超声振动辅助磨削技术的现状与新进展

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超声加工技术的应用及发展趋势

超声加工技术的应用及发展趋势

1 序言近年来,先进工程材料在航空航天、汽车、半导体、3C和医疗等制造业领域中不断涌现,如钛合金、高温合金、工程陶瓷、陶瓷基复合材料以及蜂窝复合材料等,这些材料具有优异的使用性能,然而机械加工性能很差,属于典型的难加工材料[1]。

在使用传统的机械制造技术对这些材料进行精密加工时遇到了一定的瓶颈,一种新型的制造工艺技术——超声加工技术,即Ultrasonic Machining(UM),受到越来越多的关注并得到大量的应用。

超声加工技术是一种通过超声波振动能量实现难加工材料精密去除的工艺技术,该技术是将超声波振动能量通过一系列结构的传播和变换聚焦在刀具的工作区域,从而形成被切削材料的冲击去除效果,进而可以提高众多难加工材料的可加工性能。

该技术在加工过程中具有众多优点,如:降低切削力和减少切削热、减小刀具磨损和崩边毛刺、优化切屑形态、提高表面质量、降低亚表面损伤以及提高加工效率等(每个加工工艺具体的改善效果因超声刀具、材料、工艺等的不同而存在一定的差别)。

超声加工技术是一种基于功率超声技术发展起来的特种加工技术,它本质上是一个物理去除过程,不涉及材料性质的改变。

随着市场化的需求越来越强烈,超声加工技术中商用标准化系统也成为了目前市场需求的重点,相关的超声加工技术开始走出实验室,在众多典型难加工材料的精密加工中得到应用,如:光学玻璃、蓝宝石、陶瓷、氧化铝陶瓷、钛合金、高温合金、碳纤维复合材料以及铝基碳化硅复合材料等,其应用领域及典型案例如图1所示。

近几年,国内难加工材料的大量应用,带来了较多的超声加工技术应用需求,促使了该技术的市场化,多家科研机构和制造企业纷纷开始进行超声加工技术的产业化应用。

图1超声加工应用领域及典型案例2 超声加工技术发展现状“工欲善其事,必先利其器”,超声加工技术是针对难加工材料精密加工的利器。

在大多数切削加工领域,超声加工更确切的名称应该为“超声辅助精密加工”,即在传统切削加工技术上辅助超声振动,从而实现特殊的材料去除效果。

超声振动切削加工

超声振动切削加工

超声振动切削加工的研究现状及进展摘要:简述了超声振动切削技术的发展、优点及应用领域。

通过将超声振动切削与普通切削比较以及对振动切削过程特点的描述,探讨了超声振动切削的切削机理。

文章还分析了振动切削技术的最新发展, 认为超声振动切削是一项有发展前途的新型技术。

关键词:超声振动切削;难加工材料:切削机理Research of vibration assisted turning cutting technology andIts developmentAbstract:Introduces the history, advantages and application field of the ultrasonic cutting technology(UCT). By compared with ordinary cutting and the characteristics description of the ultrasonic vibration cutting process, explored Ultrasonic vibration cutting of the cutting mechanism. The paper also analyzes an up- to- date vibrating cutting technology and summarizes that the ultrasonic vibration cutting is a promising new technology.Key Words: Ultrasonically vibrating cutting; Difficult - to - machine materials; Cutting Mechanism0 前言超声振动切削技术是把超声波振动的力有规律地加在刀具上,使刀具周期性地切削和离开工件的加工技术, 是结合超声波技术和传统切削工艺的一种新型切削技术。

磨削技术的发展现状

磨削技术的发展现状

磨削技术的发展现状磨削技术是一种将工件表面精确加工为所需形状和尺寸的机械加工方法。

随着现代制造业的发展,磨削技术也在不断进步和完善。

首先,磨削技术的机械设备得到了极大的改进和发展。

传统的磨床已经不再能够满足工艺要求,取而代之的是高速、精密、自动化的磨床。

这些先进的磨床设备具有更高的加工精度和效率,能够处理更复杂和精细的工件。

其次,使用的磨削工具也得到了改进。

传统的磨石逐渐被高硬度、高韧性的刚性磨削磨料所取代。

这些磨料能够更好地满足精密磨削的要求,并且能够提高加工效率和降低成本。

此外,磨削技术的自动化程度也在不断提高。

现代磨床配备了先进的数控系统,可以实现自动化的加工过程。

操作人员只需设定加工参数并监控加工过程,在大部分情况下无需直接干预。

这样不仅提高了加工效率和稳定性,还减少了人工操作错误的可能性。

此外,磨削技术在实现工艺的同时也注重环保和能源的节约。

一方面,磨削加工可以减少物料的浪费。

传统的切削加工通常会产生大量的切屑,而磨削加工则可大大减少切屑。

另一方面,磨削工具的设计也越来越注重能源的节约。

例如,通过优化磨削参数和减少磨削路径的方式,可以大大降低能源的消耗。

此外,磨削技术也逐渐向无损工艺方向发展。

传统的切削加工往往会对工件表面产生变形和残余应力,而磨削加工则可以减少或避免这些问题。

因此,磨削技术在航空航天、汽车、船舶等高精度产品行业得到广泛应用。

总的来说,磨削技术在机械设备、磨削工具、自动化程度、环保性能和应用范围等方面都取得了显著的发展。

随着科技的不断进步和制造业的高速发展,磨削技术将继续迎来新的突破,以满足不断增长的工艺需求。

超声振动加工技术发展趋势

超声振动加工技术发展趋势

超声振动加工技术发展趋势德州海天机电科技有限公司摘要:陶瓷、光学玻璃、功能晶体、金刚石、宝石和先进复合材料等具有优越的物理、化学和机械性能,在航空、航天、军工、电子、汽车和生物工程等领域正得到越来越广泛的应用,并且其应用还在不断向新的领域扩展。

与此同时,人们开始探索特种加工方式来加工这些难加工材料。

超声加工技术就是在此背景下发展起来的,实践证明,它是加工上述难加工硬脆材料的高效和经济有效的方法之一。

关键词:超生加工发展特点及优势应用潜能一、超声加工技术的发展1927年,美国物理学家伍德和卢米斯最早作了超声加工试验,利用超声振动对玻璃板进行雕刻和快速钻孔。

但当时超声加工并未应用到工业上,直到大约1940年在文献上第一次出现超声加工(USM-Ultrasonic Machining)工艺技术描述以后,超声加工才吸引了大家的注意,并且逐渐融入到其他的工业领域。

1951年,科恩研制了第一台实用的超声加工机,为超声加工技术的发展奠定了基础。

USM提供了比常规机械加工技术更多的优点。

例如,导电和非导电材料它都可以加工,并且加工复杂的三维轮廓也可以像简单形状那样快速。

此外,超声加工过程不会产生有害的热区域,同时也不会在工件表面带来化学/ 电气变化,而且加工时在工件表面上所产生的有压缩力的残余应力可以增加被加工零件的高周期性疲劳强度。

然而,在USM中必须供给磨料工作液,并且要保证加工过程中能有效清除刀具和工件间隙中的切屑和磨损磨粒。

因此,材料的去除速率相当慢,甚至于在切削深度较大时会停止工作。

而且,在磨粒及切屑混合液的流通过程中,对已加工表面或者孔壁会造成二次磨蚀,导致工件加工精度的降低,尤其是小孔加工。

此外,磨料工作液还会磨蚀刀具本身,它将引起刀具端面及径向的大量磨损,从而很难保证加工精度。

为了克服这些问题,P. Legge提出采用固结金刚石刀具,结合工件的旋转进行孔加工的方法,形成了最初的旋转超声加工。

这种加工方法克服了普通超声加工中游离超硬磨料液在刀具和工件之间流通不畅,以及磨料对加工刀具和加工孔壁的磨蚀等问题,同时使加工精度和材料的去除率得到了显著提高。

超声振动辅助磨削技术应用研究进展

超声振动辅助磨削技术应用研究进展

合加工性能。

发展趋势
❖超声振动辅助磨削技术是一个新的研究领域,
其加工机理、加工方法及加工装置的研究还有待
于深入和完善。
发 展 趋 势
发展趋势
高效稳定超声振动系统研究
现有的实验及实用振动切削加工系统输出功率小
、能耗高,因此,期待实用的大功率振动系统到
发 展
目前为止,输出能量为4kW的振动系统已研制出
超声振动辅助磨削技术应用研 究进展
内容
1
前言
2
发展回顾
3
研究现状
4
发展趋势
前言
不足
概念
优势
前言
❖航空、电子、光学及通信工业的新技术迅猛发展,对 硬脆性材料、难加工材料和新型先进材料的需求日益增 多,对关键零件的加工效率、加工质量和加工精度提出 了更高的要求。
前言
❖传统加工方法是超精密磨削和单点金刚石切削; ❖产生较大的磨削力以及磨削热,引起工件表面、亚表面损 伤以及砂轮寿命低;
优点 提高材料去除率,延长工具的寿命
UV优AM点
提高脆性与研性域发生转变的临界切削深度, 实现脆性材料的延性域加工,使复杂光学元件 表面超精密加工可以不须采用磨削和抛光的方 法完成加工。
发展回顾
超 声
首先是应用在材料的切削加工

动 1927年,R.W.Wood和A.L.Loomis发表了有关

削 超声波加工的论文,超声加工首次提出。
维 超
期分离现象,磨削刃作用时间变短,摩擦系数大幅
声 振
度降低,从而促使磨削力大幅度减小,材料去除率
动 磨
显著增大。



研究现状
轴向振动使不同磨削刃的切削轨迹互相干涉而产生

超声振动磨削技术、

超声振动磨削技术、

超声振动精密磨削技术的发展1、引言随着科学技术的进步,金属间化合物、工程陶瓷、石英、光学玻璃等硬脆材料以及各种增韧、增强的新型复合材料因其高硬度、耐磨损、耐高温、化学稳定性好、耐腐蚀等优点在航空航天、国防科技、生物工程、计算机工程等尖端领域中的应用日益广泛;但由于这些材料的脆硬特性,传统加工方法已不能满足对这些材料零件的精密加工要求,,因此有关其精密超精密磨削加工技术便成为世界各国研究的热点。

超声振动精密磨削技术便是顺应这一需要而发展起来的技术之一。

超声振动磨削技术的基本原理为:由超声波发生器产生的高频电振荡信号(一般为16~25KHz)经超声换能器转换成超声频机械振动,超声振动振幅由变幅杆放大后驱动工具砂轮产生相应频率的振动,使刀具与工件之间形成周期性的切削。

即工具砂轮在旋转磨削的同时做高频振动。

超声加工技术的经历了从传统超声波加工到旋转超声波加工的发展阶段,旋转式超声加工是在传统超声加工的工具上叠加了一个旋转运动。

这种加工用水带走被去除的材料并冷却工具,不需要传统超声加工中的磨料悬浮液,因此,这种方法被广泛的运用于超声振动磨削加工中[6]。

2、超声振动磨削技术发展回顾1927 年,R.W.Wood 和 A.L.Loomis 就发表了有关超声波加工的论文,超声加工首次提出。

1945 年L.Balamuth 就申请了关于超声加工的专利。

20 世纪 50~60 年代日本学者隈部淳一郎发表了许多对振动切削进行系统研究的论文,提出了振动切削理论,并成功实现了振动磨削等加工 [8] 。

1960 年左右,英国 Hawell 原子能研究中心的科学家发明了新的超声磨削复合加工方法。

超声振动磨削加工在难加工材料和高精度零件的加工方面显示了很大的优越性。

1986 年日本学者石川健一受超声电机椭圆振动特性启发,首次提出了“椭圆振动切削方法”(elliptical vibration cutting)。

20 世纪 90 年代初,日本神户大学社本英二等人对超声椭圆振动切削技术进行了深入研究,其最具代表性的研究成果是利用金刚石刀具采用双激励双弯曲合成椭圆振动的方式对黑色金属淬火不锈钢进行精密车削,最小表面粗糙度可以达到 Ra0.0106um,不但解决了金刚石不能加工黑色金属的难题,而且使这项技术达到了实用化阶段。

超声辅助加工发展现状及未来趋势分析

超声辅助加工发展现状及未来趋势分析

超声辅助加工发展现状及未来趋势分析超声辅助加工是一种利用超声波在材料加工过程中产生的力和微振动效应来提高加工效率和品质的新兴技术。

它在金属加工、陶瓷加工、玻璃加工、塑料加工等领域都有广泛应用。

本文将分析超声辅助加工的现状以及未来的发展趋势。

首先,我们来看超声辅助加工的现状。

随着加工技术的不断提升和超声辅助加工技术的逐渐成熟,越来越多的制造企业开始使用超声辅助加工技术。

超声辅助加工可以提高加工精度和表面质量,同时还能降低加工过程中的工具磨损和切削力,从而延长工具寿命。

通过超声辅助加工,可以实现对微小细节的加工,提高加工效率和加工精度,并缩短加工周期。

其次,超声辅助加工在不同领域的应用也在不断扩展。

在金属加工领域,超声辅助加工可以用来加工硬脆材料,如陶瓷、玻璃、石墨等,可以实现对高硬度材料的加工和切削。

在塑料加工领域,超声辅助加工可以用来实现对微细结构的加工,提高塑料制品的表面光洁度和尺寸精度。

在医疗领域,超声辅助加工技术可以用于植入物的制造和修复,具有很大的应用潜力。

超声辅助加工技术还具有许多优势。

首先,它可以降低热变形和应力集中现象,减少材料的退火现象,提高加工品质。

其次,超声辅助加工可以降低加工过程中的切削力和磨损,从而延长工具寿命。

此外,超声辅助加工可以减少加工过程中的切削力和振动,在一定程度上减少环境噪音和震动对设备的损坏。

在未来,超声辅助加工技术有着广阔的应用前景。

首先,随着高性能材料的不断发展和广泛应用,对高精度加工和特殊形状加工的需求也在增加。

超声辅助加工技术可以满足这一需求,提高加工精度和加工效率。

其次,随着人们对生活品质要求的提高,对制造品质和加工表面质量的要求也越来越高。

超声辅助加工技术可以实现对微细结构的加工,提高制造品质和加工表面质量。

此外,超声辅助加工技术在医疗领域也有广阔的应用前景,可以用于植入物的制造和修复。

未来随着超声辅助加工技术的不断发展和创新,它将能够适应各种复杂、高精度和高材料性能要求的加工需求。

超声振动车削加工的研究现状及进展

超声振动车削加工的研究现状及进展

溢出效应的主要 因素 ,因为每 1 个单位 的技术差距 ,只能引起 参 考文献 1.%的溢出效应 的发生 。也就是说 , 阳市装备制造业 内外资 1陈涛涛外 商直接投资的行业内溢出效应【 】B 经济科学出版社,04 2 7 沈 Ij 京: Ⅵ 20 . 企业 目前的技术差距还不足以能够充分影响外商直接投资的技 术溢出效应 , 内资企业还应该继续提升 自身 的技术水平 , 减少与 外资企业 的技术差距 ,使 自身能够对吸收的溢出效应进行 转化
生在 2 0世纪 6 0年代对超声振动切削技术完成 了大量开创性工
阳市部分大 中型国有企业所 有制结构不合理 , 生产设备老化 , 生 我国工业企业 的必 由之路。外资企业 的进入给我国的经济发展
产效率低下 , 因而造 成资不抵 债 , 连年 亏损 , 严重影 响了整 个产 带来 了一派繁荣的景象 , 但是我们 同时也应该看到 , 利用外资企
中图分 类号 :H1 , G 文献标 识码 : T 6T 5 A
1 前言
超声振动切削技术是把超声波振动的力有规律地加在刀具
★来稿 日期 :0 6 1— 3 2 0 — 2 2
上使刀具周期性地切削和离开工件 的加工技术 ,是结合超声波 技 术和传统切削工艺的一种新型切削技术。 1本 隈部淳一郎先 3
个 百 分点 。
极端的情形 是 , 资企业 获得垄断地位后 , 外 利用不完善 在模 型 5中 ,A F C与 F R的乘积项 的回归系数 6显 著为 的利益 , O 获取超额利润 , 并将利润输 回母国。 因此 , 政府 正, 统计结果表 明, 外资企业与内资企业 的技术差距有 利于外资 的市场竞争条件 , 企业 的溢 出效应 , 但是从系数上来看 , 技术差距并不能作为影响 在看到引进外资积极面 的同时 , 也应该注意防范风险 。

超声振动辅助磨削技术的现状与新进展

超声振动辅助磨削技术的现状与新进展
L ANG iq a g 一, W ANG — i ,W U n . , LIYo g I Zh . i n Xib n Yo g bo n ,ZHAO e — in , P W nxa g ANG iq n S — i
( .Ke a oaoy o u d me tl ce c o d a cd Ma hnn 1 yL b rtr fF n a na S in efrA vn e c iig,B in n tueo eh ooy,B in 0 ,C ia ej gIsi t fT cn lg i t ej g1 0 8 i 0 1 hn ;
关键词 : 械制造工 艺与设备 ;超声 辅助磨 削; 圆振 动;硬脆 材料 ;磨 削力 ;粗 糙度 机 椭
中图分类 号 : G 5 T 16 文 献标志码 : A 文 章 编 号 : 0 0 19 (0 0 l.5 00 10 0 3 2 1 ) 】13 .6
S a u n o r s f Ulr s ni ss e i di c ni u t t s a d Pr g e s o t a o c As it d Gr n ng Te h q e
第 3 卷第 1 期 1 1
2 0 10年 1 1月




V0 . NO. I 1 3l 1
ACTA ARM AM ENTARI I
NO . 2Ol V O
超 声振 动辅 助 磨 削技 术 的现 状 与新 进 展
梁 志 强 ,王 西彬 ,吴 勇波 ,栗 勇 ,赵 文祥 ,庞Байду номын сангаас思 勤
( 北 京 理 工 大学 先进 加 工 技 术 国 防重 点 学 科 实验 室 , 京 1 0 8 ; 1 北 0 0 1

超声加工技术的现状与发展趋势

超声加工技术的现状与发展趋势

超声加工技术的现状及发展趋势前言:超声波加工是利用超声振动工具在有磨料的液体介质中或干磨料中产生磨料的冲击、抛磨、液压冲击及由此产生的气蚀作用来去除材料,或给工具或工件沿一定方向施加超声频振动进行振动加工,或利用超声振动使工件相互结合的加工方法。

超声波加工技术是一种涉及面广且更新快的机械加工技术。

结合近年来超声加工技术的发展状况,综述了超声振动系统的研究进展和超声加工技术在深小孔加工、拉丝模及型腔模具研磨抛光、难加工材料的加工、超声振动切削、超声复合加工等方面的最新应用,并阐述了超声加工技术的发展趋势。

关键词:超声波加工、超声振动、声复合加工、应用、发展、正文:1、超声振动系统的研究进展及其应用超声振动系统由换能器、变幅杆和工具头等部分组成,是超声设备的核心部分。

在传统应用中,超声振动系统大都采用一维纵向振动方式,并按“全调谐”方式工作。

但近年来,随着超声技术基础研究的进展和在不同领域实际应用的特殊需要,对振动系统的工作方式和设计计算、振动方式及其应用研究都取得了新的进展。

日本研究成功一种半波长弯曲振动系统,其切削刀具安装在半波长换能振动系统细端,该振动系统换能器的压电陶瓷片采用半圆形,上下各两片,组成上下两个半圆形压电换能器(压电振子),其特点是小型化,结构简单,刚性增强。

日本还研制成一种新型“纵-弯”型振动系统,并已在手持式超声复合振动研磨机上成功应用。

该系统压电换能器也采用半圆形压电陶瓷片产生“纵-弯”型复合振动。

日本金泽工业学院的研究人员研制了加工硬脆材料的超声低频振动组合钻孔系统。

将金刚石中心钻的超声振动与工件的低频振动相结合,制造了一台组合振动钻孔设备,该设备能检测钻孔力的变化以及钻孔精度和孔的表面质量,并用该组合设备在不同的振动条件下进行了一系列实验。

实验结果表明,将金刚石中心钻的超声振动与工件的低频振动相结合是加工硬脆材料的一种有效方法。

另一种超声扭转振动系统已在“加工中心”用超声扭转振动装置上应用。

超声振动磨削技术、

超声振动磨削技术、

超声振动精密磨削技术的发展1、引言随着科学技术的进步,金属间化合物、工程陶瓷、石英、光学玻璃等硬脆材料以及各种增韧、增强的新型复合材料因其高硬度、耐磨损、耐高温、化学稳定性好、耐腐蚀等优点在航空航天、国防科技、生物工程、计算机工程等尖端领域中的应用日益广泛;但由于这些材料的脆硬特性,传统加工方法已不能满足对这些材料零件的精密加工要求,,因此有关其精密超精密磨削加工技术便成为世界各国研究的热点。

超声振动精密磨削技术便是顺应这一需要而发展起来的技术之一。

超声振动磨削技术的基本原理为:由超声波发生器产生的高频电振荡信号(一般为16~25KHz)经超声换能器转换成超声频机械振动,超声振动振幅由变幅杆放大后驱动工具砂轮产生相应频率的振动,使刀具与工件之间形成周期性的切削。

即工具砂轮在旋转磨削的同时做高频振动。

超声加工技术的经历了从传统超声波加工到旋转超声波加工的发展阶段,旋转式超声加工是在传统超声加工的工具上叠加了一个旋转运动。

这种加工用水带走被去除的材料并冷却工具,不需要传统超声加工中的磨料悬浮液,因此,这种方法被广泛的运用于超声振动磨削加工中[6]。

2、超声振动磨削技术发展回顾1927 年,R.W.Wood 和 A.L.Loomis 就发表了有关超声波加工的论文,超声加工首次提出。

1945 年L.Balamuth 就申请了关于超声加工的专利。

20 世纪 50~60 年代日本学者隈部淳一郎发表了许多对振动切削进行系统研究的论文,提出了振动切削理论,并成功实现了振动磨削等加工 [8] 。

1960 年左右,英国 Hawell 原子能研究中心的科学家发明了新的超声磨削复合加工方法。

超声振动磨削加工在难加工材料和高精度零件的加工方面显示了很大的优越性。

1986 年日本学者石川健一受超声电机椭圆振动特性启发,首次提出了“椭圆振动切削方法”(elliptical vibration cutting)。

20 世纪 90 年代初,日本神户大学社本英二等人对超声椭圆振动切削技术进行了深入研究,其最具代表性的研究成果是利用金刚石刀具采用双激励双弯曲合成椭圆振动的方式对黑色金属淬火不锈钢进行精密车削,最小表面粗糙度可以达到 Ra0.0106um,不但解决了金刚石不能加工黑色金属的难题,而且使这项技术达到了实用化阶段。

超声振动切削的发展现状

超声振动切削的发展现状

超声振动切削的发展现状作者:李征李辉殷振来源:《中小企业管理与科技·下旬刊》2011年第07期摘要:超声振动切削技术具有独特的切削原理和优越的工艺效果,广泛应用于难加工材料。

本文主要介绍了超声振动切削的原理、优点和应用,概述了超声振动切削的国内外发展现状。

关键词:超声振动切削发展现状0 引言随着科学技术的发展,各种难加工的新材料和复合材料在工业中的应用日益广泛,特别是光学玻璃、人工晶体、工程陶瓷等硬脆性材料也得到了极为广泛地应用。

由于材料的高硬度、高脆性和零件结构的复杂性给加工带来了极大的困难,从而限制了新材料和新结构应用范围的进一步扩展。

超声振动切削技术具有独特的切削原理和优越的工艺效果。

它可以明显地提高加工表面质量、加工精度和加工效率,特别是对工程陶瓷等硬脆难加工材料、有色金属的精密加工具有独特的优越性,因而引起了国内外学者的广泛重视。

1 超声振动切削技术超声振动切削是一种脉冲切削。

振动切削过程中,由于刀具有规律的振动,刀具和工件产生周期性的接触与分离,使刀具在振动的一个周期中的极短时间内完成了切削,从而形成了脉冲切削的方式。

超声振动切削的脉冲切削力的平均值要远小于普通切削,一般可减小到普通切削的1/3~1/10。

振动切削中,刀具在振动源驱动下周期性接触、离开工件,切削液可充分进入切削区,切削液使用效果得到提高,刀具的耐用度也得到了提高。

同时,切屑容易顺利排出,加工表面的耐磨性和耐腐蚀性得到提高。

2 国内外研究现状振动切削是一种新型的非传统的特种切削加工方法,它是给刀具(或工件)以适当的方向、一定的频率和振幅的振动,以改善其切削功效的脉冲切削方法。

与普通切削相比,振动切削具有切削力小、切削热降低、工件表面质量高、切屑处理容易、刀具耐用度提高、加工稳定、生产效率高等优点。

我国超声加工技术的研究始于50年代末,60年代初,哈尔滨工业大学应用超声车削,加工了一批飞机上的铝制细长轴,取得了良好的切削效果。

超声技术在材料加工中的新进展

超声技术在材料加工中的新进展

超声技术在材料加工中的新进展超声技术是一种非常有前途的技术,它可以在材料加工过程中起到很重要的作用。

近年来,随着科技的不断进步,超声技术也得到了不断的完善和发展。

本文主要讨论超声技术在材料加工中的新进展,包括超声振动切削、超声往复振动穿孔、超声辅助喷涂等方面。

一、超声振动切削超声振动切削是一种先进的材料加工方式。

在这种加工方式中,通过超声波来产生高强度的振动,将刀刃与工件产生较小的接触力,从而实现高效、高精度和高光洁度的切削加工。

与传统的切削方式相比,超声振动切削能够减少因切削力产生的热变形、热源等问题,在切削过程中减少了工件的变形和热效应。

同时,由于振动刀具能够切削更薄、更硬的材料,因此在加工金属、塑料和陶瓷材料方面有很广泛的应用。

近年来,随着超声技术的不断发展,超声振动切削技术也在不断优化和改进。

例如,研究人员利用超声振动切削技术开发出了一种新型的切割刀具,可以实现更高的质量和效率。

此外,还有研究人员使用超声振动切削技术加工纤维增强材料,提高了加工精度和表面质量。

二、超声往复振动穿孔超声往复振动穿孔技术是一种高效、高精度的穿孔方式。

传统的穿孔方式通常采用机械切割或激光穿孔,但由于这些方法受到材料的限制,很难达到高精度的效果。

超声往复振动穿孔技术通过超声波的作用实现穿孔,并可以在一定程度上改善传统穿孔方法的缺陷。

目前,超声往复振动穿孔技术已经在微电子、微机器人、精密制造等领域得到了广泛应用。

例如,在电子芯片的制造过程中,使用超声往复振动穿孔技术可以实现更高的精度和可靠性。

三、超声辅助喷涂超声辅助喷涂技术是一种新兴的涂层技术。

该技术通过超声波的高频振动使涂料微粒受到激励,形成颗粒的聚合体,从而形成更加均匀和致密的涂膜。

与传统的涂层方式相比,超声辅助喷涂技术可以提高涂层的质量和成形率,并且节省材料成本。

近年来,该技术已经在汽车制造、建筑物防水材料、涂料喷涂等领域得到了广泛的应用。

总体来看,超声技术在材料加工中的新进展主要集中在超声振动切削、超声往复振动穿孔和超声辅助喷涂等方面。

《2024年超声波技术应用现状》范文

《2024年超声波技术应用现状》范文

《超声波技术应用现状》篇一一、引言随着现代科技的发展,超声波技术已成为多个领域不可或缺的工具。

超声波是指振动频率超过人耳可听范围的高频振动波,其在物理学、化学、医学、工程学等多个领域都得到了广泛的应用。

本文将就超声波技术的定义、特点及其在各领域的应用现状进行详细阐述。

二、超声波技术概述超声波技术以其非接触式检测和高效的特性被广泛运用。

通过传播速度快和衰减小等特性,该技术可有效地获取数据,分析结构特性以及提供相关物性参数。

该技术的关键优势在于其高度的非接触性和灵活性,使它在多个领域都能发挥作用。

三、超声波技术在医学领域的应用医学领域是超声波技术应用最为广泛的领域之一。

首先,在诊断方面,超声波技术已被广泛应用于各类医学影像检查,如超声心动图和腹部B超等,其对于人体内脏器的形态、大小以及病理改变有着极其准确的检测效果。

其次,在医学治疗方面,超声波技术也发挥了重要作用,如高强度聚焦超声治疗肿瘤等。

此外,超声波技术还用于外科手术中的辅助治疗和手术导航等。

四、超声波技术在工程领域的应用在工程领域,超声波技术的应用主要集中于材料无损检测和非金属材料探伤。

超声波可以用于检测金属和非金属材料内部的裂纹、气泡和杂质等缺陷,是产品质量控制和工艺优化的重要手段。

同时,超声波也在水利工程中用于检测大坝、水库等设施的裂缝和安全隐患。

此外,在石油工程中,超声波技术也用于地层结构的探测和油藏评估等。

五、超声波技术在其他领域的应用除了医学和工程领域,超声波技术在其他领域也得到了广泛的应用。

如在商业领域的表面涂层检查,它能确保产品符合特定的质量标准;在科学研究方面,超声的相互作用也经常用于测量和分析物理化学特性等;在工业上,还可以用于物料控制与生产流程监测等方面。

六、未来展望随着科技的不断进步和研发的深入进行,未来超声波技术的应用将会更加广泛和深入。

其精准度将不断提高,适用范围将进一步扩大,将会更好地服务于各领域的应用需求。

另外,新型材料、微电子技术的发展也将在很大程度上促进超声波技术的革新和发展。

超声振动辅助磨削技术研究进展ppt课件

超声振动辅助磨削技术研究进展ppt课件

磨 界上首次提出并实现采用超声频调制电火花与

技 超声波复合的研磨、抛光加工技术。与纯超声

发 波研磨、抛光相比,效率提高5倍以上,并节约
展 回
了大量的金刚石磨料。

发展回顾
超 声
20世纪80年代后期,天津大学李天基等人在
振 动
高速磨削的同时对磨头施以超声振动,提出了
磨 高效的超声磨削复合加工方法,效率比传统的
削 技
主要由垂直方向粗糙度决定,通过改变加工参数
术 方法很难显著降低表面粗糙度。
研究现状
一 维
Denkena研究发现在轴向振动磨削过程中,砂轮
轴 轴向分布的不同磨粒对工件起重复研磨作用,从

超 而能获得高质量加工表面。还指出使用普通粒径

振 大小的砂轮磨粒进行超声波磨削时,超声波辅助
动 磨
作用对表面质量不会有积极影响。

技 1945年,L.Balamuth申请了关于超声加工的

发 专利。



发展回顾
超 声
20世纪50~60年代日本学者隈部淳一郎对振
振 动
动切削进行系统研究,提出了振动切削理论,
磨 并成功实现了振动磨削加工 。

技 20世纪60年代,英国Hawell原子能研究中心

发 的科学家发明了新的超声磨削复合加工方法。
超声振动辅助磨削技术研究 进展
内容
1
前言
2
发展回顾
3
研究现状
4
发展趋势
前言
不足
概念
优势
前言
航空、电子、光学及通信工业的新技术迅猛发展, 对硬脆性材料、难加工材料和新型先进材料的需求 日益增多,对关键零件的加工效率、加工质量和加 工精度提出了更高的要求。

超声波辅助研磨技术探究

超声波辅助研磨技术探究

超声波辅助研磨技术探究超声波辅助研磨技术探究近年来,随着科技的不断进步,超声波辅助研磨技术成为了研磨领域中的一项重要技术。

它通过利用超声波的特殊效应,提高了研磨过程中的效率和质量。

本文将对超声波辅助研磨技术进行探究。

超声波辅助研磨技术是将超声波与研磨过程相结合的一种研磨方式。

超声波是指频率超过20kHz的声波,其振动频率高达数十万次每秒。

相比传统的研磨方式,超声波辅助研磨技术具有独特的优势。

首先,超声波能够产生强大的声波振动。

在超声波的作用下,研磨工具与工件之间会产生高频振动,这种振动能够有效地破坏材料表面的氧化膜和附着层,提高研磨的效率。

同时,超声波振动还可以促使研磨液中的颗粒快速流动,增加研磨面与工具之间的接触频次,从而提高研磨的质量。

其次,超声波辅助研磨技术还具有材料表面修复的作用。

在研磨过程中,由于材料表面的缺陷和磨削引起的微观伤痕,会导致材料的力学性能下降。

而超声波的振动能够促进材料分子的重新排列和结晶,修复表面的缺陷和伤痕,提高材料的表面质量和力学性能。

此外,超声波辅助研磨技术还可以减少研磨过程中的磨损。

在传统的研磨过程中,由于磨料与工件之间的摩擦,会产生大量的热量,导致磨料和工件的磨损加剧。

而超声波的振动能够减少摩擦热的产生,降低磨料和工件的摩擦系数,从而减少磨损。

然而,超声波辅助研磨技术也存在一些挑战。

首先,超声波振动的能量较大,容易对材料造成损伤。

在应用超声波辅助研磨技术时需要控制超声波的能量和频率,以避免对材料的损伤。

其次,超声波辅助研磨技术的设备成本较高,需要专门的设备进行研磨。

因此,超声波辅助研磨技术的推广和应用还需要进一步的研究和开发。

总之,超声波辅助研磨技术作为一种创新的研磨方式,具有提高研磨效率和质量的潜力。

通过合理控制超声波的能量和频率,可以有效地应用超声波辅助研磨技术进行材料表面的加工和修复。

随着科技的进步,相信超声波辅助研磨技术将在各个领域得到更广泛的应用。

超声振动加工在磨削领域国内专利技术发展趋势分析

超声振动加工在磨削领域国内专利技术发展趋势分析

超声振动加工在磨削领域国内专利技术发展趋势分析超声振动磨削技术主要应用于硬脆材料及非金属材料的加工。

超声振动的应用,实现了对难加工材料的加工,提高了加工效率和精度。

本文首先分析了超声振动加工的关键技术及其分类,再对国内的专利申请总量和分布以及各技术分支的发展趋势进行了分析,最后对超声振动磨削加工的发展进行了展望。

标签:超声振动;磨削加工;专利;发展趋势超声振动磨削加工主要由超声波发生器产生的高频电振荡信号经超声换能器转换成超声频机械振动,超声振动振幅由变幅杆放大后驱动磨削工具产生相应频率的振动,使刀具与工件之间形成周期性的切削[1]。

本文将从超声振动磨削加工关键技术分析和超声振动磨削加工发展趋势两个方面进行分析。

1 超声振动磨削加工关键技术分析超声振动系统由换能器、变幅杆和工具头等部分组成,是超声设备的核心部分。

根据磨削工具的不同,超声振动磨削加工可分为三大类:①超声振动砂轮磨削加工,例如广东工业大学申请的专利(CN101823216A)一种超声磨削设备,②超声振动磨料加工,例如湖南大学申请的专利(CN101844320A)中涉及的一种曲面零件的精密高效抛光方法及装置,③超声振动复合加工,例如北京市电加工研究所申请的专利(CN1007135U)中涉及的一种电火花超声波复合技工方法及脉冲与超声波发生装置。

而超声振动砂轮磨削加工根据超声源的不同则又分为一维、二维、三维超声振动磨削;超声振动磨料加工利用超声振动工具在有磨料的液体介质中或干磨料中产生磨料的冲击、抛磨、液压冲击及由此产生的气蚀作用来去除材料[2],其最为典型的应用为采用超声振动抛光液去除毛刺;超声复合加工则根据复合介质的不同分为超声复合电加工和超声复合束流加工。

2 超声振动磨削加工发展趋势2.1 超声振动磨削加工发展趋势从图1超声振动磨削加工专利申请总量年度发展趋势来看,超声振动磨削加工申请自1987年在中国出现以来,其技术发展经历了三个阶段:1987-1999年为摸索阶段,在此期间国内申请量较小;2000-2010年为稳步增长阶段,在此期间随着国内超声振动加工的普及,其在磨削领域应用逐步完善;2011-2014年为大量申请阶段,随着需求量的增加,在此期间,国内的申请量出现井喷式增长。

超声加工技术的现状及其发展计划趋势

超声加工技术的现状及其发展计划趋势

超声加工技术的现状及发展趋势前言:超声波加工是利用超声振动工具在有磨料的液体介质中或干磨料中产生磨料的冲击、抛磨、液压冲击及由此产生的气蚀作用来去除材料,或给工具或工件沿一定方向施加超声频振动进行振动加工,或利用超声振动使工件相互结合的加工方法。

超声波加工技术是一种涉及面广且更新快的机械加工技术。

结合近年来超声加工技术的发展状况,综述了超声振动系统的研究进展和超声加工技术在深小孔加工、拉丝模及型腔模具研磨抛光、难加工材料的加工、超声振动切削、超声复合加工等方面的最新应用,并阐述了超声加工技术的发展趋势。

关键词:超声波加工、超声振动、声复合加工、应用、发展、正文:1、超声振动系统的研究进展及其应用超声振动系统由换能器、变幅杆和工具头等部分组成,是超声设备的核心部分。

在传统应用中,超声振动系统大都采用一维纵向振动方式,并按“全调谐”方式工作。

但近年来,随着超声技术基础研究的进展和在不同领域实际应用的特殊需要,对振动系统的工作方式和设计计算、振动方式及其应用研究都取得了新的进展。

日本研究成功一种半波长弯曲振动系统,其切削刀具安装在半波长换能振动系统细端,该振动系统换能器的压电陶瓷片采用半圆形,上下各两片,组成上下两个半圆形压电换能器(压电振子),其特点是小型化,结构简单,刚性增强。

日本还研制成一种新型“纵-弯”型振动系统,并已在手持式超声复合振动研磨机上成功应用。

该系统压电换能器也采用半圆形压电陶瓷片产生“纵-弯”型复合振动。

日本金泽工业学院的研究人员研制了加工硬脆材料的超声低频振动组合钻孔系统。

将金刚石中心钻的超声振动与工件的低频振动相结合,制造了一台组合振动钻孔设备,该设备能检测钻孔力的变化以及钻孔精度和孔的表面质量,并用该组合设备在不同的振动条件下进行了一系列实验。

实验结果表明,将金刚石中心钻的超声振动与工件的低频振动相结合是加工硬脆材料的一种有效方法。

另一种超声扭转振动系统已在“加工中心”用超声扭转振动装置上应用。

超声振动切削的发展现状_李征

超声振动切削的发展现状_李征

摘要:超声振动切削技术具有独特的切削原理和优越的工艺效果,广泛应用于难加工材料。

本文主要介绍了超声振动切削的原理、优点和应用,概述了超声振动切削的国内外发展现状。

关键词:超声振动切削发展现状0引言随着科学技术的发展,各种难加工的新材料和复合材料在工业中的应用日益广泛,特别是光学玻璃、人工晶体、工程陶瓷等硬脆性材料也得到了极为广泛地应用。

由于材料的高硬度、高脆性和零件结构的复杂性给加工带来了极大的困难,从而限制了新材料和新结构应用范围的进一步扩展。

超声振动切削技术具有独特的切削原理和优越的工艺效果。

它可以明显地提高加工表面质量、加工精度和加工效率,特别是对工程陶瓷等硬脆难加工材料、有色金属的精密加工具有独特的优越性,因而引起了国内外学者的广泛重视。

1超声振动切削技术超声振动切削是一种脉冲切削。

振动切削过程中,由于刀具有规律的振动,刀具和工件产生周期性的接触与分离,使刀具在振动的一个周期中的极短时间内完成了切削,从而形成了脉冲切削的方式。

超声振动切削的脉冲切削力的平均值要远小于普通切削,一般可减小到普通切削的1/3~1/10。

振动切削中,刀具在振动源驱动下周期性接触、离开工件,切削液可充分进入切削区,切削液使用效果得到提高,刀具的耐用度也得到了提高。

同时,切屑容易顺利排出,加工表面的耐磨性和耐腐蚀性得到提高。

2国内外研究现状振动切削是一种新型的非传统的特种切削加工方法,它是给刀具(或工件)以适当的方向、一定的频率和振幅的振动,以改善其切削功效的脉冲切削方法。

与普通切削相比,振动切削具有切削力小、切削热降低、工件表面质量高、切屑处理容易、刀具耐用度提高、加工稳定、生产效率高等优点。

我国超声加工技术的研究始于50年代末,60年代初,哈尔滨工业大学应用超声车削,加工了一批飞机上的铝制细长轴,取得了良好的切削效果。

1973年上海超声波电子仪器厂研制成功CNM-2型超声研磨机。

1982年,上海钢管厂、中国科学院声学研究所及上海超声波仪器厂研制成功超声拉管设备,为我国超声加工在金属塑性加工中的应用填补了空白。

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第31卷第11期2010年11月兵工学报ACTA ARMAMENTARIIVol.31No.11Nov.2010超声振动辅助磨削技术的现状与新进展梁志强1,2,王西彬1,吴勇波2,栗勇1,赵文祥1,庞思勤1(1.北京理工大学先进加工技术国防重点学科实验室,北京100081;2.秋田県立大学系统科学技术学部,秋田290014,日本)摘要:如何实现硬脆性材料的高效率、高质量、高精度加工是现代精密制造领域的技术难题,为解决这一难题超声波振动磨削技术被引入到硬脆性材料的加工中。

综述了超声振动磨削技术的现状,基于现有的一维振动磨削与二维振动磨削技术,着重分析了不同超声振动施加方式对磨削力、加工表面完整性、砂轮磨损等加工特性的影响。

作为二维振动磨削技术的最新进展,对垂直型椭圆振动磨削技术的加工原理以及加工特性进行初步介绍。

关键词:机械制造工艺与设备;超声辅助磨削;椭圆振动;硬脆材料;磨削力;粗糙度中图分类号:TG156文献标志码:A 文章编号:1000-1093(2010)11-1530-06Status and Progress of Ultrasonic Assisted Grinding TechniqueLIANG Zhi-qiang 1,2,WANG Xi-bin 1,WU Yong-bo 2,LI Yong 1,ZHAO Wen-xiang 1,PANG Si-qin 1(1.Key Laboratory of Fundamental Science for Advanced Machining ,Beijing Institute of Technology ,Beijing 100081,China ;2.Faculty of Systems Science and Technology ,Akita Prefectural University ,Akita 290014,Japan )Abstract :In current precision machining field ,there is a critical problem to achieve high efficiency ,high-quality and high-precision machining for hard brittle material.Based on this background ,the ultra-sonic assisted grinding machining is widely introduced as a promising processing technology.In this pa-per ,the machining characteristics ,especially grinding forces ,ground surface integrality and wheel wear ,of both one-dimensional and two-dimensional ultrasonic assisted grinding techniques are analyzed.As a new progress ,the principle and fundamental characteristics of vertical elliptical ultrasonic assisted grind-ing method are introduced.Key words :machinofacturing technique and equipment ;ultrasonic assisted grinding ;elliptical vibra-tion ;hard brittle material ;grinding force ;surface roughness 收稿日期:2009-11-13基金项目:国家自然科学基金资助项目(50935001);国防科研资助项目(62301090103)作者简介:梁志强(1984—),男,博士研究生。

E-mail :liangdjx@yahoo.com ;王西彬(1958—),男,教授,博士生导师。

E-mail :cutting0@bit.edu.cn 随着科技的发展对硬脆性材料、难加工材料和新型先进材料的需求日益增多,对关键零件的加工效率、加工质量和加工精度提出了更高的要求。

传统磨削方法因不可避免的产生较大的磨削力以及磨削热,引起工件表面/亚表面损伤以及砂轮寿命低等一系列问题。

尤其在精密与超精密加工领域,这些加工缺陷的存在严重制约着零件加工精度及加工效率的提高。

为解决这些问题,超声振动被引入到磨削加工中。

国内外广泛研究证实超声振动磨削在提高材料去除率、提高加工表面质量与加工精度、降低工件表面损伤以及延长砂轮寿命等方面具有显著优势。

一维超声振动磨削技术较早应用到工业领域,近年在超精密加工领域,日本和中国的学者又第11期超声振动辅助磨削技术的现状与新进展相继提出了2种不同类型二维超声振动磨削技术,研究证实它们具有比一维振动磨削技术更优越的加工性能。

作为最新的研究成果,开发了一种新型垂直型椭圆振动磨削技术。

综述3种一维超声振动磨削技术以及2种二维超声振动磨削技术的典型加工特点,在此基础上对新型垂直型椭圆超声振动磨削技术的基本原理以及加工特性进行初步介绍。

1超声波辅助磨削技术研究现状目前超声振动磨削技术各种类型如图1所示,其中一维超声辅助磨削技术可归结为3类:砂轮轴向振动磨削;砂轮径向振动磨削;砂轮切向振动磨削。

二维振动磨削技术有2类:1)平行于工件平面的二维振动磨削,即对工件同时施加砂轮切向和砂轮轴向的超声振动;2)平行于砂轮端面的二维振动磨削,即对工件或砂轮施加砂轮切向和砂轮径向的超声振动。

Uhlmann通过单颗磨粒划擦试验,分析了先进兵工学报第31卷陶瓷径向振动磨削的表面形成机制。

图3证实超声辅助改变了磨粒加工运动轨迹,导致磨粒与工件的断续接触,得到断续切削沟槽[5]。

Qu指出径向振动磨削的最大未变形切屑厚度远大于普通磨削的切屑厚度,从而比磨削能会大幅度降低[6]。

Qu等还证实当磨削速度与振动频率的比值较小时,超声振动对表面裂纹扩展的阻碍作用显著[7]。

图3有无超声振动的陶瓷材料划擦沟槽显微照片[5]Fig.3Micrographs of scratches on different ceramics with and without vertical ultrasonic[5]1.3一维切向超声波辅助磨削技术尽管对刀具施加平行于切削方向的超声振动切削技术已被广泛应用,但是对于振动方向平行于砂轮切向的一维切向振动磨削,其应用具有一定的局限性,一般仅适合在较大的振动振幅以及较小的砂轮速度的条件下应用。

原因在于其材料的去除主要是利用切削刃与工件材料的周期分离作用,而在较高的砂轮速度下工件振动的最大速度小于砂轮线速度则不会发生切削刃与工件的分离,此时超声振动对加工作用的影响将不显著。

研究者对切向振动低速磨削与其他振动磨削加工进行了对比试验研究。

田中行雄等研究了砂轮轴向、径向、切向3种方向超声振动对不锈钢工件材料去除率的影响,证实无论哪种方向的超声振动,材料去除率都增加;在振动速度与砂轮速度比值较大的场合,适宜用轴向超声振动磨削;在速度比较小的场合,用径向振动磨削更有利;对于切向振动磨削材料去除率的增加不显著[8]。

田中行雄等进一步研究了超声振动方向以及振动速度与砂轮线速度之间比值大小对磨削加工表面形貌的影响。

图4为不同振动方向下单颗磨粒的运动轨迹以及对应的磨削加工表面形貌。

当超声振动与砂轮的速度比增大时,轴向振动磨削的磨粒左右摆动的最大几何倾斜角增加,从而导致表面粗糙度增加;对于切向振动磨削,砂轮旋转一周时单颗磨粒对工件上同一点的重复切削次数增加,也将导致表面粗糙度的增加。

对于径向振动磨削,当振动振幅以及砂轮线速度增大时表面粗糙度增大。

对比不同振动加工条件下的加工表面形貌,轴向超声振动的截面轮廓曲线较光滑并且表面粗糙度较[9]。

张洪丽从几何运动学角度建立了单颗磨粒的切削模型,证实切向超声振动辅助磨削可以得到更短的切屑,更长的切削路径[10]。

任升峰等对Nd-Fe-B 永磁材料进行研究表明径向超声振动使法向磨削力降低最明显,材料去除率最高而表面质量较差;切向超声振动磨削使法向磨削力有所降低,表面质量较高,但会使切向磨削力急剧升高,导致磨削力比达到了磨削加工塑性金属材料的程度[11]。

第11期超声振动辅助磨削技术的现状与新进展个电极上时磨粒产生椭圆振动。

磨削加工时砂轮作旋转运动以及垂直进给运动,工件在工作台水平面作平移运动,此加工方法在本质上是砂轮切向振动与径向振动复合的磨削方法[12-13],与图1(e)类似。

兵工学报第31卷刃的切削轨迹互相干涉而产生重复研磨作用,使磨削沟槽的尺寸变宽变浅,同时由于磨粒巨大的加速度冲击作用,减少了材料的加工塑性变形,比磨削能降低,表面热损伤以及变质层厚度减小,从而能够显著提高表面质量。

第11期超声振动辅助磨削技术的现状与新进展Tanaka Y,Yano A,Shinke N.study on ultrasonic grinding(1streport):on the relations between the vibrational direction and stockremoval[J].Journal of JSPE,1968,34(10):49-54.(in Japa-nese)[9]田中行雄,矢野章成,新家昇.超音波振動研削の研究(第2報)-振動方向と仕上面あらの関係について[J].精密機械,1969,35(11):60-65.Tanaka Y,Yano A,Shinke N.Study on Ultrasonic Grinding(2stReport):on the relations between the vibrational direction and sur-face roughnessl[J].Journal of JSPE,1969,35(11):60-65.(inJapanese)[10]张洪丽,张建华.切向超声振动辅助磨削几何参数分析[J].金刚石与磨料磨具工程,2006,6:49-51.ZHANG Hong-li,ZHANG Jian-hua.Geometrical parameters anal-ysis of ultrasonic vibration assisted grinding along tangential direc-tion[J].Diamond and Abrasives Engineering,2006,6:49-51.(in Chinese)[11]任升峰.烧结Nd-Fe-B永磁材料加工新技术及机理研究[D].济南:山东大学,2006.REN Sen-feng.Study on the new machining technology and mech-anism of sintered Nd-Fe-B magnet[D].Jinan:Shan Dong Universi-ty,2006.(in Chinese)[12]鈴木清,蒔崎剛.超音波楕円振動研削の研究:第1報[J].砥粒加工学会誌,1998,42(10):448-453.Suzuki K,Makizaki T.Study on ultrasonic elliptical vibration grind-ing:1st report[J].Journal of the Japan Society of GrindingEngineers,1998,42(10):448-453.(in Japanese)[13]鈴木清,蒔崎剛,植松哲太郎.超音波楕円振動研削の研究:第2報[J].砥粒加工学会誌,1998,42(11):496-501.Suzuki K,Makizaki T,Uematsu T.Study on ultrasonic ellipticalvibration grinding:2st report[J].Journal of the Japan Society ofGrinding Engineers,1998,42(11):496-501.(in Japanese)[14]Yan Y Y,Zhao B,Liu J L.Ultraprecision surface finishing of nano-ZrO2ceramics using two-dimensional ultrasonic assistedgrinding[J].Int J Adv Manuf Tech,2009,43:462-467.[15]阎艳燕.纳米复相陶瓷二维超声振动辅助磨削机理及其表面质量研究[D].上海:上海交通大学,2008.YAN Yan-yan.Study on two dimensional ultrasonic vibration assis-ted grinding mechanism of nanocomposite ceramics and its surfacequality[D].Shanghai:Shanghai Jiao Tong University,2008.(inChinese)[16]Liang Z Q,Wang X B,Wu Y B,et al.A feasibility study on elliptical ultrasonic assisted grinding of sapphire substrate[J].Inter-national Journal of Abrasive Technology,2010,3(3):190-202.[17]Liang Z Q,Wu Y B,Wang X B,et al.Two-dimensional ultrason-ically assisted grinding technique of monocrystal silicon[C]∥Pro-ceedings of the5th International Conference on LEM21,Osaka:JSME,2009:535-540.[18]梁志强,王西彬,吴勇波,等.单晶硅二维超声振动辅助磨削技术的实现[J].机械工程学报,2010,13:192-198.LIANG Zhi-Qiang,WANG Xi-bin,WU Yong-bo,et al.Develop-ment of a two-dimensional ultrasonic vibration assisted grindingtechnique of monocrystal silicon[J].Journal of Mechanical Engi-neering,2010,13:192-198.(in Chinese)[19]梁志强,王西彬,吴勇波,等.垂直于工件平面的二维超声振动辅助磨削单晶硅的表面形成机制的试验研究[J].机械工程学报,2010,19:171-176.LIANG Zhi-Qiang,WANG Xi-bin,WU Yong-bo,et al.Mecha-nism of surface formation for two-dimensional ultrasonic vibrationassisted grinding of monocrystal silicon with vertical workpiecevibration[J].Journal of Mechanical Engineering,2010,19:171-176.(in Chinese)5351。

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