【CN109664425A】一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法【专利】

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蓝宝石衬底减薄方法[发明专利]

[19]中华人民共和国国家知识产权局[12]发明专利申请公开说明书[11]公开号CN 1601766A [43]公开日2005年3月30日[21]申请号03146936.1[22]申请日2003.09.23[21]申请号03146936.1[71]申请人方大集团股份有限公司地址518055广东省深圳市南山区西丽龙井方大城[72]发明人王胜国许其推吴启保 [74]专利代理机构深圳市顺天达专利商标代理有限公司代理人郭伟刚[51]Int.CI 7H01L 33/00H01L 21/84B24B 1/00权利要求书 1 页说明书 3 页[54]发明名称蓝宝石衬底减薄方法[57]摘要本发明涉及一种蓝宝石衬底厚度减薄方法，减薄过程包括粘片、粗磨、抛光、去蜡、清洗步骤。

通过粘片步骤使用压缩气体施加压力，在粗磨抛光步骤使用变速磨盘转速研磨，在去蜡步骤使用溶蜡的有机溶剂间接加热的方法，从而降低减薄过程中衬底破裂的可能性，提高了产品成品率。

03146936.1权利要求书第1/1页 1、一种蓝宝石衬底减薄方法，包含粘片、粗磨、抛光、去蜡、清洗步骤，其中粘片步骤通过加热熔蜡，然后抽真空使得衬底固定到粘片载体上，其中粗磨步骤通过旋转磨盘打磨衬底，其中去蜡步骤通过加热使蜡熔化，从而分离衬底和粘片载体，其特征在于，所述粗磨步骤中采用磨盘变速旋转方式进行研磨。

2、根据权利要求1所述方法中，其特征在于所述变速旋转研磨为刚开始采用低速旋转研磨，待衬底表面与磨盘表面相吻合时，逐渐加大磨盘转速至高速旋转研磨，待衬底减薄至第一厚度时，又逐渐降低转速至中速旋转研磨。

3、根据权利要求1或2任何一项所述的方法中，其特征在于，所述粘片步骤中在抽真空之后利用压缩气体在衬底上施加第一重量的压力。

4、根据权利要求1或2任何一项所述的方法中，其特征在于，所述去蜡步骤中将衬底和粘片载体悬浮于能够溶蜡的有机溶剂中，将有机溶剂加热到第一温度，经过有机溶剂的传导进行加热。

一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置[实用新型专利]

专利名称：一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置专利类型：实用新型专利
发明人：秦光临,蔡金荣
申请号：CN201720738396.9
申请日：20170623
公开号：CN207009467U
公开日：
20180213
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置，包括第一升降装置、第二升降装置、推进装置和蓝宝石衬底片摆放盒，采用自动插片技术，实现了自动化存储蓝宝石衬底片，降低了工人劳动强度，免除了手动存储蓝宝石衬底片占用的人力资源；自动插片装置采用工人监督，节约了人力资源，减少了存储的时间，提高了存储的效率，并且避免了手工操作造成蓝宝石衬底片之间相互碰撞而形成的崩边损失；蓝宝石衬底片摆放盒两侧设有夹紧装置，可在工作时固定好蓝宝石衬底片摆放盒，防止蓝宝石衬底片摆放盒在工作过程中倒下和掉落，对蓝宝石衬底片造成损坏。

申请人：江苏吉星新材料有限公司
地址：212200 江苏省镇江市扬中市油坊镇新材料工业园区
国籍：CN
代理机构：上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：陈丽君
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910103218.2
(22)申请日 2019.02.01
(71)申请人江苏吉星新材料有限公司
地址 212200 江苏省镇江市扬中市油坊新
材料工业园区
(72)发明人秦光临　李志强　蔡金荣　
(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限
公司 32200
代理人楼高潮
(51)Int.Cl.
B28D 5/04(2006.01)
B28D 7/00(2006.01)
B28D 7/02(2006.01)
(54)发明名称
一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法
(57)摘要
本发明公开了一种蓝宝石衬底片切片后的
下机方法，所述方法如下：金刚线多线切割机切
割程序自动运行结束后，关闭冷却喷洒系统；打
开切割室防护门，检查蓝宝石晶棒是否完全切穿
并深入玻璃垫条；设置多线切割机手动运行线速
度和线网运行倍率；依据切割过程走线方向与下
机时走线方向相反的规则设置多线切割机手动
走线方向；设置手动抬棒速度；开启冷却喷洒系
统；将切割后的蓝宝石晶棒抬升至线网之上；关
闭手动走线和冷却喷洒系统，将切割后的蓝宝石
衬底片依次取出并按顺序摆放到晶片盒内。

该方
法降低了金刚线摩擦蓝宝石衬底片平边位置所
造成的机械性损伤线切痕的概率，同时，切片后
续的研磨工序降低研磨去除量，节约研磨工序的
加工成本和耗材成本。

权利要求书1页说明书3页CN 109664425 A 2019.04.23
C N 109664425
A
权　利　要　求　书1/1页CN 109664425 A
1.一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1)金刚线多线切割机切割程序自动运行结束后，关闭冷却喷洒系统；
步骤2)打开切割室防护门，使用强光照射来检查蓝宝石晶棒是否完全切穿并深入玻璃垫条2～4mm；
步骤3)设置多线切割机手动运行线速度为4～5m/s，线网运行倍率6～7％；
步骤4)依据切割过程走线方向与下机时走线方向相反的规则设置多线切割机手动走线方向；
步骤5)设置手动抬棒速度为3.5～4.5m/min；
步骤6)开启冷却喷洒系统；
步骤7)点击手动走线按钮，按下手动抬棒按钮，将切割后的蓝宝石晶棒抬升至线网之上15～20mm处；
步骤8)关闭手动走线，关闭冷却喷洒系统，将切割后的蓝宝石衬底片依次取出并按顺序摆放到晶片盒内。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法，其特征在于，步骤1)所述金刚线多线切割机为2英寸或4英寸蓝宝石衬底产品金刚线多线切割机。

2。