Dito工艺流程简介
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IR/CP
SLIT/SPIN
METAL 制 程
HMDS
出货 电测
水洗 入料 剥膜 蚀刻 固烤
预烤
ITO 架 桥
固烤 显影 曝光 预烤
曝光 显影 固烤 蚀刻
切割 检查 网印 剥膜
预烤
曝光 显影
ITO制程
METAL制程生产线的使用流程 P/R线 ITO蚀刻线 OG涂布线 OG显影线
MO-AL-MO蚀 刻线
苏州欧菲光科技有限公司
Dito事业部黄光设备新人教育训练
杨建华 2011.8.26
Metal作为架桥工艺流程
镀ITO 入料 水洗 预烤
SLIT/SPIN
曝光 显影 烤箱
检查 网印 剥膜
切割 电测 出货
OG 制 程
HMDS
IR/CP
Roller涂布
水洗
入料 剥膜 蚀刻 固烤
镀METAL
入料 Байду номын сангаас洗 IR/CP
SLIT/SPIN
蚀刻
METAL 固烤 显影 曝光 预烤
ITO 制 程
制 程
预烤 曝光 显影
ITO作为架桥工艺流程
镀ITO 入料 水洗 IR/CP
Roller涂布
预烤
SLIT/SPIN
曝光 OG 显影 烤箱 镀ITO 入料 水洗 IR/CP
SLIT/SPIN
入料
制 程 镀METAL 剥膜 蚀刻
水洗
收料机
•
蚀刻线各机台流程和作用
显影机 固烤炉 蚀刻机
• •
作用: 对光阻剂进行显影,洗掉经过UV曝光的光 阻剂.(正型光阻)。 作用: 对产品进行高温加热,使光阻剂可牢固黏附于玻 璃基板上. 作用:利用强酸将无光阻剂覆盖部份之ITO或METAL 洗去，以得到所需要之图形线路. 作用:将残留于ITO或METAL上之光阻剂以剥膜液清除， 留下所需要的图形线路.
•
SPIN线各机台流程和作用
入料机
中间水洗机 IR CP 暂存机 (Buffer)
• 作用:将产品按照一定时间依次送入下一制程.
• • •
作用:将产品表面的残留纯水进一步蒸发,使产品干燥. 作用:利用高温将玻璃表面的脏污分解 作用:将经IR后产品降温至室温.
• 作用:后段机台异常时可以将前段产品暂时自动收集， 防止产品在其他机台停留。
•
剥膜机
•
SLIT
•
作用:用刮刀将光阻剂平铺于产品表面.
SPIN线各机台流程和作用
SPIN • 作用:将SLIT涂布于产品上的光阻,用旋转离心力甩出,
以得到所需光阻膜厚.
预烤炉 • 作用:对光阻剂进行初步加热,增加光阻黏附
力.
曝光机
•
作用:对光阻进行UV曝光,改变光阻特性以便显影后获得我们所需要 的图形。 作用:将产品收进篮具。
SPIN3#4#线
ITO制程生产线的使用流程 P/R线 ITO蚀刻线 OG涂布线 OG显影线
MO-AL-MO蚀 刻线
SPIN1#2#线
P/R线各机台流程和作用
入料机
• 作用:将产品按照一定时间依次送入下一制程.
中间水洗机 • 作用:将产品表面的残留纯水进一步蒸发,使产品干燥. IR CP 暂存机 (Buffer)
• • 作用:利用高温将玻璃表面的脏污分解 作用:将经IR后产品降温至室温.
• 作用:后段机台异常时可以将前段产品暂时自动收集， 防止产品在其他机台停留。
Roller涂布机 • 作用:用Roller将光阻剂平铺于产品表面.
P/R线各机台流程和作用
预烤炉 曝光机 收料机
• •
作用:对光阻剂进行初步加热,增加光阻黏附 力. 作用:对光阻进行UV曝光,改变光阻特性以便显影后获得我们所需要 的图形。 作用:将产品收进篮具。
SLIT/SPIN
METAL 制 程
HMDS
出货 电测
水洗 入料 剥膜 蚀刻 固烤
预烤
ITO 架 桥
固烤 显影 曝光 预烤
曝光 显影 固烤 蚀刻
切割 检查 网印 剥膜
预烤
曝光 显影
ITO制程
METAL制程生产线的使用流程 P/R线 ITO蚀刻线 OG涂布线 OG显影线
MO-AL-MO蚀 刻线
苏州欧菲光科技有限公司
Dito事业部黄光设备新人教育训练
杨建华 2011.8.26
Metal作为架桥工艺流程
镀ITO 入料 水洗 预烤
SLIT/SPIN
曝光 显影 烤箱
检查 网印 剥膜
切割 电测 出货
OG 制 程
HMDS
IR/CP
Roller涂布
水洗
入料 剥膜 蚀刻 固烤
镀METAL
入料 Байду номын сангаас洗 IR/CP
SLIT/SPIN
蚀刻
METAL 固烤 显影 曝光 预烤
ITO 制 程
制 程
预烤 曝光 显影
ITO作为架桥工艺流程
镀ITO 入料 水洗 IR/CP
Roller涂布
预烤
SLIT/SPIN
曝光 OG 显影 烤箱 镀ITO 入料 水洗 IR/CP
SLIT/SPIN
入料
制 程 镀METAL 剥膜 蚀刻
水洗
收料机
•
蚀刻线各机台流程和作用
显影机 固烤炉 蚀刻机
• •
作用: 对光阻剂进行显影,洗掉经过UV曝光的光 阻剂.(正型光阻)。 作用: 对产品进行高温加热,使光阻剂可牢固黏附于玻 璃基板上. 作用:利用强酸将无光阻剂覆盖部份之ITO或METAL 洗去，以得到所需要之图形线路. 作用:将残留于ITO或METAL上之光阻剂以剥膜液清除， 留下所需要的图形线路.
•
SPIN线各机台流程和作用
入料机
中间水洗机 IR CP 暂存机 (Buffer)
• 作用:将产品按照一定时间依次送入下一制程.
• • •
作用:将产品表面的残留纯水进一步蒸发,使产品干燥. 作用:利用高温将玻璃表面的脏污分解 作用:将经IR后产品降温至室温.
• 作用:后段机台异常时可以将前段产品暂时自动收集， 防止产品在其他机台停留。
•
剥膜机
•
SLIT
•
作用:用刮刀将光阻剂平铺于产品表面.
SPIN线各机台流程和作用
SPIN • 作用:将SLIT涂布于产品上的光阻,用旋转离心力甩出,
以得到所需光阻膜厚.
预烤炉 • 作用:对光阻剂进行初步加热,增加光阻黏附
力.
曝光机
•
作用:对光阻进行UV曝光,改变光阻特性以便显影后获得我们所需要 的图形。 作用:将产品收进篮具。
SPIN3#4#线
ITO制程生产线的使用流程 P/R线 ITO蚀刻线 OG涂布线 OG显影线
MO-AL-MO蚀 刻线
SPIN1#2#线
P/R线各机台流程和作用
入料机
• 作用:将产品按照一定时间依次送入下一制程.
中间水洗机 • 作用:将产品表面的残留纯水进一步蒸发,使产品干燥. IR CP 暂存机 (Buffer)
• • 作用:利用高温将玻璃表面的脏污分解 作用:将经IR后产品降温至室温.
• 作用:后段机台异常时可以将前段产品暂时自动收集， 防止产品在其他机台停留。
Roller涂布机 • 作用:用Roller将光阻剂平铺于产品表面.
P/R线各机台流程和作用
预烤炉 曝光机 收料机
• •
作用:对光阻剂进行初步加热,增加光阻黏附 力. 作用:对光阻进行UV曝光,改变光阻特性以便显影后获得我们所需要 的图形。 作用:将产品收进篮具。