任务二晶硅电池产业链工艺流程PPT课件
光伏产业链介绍PPT课件
安装边框
1. 电池分选
用测试仪器将不同性能参数的太阳电 池分档,把参数相近的太阳电池进行组 合。
串联时要将工作电流相近的太阳电池 串在一起;并联时要将工作电压相近的 太阳电池连在一起。以提高太阳电池组 件的性能。
2. 组合焊接
用金属互连条将电池的上、下电极按 要求进行焊接,并清洗干净。
常用的方法有化学腐蚀法;磨砂法和蒸 鋁烧结法。
6. 制作上、下电极
上电极通常是栅线状,以收集光生电流。 下电极布满在电池的背面,以减少电池的 串联电阻。
制作方法有真空蒸镀、化学镀膜、鋁浆印 刷烧结等。目前主要用鋁浆印刷烧结。
用涤纶薄膜制成所需电极图形的掩膜,贴 在丝网上,然后套在硅片上用银、鋁浆印 刷,再在真空和保护气氛中烧结。
挑选分档,入库保管。
三.太阳电池组件的封装
单体太阳电池不能直接供电,需要提供机 械、电气及化学等方面的保护。
太阳电池组件-有封装及内部连接的、能 单独提供直流电输出的,最小不可分割的太 阳电池组合装置。
组件封装工艺流程
电池分选
电池 互连条
组合焊接
白玻璃
EVA PVF
层压封装
测试包装
装接线盒
用化学镀镍制备下电极。
7. 腐蚀周边
在扩散时,硅片的周边也形成扩散层, 可能产生局部短路,使电池的并联电阻下 降,影响电池性能。
可以将硅片的两边涂黑胶、粘贴耐酸 胶带或挤压后放入腐蚀液中,不到1分钟, 即可取出洗净。
目前常用等离子干法腐蚀,在辉光放电 条件下去除含有扩散层的周边。
8. 制减反膜
全自动组件生产线路示意图
电池
组件
方阵
全 自 动 热 交 换 铸 锭 炉
破 锭 机
晶体硅太阳能电池生产工艺流程图
晶体硅太阳能电池生产工艺流程图电池片工艺流程说明:(1)清洗、制绒:首先用化学碱(或酸)腐蚀硅片,以去除硅片表面机械损伤层,并进行硅片表面织构化,形成金字塔结构的绒面从而减少光反射。
现在常用的硅片的厚度在 180 μm 左右。
去除硅片表面损伤层是太阳能电池制造的第一道常规工序。
(2)甩干:清洗后的硅片使用离心甩干机进行甩干。
(3)扩散、刻蚀:多数厂家都选用 P型硅片来制作太阳能电池,一般用 POCl3液态源作为扩散源。
扩散设备可用横向石英管或链式扩散炉,进行磷扩散形成 P-N结。
扩散的最高温度可达到 850- 900℃。
这种方法制出的 PN结均匀性好,方块电阻的不均匀性小于 10%,少子寿命大于 10 微秒。
扩散过程遵从如下反应式:4POCl3+3O2(过量)→ 2P2O5+2Cl 2(气) 2P2O5+5Si → 5SiO2 + 4P 腐蚀磷硅玻璃和等离子刻蚀边缘电流通路,用化学方法除去扩散生成的副产物。
SiO2与HF生成可溶于水的 SiF 62-,从而使硅表面的磷硅玻璃(掺 P2O5的SiO2)溶解,化学反应为:SiO2+6HF → H2(SiF 6)+ 2HO(4) 减反射膜沉积:采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)技术在电池表面沉积一层氮化硅减反射膜,不仅可以减少光的反射,而且由于在制备SiNx 减反射膜过程中有大量的氢原子进入,因此也起到了很好的表面钝化和体钝化的效果。
这是因为对于具有大量晶界的多晶硅材料而言,晶界的悬挂键被饱和,降低了复合中心的原因。
由于表面钝化和体钝化作用明显,就可以降低对制作太阳能电池材料的要求。
由于增强了对光的吸收,氢原子对太阳能电池起到很好的表面和体内钝化作用,从而提高了电池的短路电流和开路电压。
(5)印刷、烧结:为了从电池上获取电流,一般在电池的正、背两面制作电极。
晶硅太阳能电池制造工艺流程及工序简介
ser刻蚀工序
❖ Laser刻蚀的目ห้องสมุดไป่ตู้、作用: 用激光切出绝缘沟道,可以使电池短路,减少电流泄漏。
硅片经Laser刻蚀后的示意图
18
7. 测试分选工序
❖ 主要是测量电池片的短路电流(JSC)、开路电压(VOC)、 填充因子(FF),经计算得出电池的光电转换效率(η) 。
❖ 根据电池的光电转换效率(η)对电池片进行分类。
2PO 5Si 5SiO 4P
25
2
这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2,称之为磷硅玻璃。
去除磷硅玻璃的目的、作用:
1. 磷硅玻璃的厚度在扩散中工艺难控制,且其工艺窗口太小,不稳 定。
2. 磷硅玻璃的折射率在1.5左右,比氮化硅折射率(2.07左右)小, 若磷硅玻璃较厚会降低减反射效果。
3. 磷硅玻璃中含有高浓度的磷杂质,会增加少子表面复合,使电池 效率下降。
13
2. 扩散(POCl3液态扩散)
❖ 扩散的目的:制造太阳能电池的PN结。
❖ PN结是太阳能电池的“心脏” 。 ❖ 制造PN结,实质上就是想办法使受主杂质在半导体晶体内的一个
区域中占优势(P型),而使施主杂质在半导体内的另外一个区域 中占优势(N型),这样就在一块完整的半导体晶体中实现了P型 和N型半导体的接触。
2
单晶硅太阳电池
3
多晶硅太阳电池
4
非晶硅太阳电池
5
2. 硅太阳电池的制造工艺流程
❖ 下面我们就硅太阳电池的制造工艺流程以及各工序进行简 单的介绍。
❖ 晶体硅太阳能电池制造的常规工艺流程主要包括:硅片清 洗、绒面制备、扩散制结、(等离子周边刻蚀)、去 PSG(磷硅玻璃) 、PECVD 减反射膜制备、电极(背面电极、 铝背场和正电极) 印刷及烘干、烧结、Laser和分选测试等。 同时,在各工序之间还有检测项目,主要有抽样检测制绒效果、 抽样 测方块电阻、抽样测氮化硅减反射膜厚度和折射率等 项目。
晶硅太阳能电池制造工艺流程及工序简介24页PPT
1
0
、
倚
南
窗
以
寄
傲
,审容源自膝之易安
。
1、最灵繁的人也看不见自己的背脊。——非洲 2、最困难的事情就是认识自己。——希腊 3、有勇气承担命运这才是英雄好汉。——黑塞 4、与肝胆人共事,无字句处读书。——周恩来 5、阅读使人充实,会谈使人敏捷,写作使人精确。——培根
文 家 。汉 族 ,东 晋 浔阳 柴桑 人 (今 江西 九江 ) 。曾 做过 几 年小 官, 后辞 官 回家 ,从 此 隐居 ,田 园生 活 是陶 渊明 诗 的主 要题 材, 相 关作 品有 《饮 酒 》 、 《 归 园 田 居 》 、 《 桃花 源 记 》 、 《 五 柳先 生 传 》 、 《 归 去来 兮 辞 》 等 。
晶硅太阳能电池制造工艺流程及工序 简介
6
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露
凝
无
游
氛
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天
高
风
景
澈
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7、翩翩新 来燕,双双入我庐 ,先巢故尚在,相 将还旧居。
8
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吁
嗟
身
后
名
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于
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若
浮
烟
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9、 陶渊 明( 约 365年 —427年 ),字 元亮, (又 一说名 潜,字 渊明 )号五 柳先生 ,私 谥“靖 节”, 东晋 末期南 朝宋初 期诗 人、文 学家、 辞赋 家、散
晶硅太阳能电池的原理和工艺流程
晶硅太阳能电池的原理和工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成,希望大家下载以后,能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改,请根据实际需要进行相应的调整和使用,谢谢!并且,本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料,如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等,如想了解不同资料格式和写法,敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor.I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!晶硅太阳能电池:原理与工艺流程详解太阳能作为一种清洁、可再生的能源,正逐渐在全球能源结构中占据重要地位。
晶硅太阳能电池组件生产的基本工艺流程
晶硅太阳能电池组件生产的基本工艺流程1.晶硅太阳能电池组件生产的第一步是选用优质的硅材料。
The first step in the production of crystalline silicon solar cell modules is to select high-quality silicon materials.2.硅材料经过精炼和加工后,制成硅片。
The silicon material is refined and processed to produce silicon wafers.3.硅片经过切割和抛光,形成标准尺寸的太阳能电池片。
The silicon wafers are cut and polished to form solar cell chips of standard size.4.太阳能电池片经过清洗和检验,确保质量达标。
The solar cell chips are cleaned and inspected to ensure quality standards are met.5.经过清洗和检验的电池片被涂覆上导电层和抗反射层。
The cleaned and inspected solar cell chips are coated with conductive and anti-reflective layers.6.经过光刻和腐蚀工艺,形成正负极电极。
Through photolithography and etching processes, positive and negative electrodes are formed.7.电池片经过扩散工艺,形成PN结。
The cell chips are diffused to form PN junctions.8.经过清洗和检验后,电池片被组装成电池组件。
After cleaning and inspection, the cell chips are assembled into solar modules.9.电池组件经过外观检查和性能测试,确保无缺陷。
光伏产业流程PPT
太阳能电池片 的生产过程
四、电池片的生产工艺流程
蚀刻
PSG
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太阳能电池片 的生产过程
四、电池片的生产工艺流程
PECVD
丝网印刷/测试
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太阳能电池组件 清洗 串焊 叠层 层压
装框
包装入库
电性能测试
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太阳能电池组件的生产过程
1、单片焊接
将电池片焊接互联条(涂锡铜带),为电池片的串联做准备。
组件一
标准型组件 外形尺寸: 1581*802*40mm 电池片: 125*125mm ,6*12片
Pm:160~180W
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太阳能电池组件的生产过程
组件二
外形尺寸: 1197*535*35mm 电池片: 125*125mm ,4*9片 Pm:75~90W
32
太阳能电池组件的生产过程
组件三
外形尺寸: 1316*992*40mm 电池片: 156*156mm ,6*8片 Pm:220~240W
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太阳能电池组 件的应用
六、太阳能电池组件的应用 原理:
DC
充放电控制器
逆变器
AC
交流负载
组件阵列
蓄电池
公共电网
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太阳能电池组件的应用
• 应用图例
37
太阳能电池组件的应用
• 应用 图例
38
太阳能电池组件的应用
应用
图例
39
太阳能电池组件的应用
• 应用 图例
40
太阳能电池组件的应用
• 应用图例
10
太阳能电池切片的生产过程
三、硅棒切片的生产工艺流程
粘好硅晶棒,待开方
开方进行
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晶体硅太阳电池制造工艺课件PPT
不能与硅 片和片盒 接触
垫海绵
插片
三、单晶硅片的制绒
(三)单晶制绒工艺流程
2、上料
(1)硅片插完后,取出片盒
底部的海绵,扣好压条。化学
药剂称重上料
(2)将已插好硅片的片盒整
齐、有序的装入包塑的不锈钢
花篮中,片盒之间有适当的间 隔。
上料
三、单晶硅片的制绒
(三)单晶制绒工艺流程
3、参数设置 加热制绒液体到设定温度以后,根
三、单晶硅片的制绒
(四)影响单晶制绒的因素
(1)印背电极:用银-铝浆,起导通作用,进行组件组装时方便焊接 3、硅片清洗完未及时甩干,会有水纹印产生。 SiO2+4HF=SiF4↑+2H2O (易挥发的四氟化硅气体 ) 任务四 减反射膜的制备
3、掌握材料的光2学、特性腐。 蚀速率快慢影响因子
制绒与减反射膜是两个不同的工艺,都是高效电池工艺的一部分。 任务一 硅片的清洗制绒
项目一 晶体硅太阳电池制造工艺 项目导入 知识目标 技能目标
项目导入
通过前面的学习,我们掌握了半导体的一 些理论知识,了解了由石英砂到硅片的加工过 程。但是,硅片的制备目的是什么呢?主要是 为了下一步晶体硅电池片的制备。晶体硅太阳 电池的制备工艺有哪些呢?从今天开始我们就 进行这些方面的学习。
知识目标
盐酸 HCl
三、单晶硅片的制绒
(三)单晶制绒工艺流程
一共有10个槽,5、6、8、10槽中是去离子水 异丙醇(Isopropanol IPA)(CH3)2CHOH 表面湿润作用 Na2SiO3·9 H2O作用:表面活性剂,以加快硅的腐蚀。 氢氟酸作用:去除硅表面的硅酸钠以及氧化物。主要反应 方程式为:
1、掌握所用硫酸、硝酸、氢氟酸、氢氧 化钠、三氯氧磷等药液的特性,所发生的 化学方程式。 2、掌握晶体缺陷的类型。 3、掌握材料的光学特性。 4、了解半导体的欧姆接触特性。
太阳能电池制造工艺---工艺流程以及工序简介ppt课件
2.高温扩散(液态扩散) 3.去磷硅玻璃(去PSG) 4.沉积减反射膜(PECVD)
5.丝网印刷背电极 6.烘 干
7.丝网印刷背电场
8
2)、工序简介
目前硅太阳能电池制造工序主要有:
制绒清洗工序 扩散工序 PECVD工序 丝网印刷工序 烧结工序 Laser刻蚀工序 测试分选工序
扩散的目的:制造太阳能电池的PN结。
PN结是太阳能电池的“心脏” 。 制造PN结,实质上就是想办法使受主杂质在半导体晶体内的一个
区域中占优势(P型),而使施主杂质在半导体内的另外一个区域 中占优势(N型),这样就在一块完整的半导体晶体中实现了P型 和N型半导体的接触。
5POCl 3 600 C以上 3PCl 5 P2O5
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ser刻蚀工序
Laser刻蚀的目的、作用: 用激光切出绝缘沟道,可以使电池短路,减少电流泄漏。
硅片经Laser刻蚀后的示意图
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7. 测试分选工序
主要是测量电池片的短路电流(JSC)、开路电压(VOC)、 填充因子(FF),经计算得出电池的光电转换效率(η) 。
根据电池的光电转换效率(η)对电池片进行分类。
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单晶硅太阳电池
3
多晶硅太阳电池
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非晶硅太阳电池
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2. 硅太阳电池的制造工艺流程
下面我们就硅太阳电池的制造工艺流程以及各工序进行简 单的介绍。
晶体硅太阳能电池制造的常规工艺流程主要包括:硅片清 洗、绒面制备、扩散制结、(等离子周边刻蚀)、去 PSG(磷硅玻璃) 、PECVD 减反射膜制备、电极(背面电极、 铝背场和正电极) 印刷及烘干、烧结、Laser和分选测试等。 同时,在各工序之间还有检测项目,主要有抽样检测制绒效 果、抽样 测方块电阻、抽样测氮化硅减反射膜厚度和折射 率等项目。
《晶硅太阳电池工艺》幻灯片
joe
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PECVD
镀膜的原理相信大家都很清楚,单晶硅电池 镀膜的主要作用是减反射和钝化硅片表面悬 挂键。国内厂商所用的镀膜设备主要有两种,
Roth&Rau公司的板式镀膜机和 Centrotherm的管式镀膜机。此外,中电48 所采用自主制造的管式镀膜机,南京中电采
用了ATON 的PVD镀膜。后面附上了板式 PECVD设备的一些图片,很遗憾没有管式设 备的全貌图,右边小角是管式设备镀膜装硅片
下外表用夹具挡住,只留出侧边放入等离子刻蚀机进展干 刻,刻蚀气体为CF4和O2,比例10:1即可。刻蚀后,用冷 热探针接触硅片边缘,显示“P〞即可,或用万用表的触 笔测试边缘,电阻大于5000欧亦可。现今一些大公司引 进了德国的RENA湿法刻蚀设备,使硅片在滚轮上漂浮通
过硝酸、硫酸、氢氟酸的混合溶液,利用“虹吸原理〞使 硅片边缘吸入酸液腐蚀掉N型区,同时硅片反面的绒面构 造被腐蚀平整。大规模生产后证明,湿法刻蚀相对于干法 刻蚀,将电池效率提高了0.15-0.2%。
《晶硅太阳电池工艺》幻 灯片
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目录
Test wafers Texturing Cleaning before diffusion Diffusion Edge isolation and remove PSG PECVD Screen printing and firing SE solar cells introduce
左图为四探针测方阻,
右图为少子寿命测试仪
晶硅光伏电池的生产工艺流程
晶硅光伏电池的生产工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成,希望大家下载以后,能够帮助大家解决实际的问题。
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晶硅电池培训教程PPT课件
可编辑
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员工心态
可编辑
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可编辑
20
பைடு நூலகம்
心态技能动作夹具设备14wwwkingdomsolarnet15wwwkingdomsolarnet16wwwkingdomsolarnet17wwwkingdomsolarnet5s18wwwkingdomsolarnet国有国法家有家规无规矩不成方圆按照sop标准作业指导书操作是不容易出问题的前提违反规则一定会受到处罚你最亲近的人也将受到牵连公司不是福利院更不是顺风车没有免费的午餐公司会给我们时间和机会但前提是要保证同样的问题不要重复的出现在我们自己的身上高压线是碰不得的每个人都应该懂得?19wwwkingdomsolarnet20wwwkingdomsolarnet
可编辑
1
培训及考评规则
培训前务必准备好笔记本和笔,培训过程中,遵守纪律、爱护公物,认真 听讲、记录。
员工在岗培训由各班工序长自己组织,可以采取一对一、集体授课等方式 进行,无论通过那种方式培训,最终要保证员工对本岗位操作知识的全面了解 并会在考核中体现出来,员工考核的平均分即为衡量该工序长能否转正的第一 标准。
可编辑
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“三不政策”和“三不伤害原则”
产品质量控制的“三不政策”: 不接收不良品、不制造不良品、不流出不良品
操作安全要做到“三不伤害原则”: 不伤害自己、不伤害别人、被别人伤害
可编辑
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科学管理的三层次
5S是基础:定点、定量、定容、标识到位 标准化操作:规范的流程、 SOP作业指导书 改善:心态——技能——动作——夹具——设备
背电极
正面栅线
P型半导体硅
可编辑
P型半导体硅
背电场
晶硅光伏组件材料与工艺学习.35页PPT
谢谢!
晶硅光伏组件材料与工约翰 逊 2、权力会使人渐渐失去温厚善良的美 德。— —伯克
3、最大限度地行使权力总是令人反感 ;权力 不易确 定之处 始终存 在着危 险。— —塞·约翰逊 4、权力会奴化一切。——塔西佗
5、虽然权力是一头固执的熊,可是金 子可以 拉着它 的鼻子 走。— —莎士 比
61、奢侈是舒适的,否则就不是奢侈 。——CocoCha nel 62、少而好学,如日出之阳;壮而好学 ,如日 中之光 ;志而 好学, 如炳烛 之光。 ——刘 向 63、三军可夺帅也,匹夫不可夺志也。 ——孔 丘 64、人生就是学校。在那里,与其说好 的教师 是幸福 ,不如 说好的 教师是 不幸。 ——海 贝尔 65、接受挑战,就可以享受胜利的喜悦 。——杰纳勒 尔·乔治·S·巴顿
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光伏电池制备的准备
任务二·
晶硅电池产业链工艺流程
3
•
目录
• 一.相关概念
• 二.产业链结构
• 三.主要工艺流程
• 1.原生多晶硅
• 2.单晶硅拉制工艺
注:前两种方法为化学方法,后一种为物理方法,国内改良西门子法占比 95%以上
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⑵ 改良西门子法
三.主要流程介绍
①.主要反应原理: Si+HCl → SiHCl3+H2+SiCl4+SiH2Cl2(三氯氢硅合成炉) SiHCl3+H2 → Si+HCl(还原炉)
SiCl4+H2 →SiHCl3+HCl(氢化炉)
原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核 长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就形 成单晶硅.
7
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二.产业链结构
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太阳能级多晶硅 SoG:6~7N
Si+HCl→SiHCl3+H2 SiHCl3+H2→Si+HCl
直拉或区熔(CZ or FZ)
铸锭炉
铸锭炉
准单晶硅锭
二.产业链结构
5
种类
太阳能 电池
晶硅电池
多元化合物薄膜 电池
单晶硅电池
多晶硅电池
非晶硅薄膜电 池
硫化镉 砷化镓 铜铟硒薄膜 电池
6
多晶硅:是单质硅的一种形态.熔融的单质硅在过冷的条件下凝固时,硅原
子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,
则这些晶粒结合起来,就形成多晶硅.
单晶硅:熔融的单质硅在过冷的条件下凝固时,硅
• 2. 西门子法是目前多晶硅生产的主流技术,约90%的多晶硅由此技术生产, 短期内这种局面不会改变.
• 3. 多晶硅生产气体使用情况
• 氮气的消耗量是跟你的工艺设计、用途有关,一般年产一千吨的多晶硅,经 验统计,消耗每小时在500~700方,主要是用在尾气、置换气、压料气、擦洗 气 氩气的消耗主要是硅芯方面
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2.单晶硅拉制工艺
三.主要流程介绍
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三.主要流程介绍 (1) 拉制方法及拉制过程:直拉单晶(CZ)和区熔(FZ)
直拉单晶拉制过程图
装炉
化料
引晶
放肩 冷却
等径 收尾
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直拉单晶炉
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三.主要流程介绍
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三.主要流程介绍
• 3.多晶铸锭工艺
• 4.准单晶工艺
• 5.电池片生产工艺
• 四.总结
4
太阳能电池
• 定义:光伏组件是一种暴露在阳光下便会产生 直流电的发电装置,几乎全部由半导体物料 (例如硅)制成的固体光伏电池组成。由于 没有活动的部分,故可以长时间操作而不会 导致任何损耗(电池板使用寿命20年以上)。简 单的光伏电池可以为手表及计算器提供能源, 较复杂的光伏系统可以为房屋提供照明,并 入电网供电。
单晶硅棒 切片机
化学法:改良西门子
冶炼
SiO2+C →Si+CO2
硅矿石
↑
silica
工业硅 MS-Si 1~2N多晶铸锭 切片机多晶硅片
切片机
单晶硅片
单晶硅太阳能电池
多晶硅太阳能电池
太阳能光伏发电 系统
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三.主要流程介绍
1.原生多晶硅
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⑴ 三大主要生产方法
多晶硅
三.主要流程介绍
改良西门子法 硅烷法 冶金法
四氯化硅
氯化 氯化氢
分离 氢气、三氯氢硅
冷凝
还原尾气
还原
粗馏
冷凝
冷凝
精馏
氢还原 四氯化硅
多晶硅 三氯氢硅
氢净化 水电解
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③氢化方法:热氢化与冷氢化
三.主要流程介绍
• 热氢化技术
• 利用以下反应:2SiCl4+H2﹦2SiHCl3+2HCl
• 反应温度为1200~1250℃,压力范围1.5~2.5个大气压力,三氯氢硅的单程收率大 约为17%~20%左右.
提纯工作量大。
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冷氢化改良西门子法多晶硅生产工艺流程简图
2020/7/29
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TCS:三氯化硅 STC:四氯化硅 DCS:二氯二氢硅
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(3)硅烷法
三.主要流程介绍
最终用硅烷热解制得多晶硅的方法
其中制备硅烷的方法:硅镁合金工艺 、氯硅烷歧化工艺、 金属氢化物工艺
2020/7/29
(2)氩气使用情况:整个热场系统,包括两大部分,加热器发热, 其它部分主耍是保温、导流,形成一定的温度梯度,使座落在石墨托 里的石英坩埚中的熔料能按要求的晶向结晶生长。
SiO2﹢SSi2OiCC2=﹢→sSSiii﹢CO﹢2O=22 SCiOO ﹢CO+Si
拉制单晶需全程通氩,一边抽空,炉内压力控制在20乇左右。通过合理 的热场结构,能迅速带走挥发物。减压有利于sio的挥发及防止co返回熔 体,达到降氧和降碳的目的。 氩气流量:35-55L/min(联创炉),投料公斤,耗气量约170立方
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热氢化改良西门子法多晶硅生产工艺流程简图
三.主要流程介绍
2020/7/29
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• 冷氢化技术
三.主要流程介绍
• 利用以下反应:SiCl4+2H2+3Si → 4SiHCl3
• 反应温度为450℃,压力范围1.5~1.8MPa,转化率大约为20%~25%左右.需要催化 剂NiO
• 工艺优点:反应温度低,电耗低, TCS单耗≤ 1KWh/kg • 工艺缺点:气固反应,操作压力较高,对设备密封性要求高,操作系统较复杂,
四氯化硅还原生产三氯氢硅一直是全球多晶硅生产企业广泛关注的焦点问题,此方法不但处理 了副产物四氯化硅,同时还重新得到了生产多晶硅的原料三氯氢硅,氯化氢也可以自身利用,能显著地 降低生产成本,各个生产企业都花费了大量的人力物力进行研究。
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②改良西门工艺流程
三.主要流程介绍
氯化氢 硅粉
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(4)冶金法
三.主要流程介绍
工业硅
↓
添加Ca
酸洗
↓
去除Ti、Fe
氧化精炼
真空处理
↓
除B、C
↓
去除P、O、Ca、Al
凝固精炼
太阳能级硅
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小 结:
三.主要流程介绍
• 1. 光伏产业带动多晶硅产业的迅速发展,生产1MW太阳能电池约需要10吨 多晶硅,晶体硅材料是主要的光伏材料,其市场占有率在80%以上,而且在今 后相当长一段时期,也依然是太阳能的主流材料。
• 工艺优点:压力比较缓和,对设备要求低,安全性好,且氢气和四氯化硅比值较小, 因此还原炉内四氯化硅浓度较高,保证了还原反应的速率以及充分性,且降低了 后期分离的难度.
• 工艺缺点:反应温度高,电耗高,TCS单耗2.2 ~ 3KWh/kg,加热片为易耗材料, 运行费用较高,有碳污染的可能。
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