新型2×2聚合物波导垂直耦合器的研究

新型2×2聚合物波导垂直耦合器的研究
赵虎旦;鄂书林;邓文渊
【期刊名称】《光通信技术》
【年(卷),期】2007(31)8
【摘要】对2×2聚合物波导垂直耦合器的理论设计和制作过程进行了研究.首先,利用光束传播法(BPM)设计并研究了垂直耦合器的关键参数(交叉角、垂直耦合层厚度)与耦合效率和消光比之间的关系.模拟结果表明,耦合效率最高为93%,消光比最高为29dB.其次,利用标准光刻工艺制作了波导尺寸为4×4 μm,垂直耦合层厚度为2μm,相对交叉角为1.0°的聚合物波导垂直耦合器.实验结果表明,采用聚合物制备波导垂直耦合器,具有工艺简单、灵活的优点.
【总页数】3页(P45-47)
【作者】赵虎旦;鄂书林;邓文渊
【作者单位】中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;中国科学院,研究生院,北京,100049;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033
【正文语种】中文
【中图分类】TN929.11
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