镀膜设备的维护与保养
电镀车间的维护保养内容
电镀车间的维护保养内容
电镀车间的维护保养内容主要包括以下几个方面：
1. 清理电镀设备：电镀设备需要定期进行清理，以保持其良好的工作状态。
清理电镀设备时，需要特别注意清洁电镀液和残留物，以防止对设备造成腐蚀。
2. 检查电镀设备：定期检查电镀设备的各个部件，包括电源、电极、导电系统、冷却系统等，以确保其正常运转。
如果发现部件有问题或磨损，应及时进行维修或更换。
3. 更换电镀溶液：电镀溶液有一定的使用寿命，当溶液中的有效成分消耗殆尽或溶液中的杂质积累到一定程度时，应及时更换电镀溶液。
4. 维护安全设施：电镀车间应配备安全设施，如通风设备、防火设备、防毒设备等。
这些设施应定期进行检查和维护，以确保其正常运转。
5. 保持环境卫生：电镀车间应保持整洁，无尘，无腐蚀性气体。
定期清洁地面、墙面、天花板等，确保环境卫生符合生产要求。
6. 培训操作人员：操作人员应经过专业培训，熟悉电镀设备的操作规程和安全要求。
在操作过程中，应严格遵守操作规程，确保生产安全。
7. 建立维护保养制度：建立完善的维护保养制度，对电镀设备进行定期的保养和维护。
同时，应对维护保养工作进行记录和归档，以便对设备的使用情况进行跟踪和管理。
通过以上措施，可以有效地保障电镀车间的正常运转和生产安全，提高生产效率和产品质量。
真空镀膜机保养计划
中山市东升镇冠新五金电器厂
保养计划
1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。
方法是：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复
擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。
再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
2、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。
方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。
拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。
连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。
在重新开机前，要注意检漏工作。
方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。
检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。
排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。
镀膜机维护方法
真空镀膜机维护方法第一章电子枪1．电子枪枪头罩内容：电子枪头罩，须每日清洁一次；清洁的目的是清除膜料的残留物及其他异物资进入枪头内部而容易导致产生电压上升，扫描偏移和加快电阻丝的氧化反应，以及蒸发膜料时产生气体而产生静电现象。
1．1清洁方法：1）分解枪头罩后进行喷沙方式清洁；2）喷沙必须只操作枪头罩的外部；3）枪头罩的内里面绝对不可以喷沙，如果对内部经常性喷沙处理，会导致固定螺丝的磨损使得组装时不再扣紧，如长时间喷沙处理，严重影响或损坏螺纹结构，导致组装后出现枪头的中心与电阻丝的中心部位不吻合。
此因素会导致以下问题：①电子束扫描偏移或变化；②电子束闪动现象；③镀膜条件变化；④电子器件的故障等。
1．2 枪头分解事项内容：电子枪头在更换电阻丝时进行清洁。
1）电阻丝更换周期如下：例）A品电阻丝更换使用时，Zro2蒸发时所显示的电流值为 240A左右； IC/5中 Zro2的速率设定为（6.5 Rate）时，电阻丝使用较长， Zro2的电流值会上升到 270~280左右。
（电阻丝上有异物资或电阻丝已发生氧化，都会产生电流上升现象）这时可对电阻丝氧化反应现状进行直观确认。
2）枪头清洁方式①对枪头建议不采用喷沙方式进行清洁。
如确切需要采用喷沙方式清洁，可在不分解枪头的状态下进行，之后将枪头分解，对表面的残留物资进行清洁后组装即可。
②进行喷沙清洁时，尽可能对枪头固定部分和螺纹部分避免喷沙，对固定部分用细砂纸轻微擦拭。
（固定电阻丝部分如果喷沙会有损伤，导致紧固电阻丝时不紧密和偏形等结果）以上因素会导致以下问题：(.)光斑形状不规则；(.)光斑定位偏移；(.)会成为数据条件变化的因素。
1．3 电子枪扫描架1）电子枪角铁在清洁中必须慎重管理。
电子枪角铁（合金材料）物性虽然是强性，但通过延续使用过程中，因电子枪的高热而会转变为软性，所以，如遇较强冲击会导致变形，特别注意在喷沙过程中不可仍抛物现象，清洁过程中一定要注意。
镀膜机使用时的注意事项以及应急处理措施
在操作过程中，如发现异常情 况，如烟雾、异味、异常声音
等，应立即停机检查。
操作后维护
清洁设备
对镀膜机表面进行清洁，去除残留物 和污渍，保持设备整洁。
检查设备状态
检查镀膜机各部位是否正常，如发现 异常应及时维修或更换。
记录使用情况
对每次使用情况进行记录，包括使用 时间、工艺参数等，以便于后续分析 和维护。
安全须知
操作人员安全须知
操作人员必须经过专业培训，熟 悉镀膜机的工作原理和操作流程。
操作人员应佩戴防护眼镜、手套 等个人防护用品，防止有害物质
和高温烫伤。
操作人员应保持稳定的精神状态， 避免疲劳操作，确保工作安全。
设备安全须知
使用前应检查镀膜机各部件是 否正常，如有异常应及时处理。
操作过程中应保持设备清洁， 定期检查和维护，确保设备正 常运行。
真空泵工作正常，防止真空度过高或过低。
其他问题应急处理
总结词
遵循操作规程，及时求助
VS
详细描述
遇到其他问题时，应遵循操作规程，避免 盲目操作导致设备损坏或安全事故。如问 题无法解决，应及时求助专业技术人员或 厂家售后服务。同时，注意保存设备相关 资料和维修记录，以便日后排查故障和保 养维护。
04
镀膜机使用时的注意事项以 及应急处理措施
• 镀膜机使用注意事项 • 镀膜机常见问题及处理 • 镀膜机应急处理措施 • 安全须知
01
镀膜机使用注意事项
操作前准备
检查电源
路或断路现象。
对镀膜机表面进行清洁， 去除灰尘和杂物，确保
设备处于良好状态。
其他常见问题
总结词
其他常见问题可能包括机械故障、电气故障等。
镀膜仪安全操作及保养规程
镀膜仪安全操作及保养规程镀膜仪是一种高科技的用于材料分析的仪器，如果不进行正确的操作和保养，可能会对人员和设备造成损害。
因此，对于使用镀膜仪的人员，了解其安全操作及保养规程是十分必要的。
一、镀膜仪的安全操作规程1.1 务必佩戴防护眼镜在使用镀膜仪时，必须佩戴防护眼镜以避免可能出现的光辐射导致伤害。
1.2 禁止在设备上玩耍严禁在设备上玩耍、喝饮料、食物等，以免污染设备，影响设备性能。
1.3 禁止在不了解设备使用规程的情况下操作设备在进行操作之前，务必仔细阅读设备使用规程，如有不理解的内容，应停止操作，询问相关技术人员。
1.4 定期检查仪器状态每次使用设备之前，都应该对设备状态进行检查，如发现问题，应及时与技术人员联系，并进行维修。
1.5 请勿随意更改设备配置设备配置是根据不同的实验需要定制的，如果需要进行更改，请先征得技术人员的同意。
二、镀膜仪的保养规程2.1 保持设备清洁设备内部需要经常清理，以确保其正常工作。
如需要清洗，应避免使用有害化学品，选择对设备无害的纯净清洁剂进行清洁。
2.2 检查真空泵油位镀膜仪使用真空泵时，需要定期检查油位，以确保设备正常运转。
同时，应该按照设备使用说明更换真空泵油。
2.3 不使用时离线并封存设备不使用时，应该进行离线处理，并封存干燥防尘，在确保设备安全的前提下，尽量减少设备的使用频率以增加设备的使用寿命。
2.4 定期对设备进行维护对于设备的维护，需要定期进行，如进行润滑、清洗、检修、更换设备配件等。
同时，完成维护后，应该对设备进行检测，并进行测试，以确保设备的一切操作正常。
三、结语在使用镀膜仪的过程中，正确的安全操作及保养措施是必要的，尤其是对于最先使用设备的新手来说。
通过本文，我们不仅了解到了正确的操作与维护规程，也可以避免自身的安全问题，同时保障设备的长时间使用和维护。
因此，我们应该认真遵守设备使用规程，加强设备的维护和保养工作。
溅射镀膜机安全操作及保养规程
溅射镀膜机安全操作及保养规程操作前须知1.安全第一：在使用溅射镀膜机之前必须遵守相关安全规定，不得轻举妄动。
特别是需要志愿者要进行相关的安全培训并由专业人员指导。
2.清洁检查：在使用溅射镀膜机之前，需要对设备的外部和操作面进行清洁，确保加工环境的清洁度，避免影响工件的质量。
3.仪器检查：在使用过程中需要检查仪器各部件是否正常，如电源、油压、水流等，对于发现不正常情况时，需要及时向专业人员报告，禁止个人修改或拆除。
4.操作流程：在操作溅射镀膜机时需要按照规范操作流程进行。
5.操作规范：根据操作规范按要求进行加工处理，保证工件的生产质量。
安全操作规程1.穿戴防护装备：操作人员在对机器进行操作时，必须穿戴好安全帽、隔热手套等安全设备，确保操作时对人员的身体无危险。
2.注意加工顺序：在加工不同材质的工件时，需要采用不同的加工顺序，不能够把不同的工件一起进行加工，避免造成材质在加工中的交叉污染。
3.避免损伤残留：在加工的过程中需要保证没有废弃物残留在机器上，避免对下一轮的加工产生影响。
4.防止材料的混淆：加工相同材料的工件时，需要按照不同的材料放入对应的料筒中进行加工，以避免材料的混淆。
保养规程在使用溅射镀膜机之后，需要进行机器的保养和维护，以下是一些注意事项：1.清洁工具：在清洁机器时，需要使用专门清洁的工具进行，不能够使用硬质物品对机器进行清洁，以免造成机器的破损。
2.避免振动：对于加工过程中出现的振动问题，需要及时进行处理，避免机器因震动而导致的加工偏差等问题。
3.保证主机稳定性：在进行长时间稳定性加工时，需要保证机器的主机处于稳定状态，不能存在振荡情况，避免影响加工效率。
4.更换压制器：在使用溅射镀膜机的过程中，如果压制器受损需要及时进行更换处理，以免影响加工质量。
5.维护防爆装置：在使用时保持防爆装置的灵敏度，以保证在紧急情况下的人身安全。
结论总而言之，在使用溅射镀膜机的过程中，必须注意相关安全规定和操作要求，遵守规范操作流程，以保证机器稳定运行。
真空镀膜机及附属装置安全操作保养规程
真空镀膜机及附属装置安全操作保养规程前言真空镀膜机是一种用于生产各种表面涂层的设备，主要包括真空蒸镀机、真空溅射机、离子镀膜机和电弧镀膜机等。
这些设备的操作较为复杂，其中存在一定的安全隐患。
因此，必须严格执行相关安全操作规程和保养规程，以保证人员和设备的安全稳定运行。
安全操作规程1. 设备及场地安全要求真空镀膜机必须放置于干燥、通风、无尘、无强电磁干扰以及防爆的场地内，禁止在潮湿、有水分、有腐蚀性气体和化学品的地方工作。
必须有专人负责即时清理设备周边杂物和气体管道，并安排定期检查维护设备正常运转。
2. 电气及锅炉安全要求1.真空镀膜机的电源电压必须符合设备要求，并配置有专门的电气保护装置。
2.机器箱必须与电磁屏隔离，并安装漏电断路器及接地保护装置以确保排除漏电危险。
3.真空镀膜机锅炉压力必须在设备规定范围内正常使用，禁止任意超载，同时定期检修锅炉系统，保证其状态稳定可靠。
3. 防火安全要求1.禁止在真空镀膜机内吸烟、用明火和电焊等安全风险较高的行为。
2.真空镀膜机必须设置有足够数量的灭火器材，以应对突发火灾情况。
3.定期清理和检查设备管路，并保持干燥、无油污等燃烧火灾隐患。
4. 设备保养要求1.在设备的使用及保养过程中，必须在未停机或运行前先拔下所有插头及电源开关。
2.定期清理设备的真空室、阀门、管道和废料收集器，并保持清洁干燥，以避免设备运行时灰尘、油污或其它杂物进入真空系统造成事故。
3.定期检查设备的各项部件，包括启动机构、真空泵及阀门等，保证设备的正常运转状态。
4.定期维护设备的加热、冷却、测温等系统，确保系统的正确和良好运转，以达到设备的最佳操作状态。
总结真空镀膜机是使用涂层生产行业广泛采用的一种设备，但是该设备的操作和保养非常重要，任何安全隐患都可能抵消生产带来的收益。
因此，在使用真空镀膜机的时候，操作人员必须认真严格执行相关安全规程，做好设备保养工作，确保该设备的安全稳定运行。
这也是保障生产安全、提高生产效率、维护企业形象和品牌的重要举措。
电镀设备安全操作保养规定
电镀设备安全操作保养规定前言电镀设备是一种常见的用于表面涂层加工的工具，但由于涉及到高温、化学药剂等危险因素，安全操作和保养变得尤为关键。
本文旨在介绍电镀设备的安全操作规定和保养方法，帮助操作人员有效避免危险情况的发生和设备的损坏。
电镀设备安全操作规定1.操作人员必须接受专业培训，并获得合法的操作证书，才能进行电镀设备操作。
2.工人必须穿戴全套劳保用品，包括防护服、护目镜、安全鞋、防尘口罩等。
3.在操作过程中，必须注意保持设备的清洁和卫生，避免污染和细菌感染的发生。
4.在使用设备时，必须根据操作手册的要求使用正确的化学药剂，遵守操作流程和技术规范。
禁止使用已过期或不合格的药剂。
5.在设备运行过程中，操作人员必须每隔一定时间对设备进行检查并及时排除故障，如发现异常情况，应马上停止操作并通知专业人员进行检修。
6.在操作过程中，禁止玩手机、吃东西或其他不必要的行为，严格遵守操作规程和岗位职责，保持专注和认真的态度。
7.操作人员必须严格遵守设备的使用和管理规章制度，不得私自调整设备参数和标准，不得擅自停机或转移设备位置。
8.在操作过程中，如果发现环境温度异常、设备异常声响等异常情况，应立即报告负责人并及时采取措施，避免事故的发生。
电镀设备保养方法1.设备日常保养：每天工作结束后，进行设备必要的清洁和消毒，及时清理外部化学品、腐蚀物等杂质。
2.设备定期保养：每隔一定时间，对设备进行全面的养护和检修，检查设备的每个部分，确保设备的正常运转。
3.设备保养细节：在日常使用和保养过程中，需要注意设备的细节，如设备接地、热交换器的清洁和检查、化学药液的储藏等。
4.设备保养记录：在设备的使用和保养过程中，要及时记录设备的保养和维修情况，为今后的维护和升级提供帮助。
总结电镀设备操作安全是关乎操作人员生命安全和设备稳定运行的重要问题。
严格按照操作规定进行操作，按照保养方法进行设备养护和维修，既能确保操作人员的安全，也能延长设备的使用寿命。
自动涂膜机镀膜机安全操作及保养规程
自动涂膜机/镀膜机安全操作及保养规程在使用自动涂膜机或镀膜机时，必须要遵循一定的安全操作规程和保养规程。
以下是对自动涂膜机或镀膜机的安全操作和保养进行详细介绍。
1. 环境安全在使用自动涂膜机或镀膜机之前，必须要保证使用环境的安全。
这包括：•避免水、电、气等危险源汇聚在一起；•保持机器周边干燥，不得使用或储存易燃、易爆物品；•防止机器废气或废液排放对环境造成污染；•保持工作区域整洁，避免堆放过多杂物。
2. 涂膜机/镀膜机安全操作在使用自动涂膜机或镀膜机时，必须遵循以下安全操作规程：2.1 操作前的准备•要求设备前的电源和线路的电气安装和接地符合国家标准，确认是否将设备用正确的方式插入电源插座；•确认机器上部的涂料/镀料是否充足；•检查涂膜机或镀膜机的各个部件是否运转正常；•穿戴好劳动防护用品，包括工作服、手套、护目镜等。
2.2 操作过程中的注意事项•如果涂膜机或镀膜机停机后准备调整，务必要停止设备的电源；•涂膜机或镀膜机的运转过程中，切勿将手或其他物品伸入机器内部；•操作人员应保持安全操作距离，避免机器各部位的受夹、受伤；•如设备出现异常或故障，应立即停设备，按照操作指引处理问题；•雨雪天气，请避免使用自动涂膜机或镀膜机。
2.3 操作后的清理•关闭涂膜机或镀膜机的电源开关；•拆卸机器上的涂料/镀料喷嘴进行清洗，降低堵塞的风险；•根据设备清洗和保养要求，定期清理涂膜机或镀膜机的各部位；•对使用的工具、劳动防护用品等设备进行清理和储存，保持设备的完好。
3. 进行保养的常识在使用自动涂膜机或镀膜机时，按照保养规程对设备进行保养可以延长机器的使用寿命并提高机器的工作效率。
以下是对自动涂膜机或镀膜机的保养进行详细介绍：3.1 设备涂覆部位的清洁•在使用涂膜机或镀膜机之前，应当将待涂覆表面的杂质/污渍彻底清理干净，以免影响涂膜/镀膜的质量；•在涂膜/镀膜过程中，要注意及时清理涂油枪或镀膜喷嘴，避免脏物堆积阻塞喷嘴，影响机器的正常工作；•镀膜机的用后也应及时清洁镀膜、去污耗材，避免脏物附着的影响到下一次使用。
镀金机镀膜仪安全操作及保养规程
镀金机镀膜仪安全操作及保养规程对于使用镀金机镀膜仪的人员来说，安全操作和保养规程至关重要。
按照正确的操作和维护流程，可以延长设备寿命，提高镀膜效果。
本文将为您介绍镀金机镀膜仪的安全操作和保养规程。
安全操作规程1. 了解设备在使用镀金机镀膜仪之前，需要对设备进行初步了解，包括设备构造、控制方式、操作方法等等。
必须熟悉所有的按钮和开关的作用以及对设备性能的影响。
2. 进行安全检查在操作镀金机镀膜仪之前，需要进行全面的安全检查，以确保设备运行时没有任何危险。
首先要检查电源开关是否关闭，并确认所有地面线和光缆连接是否牢固。
同时，需要确保设备内部的所有压力和温度传感器调谐良好，并且水箱、水泵、气缸等设备外观是否有损坏。
如果发现有任何问题，需要及时采取措施予以解决。
3. 佩戴个人保护设备在使用镀金机镀膜仪的过程中，必须佩戴个人保护设备，以确保工作场所的安全。
例如，需要戴上手套、护目镜、口罩等，以防止金属物质、腐蚀性或毒性气体等对人体造成伤害。
4. 确认涂层物质的性质在选择涂层物质之前，必须进行系统的分析和测试，其中包括涂层物的基础材料、颜色、耐腐蚀性等等。
此外，还需要选择一种相应的涂层方法，以确保涂层质量。
5. 清洁设备在设备开始工作之前需要清洁，制备前需进行设备的全面洗涤，包括清洗涂层室、光源、天线等。
此外，镀金机镀膜仪需要进行定期检查和维护，以确保工作效果的稳定性。
6. 调试涂层程序在使用镀金机镀膜仪进行涂层处理时，必须对涂层程序进行严格的监控和调试，以确保装置的稳定性、均匀性和涂层厚度的Consistency。
任何明显的失控现象都需要立即停止操作，然后调查问题的根本原因。
偶发的失误可能会导致严重的机器损坏或人员伤亡。
7. 合理规划生产时间在涂层处理结束后，需要合理规划生产时间，以确保设备的正常运行。
此外，还需要妥善保管机器的所有部件和备件，以备不时之需。
设备保养规程1.定期检查设备，并更换损坏的部件。
真空镀膜机保养计划
真空镀膜机保养计划一、日常保养1.每次使用后，应及时清洁设备。
使用干净的布或擦拭器擦拭设备表面，确保设备无灰尘和杂物。
2.定期检查设备的密封件，确保密封性能良好。
如发现密封件有损坏或老化现象，应及时更换。
3.定期检查真空泵和涡轮分子泵的工作状态，保持泵的清洁。
如发现泵运行异常或噪音过大，应及时维修或更换。
4.定期检查真空腔的真空度，确保设备正常工作。
如发现真空度下降或不稳定，应及时检查真空系统，排除故障。
5.定期对真空镀膜机进行校准和调试，保证设备的精度和稳定性。
如发现设备有偏差或不稳定现象，应及时调整参数和设备。
6.定期检查设备的电源线和接线端子，确保电气连接正常。
如发现电线老化或破损，应及时更换。
7.定期清洁真空镀膜机内部和外部的各种传感器和控制器，确保设备的灵敏度和稳定性。
8.定期检查设备的润滑油和冷却液的使用情况，确保设备的润滑和降温效果。
如发现润滑油或冷却液有问题，应及时更换。
9.定期检查设备的真空镀膜材料和耗材的使用情况，确保设备有足够的材料供应。
如发现材料不足，应及时采购。
10.定期对设备的所有部件进行保养和维护，确保设备的正常运行和延长使用寿命。
如发现设备有故障或损坏，应及时维修或更换。
二、周年保养1.每年进行一次全面的设备检查和维护，对设备的各个部件进行全面清洁和检修。
如发现设备有大的故障或磨损，应及时更换零部件。
2.每年对设备的真空系统进行全面检查和清洁，保证设备的真空度和工作效率。
如发现真空系统有问题，应及时维修或更换。
3.每年对设备的电气系统进行全面检查和维护，保证设备的电气连接正常。
如发现电气系统有问题，应及时修复。
4.每年对设备的润滑系统进行全面检查和维护，保证设备的润滑效果和降温效果。
如发现润滑系统有问题，应及时更换润滑油。
5.每年对设备的控制系统进行全面检查和维护，确保设备的控制精度和稳定性。
如发现控制系统有问题，应及时调整参数和设备。
6.每年对设备的外观进行全面检查和维护，确保设备的外观精美和无损伤。
真空镀膜机的相关维护介绍
真空镀膜机的相关维护介绍真空镀膜机是一种用于制造光电产品、军工器材等领域的关键设备。
保持真空镀膜机的正常运转对于生产和质量控制至关重要。
在此文档中，我们将介绍如何进行真空镀膜机的相关维护，包括清洁、维护、检测等内容。
清洁定期清洁是保持真空镀膜机正常运转的关键。
在镀膜机清洁之前，务必先关闭所有的电源及气源供应，并确保排放真空室中的气体。
进入真空室时，请佩戴干净的手套，避免用手直接触摸任何零部件。
以下为真空镀膜机清洁的步骤：1.清洁真空室外表面：用洁净的棉纱或者海绵清洗外表面，避免使用带有颗粒的清洁剂。
2.清洁真空室内表面：使用除垢剂或者去污剂加水混合后，用刷子或者棉纱清洗劣质。
3.使用空气枪或氮气枪清洗真空室内表面，将积聚在角落和裂缝中的灰尘吹走。
4.清洗镀膜机部件：清洗不锈钢罩板、填料等部件时使用不同的溶剂和清洁剂，避免混合使用。
维护除了清洁之外，定期维护是确保镀膜机正常运行的必要措施。
以下是维护步骤：1.更换真空泵油：真空泵油需要定期更换，时限为三个月。
更换前，先清洗真空泵，将旧油排出，然后加入新油。
2.添加润滑油：真空镀膜机里面的某些部件需要润滑油的保护。
在维护过程中，需要定期添加润滑油。
3.维护真空阀门：真空阀门需要定期润滑阀门杆和阀门座的表面，以确保阀门的正常开关。
检测镀膜机的运行需要通过一系列检测来保证设备的正常运行。
检测项目如下：1.测量镀膜机真空度：使用真空度测试仪检测真空度。
如果测试结果与指导书上的正常范围不相符，需要进一步检查真空泵是否正常工作。
2.测试流量计：检查流量计电源是否正常，管路是否漏气，以确保流量计正常工作。
3.测试热探针，监测热探针的温度变化。
如果检测到异常现象，可以更换热探针。
结论镀膜机是非常精密的设备，必须经常维护和检查，以确保设备的正常运行。
本文介绍了清洁、维护和检查的步骤。
希望对读者有所帮助。
高真空镀膜仪安全操作及保养规程
高真空镀膜仪安全操作及保养规程前言高真空镀膜仪是一种用于制备各种镀膜材料的重要实验设备，但在使用过程中，由于操作不当或保养不当等原因，易导致设备损坏、危险事故等情况，为了确保设备的安全运行和使用者的人身安全，本文将介绍高真空镀膜仪的安全操作及保养规程。
安全操作规程1. 设备开机前的准备工作1.确认准备工作的全部完成，未在高真空室内留有任何物品。
2.确定真空泵和其他设备都处于正常运行状态。
3.检查所有电源在关闭状态下，检查系统控制面板的所有指示灯是否符合预期。
2. 真空泵的使用1.操作时需要使用真空泵，打开真空泵前请确保泵内无液体或杂质，防止废气继续运行造成损坏。
2.在使用真空泵时，禁止长时间超负荷工作，应按规定的时间间隔进行检修和维护。
3. 操作中的注意事项1.在高真空室内操作时，必须佩戴相应的工作服、手套、帽子和鞋子，并将所有物品分散放置，防止可能产生反身物。
2.在操作过程中如果发现有异响或异常情况，请立即停机排除故障。
3.镀膜过程中，严禁开启外部的门窗，以避免污染外部环境。
4. 紧急情况1.在任何情况下，都要优先考虑人员安全，如果发现火灾、爆炸或其他紧急情况，请立即关闭所有电源，并向消防部门报警。
2.紧急情况结束后，设备操作前必须经过专业维修人员检查确认安全性。
保养规程1. 高真空镀膜仪日常维护1.日常使用中，应检查设备的各个部位是否有损坏或异常情况，如有，则应及时进行维修或更换。
2.定期对设备内部进行清洁，清除气路走道和所有零件的污物，以确保设备的正常运行。
2. 泵的日常维护1.泵的日常工作需要对气体冷却系统进行维护，对泵进行必要的润滑和充油。
2.在检修过程中请注意安全，切勿直接将手插入泵内，应使用相应的工具进行清洁和检查。
3. 镀膜室的维护1.针对镀膜室内部进行定期的检查，保持室内清洁和处理设备，以确保设备的正常运行。
2.在使用过程中尽可能减少设备的开关，以减少磨损和清洗超高真空室、抛光器和其它机器。
镀膜设备保养
光学真空镀膜机主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限及电柜（操控电柜、电子枪电枢）构成，其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装修、表面工程等领域。
光学真空镀膜设备在避免油污染和缩短工作周期等方面具有杰出的功能。
光学真空镀膜机工作原理是在高真空状态下、使用电子束对金属或非金属资料加热到恰当的温度，资料受热后蒸发成蒸汽分子。
它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片间隔大，蒸发出来的蒸汽分子向四处直射，碰到基片就沉积在基片表面构成腊层。
精细光学真空镀膜机在养护的时候有哪些养护方面的办法，下面的内容中我们就来了解。
一：定时替换扩散泵油
真空镀膜机扩散泵油使用一段时间，约二个月两班：，因在长时间高温环境，尽管较高真空时才发动扩散泵，但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反响，扩散泵油在高温下也也许发生裂解，使其质量降低，而延伸抽气时间。
在我们以为时间延伸得太多时，应予替换。
二：真空泵
真空镀膜机机械泵油、坚持泵油在使用二个月，油质会发生变化。
因油也许抽入水分、杂质及其它缘由，而使用油粘性变差，真空降低，故需求替换。
如为新设备，在使用头半个月即应替换，因在磨合期，油含磨合铁粉较多，会加重磨损。
三：清洗卫生
定时将真空镀膜设备及其周围环境卫生搞好，常坚持设备表里清洗，将真空镀膜设备周
围环境收拾有条，有一个好的工作环境，以保安全。
真空镀膜机安全操作及保养规程
真空镀膜机安全操作及保养规程应注意的事项在使用真空镀膜机时，应注意以下事项：1.使用环境需保持清洁保持使用环境的清洁，尽量减少异物的进入，防止影响设备的性能和使用寿命。
2.操作人员需佩戴防护用品操作人员进行操作时，应佩戴适当的防护用品，如防护眼镜、手套等。
3.避免在热镀膜过程中打开真空室在进行热镀膜过程中，应避免在真空室内打开门，以免对设备造成影响和危害操作人员的安全。
4.禁止在设备附近吸烟在设备附近应禁止吸烟，以免影响设备的使用效果。
设备安全操作规范在操作真空镀膜机时，应按照以下操作规范进行操作：1.使用前应进行检查在使用真空镀膜机之前，应进行系统检查，确保所有操作控制设备都处于正常状态，以确保其可以正常运行和使用。
2.选择适当的材料在进行镀膜作业时，应选择适当的材料，避免使用可能会对设备造成损害的材料或不适合的材料。
3.避免超负荷使用在使用设备时，应避免超负荷操作，以免引起损坏或设备的不能正常使用。
4.定期检查设备定期检查设备，以保持其处于最佳状态，及时修理设备问题和故障，并及时更换老化的设备零件。
5.遵循操作规范在使用设备时，应按照操作规范进行操作，不可随意更改或跳过任何操作，以确保设备的正常使用和安全。
设备保养规范为保证设备的长期使用寿命，应按照以下保养规范进行保养：1.注意设备的清洁经常保持设备的清洁，避免尘埃和腐蚀性物质对设备的影响。
2.定期润滑设备在设备作业中需定期进行润滑和加油，以保证设备的正确运行和不出现故障。
3.定期检查电气连接器和线路定期检查电气连接器和线路，避免腐蚀或电气短路问题，并及时维修电气连接器和线路。
4.定期更换设备零部件设备内的部件应在使用寿命达到并显示老化迹象时便换掉，如真空泵、气缸等。
5.定期校正设备定期校正设备各项指示设备，以保证其准确性和稳定性，并做好记录。
总结以上是真空镀膜机的安全操作及保养规程，希望您可以牢记并且遵守规程，以确保设备正常使用和安全。
镀膜设备的维护与保养
第一章、对真空镀膜设备维护与保养的认识真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。
真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。
一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。
1.有完善的制度和设备的使用操作规程。
A、维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设备等。
这也是对设备特别是维修和操作人员安全的重要保证。
B、真空镀膜机（其实不单是真空镀膜机，应该是所有的设备）必需要有详细易懂的操作说明书（这份说明书是根椐各自厂内环境及实际情况编写的）。
而且在每个新学员工在操作机器之前要看懂，在指定的掊训人员监看下按照说明书一步一步操作。
并在培训完后考核合格上岗。
（附样本说明书）C、日常保养同样也要有标准化的作业指导书。
这里面包括了作业之前的准备工作（准备工具、清洁用品、必要冷却，吹水等等）及作业步骤，注意事项，事后检查（检查有无遗漏零部件，工具，及冷却水无有打开。
）现场清理工作。
（附作业指导书苑本）D、建立设备台帐。
设备的台帐好比人一生的档案一样。
从设备安装调试那天起就应该记录设备的一些重要参数。
（比如极限真空度，前级，预抽的真空度和时间，电流，电压等各方面数据，以及重大维修记录）E、保养记录表。
第日点检，以及周期保养应该都要有记录（附表）F、异常维修记录表。
记录处理每次异常发生的原因、检查的步骤、得出的结论、处理的方法，以及预防被免再次发生的措施。
（附表）可能这些文字工作对有些师傅们觉得有些不耐烦。
但我认为这样恰恰是起到了事半功倍的效果。
既可以大大提高我们的分析异常的能力和速度，又减少了因为一些小的疏忽而酿成设备大的损伤。
这些记录同时对企业和个人来说也是一笔重要的财富。
2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。
光学镀膜机安全操作及保养规程
光学镀膜机安全操作及保养规程为了保障人员安全和设备的正常使用寿命，使用光学镀膜机必须要遵守以下的操作和保养规程。
请操作人员和维修人员认真阅读并严格执行。
安全操作规程1. 设备安装在正式使用光学镀膜机前，需要先进行设备的安装和调试。
安装前需要确认设备的基础构造和安装位置是否符合要求。
在设备放置位置，需要保证有充足的周围空间，方便操作人员进行维修和操作。
2. 通电前检查在通电前，需要进行设备的检查。
检查的内容包括：1.电源及接线是否正常2.各管路接口是否正常连接，管路是否处于正确的状态3.光源是否正常4.反应釜是否安装到位，密封是否正常3. 操作规程1.操作人员需要熟悉整个设备的工作原理和方法，正确的进行每个步骤和参数的设置。
2.操作时需要戴好防护手套、护目镜等个人防护装备。
3.操作人员需要在设备工作时，时刻关注设备运行状态，及时发现并处理异常情况。
4.操作人员在启动加热系统时，需要逐级升温，过快升温可能会导致设备损坏。
5.操作过程中如果出现意外情况，需要立即停止设备，并向维修人员报告事故情况。
4. 关机操作关机时需要按照以下顺序执行：1.先关闭电源开关，切断电源。
2.关闭反应釜及设备各部分的温度控制开关。
3.停止气体进口并关闭阀门。
保养规程1. 日常保养日常保养主要是设备的基础维护，包括设备外观、电气环境、检修要求等。
1.设备外观需要经常进行清洗和除尘，头盔及反应釜及各部件面板等需要保持清洁。
2.电气环境需要保证干燥、清洁，避免电气线路出现渗水现象。
3.需要对设备进行定期的检查，主要检查设备各部分的联接情况、管路情况、电气连接情况等。
2. 定期保养设备在长时间使用后，需要进行定期保养，以便确保设备的正常使用寿命和良好的状态。
1.超高真空泵需要对过滤器进行清洗、更换。
2.部分电器元件需要按照使用寿命进行更换或维护，如加热丝、电子管等。
3.反应釜和各部位密封件需要进行更换或擦拭润滑。
以上是我们针对光学镀膜机的安全操作和保养规程的详细说明。
莱宝镀膜机日常保养和维护(修改)(1)
1、基本定义：
前级真空泵俗称机械泵，属于2级（高低旋片）旋片式真空泵。高旋片旋转 带动气体通过腔体经低旋片排出。
2、保养目的：
旋片在高速转动过程中需要大量真空泵油润滑，而真空泵油在长期直接 接触大气和旋片高速旋转所产生的高温条件下容易发生质变，所以需对其进 行定期更换。
6、用长镊子取出陶瓷环
4、拿掉阴极
7.用底座陶瓷夹子取出 底座陶瓷
离子源的维护和保养
3、配件装配：
1.装底座陶 瓷环
4.将装好的加热器装回
加热器提取器中
2.装三氧化二铝 片和27.5陶瓷 环
5.将加热器装回离 子源
3. 依次将21.5陶瓷环 11.5陶瓷环和阴极 装回加热器
6.装入32.5陶瓷环
离子源的维护和保养
2、潘宁规的清洗：
照下图方法拆卸潘宁规： a、用镊子拆下阴极片 b、拆下阴极环，注意 轻摇轻晃，不能过 度搬动，防止断裂 c、倒出陶瓷绝缘垫 d、将所有拆下的配件 放入丙酮容器中浸 泡5分钟后自然晾干
镀膜机一级保养二级保养规程
镀膜机一级保养、二级保养规程版本号：A 编号：Q/HZE-G06-007-2008 一、目的和适用范围本规程具体规定了镀膜机一级保养、二级保养的要求。
通过本规程的实施，使设备得到定期的维护保养，保持其良好的技术状态，能更好地为生产服务。
二、职责本程序由生产部负责组织协调，各相关部门配合实施。
三、主要内容3.1一级保养内容3.1.1检查冷却水管是否有漏、滴现象；3.1.2检查气压是否正常；3.1.3检查真空室内内壳渡料厚度；3.1.4检查各密封处特别是动密封是否良好；3.1.5检查电气元件，清楚灰尘，更换烧坏的元器件；3.1.6检查粗抽泵、罗茨泵、旋片泵、滑阀泵油位是否正常；机械泵、滑阀泵、罗茨泵转向是否正常。
（罗茨泵转向必须在真空状态下检查）3.1.7检查冷却水塔水循环是否通畅，气压是否正常；3.1.8检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如；3.1.9检查联轴器、输入电极接触是否良好；3.1.10检查电控仪表等是否损坏和松动，根据情况进行修复或调换零件；3.1.11检查扩散泵加热电炉丝通电是否完好。
3.1.12定期清洗镀膜机真空室内内壳和工作架；3.1.13清洗镀膜机后，应抹干工作室，抹不干的地方用气吹吹干，，再用电炉将工作室烘干，烘干前工作室的水分应尽量抹干，否则可能会导致生锈。
3.1.14平时整个系统要保持真空状态，工作前才充入空气，禁止真空室长期暴露在大气中；3.2二级保养内容（在完成设备一级保养工作内容的基础上）3.2.1更换扩散泵油、粗抽泵油、罗茨泵油、旋片泵油、滑阀泵油；；3.2.2定期给动密封处加真空脂；3.2.3试验安全阀的可靠性；3.2.4定期更换扩散泵加热电炉丝；3.2.5检查电气装置件是否松动或损坏，接地是否良好，视情况进行修整或更换；3.2.6检查各零部件装配是否良好，必要时重新调整或紧固；3.2.7检查气动系统，气源系统接头处，管道、气缸等处是否松动、泄露，根据情况进行整修或更换；3.2.8检查修整电气线路、电气控制箱，视情况进行修复或调换零件；四、相关文件ZHL-1800立式双门镀膜机五、记录表单5.1设备（工装）维护保养计划表5.2设备（工装）维修记录表拟稿人：吕兆寿日期：2013-11-9审核人：日期：批准人：日期：。
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第一章、对真空镀膜设备维护与保养的认识真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。
真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。
一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。
1.有完善的制度和设备的使用操作规程。
A、维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设备等。
这也是对设备特别是维修和操作人员安全的重要保证。
B、真空镀膜机（其实不单是真空镀膜机，应该是所有的设备）必需要有详细易懂的操作说明书（这份说明书是根椐各自厂内环境及实际情况编写的）。
而且在每个新学员工在操作机器之前要看懂，在指定的掊训人员监看下按照说明书一步一步操作。
并在培训完后考核合格上岗。
（附样本说明书）C、日常保养同样也要有标准化的作业指导书。
这里面包括了作业之前的准备工作（准备工具、清洁用品、必要冷却，吹水等等）及作业步骤，注意事项，事后检查（检查有无遗漏零部件，工具，及冷却水无有打开。
）现场清理工作。
（附作业指导书苑本）D、建立设备台帐。
设备的台帐好比人一生的档案一样。
从设备安装调试那天起就应该记录设备的一些重要参数。
（比如极限真空度，前级，预抽的真空度和时间，电流，电压等各方面数据，以及重大维修记录）E、保养记录表。
第日点检，以及周期保养应该都要有记录（附表）F、异常维修记录表。
记录处理每次异常发生的原因、检查的步骤、得出的结论、处理的方法，以及预防被免再次发生的措施。
（附表）可能这些文字工作对有些师傅们觉得有些不耐烦。
但我认为这样恰恰是起到了事半功倍的效果。
既可以大大提高我们的分析异常的能力和速度，又减少了因为一些小的疏忽而酿成设备大的损伤。
这些记录同时对企业和个人来说也是一笔重要的财富。
2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。
应该有专职的、能力强的维修人员负责。
二、设备的维护，要有日常维护和定期维护。
1.日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象，就马上解决。
发现机械泵的油少了就要添加，不要认为这油是定期更换的，等到了时间在维护，可能泵的转子就会磨损严重了。
再比如工件转架的轴承有些卡，就要更换轴承，而等到它彻底的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等。
2.定期维护，有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗？其实每一种设备都有自己使用寿命，比如扩散泵用的硅油使用寿命为2年左右，我就规定1年半就把它换掉，这样做是不是浪费，我觉的不浪费，从设备服务于生产来说是值得的，老板最不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。
只要你把日常维护和定期维护做好了，在延长设备寿命的同时，生产过程中出现故障的几率也大大降低，生产效率也提高了。
三、设备保养和维修最重要的是讲究“细心”二字，每一个师傅努力要求自己做到“我办事，你放心”，也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑。
做好这一点可少走很多弯路，我想在坐每位师傅都深有体会。
其次是要善于分析现象,不能盲目地拆卸。
说到这里，很多人都遇到过真空部分的漏气的问题，真空部分出了问题比较麻烦，再加上很多公司没有检漏仪，这就要分阶段来找。
真空抽不上去原因可能有以下几点：1.也许是漏率偏高就是我们常说的有漏气;2.也许是真空机组的抽气能力不够了，油被污染或氧化了；3.也许是真空室内太脏放气;4.真空室有漏水;5.抽空管道有漏气；或者是这几种可能都有。
出现问题，首先是要判断，是不是拆装过东西？会不会漏水？阀门打开了吗？根据现象判断原因，然后再去根据判断找问题，可能会收到事半功倍的效果。
四，养成良好的卫生习惯。
我们时常看到有些厂的设备，是灰尘满面，油渍不堪。
也许很多人都是认为，设备只要能做就可以了，搞得再干净也是做表面工作。
我可是这样认为的，一个人连表面工作都做不来，那真的还有内在、实在的工作吗？当然设备及设备周边的灰尘，油污对设备的本身影响也是相当之大的。
灰尘的能产生静电，损坏电子元件。
油污能使电线水管硬化开裂，造成一些意想不到问题出现。
特别我们使用的真空设备，真空设备还有他本身的特殊性。
真空设备讲究是一个真空洁净度，真空洁净度越差，放气性就越大。
这样使我们抽到较高的真空度所需的时间就越长，或者根本没办法抽到。
这样一来减少我们产量，二来影响到了我们产品的质量。
军队里有一句很时髦的话,要像对待自己眼睛一样爱护武器,我们今天要倡议, 要对待自己武器一样爱护设备。
因为设备是我们的生产工具，是我们赚钱的武器。
第二章真空镀膜设备维护与保养一、真空材料的使用和选择。
二、真空系统的保养。
1、旋片真空泵的原理、结构、使用与维修1.1、旋片真空泵的使用A、使用前，应仔细产品使用说明书，开箱后应检查装运质量。
收好备品备件和技术文件，拆除排气品防护件。
按要求安装，接线，试转向。
水泠泵接水。
B、为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向把泵内存油用手盘到油箱中。
同时查看油位，应在油标中心以上，但不要满油标，多了要放出。
C、判断转向的辅助方法。
把护套倒放在泵口上，如开泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。
声音正常是正向，声音异常是反向。
E、如在泵口配装带充气电磁阀，一般应横装，并与泵同时动作。
F、相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时，应使用气镇阀。
G、按说明书推荐选用真空泵油。
注意酯类真空泵油不可与矿物油型真空泵油和其他油类混用，必须严格清洗后才能换入酯类真空泵油。
H、检查泵的极限压力以压缩式水银真空计为准。
全压力计应注意做好计与规管的配对校准和备用比对规管。
建议在规管与被测泵之间装一球阀。
不测时关阀，可延长规管使用时间。
1.2、旋片真空泵的维修A、首先要了解泵的类型、特点、现在状况。
了解使用要求，确定修理目标。
在进行维修之前，准备好检测手段。
B、判断故障，确诊故障。
判断准，可省事。
确诊要验证。
C、排除故障，先简后繁，先易后难。
无须拆卸的不拆。
以减少由于缺少专用工具和操作不当引起新的损伤，减少位置变化和跑合运转时间。
一般的说，拼接式转子是不可拆卸的，否则形位公差就不保，转子就报废了。
D、有毒有害，有腐蚀性的泵，应请用户先行清洗，关告知必要的防护措施，以保障维修人员的健康。
E、故障分类：建议把故障分为运转故障和性能故障。
运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，最大功率超标等。
性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油，气镇性能等不达标或不能满足要求。
1.3、故障判断与诊断例举A、泵不转。
情况不明不能先开泵，以免加重故障。
用手能盘动和不能盘动。
a、泵能盘动而不转。
原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损坏；电源没电等。
b、不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高；设计制造原因的停泵返油太多。
油位太高引起的停泵返油太多（加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中）；有异物在泵内（进气管中的焊渣、氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑）；旋片变形卡住；发生了咬合（铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承）。
B、泵温太高。
指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规定值。
由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使用权泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降；使橡胶件容易老化；热膨胀使运转的可靠性。
泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入中压力太高；水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等。
C、漏油。
可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀（例如2X-8）等部位。
可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。
如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。
自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。
D、漏水。
可以发生在水管头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。
E、最大功率超标。
可由长期连续工作入口压力太高、排气压力太高、杂物进入发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。
应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。
如果表面有沉积物，要定期拆开清除。
F、极限压力不过标。
可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等到可凝性物质、仪器仪表失真、泵运转不正常等引起。
外漏较多时、排气口可看白色蒸汽。
油标处有较多气泡，手在排气口上感到排气压力。
低级排气阀处油面有较多气泡。
功率会有所增加。
这时，首先应检查气镇阀是否已关好。
由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。
外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。
内漏可由泵内的运动间隙、排气阀等平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。
油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。
如果泵油清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化泵内水汽。
若无效，要检查仪表。
若泵油发黄发白已乳化，可全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在泵口放入适量气体运转，可加快净化过程。
若抽入其他挥发性气体或液体，要及时换油，必要时请洗油箱。
有些泵，在级间气道里会沉积泵液，为取得好的换油效果，要设法把沉积泵液排出。
极限压力是用座式压缩式水银真空计测量的。
用经校准的热偶真极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高。
可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。
G、噪声。
泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，旋片等运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装不平等引起振动，都会影响泵的噪声。
H、喷油。
防止喷油用的油盒回油孔的大小、位置、密封状况，挡油板的设计、安装，排气口部分的减雾器、挡油帽、油气分离器，油位的高低，进油量的大小，都会影响泵的喷油，泵口敞开油大气时，直联泵排气口的气流速度可以高达30M/S，吹开油面时，泵内的循环油和气流带出的油就将考验防止喷油的各项措施。
1.4、其他，有些泵有油泵，有油分离器，有油路上的单向阀，有消雾器，有入口过滤器（防油蒸汽返流用），有入口灰尘过滤器等部件或附件，也要进行检查。
油泵失效将使泵的润滑和密封失效，消雾器失效，有可能使排气压力升高，功率加大，损坏电机，入口过滤失效可使进气阻力增大，抽速下降，抽气效率下降。
1.5、清洗。