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多晶电池片生产工艺

多晶电池片生产工艺
多晶电池片生产工艺是制造太阳能电池的关键步骤之一。
多晶电池片以多晶硅为基材生产,经过一系列的工艺步骤来制造出高效、高质量的太阳能电池。
首先,原材料的准备是多晶电池片生产工艺的第一步。
多晶硅是制造多晶电池片的主要原料,它是通过石英砂经过高温冶炼、纯化、结晶等步骤得到的。
这些过程需要严格控制温度、压力和纯度,以确保多晶硅的质量。
接下来,多晶硅通过切割机械切割成薄片,厚度通常为0.2-
0.3毫米。
这些薄片将成为太阳能电池片的基材。
之后,薄片进入扩散炉,经过高温处理。
在扩散炉中,将磷源涂覆在薄片表面,然后通过高温使磷浸入薄片内部,形成p型硅区。
完成扩散后,薄片需要进行腐蚀处理。
腐蚀可以去除表面的氧化层,使薄片表面更加光滑。
这可以提高电池片的光电转换效率。
接下来是沉积反应层。
在沉积反应层内,利用高温和气体反应,将硅化物沉积在薄片表面,形成n型硅区。
沉积层的厚度要经过严格控制,以确保薄片的性能稳定。
完成沉积后,薄片需要进行打孔。
通过激光或机械打孔,使电池片的正负电极相连。
这可以提供电流传输的通道,以使电池
片能够输出电能。
最后,电池片经过清洗和检查等步骤,然后进行筛选和分级。
只有质量合格的电池片才能继续用于太阳能电池组件的生产。
多晶电池片生产工艺是复杂而精细的过程,需要严格控制各个环节的工艺参数,以确保产品的质量和效率。
随着技术的不断发展,多晶电池片生产工艺也在不断创新和改进,以提高太阳能电池的性能和降低成本。
多晶硅工艺流程范文

多晶硅工艺流程范文多晶硅是一种具有高纯度的硅材料,广泛应用于太阳能电池、半导体和光纤等领域。
多晶硅的制备过程包括硅熔炼、多晶硅生长、切割和抛光等步骤。
以下是多晶硅的工艺流程详解。
第一步是硅熔炼。
硅熔炼是多晶硅制备的关键步骤,通常采用短弧熔炼法。
首先,将高纯度的二氧化硅经过还原反应,用碳源将其还原为硅金属。
然后,将硅金属放入一个石英坩埚中,在高温下使用直流电弧加热,使硅金属熔化。
加热过程中,石英坩埚起到了保护硅金属不受污染的作用。
最终,石英坩埚中的硅熔体冷却凝固,形成硅锭。
第二步是多晶硅生长。
硅锭经过切割机切割成合适大小的硅块(也称为硅棒)。
然后,通过多晶硅炉进行多晶硅生长。
多晶硅炉是一个具有高温和高真空环境的炉子。
在多晶硅炉中,硅块被放置在石英坩埚中,加热至高温,并通过剥离外部应力的方法,使硅块在坩埚中缓慢旋转。
在高温的作用下,硅块逐渐融化,并通过晶核生长的方式,在坩埚中形成多晶硅晶体。
多晶硅晶体的形成速度和晶体质量的均匀性,取决于生长过程中温度和旋转速度的控制。
第三步是硅棒切割。
多晶硅晶体经过冷却后,形成一根硅棒。
然后,使用机械切割机将硅棒切割成多个合适的硅片。
硅片的厚度取决于具体应用的要求,通常在几百微米到几毫米之间。
硅棒切割的精度和效率对多晶硅的成本和质量有着重要影响。
最后一步是硅片抛光。
切割好的硅片表面往往有一些粗糙度和污染物。
因此,需要对硅片进行抛光处理,以获得光滑和干净的表面。
抛光一般采用机械抛光工艺,通过悬浮液和抛光头在硅片表面进行机械磨削,以去除表面瑕疵。
抛光后的硅片还需要经过清洗和检测等工序,以确保质量达到要求。
综上所述,多晶硅的工艺流程包括硅熔炼、多晶硅生长、硅棒切割和硅片抛光等步骤。
这些工艺步骤的精度和效率对多晶硅的成本和质量有着重要影响。
随着技术的进步,多晶硅的制备过程也在不断改进,以提高产量和纯度,降低成本,进一步推动多晶硅在各个领域的应用。
多晶硅太阳能电池的制备和性能优化

多晶硅太阳能电池的制备和性能优化多晶硅太阳能电池是一种常见而重要的太阳能电池类型。
该电池能够将太阳能转化为电能,并被广泛应用于太阳能发电领域。
然而,多晶硅太阳能电池的制备和性能优化是一个复杂而繁琐的过程。
本文将对多晶硅太阳能电池的制备和性能优化进行探讨。
一、多晶硅太阳能电池的制备多晶硅太阳能电池的制备过程包括硅材料准备、硅片切割、清洗、扩散、金属化等多个步骤。
以下是具体制备过程的描述。
首先,需要选择高质量的硅材料。
目前市场上常用的硅材料有单晶硅、多晶硅、非晶硅等。
多晶硅是一种价格相对较为合适的硅材料,常被用来制备太阳能电池。
在材料准备阶段,需要将原材料进行熔炼、焙烧等多个步骤,以获得高纯度的硅材料。
接下来,需要进行硅片的切割。
多晶硅太阳能电池制备过程中,需要将硅材料切割成较为薄的硅片,通常厚度在200-300um之间。
在切割过程中,需要保证硅片表面光滑,无明显划痕和破损。
然后,进行清洗和扩散处理。
在清洗阶段,需要将硅片进行去污、清洗等处理,以保证硅片表面洁净。
接着进行扩散处理,即在硅片表面上涂覆P型或N型硅材料,并在加热过程中使扩散剂与硅材料反应,形成P-N结,以提高硅片的导电性。
最后,进行金属化处理。
在该步骤中,需要将金属电极沉积在硅片上,以形成正负极。
常用的金属有铝、银、铜等。
金属化处理需要精确的工艺控制,以提高太阳能电池的效率和稳定性。
二、多晶硅太阳能电池的性能优化多晶硅太阳能电池的性能受多种因素影响,如硅片质量、扩散剂配比、金属电极厚度等。
以下是针对多晶硅太阳能电池制备过程中的性能优化措施。
1. 优化硅片的质量。
选用高纯度、低氧化物含量的硅材料制备硅片可以有效提高多晶硅太阳能电池的转换效率。
2. 优化扩散剂的配比。
采用合适的扩散剂配比,可以提高硅片表面的掺杂浓度,并增加P-N结的面积和深度,从而提高电池的效率。
3. 优化金属电极厚度。
在金属化处理过程中,适当增加负极厚度,可以显著提高太阳能电池的填充因子和光电流,从而提高电池的性能。
晶硅太阳能电池组件生产的基本工艺流程

晶硅太阳能电池组件生产的基本工艺流程Producing crystalline silicon solar panels involves several key steps in the manufacturing process. First, raw polysilicon material is refined and transformed into pure silicon crystal ingots through the Czochralski method. This involves melting the polysilicon in a crucible and slowly pulling a single crystal ingot out of the molten material, creating a high-purity silicon base for the solar cells.在晶硅太阳能电池组件的生产过程中,首先需要将原始多晶硅材料经过提炼和通过Czochralski方法转化为纯净的硅晶。
这包括将多晶硅在坩埚中熔化,然后慢慢地从熔融材料中拉出一个单晶铸锭,为太阳能电池提供高纯度的硅基材料。
Once the silicon ingots are ready, they are sliced into thin wafers using a wire saw or diamond blade. These silicon wafers undergo surface texturing through methods like acid etching or abrasive blasting to reduce reflection and improve light absorption. The next step involves diffusing dopants such as phosphorus and boron into the silicon wafer to create positive and negative regions necessaryfor the functioning of the solar cell.一旦硅铸锭准备好,就会使用金刚线锯或金刚石刀将其切割成薄片。
多晶硅光伏电池制备工艺及性能测试

多晶硅光伏电池制备工艺及性能测试随着人们对可再生能源的需求以及环保意识的不断提高,光伏发电逐渐成为人们关注的焦点,而多晶硅光伏电池作为一种常用的光伏电池材料,其制备工艺和性能测试也备受关注。
一、多晶硅光伏电池制备工艺多晶硅光伏电池制备工艺一般包括硅料准备、熔制生长、加工晶圆、清洗表面、强化电子接触等步骤。
其中,硅料的质量是制备多晶硅光伏电池的重要因素之一。
制备多晶硅光伏电池的硅料通常采用矽化镁还原法、硫酸法、气相输运法、新型浮区法等多种方法。
首先,熔制生长阶段是将硅料加热至熔点,使其逐渐形成晶体的过程。
其次,加工晶圆阶段是将生长出的硅晶体将其切割成小片,并使用化学机械抛光等方法使其表面平整光滑。
在清洗表面和强化电子接触阶段,则需要使用特定的清洗液和高温烘干等方法使其表面更加洁净和利于接触。
二、多晶硅光伏电池性能测试多晶硅光伏电池性能测试主要包括外量子效率、内量子效率、光伏特性等方面。
其中,外量子效率是指入射到样品上的光子被吸收后,电流产生的效率,即单位光子能够产生多少电流;内量子效率则是指在太阳光谱照射下,电流产生效率不同波长的光子成比例变化的效率。
这两个效率的测试可以通过外部查询工具进行测试,得到其数量级和变化趋势,并对样品的质量进行初步判断。
除了外、内量子效率之外,多晶硅光伏电池的另一个重要性能指标是光伏特性。
这包括光强度与电流产生效果之间的关系,即IV曲线。
在测试光电流时,通常需要在样品上加上特定的负载电阻,并将其连接至电流计上,同时引入光源来产生光照。
然后根据不同的光强度和电压下电流值的变化进行测试,从而绘制出IV 曲线图,评估样品的电荷转移性能和工作效率。
IV曲线越平滑,说明样品的电荷转移性能越好,其工作效率也就越高。
在完成多晶硅光伏电池性能测试后,还需要进一步对测试结果进行分析和定量评估。
这包括计算填充因子、转换效率、光电流密度、开路电压等方面。
其中,填充因子是指IV曲线上实际电池产生功率和理论最大功率之比,其数值越接近1,说明样品的工作效率越高;转换效率则是指样品将光能转化成电能的效率,其数值越高,则说明样品的实用价值就越大。
太阳能级多晶硅生产工艺介绍

流化床法是美国 Boeing 公司研发的多晶硅生产工艺,该方法主要采用硅籽作为 沉积体,再将其与卤硅烷进行反应,进而制造多晶硅。流化床法制造多晶硅需要 用到流化床反应器,具体反应过程如下:将 SiHCl3 和 H2 由底部注入到反应装 置中,在经过加热区和反应区后,可以和装置顶部的硅晶体进行反应,反应条件 需要处在高温环境,同时在气相沉积的作用下,硅晶体将会不断增多,最终可以 形成多晶硅产物。该方法与西门子法相比主要具有以下优势:第一,可以进行连
加的节能,能耗大约在 40kW·h/kg 左右。然而,该方法存在着一定的安全问题, 这是由硅烷的特性决定的,硅烷是一种易燃、易爆的气体,这极大地增加了硅烷 的保存难度,在日常生产过程中不易于管理。产品和晶种相对容易受到污染,存 在超细硅粉问题,工艺和设备成熟度较低。
3. 冶金法
冶金法制备多晶硅主要分为两个步骤:第一,需要采用真空蒸馏、定向凝固等方 式对工业硅进行提纯,去除工业硅中的杂质,使其纯度达到要求。第二,通过等 离子炉清除 C、B 等元素,得到更加纯净的硅元素。通过这种方式制备的多晶硅 具有 P-极性,并且电阻系数较小,因而具有较高的光电转化效果。日本 Kawasaki Steel 企业采用的就是这种制造方式,可以有效地对工业硅进行提纯。此外,上 述方法还可以进行优化,优化过程主要用到了湿法精炼极性处理。通过这种方式 可以对多晶硅进一步进行精炼,与未使用该方法相比,可以将太阳能电池的工作 效率提升到 15%左右。由此可见,多晶硅的纯度非常的重要,通过提高多晶硅 的纯度可以极大地改变多晶硅的物理特性,能够在很大程度上提高太阳能电池的 工作效率。
6. 电解法
电解法采用电解硅酸盐的方式得到纯度较高的硅,在电解装置中,以 C 作为阳 极,反应温度控制在 1000℃,在经过一段时间的电解反应后,Si 单质将会在阴 极上附着,阳极生成 CO2 气体。电解反应对电极材料的要求较高,这是因为在 电解反应中,尤其是温度较高的反应条件下,电极极易发生腐蚀,进而将新的杂 质引入反应体系中,如 B、P 等,对硅的纯度造成影响。以 CaCl2 作为熔盐电解 为例,使用石墨作为阳极,阴极采用特制材料。电解完成后,需要将阴极置于真
多晶硅生产工艺流程(3篇)

第1篇一、引言多晶硅是光伏产业和半导体产业的重要原材料,广泛应用于太阳能电池、太阳能热利用、半导体器件等领域。
随着新能源产业的快速发展,对多晶硅的需求量日益增加。
本文将详细介绍多晶硅的生产工艺流程,旨在为相关企业和研究人员提供参考。
二、多晶硅生产工艺流程概述多晶硅的生产工艺流程主要包括以下几个阶段:原料处理、还原反应、熔融提纯、铸造、切割、清洗、包装等。
三、多晶硅生产工艺流程详解1. 原料处理多晶硅的生产原料主要是冶金级硅(Si),其含量在98%以上。
首先,将冶金级硅进行破碎、研磨等处理,使其达到一定的粒度要求。
2. 还原反应还原反应是多晶硅生产的关键环节,其主要目的是将冶金级硅中的杂质去除,得到高纯度的多晶硅。
还原反应分为以下几个步骤:(1)将处理后的冶金级硅加入还原炉中。
(2)在还原炉中通入还原剂,如碳、氢气等,与冶金级硅发生还原反应。
(3)在还原过程中,炉内温度保持在约1100℃左右,反应时间为几小时至几十小时。
(4)反应结束后,将还原炉内的物料进行冷却、破碎、研磨等处理。
3. 熔融提纯还原反应得到的粗多晶硅中仍含有一定的杂质,需要通过熔融提纯的方法进一步去除。
熔融提纯主要包括以下几个步骤:(1)将粗多晶硅加入熔融炉中。
(2)在熔融炉中通入提纯剂,如氢气、氯气等,与粗多晶硅发生反应,生成挥发性杂质。
(3)将挥发性杂质通过炉顶排气系统排出,实现提纯。
(4)提纯结束后,将熔融炉内的物料进行冷却、破碎、研磨等处理。
4. 铸造将提纯后的多晶硅熔体倒入铸造炉中,进行铸造。
铸造过程主要包括以下几个步骤:(1)将熔融的多晶硅倒入铸锭模具中。
(2)在铸锭模具中通入冷却水,使多晶硅迅速凝固。
(3)待多晶硅凝固后,将铸锭模具从熔融炉中取出,得到多晶硅铸锭。
5. 切割将多晶硅铸锭切割成所需尺寸的硅片。
切割过程主要包括以下几个步骤:(1)将多晶硅铸锭放置在切割机上。
(2)在切割机上安装切割刀片,将多晶硅铸锭切割成硅片。
简述多晶硅太阳能电池的制造流程

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太阳能电池光电转换原理主要是利用太阳光射入太阳能电池后产生电子电洞对,利用P-N 接面的电场将电子电洞对分离,利用上下电极将这些电子电洞引出,从而产生电流。
整个生产流程以多晶硅切片为原料,制成多晶硅太阳能电池芯片。
处理工艺主要有多晶硅切片清洗、磷扩散、氧化层去除、抗反射膜沉积、电极网印、烧结、镭射切割、测试分类包装等。
生产工艺主要分为以下过程:
⑴ 表面处理(多晶硅片清洗、制绒)
与单晶硅绒面制备采用碱液和异丙醇腐蚀工艺不同,多晶硅绒面制备采用氢氟酸和硝酸配成的腐蚀液对多晶硅体表面进行腐蚀。
一定浓度的强酸液对硅表面进行晶体的各相异性腐蚀,使得硅表面成为无数个小“金字塔”组成的凹凸表面,也就是所谓的“绒面”,以增加了光的反射吸收,提高电池的短路电流和转换效率。
从电镜的检测结果看,小“金字塔”的底边平均约为10um 。
主要反应式为:
32234HNO 4NO +3SiO +2H O Si +−−−→↑氢氟酸
2262SiO 62H O HF H SiF +→+
这个过程在硅片表面形成一层均匀的反射层(制绒),作为制备P-N 结衬底。
处理后对硅片进行碱洗、酸洗、纯水洗,此过程在封闭的酸蚀刻机中进行。
碱洗是为了清洗掉硅片未完全反应的表面腐蚀层,因为混酸中HF 比例不能太高,否则腐蚀速度会比较慢,其反应式为:2232SiO +2KOH K SiO +H O →。
之后再经过酸洗中和表面的碱液,使表面的杂质清理干净,形成纯净的绒面多晶硅片。
酸蚀刻机内设置了一定数量的清洗槽,各股废液及废水均能单独收集。
此过程中的废酸液(L 1,主要成分为废硝酸、氢氟酸和H 2SiF 6)、废碱液(L 2,主要成分为废KOH 、K 2SiO 3)、废酸液(L 3,主要成分为废氢氟酸以及盐酸)均能单独收集,酸碱洗后均由少量纯水洗涤,纯水预洗废液(S 1、S 2、S 3)和两级纯水漂洗废水(W 1),收集后排入厂区污水预处理设施,处理达标后通过专管接入清流县市政污水管网。
此过程中使用的硝酸、氢氟酸均有一定的挥发性,产生的酸性废气(G 1-1、G 1-2),经设备出气口进管道收集系统,经厂房顶的碱水喷淋系统处理达标后排放。
G 1-2与后序PECVD 工序产生的G 5(硅烃、氨气)合并收集后经过两级水吸收处理后经排气筒排放。
⑵ 磷扩散
此过程是使气体沉积在硅片表面,再利用高温制造出晶硅片P-N 接面所需的N 层。
将硅片放入扩散炉管,通以氮气、氧气和POCl 3气体,高温(电加热)下分解,在硅片表面形成较稳定的P-N 结。
磷扩散中通氮气的目的:使三氯氧磷有效导入至硅芯片上,以减少三氯氧磷之消耗。
其扩散原理可用下式表示:
322524POCl 3O 2P O +6Cl +→↑ 2522P O +5Si 5SiO +4P →↓
反应过程中Si 和O 2足量与POCl 3反应生成P 后附着于芯片上,过程中反应温度为800℃~900℃。
磷原子通过扩散进入硅片。
反应过程中Si 和O 2均过量,POCl 3完全反应,反应过程中有废气Cl 2(G 2)以及P 2O 5烟气产生,由专管收集,与表面处理工序产生的G 1-1、G 1-2一起经厂房顶的碱水喷淋系统处理达标后排放。
⑶ 等离子刻蚀(边缘刻蚀)
在扩散时,硅片的正面和周边都形成了P-N 结,为了减少漏电流、提高效率,要把硅片周边的p-n 结刻蚀掉,四氟化碳为惰性气体,在高频电场的作用下与硅反应形成四氟化硅,这样就把周边的P-N 结刻蚀掉。
刻蚀在专门刻蚀机内进行,将硅片边角刻蚀,以便电路板的连通,刻蚀后的CF 4、SiF 4 (G 3)废气抽出排放。
① 工艺过程
②技术规格
四面边缘均匀刻透,边缘PN 类型检测为P 型。
⑷去磷硅玻璃
在扩散时,硅片的正面形成一层很薄的磷硅玻璃层,为使电池表面颜色均匀一致,正反电极与电池形成良好的欧姆接触,利用49%的氢氟酸和稀HCl 混合在室温下把磷硅玻璃腐蚀掉,反应式为:SiO 2+6HF →H 2SiF 6 +2H 2O 。
氢氟酸的作用是溶解二氧化硅。
此过程有酸性废气(G 4)、漂洗废水(W 2)、废酸液(L 4:主要成分为废氢氟酸、HCl )、纯水预洗废水(S 4)产生,废气中主要污染物为氟化物和HCl 气体,酸性废水主要含氟化物。
说明:纯水废液(S 4)和漂洗废水(W 2) 收集后排入厂污水预处理设施,处理达标后通过专管接
入清流县市政污水管网。
⑸ PECVD 镀膜
此过程采用PEVCD 镀膜方式,利用高频电源辉光放电使气体电离,促进反应活性基团的生成,从而降低沉积温度,PECVD 在200℃~500℃范围内可以成氮化硅薄膜。
氮化硅膜不仅仅有优良的光学性能如折射率接近太阳电池所需的最佳折射率,且有良好的绝缘性、致密性、稳定性和对杂质离子的掩蔽能力。
沉积的氮化硅膜中含有大量的氢,能起到钝化作用。
尾气(G5) 中的硅烷和空气接触后发生如下反应:SiH 4+O 2(空气)→SiO 2+H 2O ,以SiO 2粉尘的形式排放。
另外,尾气中少量未反应的氨气经过两级水吸收处理后经排气筒排放。
① 工艺过程
A 、膜厚:~80nm (对抛光片来说厚度
~100nm ),折射率~2.05;
B 、成膜均匀性:批内≤5%,批间≤5%;
C 、表观:深蓝色,色调均一性好。
⑹电极网印、烧结
电池背面二次印刷,正面一次印刷,共三次印刷;背面烘烤二次,正面烘干烧结一次,共三次。
铝背场(指芯片的背面部分,主要功能为后续工艺流程的接触电极使用)是为了提高电子寿命,提高效率,利用铝和硅形成失配位错,把硅片体内的缺陷吸收到铝背场上来。
正反面的栅线收集电子和空穴,形成负载电流。
使用微电子检测设备(AOI )自动确认方式,确保网印结果正确。
烧结使芯片上的胶干燥,胶与芯片结合。
本工序中在印刷和烘干过程中会有少量的有机气体产生(
G
6 )。
有机废气经活性碳吸附后排气筒排放。
① 工艺过程
上 料
②技术规格
A、背电极:Ag/Al浆料,~0.05g;
B、背场:Al浆料,~1.6g;
C、正栅线:Ag浆料,~0.16g;宽度:次栅线60~80um;主栅线~1.5mm;
D、金属电极遮光面积:~6-7%;
⑺镭射切割
使用laser切割芯片边缘。
目的为使硅芯片正面与背面电极隔离开以避免导通而造成短路。
⑻测试、分类、包装
电池片在太阳能电池片分档机上被逐片测试电参数及转换效率,并将不同光电转换效率的电池片分十档归类堆码,剔除不合格电池片。
将合格电池组件分档包装、入库。