿石被送入冶炼炉进行高温还原，将硅矿石中的杂质去除，得到纯度较高的冶金硅。
然后将冶金硅通过电解炉进行电解，得到高纯度的多晶硅液体。
多晶硅液体被倒入棚式炉中，经过冷却形成硅块。
接下来是硅片切割，在硅块表面涂覆一层液态脱氧剂，并通过一系列工艺处理，使硅块的形状变得更加规则。
然后将硅块切割成薄片，切成所需的硅片尺寸。
最后是晶体生长，将切割好的硅片放入石英炉中，在特定的温度和气氛下进行晶体生长。
晶体生长的过程中，硅片逐渐形成多晶硅结晶体，晶体生长速度和温度、压力、气氛等参数有关。
晶体生长完成后，通过切割和打磨等工艺得到所需的多晶硅片。
多晶硅的生产工艺需要高温、高压和专业设备进行。
其具体工艺参数和流程可以根据不同的生产要求进行调整。
多晶硅的质量和纯度对于后续的制造工艺和产品性能有着重要影响，因此在生产过程中需要严格控制工艺参数和质量检测。
总结起来，多晶硅的生产工艺包括硅矿石提取、硅块制备、硅片切割和晶体生长等步骤。
这些步骤需要高温、高压和专业设备进行，并且需要严格控制工艺参数和质量检测。
多晶硅的生产工艺对于多晶硅的质量和纯度有着重要影响，对于提高多晶硅的制造工艺和产品性能至关重要。
多晶硅研究系列1多晶硅的三大生产工艺之比较
多晶硅研究系列1多晶硅的三大生产工艺之比较多晶硅是一种重要的半导体材料，广泛应用于太阳能电池、集成电路和半导体器件等领域。
多晶硅的生产工艺有多种，本文将对三种常见的多晶硅生产工艺进行比较：高温法、低温法和自制法。
1.高温法高温法是传统的多晶硅生产工艺，也是最常用的方法之一、该工艺主要通过将硅源在高温下蒸发，然后在冷却过程中形成多晶硅。
高温法生产的多晶硅晶粒较大，结晶度较高，电特性稳定。
然而，高温法存在一些缺点。
首先，生产过程中需要提供高温条件，能源消耗较高。
其次，因为晶粒较大，片内杂质和缺陷的数量也较大，使得多晶硅的电子性能较差。
此外，高温法生产效率低，周期长，不适用于大规模生产。
2.低温法低温法的特点是在相对较低的温度和压力下进行，主要包括物理气相沉积（PECVD）、化学气相沉积（CVD）和液体硅溶胶法等。
这些方法可以在较短的时间内生长出大量的多晶硅，并能控制晶粒大小和分布。
低温法的优点是生产效率高、周期短、能耗低。
此外，多晶硅的电子性能也相对较好，因为晶粒较小，有助于减少杂质缺陷的数量。
然而，低温法生产的多晶硅晶体结构较弱，容易受到应力和温度的影响，导致电子性能不稳定。
3.自制法自制法是一种新兴的多晶硅生产工艺，也被称为“工艺革新法”。
该方法主要通过改变常规的多晶硅生长条件和工艺参数，控制硅源的温度、压力和淬火速率等，以获得优质的多晶硅。
自制法的最大优点是可以在较低温度和压力下生产高质量的多晶硅，同时减少能源消耗。
与高温法和低温法相比，自制法生产的多晶硅晶粒更为均匀，功率因数更高，电特性更稳定。
此外，自制法能够实现多晶硅的定量生产，满足大规模应用的需求。
综上所述，不同的多晶硅生产工艺各有优缺点。
高温法是传统的生产方法，易于操作，但能耗较高，电特性较差；低温法生产效率高，能耗低，电特性较好，但晶体结构较弱；自制法是新兴的工艺革新方法，能够在较低温度和压力下生产高质量的多晶硅，电特性更稳定。
在实际生产中，可以根据具体需求选择适合的多晶硅生产工艺。
多晶硅生产工艺流程
多晶硅生产工艺流程多晶硅是一种产业用途广泛的材料，主要用于光伏太阳能电池板和半导体器件的制造。
多晶硅生产工艺流程包括硅矿选矿、冶炼、提纯和铸锭过程。
以下是多晶硅的生产工艺流程的详细介绍。
1.硅矿选矿多晶硅的原材料主要是含有二氧化硅的硅矿石，如石英砂、硅石等。
在硅矿选矿过程中，会先分离出含有高纯度二氧化硅的石英砂和硅石。
选矿过程主要包括二次破碎、筛分和重选等步骤，以提高硅矿的纯度。
2.冶炼选矿后的硅矿石通过冶炼过程将硅矿石中的杂质去除，并得到多晶硅的粗锭。
冶炼过程一般采用电弧炉进行，首先将硅矿石与焦炭按一定比例混合，然后通过电极放电产生高温、高电弧强度的等离子体，在高温下将硅矿石还原为金属硅。
3.提纯冶炼得到的粗锭中含有大量的杂质，需要通过提纯过程将杂质去除，提高硅的纯度。
提纯过程主要包括溶解、晶体化和冷凝等步骤。
首先将粗锭切割成小块，然后将小块放入高温炉中进行溶解，使杂质在溶液中被分离出来。
接着，将溶液在低温条件下快速冷却和晶体化，从而使纯净硅晶体在溶液中析出。
最后，通过连续冷凝和提拉的方法将硅晶体逐渐拉长，形成高纯度多晶硅棒。
4.铸锭提纯后的硅棒是多晶硅的基础材料，但其直径较细，不能满足工业生产的需求。
因此，需要通过铸锭过程将硅棒拉制成直径较大的硅棒，以便后续加工制造太阳能电池板和半导体器件。
铸锭过程是在真空下进行的，将硅棒浸入熔融的硅池中，然后缓慢提拉和旋转，使硅棒逐渐变长，并且保持直径一致。
以上就是多晶硅生产的工艺流程的详细介绍。
通过选矿、冶炼、提纯和铸锭等步骤，可以生产出高纯度的多晶硅，为太阳能电池板和半导体器件的制造提供了重要的原材料。
随着科技的不断发展，多晶硅的生产工艺也在不断创新和改进，以提高生产效率和降低成本。
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多晶硅生产工艺
硅及其硅的氯化物的简介
一、硅的简介
硅，1823年发现，为世界上第二最丰富的元素——占 地泥壳的四主分要之原一料，，砂纯石硅中则含用有在大电量子的元件SiO上2，，也譬是如玻启璃动和人水造 卫星一切仪器的太阳能电池，便用得上它。
太阳能电池市场现状
• 煤炭和石油是两大不可再生能源。上个世纪发生的 两次石油危机，一方面是对世界经济的极大冲击，但同 时也是一次机遇，再加上保护环境，开发绿色能源、替 代能源，已被人们预测为改变我们未来10年生活的十 大新科技之一。在未来10年内，风力、阳光、地热等 替代能源可望供应全世界所需能源的30%。
多晶硅生产工艺
多晶硅简介
• 电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音 机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的 基础材料。
• 由干燥硅粉与干燥氯化氢气体在一定条件下氯 化，再经冷凝、精馏、还原而得。
• 多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工 智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导 体器件的电子信息基础材料，被称为“微电子 大厦的基石”。
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多晶硅生产工艺
硅及其硅的氯化物的简介
2.化学性质 a.易水解、潮解，在空气中强烈发烟 易水解、潮解：
SiCl4 + (n+2)H2O → SiO2·nH2O + 4HCl SiHCl3 + nH2O → SiO2·nH2O + 3HCl b.易挥发、易汽化、易制备、易还原。 c. 着SiH火C点l3为易2着20火℃，。发火点28℃，燃烧时产生HCl和Cl2， d.对金属极为稳定，甚至对金属钠也不起反应。 e.其蒸汽具有弱毒性，与无水醋酸及二氮乙烯的毒性程度 极为相同。
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多晶硅生产工艺
多晶硅简介
• 多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷 条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多 晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些 晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅可作拉制单 晶硅的原料，多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理 性质方面。例如，在力学性质、光学性质和热学性质 的各向异性方面，远不如单晶硅明显；在电学性质方 面，多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显著，甚至 于几乎没有导电性。在化学活性方面，两者的差异极 小。多晶硅和单晶硅可从外观上加以区别，但真正的 鉴别须通过分析测定晶体的晶面方向、导电类型和电 阻率等。
多晶硅生产工艺
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2020/11/15
多晶硅生产工艺
内容提纲
➢ 多晶产业现状 ➢ 硅及其硅的氯化物的简介 ➢ 目前世界上几种主要的多晶硅生产工艺简介 ➢ 改良西门子法介绍 ➢ 改良西门子法的工艺流程 ➢ 改良西门子法中的核心技术
➢多晶硅下游产品简介
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多晶硅生产工艺
多晶产业现状
与金属作用
硅还能与钙、镁、铜、铁、铂、铋等化合，生成相应的金属硅 化物。
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多晶硅生产工艺
硅及其硅的氯化物的简介
二、硅的氯化物
卤化化合硅物物的C，F氯溶4和化沸C物点C主l都4相要比似介较，绍低都S，i是C挥l四4、发面S性体iH也的C比非l3等较极，大性它，分们易子和于，碳用共蒸价的 馏的方法提纯它们。
原理如下: 2HCl + 2NH4OH → 2NH4Cl + H2O
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多晶硅生产工艺
多晶硅简介
• 多晶硅 polycrystalline silicon
• 性质：灰色金属光泽。 密度：2.32～2.34g/cm3。
熔点：1410℃。
沸点：2355℃。
• 溶于氢氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和盐酸。
•
主要工艺是：选择纯度较好的工业硅（即冶
金硅）进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭
中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉
碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再
进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二
次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分， 经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中去除磷和
碳杂质，直接生成太阳能级多晶硅。
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多晶硅生产工艺
• 硬度介于锗和石英之间，室温下质脆，切割时易碎裂。
• 加热至800℃以上即有延性，1300℃时显出明显变形。
• 常温下不活泼，高温下与氧、氮、硫等反应。高温熔 融状态下，具有较大的化学活泼性，能与几乎任何材 料作用。具有半导体性质，是极为重要的优良半导体
材料，但微量的杂质即可大大影响其导电性。
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多晶硅生产工艺
目前世界上主要的几种多晶硅生产工艺
• 硅烷法——硅烷热分解法
• 硅烷（SiH4）是以四氯化硅氢化法、硅合
金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法 等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在 热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前 只有日本小松掌握此技术，由于发生过严重 的爆炸事故后，没有继续扩大生产。美国 Asimi和SGS公司仍采用硅烷气热分解生产 纯度较高的电子级多晶硅产品。
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多晶硅生产工艺
改良西门子法介绍
• 在1955年西门子公司成功开发了利用 氢气还原三氯硅烷（SiHCl3）在硅芯发 热体上沉积硅的工艺技术，并于1957年 开始了工业规模的生产，这就是通常所 说的西门子法。
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多晶硅生产工艺
改良西门子法介绍
• 在西门子法工艺的基础上，通过增加 还原尾气干法回收系统、SiCl4氢化工艺， 实现了闭路循环，于是形成了改良西门 子法。
• 硅有晶态和无定形两种同素异形体，晶态硅又分为单晶硅 和多晶硅，它们均具有金刚石晶格，晶体硬而脆，具有金属 光泽，能导电，但导电率不及金属，具有半导体性质，晶态 硅的熔点1416±4℃，沸点3145℃，密度2.33 g/cm3，莫 氏硬度为7。
• 单晶硅和多晶硅的区别是，当熔融的单质硅凝固时，硅原 子以金刚石晶格排列为单一晶核，晶面取向相同的晶粒，则 形成单晶硅，如果当这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则 形成多晶硅，多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方 面。
硅，由于它的一些良好性能和丰富的资源，自一九五 三年作为整流二极管元件问世以来，随着硅纯度的不断 提高，目前已发展成为电子工业及太阳能产业中应用最 广泛的材料。
多晶硅的最终用途主要是用于生产集成电路、分立 器件和太阳能电池片的原料。
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多晶硅生产工艺
硅及其硅的氯化物的简介
1.硅的物理性质
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多晶硅生产工艺
目前世界上主要的几种多晶硅生产工艺
• 2）气液沉积法生产粒状太阳能级多晶硅
• 主要工艺是：将反应器中的石墨管的温度升高 到1500℃，流体三氯氢硅和氢气从石墨管的上部 注入，在石墨管内壁1500℃高温处反应生成液体 状硅，然后滴入底部，温度回升变成固体粒状的 太阳能级多晶硅。
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多晶硅生产工艺
多晶硅简介
• 多晶硅的需求主要来自于半导体和太阳能电池。 按纯度要求不同，分为金属级、电子级和太阳能 级。其中，用于电子级多晶硅占55％左右，太阳 能级多晶硅占45％，随着光伏产业的迅猛发展， 太阳能电池对多晶硅需求量的增长速度高于半导 体多晶硅的发展，2008年太阳能多晶硅的需求量 已明显超过电子级多晶硅。
加热时，能与其它卤素反应生成卤化硅，与氧气生成SiO2。 Si + 2X2 = SiX4 （X=Cl，Br，I） Si + O2 = SiO2
在高温下，硅与碳、氮、硫等非金属单质化合，分别生成 碳化硅SiC，氮化硅Si3N4，和硫化硅SiS2等。
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多晶硅生产工艺
硅及其硅的氯化物的简介
在常温下， 液体。
纯净的SiCl4、SiHCl3
是无色透明
的易挥发
1.氯硅烷的物理性质
• 在体，常温SiH下C，l3纯比净SiC的l4S具iC有l4更、强SiH的C刺l3鼻是气无味色。透明挥发性的液 • SiCl4:沸点为57.6℃，分子量170，液体密度1.47 g/cm3 • Sg/icHmC3l3 : 沸 点 为 31.8℃ ， 分 子 量 135.45 ， 液 体 密 度 1.32
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多晶硅生产工艺
目前世界上主要的几种多晶硅生产工艺
• 流化床法
• 以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在 流化床内（沸腾床）高温高压下生成三氯氢硅， 将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢 硅，继而生成硅烷气。制得的硅烷气通入加有小 颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应， 生成粒状多晶硅产品。因为在流化床反应炉内参 与反应的硅表面积大，生产效率高，电耗低与成 本低，适用于大规模生产太阳能级多晶硅。唯一 的缺点是安全性差，危险性大。其次是产品纯度 不高，但基本能满足太阳能电池生产的使用。
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多晶硅生产工艺
目前世界上主要的几种多晶硅生产工艺
• 除了上述改良西门子法、硅烷热分 解法、流化床反应炉法三种方法生产电 子级与太阳能级多晶硅以外，还涌现出 几种专门生产太阳能级多晶硅新工艺技 术：
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多晶硅生产工艺
目前世界上主要的几种多晶硅生产工艺
• 1）冶金法生产太阳能级多晶硅
• 多晶硅是制备单晶硅和太阳能电池的原材料,是 全球电子工业及光伏产业的基石。按照硅含量纯 度可分为太阳能级硅(6N)和电子级硅(11N)。
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多晶硅生产工艺
目前世界上主要的几种多晶硅生产工艺
目前生产多晶硅的方法主要有改良西门子法—— 闭环式三氯氢硅氢还原法，硅烷法——硅烷热分 解法，流化床法，冶金法，气液沉积法。