镀膜设备的维护与保养

第一章、对真空镀膜设备维护与保养的认识

真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。

一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。

1.有完善的制度和设备的使用操作规程。

A、维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设

备等。这也是对设备特别是维修和操作人员安全的重要保证。

B、真空镀膜机（其实不单是真空镀膜机，应该是所有的设备）必需要有详

细易懂的操作说明书（这份说明书是根椐各自厂内环境及实际情况编写的）。

而且在每个新学员工在操作机器之前要看懂，在指定的掊训人员监看下按照说明书一步一步操作。并在培训完后考核合格上岗。（附样本说明书）

C、日常保养同样也要有标准化的作业指导书。这里面包括了作业之前的准

备工作（准备工具、清洁用品、必要冷却，吹水等等）及作业步骤，注意事项，事后检查（检查有无遗漏零部件，工具，及冷却水无有打开。）现场清理工作。（附作业指导书苑本）

D、建立设备台帐。设备的台帐好比人一生的档案一样。从设备安装调试那

天起就应该记录设备的一些重要参数。（比如极限真空度，前级，预抽的真空度和时间，电流，电压等各方面数据，以及重大维修记录）

E、保养记录表。第日点检，以及周期保养应该都要有记录（附表）

F、异常维修记录表。记录处理每次异常发生的原因、检查的步骤、得出的

结论、处理的方法，以及预防被免再次发生的措施。（附表）

可能这些文字工作对有些师傅们觉得有些不耐烦。但我认为这样恰恰是起到了事半功倍的效果。既可以大大提高我们的分析异常的能力和速度，又减少了因为一些小的疏忽而酿成设备大的损伤。这些记录同时对企业和个人来说也是一笔重要的财富。

2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力强的维修人员负责。

二、设备的维护，要有日常维护和定期维护。

1.日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象，就马上解决。发现机械泵的油少了就要添加，不要认为这油是定期更换的，等到了时间在维护，可能泵的转子就会磨损严重了。再比如工件转架的轴承有些卡，就要更换轴承，而等到它彻底的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等。

2.定期维护，有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗？其实每一种设备都有自己使用寿命，比如扩散泵用的硅油使用寿命为2年左右，我就规定1年半就把它换掉，这样做是不是浪费，我觉的不浪费，从设备服务于生产来说是值得的，老板最不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。只要你把日常维护和定期维护做好了，在延长设备寿命的同时，生产过程中出现故障的几率也大大降低，生产效率也提高了。

三、设备保养和维修最重要的是讲究“细心”二字，每一个师傅努力要求自己做到“我办事，你放心”，也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑。做好这一点可少走很多弯路，我想在坐每位师傅都深有体会。其次是要善于分析现象,不能盲目地拆卸。说到这里，很多人都遇到过真空部分的漏气的问题，真空部分出了问题比较麻烦，再加上很多公司没有检漏仪，这就要分阶段来找。真空抽不上去原因可能有以下几点：

1.也许是漏率偏高就是我们常说的有漏气;

2.也许是真空机组的抽气能力不够了，油被污染或氧化了；

3.也许是真空室内太脏放气;

4.真空室有漏水;

5.抽空管道有漏气；

或者是这几种可能都有。出现问题，首先是要判断，是不是拆装过东西？会不会漏水？阀门打开了吗？根据现象判断原因，然后再去根据判断找问题，可能会收到事半功倍的效果。

四，养成良好的卫生习惯。

我们时常看到有些厂的设备，是灰尘满面，油渍不堪。也许很多人都是认为，设备只要能做就可以了，搞得再干净也是做表面工作。我可是这样认为的，一个人连表面工作都做不来，那真的还有内在、实在的工作吗？当然设备及设备周边

的灰尘，油污对设备的本身影响也是相当之大的。灰尘的能产生静电，损坏电子元件。油污能使电线水管硬化开裂，造成一些意想不到问题出现。特别我们使用的真空设备，真空设备还有他本身的特殊性。真空设备讲究是一个真空洁净度，真空洁净度越差，放气性就越大。这样使我们抽到较高的真空度所需的时间就越长，或者根本没办法抽到。这样一来减少我们产量，二来影响到了我们产品的质量。

军队里有一句很时髦的话,要像对待自己眼睛一样爱护武器,我们今天要倡议, 要对待自己武器一样爱护设备。因为设备是我们的生产工具，是我们赚钱的武器。

第二章真空镀膜设备维护与保养

一、真空材料的使用和选择。

二、真空系统的保养。

1、旋片真空泵的原理、结构、使用与维修

1.1、旋片真空泵的使用

A、使用前，应仔细产品使用说明书，开箱后应检查装运质量。收好备品备件和技术文件，拆除排气品防护件。按要求安装，接线，试转向。水泠泵接水。

B、为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向把泵内存油用手盘到油箱中。同时查看油位，应在油标中心以上，但不要满油标，多了要放出。

C、判断转向的辅助方法。把护套倒放在泵口上，如开泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。声音正常是正向，声音异常是反向。

E、如在泵口配装带充气电磁阀，一般应横装，并与泵同时动作。

F、相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时，应使用气镇阀。

G、按说明书推荐选用真空泵油。注意酯类真空泵油不可与矿物油型真空泵油和其他油类混用，必须严格清洗后才能换入酯类真空泵油。

H、检查泵的极限压力以压缩式水银真空计为准。全压力计应注意做好计与规管的配对校准和备用比对规管。建议在规管与被测泵之间装一球阀。不测时关阀，可延长规管使用时间。

1.2、旋片真空泵的维修

A、首先要了解泵的类型、特点、现在状况。了解使用要求，确定修理目标。在进行维修之前，准备好检测手段。

B、判断故障，确诊故障。判断准，可省事。确诊要验证。

C、排除故障，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于缺少专用工具和操作不当引起新的损伤，减少位置变化和跑合运转时间。一般的说，拼接式转子是不可拆卸的，否则形位公差就不保，转子就报废了。

D、有毒有害，有腐蚀性的泵，应请用户先行清洗，关告知必要的防护措施，以保障维修人员的健康。

E、故障分类：

建议把故障分为运转故障和性能故障。

运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，最大功率超标等。

性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油，气镇性能等不达标或不能满足要求。