溅射离子泵的结构及其抽气机理

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
溅射离子泵的结构及其抽气机理
溅射离子泵又称潘宁泵，它是靠潘宁放电维持抽气的一种无油清洁超高真空泵。

是目前抽惰性气体较好的真空获得设备。

1.溅射离子泵的结构
溅射离子泵主要由阳极、阴极、磁场和电源四大部分组成。

根据阴极、阳极和电位的不同，可以有好几种不同结构，这里仅介绍最简单的二极型溅射离子泵。

图4：溅射离子泵示意图
如图4 所示，阳极由多个不锈钢圆筒(或四方格、六方格)组成，放于两块由钛板组成的阴极之间，磁场方向与阴极板垂直，当阳极加上适当高压(对阴极为正电位)时，在阳极小室内产生放电，这种放电在压强低于1Pa 时发生，放电可维持到很低的压强。

2.溅射离子泵的抽气机理
如图5 所示，在每个阳极筒内发生的物理过程，可分解成六个步骤展开说明。

图5：溅射离子泵抽气机理示意图
1)图中A 表示在低压下，当阴极和阳极间加上高压时，引起场致发射。

2)图中B 表示在电、磁场作用下电子作螺旋运动。