薄膜技术发展历程
BOPP简介
BOPP简介:发展历程和前景:设备生产产家:DMT(法国)、日本、德国、意大利、……产品分类,用途,性能,……..主要工艺流程……..设备构造…….(操作有关联)摘要:BOPP薄膜自1962年工业化以来,目前全世界的生产企业超过200家,近500条生产线,2003年全世界双向拉伸聚丙烯(BOPP)膜需求量已达到430万吨,并预测到2010年全球BOPP膜年需求量将达到600万吨。
本文简述了国内外BOPP膜的发展历史、主要特点、类别用途、目前的生产技术和未来的发展方向以及BOPP膜的原料、生产设备和市场的新动向。
引言双向拉伸聚丙烯薄膜(BOPP )具有质轻、无毒、无臭、防潮、机械强度高,尺寸稳定性好、印刷性能良好、透明性好等优点,广泛应用于食品、糖果、香烟、茶叶、果汁、牛奶、纺织品等的包装,有“包装皇后”的美称。
BOPP薄膜应用之广、污染之低以及对森林自然资源的保护,使其成为比纸张和聚氯乙烯(PVC )更受人欢迎的包装材料;制造工艺简易可靠、价格合理又使它成为比双向拉伸聚酯(BOPET )薄膜和双向拉伸尼龙(BOPA )薄膜更为普遍使用的包装材料。
1.国内外BOPP薄膜发展史BOPP膜生产技术于1958年由意大利蒙物卡蒂公司首创。
1962年实现工业化在欧美及日本垄断生产,此后BOPP薄膜发展迅速,目前全世界的生产企业超过200家,近500条生产线。
我国从60年代初开始由北京化工研究院(后迁入现晨光化工研究院)、北京电器科学研究院(现桂林电器科学研究院)及沈阳化工研究院(后迁入现晨光三厂)等单位摸索自行设计试制双向拉伸的工艺和设备,并陆续建成投产了一些规模较小、设备简单的生产线,当时主要是用来生产电工绝缘及电介质的BOPET和BOPP膜,其中1975年正式生产了BOPP膜。
为了适应更多行业的广泛需求,我国从1980年开始引进欧日美发达国家的部分或全套规模较大、自动化程度较高的生产线。
到1985年全国只有佛山、广州、北京、燕山4条3000~6000吨低速进口包装薄膜生产线,年产能力只有1.8万吨;1988~1989年进入“成长期”,到1990年全国发展到17个BOPP工厂、21条低速生产线,年产能力达到8万吨,5年间增长4.4倍;1997~1998年我国BOPP进入第二个产能扩张高峰期,同时BOPP技术创新取得突破性进展,年产1.5万吨高速线广泛应用,到1998年全国共有43个BOPP工厂、60条生产线(其中1~1.5万吨高速线占15条),年产能力突破40万吨,8年间增长5倍,成为我国经济增长的“亮点”行业之一。
半导体薄膜
汇报人:XX
目录
• 半导体薄膜概述 • 半导体薄膜制备技术 • 半导体薄膜结构与性能 • 半导体薄膜应用实例 • 半导体薄膜材料发展趋势与挑战
01
半导体薄膜概述
定义与特点
定义
半导体薄膜是一种具有半导体性质的薄膜材料,其厚度通常在纳米至微米级别 。这种材料具有介于导体和绝缘体之间的电导率,因此被称为半导体。
。
缺陷对性能的影响
缺陷对半导体薄膜的性能有重要 影响,如影响载流子浓度、迁移
率、光学透过率等。
电子结构与能带
能带结构
01
半导体薄膜的能带结构决定了其电子状态和电子行为。通常包
括价带、导带和禁带三部分。
载流子类型
02
半导体薄膜中的载流子可以是电子或空穴,这取决于其掺杂类
型和浓度。
载流子浓度和迁移率
03
回收利用
建立完善的回收利用体系,对废旧半导体薄膜进行 回收和再利用,降低资源浪费和环境污染。
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大面积均匀性控制技术挑战
薄膜沉积技术
如化学气相沉积、物理气相沉积等,需要优化工艺参数,提高薄膜 大面积均匀性。
表面处理技术
如机械抛光、化学抛光等,可以改善基底表面粗糙度,提高薄膜附 着力和均匀性。
薄膜转移技术
如卷对卷技术、激光转移技术等,可以实现大面积薄膜的快速、高效 转移。
提高稳定性及寿命问题探讨
现状
目前,半导体薄膜的制备技术已经非常成熟,包括物理气相沉积、化学气相沉积、溶胶-凝胶法、电化学沉积等 多种方法。同时,半导体薄膜的应用领域也在不断扩展,涉及到电子、光电、生物医学、环境科学等多个领域。
应用领域与前景
应用领域
光学薄膜的发展及应用前景
光学薄膜的发展及应用前景光学薄膜是一种通过沉积一层或多层材料形成的具有特定光学性质的薄膜,广泛应用于光学器件、太阳能电池、显示器、激光器等领域。
随着科学技术的发展和对光学性能要求的不断提高,光学薄膜的研究与应用呈现出迅猛发展的趋势。
本文将从光学薄膜的发展历程、主要应用领域以及未来的应用前景等方面进行探讨。
光学薄膜的发展历程可以追溯到20世纪初,当时人们开始使用化学气相沉积法来生长薄膜,开创了现代光学薄膜技术的先河。
20世纪50年代,光学薄膜技术得到了快速发展,特别是在太阳能电池、激光器和光学涂层等方面的应用有了重要突破。
随着薄膜材料和技术的不断进步,光学薄膜的性能和应用范围也得到了大幅提升。
光学薄膜在光学器件领域广泛应用,如反射镜、透镜、窗片等。
通过合理设计和优化光学薄膜的层序和材料组成,可以实现高透射、高反射、准相位匹配等特性。
这些特性成为眼镜、相机镜头、显微镜等光学器件中不可或缺的部分,有效提高了光学系统的性能和成像质量。
此外,光学薄膜在显示器领域也发挥着重要作用。
通过在显示器背光板、滤光片和触摸屏等部件上应用光学薄膜,可以增强显示器的颜色饱和度、对比度和亮度等方面的性能。
光学薄膜的应用可以提高显示器的显示效果,提供更好的视觉体验。
光学薄膜在激光器技术中也具有广泛的应用。
激光器的工作原理要求光在谐振腔中的来回传播尽可能多的次数,而光学薄膜通过提供高反射和高透射的特性,增强了激光器的能量转换效率和光束质量。
此外,光学薄膜还可用于激光器输出功率的控制,通过调节薄膜的反射率,实现激光器功率的输出控制。
此外,光学薄膜还具有广阔的太阳能应用前景。
光伏薄膜技术是研究如何将太阳能转化为电能的一项重要技术,它能够实现更高的太阳能电池转换效率。
通过在太阳能电池上应用光学薄膜,可以提高太阳能电池对太阳光的吸收和利用效率,从而提高电池的输出功率。
同时,光学薄膜还可以提高太阳能电池的耐候性和稳定性,延长电池的使用寿命。
DLC薄膜的发展历程
DLC薄膜的发展历程
薄膜技术的发展历程可以追溯到20世纪初。
然而,DLC (Diamond-like Carbon)薄膜作为一种特殊的薄膜材料,其发展历程相对较短。
1960年代初,DLC薄膜首次被报道,但由于技术限制和材料特性的不完善,该薄膜并未引起广泛关注。
1970年代中期,人们开始对DLC薄膜的特殊性质和应用潜力产生兴趣。
这一时期,研究者们主要使用离子束沉积(IBD)和化学气相沉积(CVD)等技术来制备DLC薄膜,发展了一些基本的制备方法和表征手段。
1980年代到1990年代初,DLC薄膜逐渐得到了更多的关注和深入研究。
研究人员通过改进制备方法、优化工艺参数和改良材料组分,实现了DLC薄膜的质量和性能的提升。
同时,DLC薄膜的应用范围也逐渐扩大,包括磁记录器、机械零件润滑、光学涂层等领域。
2000年代至今,DLC薄膜的研究和应用不断取得新突破。
新型的DLC制备方法和工艺不断涌现,如增强化学气相沉积(PECVD)、磁控溅射等。
同时,DLC薄膜在生物医学、传感器、微加工等领域也得到了广泛应用。
总的来说,DLC薄膜的发展历程经历了从开始的起步阶段到逐渐成熟的过程。
通过不断的技术改进和应用拓展,DLC薄膜正在成为一种具有广泛应用前景的新兴材料。
薄膜技术及应用
20世纪末至今
随着新材料和制备技术的 不断发展,新型薄膜材料 不断涌现,薄膜技术应用 领域不断扩大。
02
薄膜制备技术
物理气相沉积(PVD)
真空蒸发沉积
利用加热蒸发材料,使其 原子或分子从固态表面升 华进入气态,然后在基底 表面凝结形成薄膜。
导体薄膜
功能薄膜
用于制造集成电路、微电子器件和薄 膜晶体管等,具有高导电性能和稳定 性。
如光电转换薄膜、磁性薄膜、传感器 用敏感薄膜等,在电子器件中具有特 定功能。
绝缘薄膜
用作电子器件的介质层和绝缘材料, 具有低介电常数和损耗、高击穿场强 等特点。
光学领域
反射和滤光薄膜
用于控制光的反射、透射、干涉和偏振等特性, 在光学仪器、摄影、照明等领域有广泛应用。
多功能化薄膜
通过材料复合和结构设计,制备具有多功能特性的薄膜,如光学、热学、电学、磁学等多重性能的集 成。
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薄膜的分类
01
按材料分类
金属薄膜、制备方法分类
功能薄膜(如导电薄膜、光学薄 膜、磁性薄膜等)、结构薄膜等。
物理气相沉积、化学气相沉积、 溶胶-凝胶法等。
薄膜技术的发展历程
01
02
03
19世纪末
真空蒸发镀膜技术出现, 主要用于制造光学仪器和 装饰品。
20世纪中期
薄膜技术及应用
目录
• 薄膜技术简介 • 薄膜制备技术 • 薄膜的应用领域 • 薄膜的未来发展与挑战
01
薄膜技术简介
薄膜的定义与特性
定义
薄膜是一种厚度在微米到纳米级别的 材料,覆盖在基底上,具有特定的物 理、化学和机械性能。
薄膜技术发展历程
薄膜技术发展历程薄膜技术是指将材料制成薄膜状的工艺和技术。
它以其独特的特点和广泛的应用领域,在工业、电子、光学、医疗等领域发挥着重要作用。
随着科技的不断发展,薄膜技术也在不断演进和完善。
下面将介绍薄膜技术发展的历程。
1.薄膜技术的初期阶段可以追溯到20世纪40年代,当时主要应用于铝箔包装和银镜制造。
这时的薄膜技术主要是依靠机械拉伸和卷制工艺完成,技术水平相对较低。
2.20世纪50年代,随着塑料材料的提出和工艺的改进,薄膜技术得以进一步发展。
在这一阶段,薄膜材料制备开始使用挤出工艺、压延工艺和铸膜工艺,使得薄膜的生产速度和质量得到了提高。
3.20世纪60年代,薄膜技术开始引入真空薄膜沉积工艺。
真空薄膜沉积是一种将材料以原子或分子的形式沉积到基板上形成薄膜的技术。
这种技术可以通过物理和化学方法实现,如蒸发、溅射、离子束沉积等。
真空薄膜沉积技术的引入使得薄膜的厚度和复杂度得到了进一步提高,为后续的应用奠定了基础。
4.20世纪70年代,随着微电子技术和半导体工业的迅猛发展,薄膜技术得到了广泛的应用。
在这一阶段,薄膜技术开始应用于光刻、化学蚀刻、离子注入等微电子加工工艺中,用于制作电路板、光刻掩膜和光刻胶等部件。
这一时期也出现了一系列新的薄膜材料,如氧化铝、氮化硅等。
5.20世纪80年代,薄膜技术在光学领域得到了广泛的应用。
薄膜技术可以用于制作光学滤波器、反射镜、传感器等光学元件。
这一时期,薄膜技术的研究重点逐渐转向光学材料的研发和薄膜的光学性能的提高。
6.20世纪90年代至今,随着纳米科技的兴起和发展,薄膜技术进入了纳米尺度的制备阶段。
纳米薄膜技术主要应用于能源材料、生物医学、纳米电子等领域。
新的制备方法和设备的出现,如溅射、原子层沉积、自组装等,使得薄膜的厚度更加精细并且具备纳米级的结构。
值得一提的是,随着薄膜技术的发展,相关的研究和应用也在不断涌现。
例如,薄膜太阳能电池、薄膜膜结构、纳米薄膜材料等新兴领域逐渐成为研究的热点。
农膜棚膜行业发展资料
农膜棚膜行业发展资料随着现代农业的发展,农膜棚膜行业也得到了迅猛的发展。
农膜棚膜是农业生产中的重要设施之一,它是一种塑料薄膜,通过覆盖在农田或蔬菜园地上,可以起到保温、保湿、防风、防虫、保护作物生长等多种作用。
农膜棚膜行业在提高农业生产效率、保障作物质量以及减少农药使用方面发挥着重要的作用。
一、农膜棚膜的概述农膜棚膜是农业生产中使用的塑料薄膜,一般使用聚乙烯或聚氯乙烯等塑料材料制成。
根据不同的需要,农膜棚膜有透明、半透明和黑色等不同的颜色。
透明和半透明的农膜棚膜可以透光,保持温度,有利于作物生长。
黑色农膜棚膜则可以防止杂草生长,提供遮光等作用。
农膜棚膜的使用可以延长作物生长季节,增加农作物的产量和质量,保护作物免受天气恶劣的影响。
二、农膜棚膜的发展历程农膜棚膜的发展历程可以追溯到上世纪50年代,当时的农业生产中使用的是纱网覆盖或玻璃温室。
随着塑料技术的进步,塑料薄膜逐渐在农业生产中应用。
最早的农膜棚膜是由PE材料制成的黑色或绿色膜,用于覆盖在农田上,用以控制杂草生长和保护作物。
后来,人们发现可以通过调整农膜棚膜的颜色和厚度,实现对温度、湿度和光照的控制,从而提高作物的生长效果。
现代农膜棚膜已经成为农业生产中不可或缺的一部分,被广泛应用于种植、蔬菜栽培和病虫害防治等领域。
三、农膜棚膜的应用优势农膜棚膜的应用优势主要体现在以下几个方面:1. 增加农作物产量和质量:农膜棚膜可以提供优越的生长环境,延长作物生长周期,增加产量和农作物的品质。
通过调节农膜棚膜的透光性、保温性和透湿性,可以使作物生长更加适宜,提高产量和质量。
2. 减少农药使用:农膜棚膜可以起到防虫和防病的作用,减少了对化学农药的依赖。
通过合理的使用农膜棚膜,可以减少害虫和病菌的侵害,保护作物的生长。
3. 节约用水:农膜棚膜可以减少土壤水分的蒸发,提高土壤的湿度保持能力。
在地下铺设透水管道,可以进行精确的水肥一体化供应,节约用水资源。
4. 抗风抗霜能力强:农膜棚膜可以起到防风保温的作用,减少大风和低温天气对作物的影响。
薄膜发展现状及未来趋势分析
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备等,对薄膜的需求将持续增长。
新能源领域
02
薄膜在太阳能电池、燃料电池等新能源领域的应用前景广阔,
未来市场需求旺盛。
生物医疗领域
03
薄膜在生物传感器、药物缓释等医疗领域的应用逐渐增多,市
场需求将持续扩大。
薄膜产业发展趋势与挑战
产业整合与合作
面对激烈的市场竞争,薄膜企业将通 过产业整合与合作,提升整体竞争力 和创新能力。
应用领域
下游环节涉及薄膜的应用领域,如电子、光伏、 包装、建筑等。
薄膜市场竞争格局分析
国际竞争
全球薄膜市场上存在众多国际知名品牌和企业,他们通过技术创 新、产品质量和品牌影响力等方面展开竞争。
国内竞争
中国薄膜市场上也有众多本土企业,他们在国内外市场上与国际企 业展开竞争,不断提升自身实力和市场地位。
薄膜发展现状及未来 趋势分析
汇报人:文小库 2023-11-21
目录
• 薄膜概述 • 薄膜技术发展现状 • 薄膜市场现状及分析 • 薄膜的未来发展趋势
01
薄膜概述
薄膜的定义和分类
定义
薄膜是一种具有厚度在纳米至微米尺度的二维材料。
分类
按照材料性质,薄膜可分为金属薄膜、半导体薄膜、绝缘薄膜等;按照制备方 法,可分为物理气相沉积薄膜、化学气相沉积薄膜、溶胶凝胶薄膜等。
其他领域
薄膜还在环保、航空航天、军 事等领域有着广泛的应用前景
。
02
薄膜技术发展现状
薄膜技术发展历程
初始阶段
薄膜技术起源于20世纪初 ,初期主要应用于军事和 航空领域。
发展阶段
随着科技的进步和工业的 需求,薄膜技术逐渐应用 于电子、光学、太阳能等 领域。
薄膜技术的发展与应用
薄膜技术的发展与应用随着科学技术的不断发展和进步,薄膜技术在日常生活中越来越普遍。
薄膜技术是指在一定的基材上,采用化学气相沉积、物理气相沉积、溶液法等方法,将薄膜材料制成薄而均匀的薄膜层,并应用于各个领域中。
薄膜技术的应用范围很广,涉及电子、机械、化学、材料、生物、医学等领域。
一、薄膜技术的发展历程薄膜技术的发展可以追溯到20世纪初期,当时主要是针对电子器件的生产,例如:电子管、晶体管等。
到20世纪50年代,随着半导体技术的发展,薄膜技术也得到了极大的发展。
到了20世纪60年代和70年代,尤其是化学蒸汽沉积技术的问世,薄膜技术进一步发展,涂层的质量和稳定性均得以显著提高。
21世纪初,由于全球环保意识的增强,绿色薄膜技术被提上了议程,有害气体和有害物质的使用量大大降低,同时也倡导传统的好处,例如:在半导体工业中,和光学涂层中广泛使用的有机基体和无机互换等来自自然材料,都再次得到了广泛应用。
二、薄膜技术的应用领域1.光电子器件:光电显示、光伏电池、液晶显示器、太阳能光伏电站等;2.半导体器件:集成电路、半导体发光器、半导体激光、半导体红外探测器等;3.机械加工:金刚石薄膜的应用,可将热加工和磨料加工相结合,从而大大提高了机械加工的效率、准确度和质量;4.生物医药:薄膜技术以热喷涂、等离子沉积等为主要方法,主要用于修复骨骼组织、人体器官重建等;5.日用品:涂料、加工用膜、压敏胶带、包装膜等。
三、薄膜技术的发展前景薄膜技术是一种高新技术,有着广阔的应用前景。
在未来,薄膜技术的发展方向主要有以下几个方面:1.提高薄膜沉积速率和效率;2.制备大面积、高质量和高性能的薄膜材料;3.绿色化薄膜制造过程,减少石化原料和环保问题,同时也使成本更低;4.开发新的薄膜材料,探索新的应用领域;5.开展研究工作,深入了解薄膜沉积机理和薄膜材料性质。
总之,薄膜技术已经得到了广泛的应用和发展,而且在未来几年里,它的应用范围和技术水平还将得到进一步的提升。
薄膜生长的基本过程
化学气相沉积(CVD)
常温化学气相沉积
在常温条件下,通过控制反应气体浓度、温度和压力等参数,使 气体发生化学反应并生成固体薄膜。
热化学气相沉积
在高温条件下,使反应气体发生化学反应并生成固体薄膜。
等离子体增强化学气相沉积
利用等离子体激活反应气体,促进化学反应并生成固体薄膜。
液相外延(LPE)
溶质选择与控制
03
薄膜生长的工艺流程
原料选择与处理
01
02
03
原料选择
根据薄膜的用途和性能要 求,选择合适的原料,如 金属、非金属、化合物等。
原料纯度
确保原料的高纯度,以减 少杂质和缺陷的产生。
原料处理
对原料进行表面处理,如 清洗、干燥等,以去除表 面的污垢和杂质。
基片准备与预处理
基片选择
根据薄膜的性质和用途,选择合适的基片材料,如玻 璃、陶瓷、硅片等。
05
薄膜生长的应用领域
微电子领域
1 2
微电子器件制造
薄膜生长技术在微电子领域中广泛应用于制造各 种微电子器件,如薄膜晶体管、太阳能电池、传 感器等。
集成电路封装
在集成电路封装中,薄膜生长技术用于制造芯片 封装所需的绝缘膜层和导电线路等。
3
电子元器件表面处理
薄膜生长技术可以用于电子元器件表面的抗腐蚀、 抗氧化和抗磨损等处理,提高元器件的使用寿命 和稳定性。
02
薄膜生长的基本原理
物理气相沉积(PVD)
真空蒸发
在真空条件下,通过加热蒸发源物质,使其原子 或分子在基底表面凝结形成薄膜。
溅射沉积
利用高能粒子轰击源物质,使其原子或分子从表 面溅射出来,并在基底表面沉积形成薄膜。
离子束沉积
DLC薄膜的发展历程
DLC薄膜的发展历程DLC薄膜指的是钻石样碳薄膜(Diamond-like carbon),是一种以类似于钻石的碳结构为主的非晶态碳薄膜。
DLC薄膜具有硬度高、摩擦系数低、化学稳定性好等优点,因此在工业、电子、光学等领域有着广泛的应用。
DLC薄膜的发展历程可以追溯到20世纪60年代初,当时科学家们在气体放电等离子体中发现了一种神秘的碳薄膜。
1971年,日本科学家M. M. Saito首次为这种碳薄膜取名为Diamond-like carbon。
由于DLC薄膜具有类似于钻石的物理特性,如硬度高、抗磨损等,因此引起了科学家们的广泛关注。
随着对DLC薄膜研究的深入,科学家们发现DLC薄膜中纯净的碳原子细胞不同于自然钻石的结构,而更接近于非晶态碳结构。
这种结构使得DLC薄膜具有了良好的化学稳定性,并且可以通过调控碳原子的含氢量来改变薄膜的特性。
在20世纪70年代末到80年代初,DLC薄膜的研究进入了一个快速发展的阶段。
科学家们采用了不同的沉积技术,如射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)和磁控溅射(MS)等,以实现对DLC薄膜特性的控制。
这些技术使得DLC薄膜的硬度、摩擦系数等特性得到了显著提高。
进入21世纪后,DLC薄膜的研究更加深入和广泛。
科学家们不断改进沉积技术,发展了新的方法,如离子束沉积(IBD)和激光化学气相沉积(LCVD)等,以提高DLC薄膜的质量和应用范围。
此外,研究人员还开始将DLC薄膜与其他材料结合,如金属、陶瓷等,以增强材料的性能。
目前,DLC薄膜广泛应用于各个领域。
在工业领域,DLC薄膜被用于涂层,以提高金属件的硬度、耐磨性和抗腐蚀性。
在电子领域,DLC薄膜可用于制备导电膜,如电极、触摸屏等。
在光学领域,DLC薄膜可以用于制备薄膜反射镜、抗反射膜等。
总之,DLC薄膜经过几十年的发展,取得了重要进展,成为一种具有广泛应用前景的新型功能薄膜材料。
随着技术的不断创新和完善,相信DLC薄膜将在更多领域发挥重要作用,为人类的生活和产业发展带来更多的便利和进步。
薄膜技术发展历程资料
薄膜技术发展历程(一):镀膜发展史化学镀膜最早用于在光学元件表面制备保护膜。
随后,1817年,Fraunhofe在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃,偶然第一次获得减反射膜,1835年以前有人用化学湿选法淀积了银镜膜它们是最先在世界上制备的光学薄膜。
后来,人们在化学溶液和蒸气中镀制各种光学薄膜。
50年代,除大快窗玻璃增透膜的一些应用外,化学溶液镀膜法逐步被真空镀膜取代。
真空蒸发和溅射这两种真空物理镀膜工艺,是迄今在工业撒谎能够制备光学薄膜的两种最主要的工艺。
它们大规模地应用,实际上是在1930年出现了油扩散泵---机械泵抽气系统之后。
1935年,有人研制出真空蒸发淀积的单层减反射膜。
但它的最先应用是1945年以后镀制在眼镜片上。
1938年,美国和欧洲研制出双层减反射膜,但到1949年才制造出优质的产品。
1965年,研制出宽带三层减反射系统。
在反射膜方面,美国通用电气公司1937年制造出第一盏镀铝灯。
德国同年制成第一面医学上用的抗磨蚀硬铑膜。
在滤光片方面,德国1939年试验淀积出金属—介质薄膜Fabry---Perot型干涉滤光片。
在溅射镀膜领域,大约于1858年,英国和德国的研究者先后于实验室中发现了溅射现象。
该技术经历了缓慢的发展过程。
1955年,Wehner提出高频溅射技术后,溅射镀膜发展迅速,成为了一种重要的光学薄膜工艺。
现有两极溅射、三极溅射、反应溅射、磁控溅射和双离子溅射等淀积工艺。
自50年代以来,光学薄膜主要在镀膜工艺和计算机辅助设计两个方面发展迅速。
在镀膜方面,研究和应用了一系列离子基新技术。
1953年,德国的Auwarter申请了用反应蒸发镀光学薄膜的专利,并提出用离子化的气体增加化学反应性的建议。
1964年,Mattox在前人研究工作的基础上推出离子镀系统。
那时的离子系统在10Pa压力和2KV 的放电电压下工作,用于在金属上镀耐磨和装饰等用途的镀层,不适合镀光学薄膜。
后来,研究采用了高频离子镀在玻璃等绝缘材料上淀积光学薄膜。
晶硅与薄膜对比
晶硅技术在能效方面具有优势,而薄膜技术则具 有更大的优化潜力和灵活性。
应用领域对比
晶硅技术
广泛应用于光伏、半导体器件等领域,是当前主流的 光伏技术之一。
薄膜技术
适用于特定应用领域,如柔性光伏、穿戴设备等,具 有更广泛的应用前景。
总结
晶硅技术在光伏和半导体领域占据主导地位,而薄膜 技术则在一些特定领域具有优势和应用前景。
2000年代
晶体硅光伏发电技术不断升级 和优化,效率不断提高,成本
不断降低。
晶硅技术应用领域
01
02
03
光伏电站
晶硅技术广泛应用于大型 光伏电站建设,为电网提 供清洁能源。
分布式电源
晶硅技术也可用于分布式 光伏发电系统,为家庭、 企业等提供自用电力。
移动能源
晶硅技术还可应用于移动 电源领域,如太阳能充电 器、太阳能灯具等。
薄膜技术未来展望
高柔性
薄膜太阳能电池具有轻薄、可弯曲的特性,未来有望在可穿戴设 备、汽车、建筑等领域得到广泛应用。
低成本
薄膜太阳能电池的制造成本相对较低,未来有望通过进一步技术创 新和规模化生产降低成本。
高光电转换效率
新型薄膜太阳能电池的研究取得不断突破,未来有望实现更高的光 电转换效率。
晶硅与薄膜技术融合发展
1 2 3
互补性
晶硅和薄膜太阳能技术各有优缺点,未来有望通 过技术融合实现优势互补,提高整体性能。
集成化
晶硅和薄膜太阳能电池可以集成在同一组件中, 形成复合型太阳能电池,以充分利用两种技术的 优点。
智能化
随着物联网和智能化技术的发展,未来晶硅和薄 膜太阳能技术有望实现智能化管理,提高能源利 用效率和可靠性。
早期的薄膜技术主要采用物理气相沉积(PVD)方法,如真空蒸发镀膜和溅射镀膜 等。
国内农用薄膜发展历程
国内农用薄膜发展历程自20世纪80年代起,国内农用薄膜在农业生产中得到了广泛的应用,经过几十年的发展,取得了显著的成就。
本文将对国内农用薄膜的发展历程进行回顾。
首先,20世纪80年代是国内农用薄膜发展的起点。
当时,农村经济正在快速发展,农民对提高农作物产量和质量有着更高的要求。
农用薄膜作为一种先进的农业技术手段,被引入中国国内,得到了广泛的应用。
最初主要用于种植蔬菜等经济作物,有效地提高了作物产量和质量。
接着,90年代是国内农用薄膜发展的快速阶段。
随着经济的持续发展和农业产业化的推进,农民对农用薄膜的需求不断增加。
国内一些专门从事农膜生产的企业相继成立,农膜生产技术也得到了快速的发展。
这些企业推出了更多种类和规格的农膜产品,在农业生产中起到了重要的作用。
到了21世纪初,国内农用薄膜进入了技术改造的新阶段。
为了适应现代农业的需求,农用薄膜的材质和性能得到了进一步的提升。
传统的PE(聚乙烯)农膜逐渐被新型材料如EVA(共聚物)农膜所替代,新型农膜具有更好的农药渗透性、辐射传能效果和防虫防病效果。
同时,农用薄膜的加工技术也得到了改进,产量和质量都得到了明显提升。
随着国内农业技术的不断发展和创新,农用薄膜的应用领域也进一步拓宽。
除了传统的蔬菜种植领域,农用薄膜在水果、花卉、中药材等领域也发挥着重要的作用。
例如,在水果种植中,农用薄膜可以提高果实的色泽和甜度,延长货架期;在花卉种植中,农用薄膜可以改善土壤环境,提高花朵的开花率和品质。
在国内农用薄膜的发展过程中,还出现了一些问题。
例如,由于一些农民对农用薄膜的使用和处理不规范,造成了一定的环境污染。
政府和相关部门出台了一系列的政策和法规,加强了对农用薄膜的管理和监管,推动了其可持续发展。
总结起来,国内农用薄膜发展历程可以概括为起步阶段、快速阶段、技术改造阶段和创新拓展阶段。
经过几十年的努力,农用薄膜逐渐成为中国农业生产不可或缺的一部分,发挥着重要的作用。
我们对农用薄膜的发展趋势保持关注,相信在未来的发展中将会有更加广阔的前景。
薄膜技术发展历程
薄膜技术进展历程(一):镀膜进展史化学镀膜最早用于在光学元件外表制备保护膜。
随后,1817 年,Fraunhofe 在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃,偶然第一次获得减反射膜,1835 年以前有人用化学湿选法淀积了银镜膜它们是最先在世界上制备的光学薄膜。
后来,人们在化学溶液和蒸气中镀制各种光学薄膜。
50 年月,除大快窗玻璃增透膜的一些应用外,化学溶液镀膜法逐步被真空镀膜取代。
真空蒸发和溅射这两种真空物理镀膜工艺,是迄今在工业撒谎能够制备光学薄膜的两种最主要的工艺。
它们大规模地应用,实际上是在1930 年消灭了油集中泵---机械泵抽气系统之后。
1935 年,有人研制出真空蒸发淀积的单层减反射膜。
但它的最先应用是 1945 年以后镀制在眼镜片上。
1938 年,美国和欧洲研制出双层减反射膜,但到 1949 年才制造出优质的产品。
1965 年,研制出宽带三层减反射系统。
在反射膜方面,美国通用电气公司1937 年制造出第一盏镀铝灯。
德国同年制成第一面医学上用的抗磨蚀硬铑膜。
在滤光片方面,德国 1939 年试验淀积出金属—介质薄膜Fabry---Perot 型干预滤光片。
在溅射镀膜领域,大约于 1858 年,英国和德国的争辩者先后于试验室中觉察了溅射现象。
该技术经受了缓慢的进展过程。
1955 年,Wehner 提出高频溅射技术后,溅射镀膜进展快速,成为了一种重要的光学薄膜工艺。
现有两极溅射、三极溅射、反响溅射、磁控溅射和双离子溅射等淀积工艺。
自 50 年月以来,光学薄膜主要在镀膜工艺和计算机关心设计两个方面进展快速。
在镀膜方面,争辩和应用了一系列离子基技术。
1953 年,德国的Auwarter 申请了用反响蒸发镀光学薄膜的专利,并提出用离子化的气体增加化学反响性的建议。
1964 年,Mattox 在前人争辩工作的根底上推出离子镀系统。
那时的离子系统在10Pa 压力和 2KV 的放电电压下工作,用于在金属上镀耐磨和装饰等用途的镀层,不适合镀光学薄膜。
光学扩散膜历史
光学扩散膜历史
光学扩散膜是一种用于光学领域的薄膜材料,其历史可以追溯到20世纪中期以来的光学技术发展。
以下是光学扩散膜的历史详细介绍:
起源:
光学扩散膜的起源可以追溯到20世纪中叶。
随着光学技术的进步和应用的需要,人们开始研究如何改善光学元件的性能和效果,其中包括光学膜的研究与应用。
发展与演进:
在光学扩散膜的发展历程中,科学家们逐步改进了材料的制备工艺和技术,以提高膜的光学性能和稳定性。
通过不断的研究和实验,光学扩散膜的制备技术得到了不断的改进和优化。
应用领域:
光学扩散膜被广泛应用于各种光学设备和器件中,包括光学镜片、滤光片、反射镜、衍射光栅等。
它可以改变光线的传播和反射特性,实现对光学信号的控制和调节,从而应用于光学成像、显示技术、激光技术等领域。
材料与制备:
光学扩散膜通常采用多层薄膜的堆积结构,通过控制不同材料的层厚和折射率,实现对光学性能的调节。
制备过程涉及物理蒸发、化学气相沉积、溅射等技术,以确保膜的质量和稳定性。
进一步发展:
随着光学技术和材料科学的不断进步,光学扩散膜在光学器件和系统中的应用将会得到进一步的拓展和发展。
未来,随着新材料和制备工艺的应用,光学扩散膜将会在更多领域展现出其重要作用。
总的来说,光学扩散膜是光学技术领域的重要组成部分,其发展历史与光学技术的发展密切相关,为各种光学设备和应用提供了重要支持和基础。
ALD技术的发展与应用
ALD技术的发展与应用ALD (Atomic Layer Deposition)技术是一种表面薄膜制备技术,可以在很多行业和领域中应用。
随着纳米技术的发展,ALD技术的应用也得到了广泛关注。
本文将介绍ALD技术的发展历程以及其在各个领域的应用。
ALD技术最早起源于20世纪60年代,当时主要应用于电子行业中的集成电路制造。
随着半导体行业的快速发展,ALD技术也得到了长足的发展。
ALD技术通过交替地注入两种或更多种气体,使得逐层生长,每一层的厚度可以控制在数angstrom数量级。
这种逐层生长的方式可以产生出非常均匀、高质量的薄膜。
ALD技术主要依赖于表面反应的自限制性。
在每一层结构生成后,未反应的气体被完全抽走,保证了下一层结构的纯洁性。
ALD技术具有很高的控制性能,可以精确控制薄膜的厚度、均匀性和化学组成。
同时,由于具有原子级别的沉积能力,ALD技术可以制备出复杂结构和多层结构的薄膜。
ALD技术广泛应用于电子行业中,特别是新型半导体器件的制造中。
由于其可以制备非常薄的、高质量的绝缘层、介质层和金属层,ALD技术在微电子器件、显示器件和光电子器件中得到了广泛应用。
此外,ALD技术还可以制备纳米级别的孔隙材料,应用于纳米电子器件和储能材料等领域。
ALD技术还在能源领域发挥着重要作用。
例如,ALD技术可以制备高效的光伏材料,提高太阳能电池的能量转换效率。
此外,ALD技术还可以优化燃料电池的阳极和阴极材料,提高燃料电池的性能。
此外,ALD技术还可以用于制备电子催化剂,提高化学反应的效率,推动能源转换和储存技术的发展。
ALD技术在生物医学领域也有着广泛的应用。
通过利用ALD技术制备纳米级别的薄膜材料,可以对生物医学器械进行表面改性,提高其生物相容性和稳定性。
此外,ALD技术还可以用于制备药物释放系统,实现药物的缓释。
另外,ALD技术还可以制备生物传感器,用于快速检测病原体和生物分子,有助于疾病的早期诊断和治疗。
薄膜铌酸锂发展历程
薄膜铌酸锂发展历程1. 引言薄膜铌酸锂是一种重要的电化学材料,具有优异的离子传输性能和稳定的结构,被广泛应用于锂离子电池、传感器、光学器件等领域。
本文将详细介绍薄膜铌酸锂的发展历程,包括其起源、研究进展和应用前景。
2. 起源铌酸锂是一种属于钛酸盐类的化合物,由铌离子和锂离子组成。
20世纪60年代初期,科学家们开始对铌酸锂进行研究,并发现其具有良好的离子导电性能。
然而,由于其晶体结构复杂且难以制备纯度高的晶体材料,研究进展缓慢。
3. 研究进展3.1 晶体生长技术为了解决晶体结构复杂和纯度低的问题,科学家们开展了大量的晶体生长技术研究。
通过改进溶液法、气相沉积法和熔体法等方法,成功制备出高纯度、大尺寸的铌酸锂晶体。
这为后续的研究提供了重要的材料基础。
3.2 薄膜制备技术随着薄膜技术的发展,科学家们开始尝试将铌酸锂制备成薄膜形式,以进一步提高其应用性能。
常见的薄膜制备方法包括物理气相沉积、化学气相沉积和溶液法等。
这些方法可以制备出具有不同厚度和结构的铌酸锂薄膜。
3.3 结构优化与性能改进为了提高铌酸锂的电化学性能,科学家们进行了大量的结构优化与性能改进研究。
通过控制晶体结构、添加合适的掺杂元素以及调节晶格畸变等手段,成功提高了铌酸锂的离子导电性能和循环稳定性。
这些改进使得铌酸锂在电池领域得到了广泛应用。
4. 应用前景随着电动汽车、储能技术和可穿戴设备等领域的快速发展,薄膜铌酸锂作为一种重要的电化学材料,具有广阔的应用前景。
在锂离子电池领域,薄膜铌酸锂可以作为固态电解质材料,提高电池的安全性和循环寿命。
此外,薄膜铌酸锂还可以应用于传感器、光学器件和微机械系统等领域。
5. 结论薄膜铌酸锂作为一种重要的电化学材料,在过去几十年里取得了显著的研究进展。
通过不断优化晶体生长技术、开发新的制备方法以及改进结构与性能,铌酸锂的应用前景不断拓展。
未来,随着科技的进步和需求的增长,相信薄膜铌酸锂将在更多领域发挥重要作用。
lcp膜发展历程
lcp膜发展历程
LCP(Liquid Crystal Polymer)膜是一种具有高性能的聚合物
薄膜材料。
它具有低介电常数、低介电损耗、低热膨胀系数、高导热性和优异的机械性能等特点,广泛应用于电子、通信、汽车、航空航天等领域。
LCP膜的发展历程可以追溯到20世纪50年代。
当时,研究人员首次发现了液晶聚合物的存在,并开始研究其性质与应用。
然而,由于液晶聚合物的合成和加工难度较大,以及材料的高成本,LCP膜的商业化应用进展缓慢。
随着材料科学与工程技术的发展,研究人员开始尝试改善
LCP膜的合成方法和材料性能。
在20世纪80年代,研究人员成功地合成出具有较高熔融温度和较低热膨胀系数的LCP膜,并开始将其应用于电子行业。
在电子行业中,LCP膜主要用于柔性电路板(FPC)和3D封
装等领域。
由于LCP膜具有优异的尺寸稳定性和高温性能,
它可以在高温环境下保持电子器件的性能稳定,因此被广泛应用于高端电子产品。
随着电子产品的迅速发展和市场需求的增加,LCP膜的生产
工艺也得到了改进。
现在,LCP膜的生产技术已经相对成熟,可以实现高质量、大规模的生产。
此外,研究人员还通过改变LCP膜的配方和结构,进一步提高了其性能,并扩展了其应
用领域。
目前,LCP膜在电子领域中的应用正在不断扩大。
除了柔性电路板和封装材料,LCP膜还可以用于显示器、天线、传感器、光学器件等领域。
随着技术的进步和市场的需求,相信LCP膜在未来将会有更广泛的应用前景。
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薄膜技术发展历程(一):镀膜发展史化学镀膜最早用于在光学元件表面制备保护膜。
随后,1817年,Fraunhofe在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃,偶然第一次获得减反射膜,1835年以前有人用化学湿选法淀积了银镜膜它们是最先在世界上制备的光学薄膜。
后来,人们在化学溶液和蒸气中镀制各种光学薄膜。
50年代,除大快窗玻璃增透膜的一些应用外,化学溶液镀膜法逐步被真空镀膜取代。
真空蒸发和溅射这两种真空物理镀膜工艺,是迄今在工业撒谎能够制备光学薄膜的两种最主要的工艺。
它们大规模地应用,实际上是在1930年出现了油扩散泵---机械泵抽气系统之后。
1935年,有人研制出真空蒸发淀积的单层减反射膜。
但它的最先应用是1945年以后镀制在眼镜片上。
1938年,美国和欧洲研制出双层减反射膜,但到1949年才制造出优质的产品。
1965年,研制出宽带三层减反射系统。
在反射膜方面,美国通用电气公司1937年制造出第一盏镀铝灯。
德国同年制成第一面医学上用的抗磨蚀硬铑膜。
在滤光片方面,德国1939年试验淀积出金属—介质薄膜Fabry---Perot型干涉滤光片。
在溅射镀膜领域,大约于1858年,英国和德国的研究者先后于实验室中发现了溅射现象。
该技术经历了缓慢的发展过程。
1955年,Wehner提出高频溅射技术后,溅射镀膜发展迅速,成为了一种重要的光学薄膜工艺。
现有两极溅射、三极溅射、反应溅射、磁控溅射和双离子溅射等淀积工艺。
自50年代以来,光学薄膜主要在镀膜工艺和计算机辅助设计两个方面发展迅速。
在镀膜方面,研究和应用了一系列离子基新技术。
1953年,德国的Auwarter申请了用反应蒸发镀光学薄膜的专利,并提出用离子化的气体增加化学反应性的建议。
1964年,Mattox在前人研究工作的基础上推出离子镀系统。
那时的离子系统在10Pa压力和2KV的放电电压下工作,用于在金属上镀耐磨和装饰等用途的镀层,不适合镀光学薄膜。
后来,研究采用了高频离子镀在玻璃等绝缘材料上淀积光学薄膜。
70年代以来,研究和应用了离子辅助淀积、反应离子镀和等离子化学气相等一系列新技术。
它们由于使用了带能离子,而提供了充分的活化能,增加了表面的反应速度。
提高了吸附原子的迁移性,避免形成柱状显微结构,从而不同程度地改善了光学薄膜的性能,是光学薄膜制造工艺的研究和发展方向。
实际上,真空镀膜的发展历程要远远复杂的多。
我们来看一个这个有两百年历史的科技历程:19世纪真空镀膜已有200年的历史。
在19世纪可以说一直是处于探索和预研阶段。
探索者的艰辛在此期间得到充分体现。
1805年, 开始研究接触角与表面能的关系(Young)。
1817年, 透镜上形成减反射膜(Fraunhofer)。
1839年, 开始研究电弧蒸发(Hare)。
1852年, 开始研究真空溅射镀膜(Grove;Pulker)。
1857年, 在氮气中蒸发金属丝形成薄膜(Faraday;Conn)。
1874年, 报道制成等离子体聚合物(Dewilde;Thenard)。
1877年,薄膜的真空溅射沉积研究成功(Wright)。
1880年, 碳氢化合物气相热解(Sawyer;Mann)。
1887年, 薄膜的真空蒸发(坩埚) (Nahrwold;Pohl;Pringsheim)。
1896年, 开始研制形成减反射膜的化学工艺。
1897年, 研究成功四氯化钨的氢还原法(CVD); 膜厚的光学干涉测量法(Wiener)。
20世纪的前50年1904年, 圆筒上溅射镀银获得专利(Edison)。
1907年, 开始研究真空反应蒸发技术(Soddy)。
1913年, 吸附等温线的研究(Langmuir,Knudsen,Knacke等)。
1917年, 玻璃棒上溅射沉积薄膜电阻。
1920年, 溅射理论的研究(Guntherschulzer)。
1928年, 钨丝的真空蒸发(Ritsehl,Cartwright等) 。
1930年, 真空气相蒸发形成超微粒子(Pfund)。
1934年, 半透明玻璃纸上金的卷绕镀(Kurz,Whiley); 薄膜沉积用的玻璃的等离子体清洗(Bauer,Strong)。
1935年, 金属纸电容器用的Cd:Mg和Zn的真空蒸发卷绕镀膜研究成功(Bausch,Mansbridge); 帕洛马100英寸望远镜镜面镀铝(Strong);光学透镜上镀制单层减反射膜(Strong,Smakula); 金属膜生长形态的研究(Andrade,Matindale)。
1937年, 使用铅反射器的密封光束头研制成功(Wright); 真空卷绕蒸发镀膜研制成功(Whiley); 磁控增强溅射镀膜研制成功(Penning)。
1938年, 离子轰击表面后蒸发取得专利(Berghaus)。
1939年, 双层减反射膜镀制成功(Cartwright,Turner)。
1941年, 真空镀铝网制成雷达用的金属箔。
1942年, 三层减反射膜的镀制(Geffcken); 同位素分离用的金属离子源研制成功。
1944年, 玻璃的电子清洗研制成功(Rice,Dimmick)。
1945年, 多层光学滤波器研制成功(Banning,Hoffman)。
1946年, 用X射线法吸收法测量薄膜的厚度(Friedman,Birks); 英国Goodfellow公司成立。
1947年,200英寸望远镜镜面镀铝成功。
1948年,美国国家光学实验室(OCLI)建立;沉积粒子的真空快速蒸发(Harris,Siegel);用光透过率来控制薄膜的厚度(Dufour)。
1949年,非金属膜生长形态的研究(Schulz)。
1950年,溅射理论开始建立(Wehner);半导体工业开始起步;各种微电子工业开始起步;冷光镜研制成功(Turner,Hoffman,Schroder);塑料装饰膜开始出现(holland等)。
20世纪的后50年这是薄膜技术获得腾飞的50年。
真空获得、真空测量取得的进展是薄膜技术迅速实现产业化的决定性的因素。
1952年,表面自动洁净的溅射清洗方法研制成功;开始研究新的反应蒸发方法(Auwarter,Brinsmaid);开始研究耐腐蚀的等离子体聚合物膜。
1953年,美国真空学会成立;以卷绕镀膜的方法制成抗反射的薄膜材料(3M公司)。
1954年,开始研制新型真空蒸发式卷绕镀膜机(Leybold公司)。
1955,薄膜沉积的电子束蒸发技术开始成熟(Ruhle);开始提出介质的射频溅射方法(Wehner)。
1956年,美国第一台表面镀有金属膜的汽车问世(Ford 汽车公司)。
1957年,真空镀镉方法被航空工业所接受; 研究光学膜的反应蒸镀方法(Brismaid,Auwarter等); 美国真空镀膜学会成立.1958年, 薄膜的外延生长技术研制成功(Gunther); 美国航空航天局(NASA) 成立.1959年, 磁带镀膜设备研制成功(Temescal公司).1960年, 聚合物表面等离子体活性沉积方法出现(Sharp,Schorhorm); 电推进器用离子源研制成功(Kauffman); 石英晶体膜厚测量仪研制成功.1961年, 低辐射率玻璃研制成功(Leybold公司); 开始研究元素的溅射产额(Laegried,Yamamura等).1962年, 开始研究用于化学分析的溅射方法; 碳(Massey) 和金属(Lucas) 的电弧气相沉积; 研究作为清洗用的介质的射频溅射方法(Stuart,Anderson等);Leybold公司的产品进入美国市场; 开始考虑元素的蒸气压(Hoenig).1963年, 开始研制部分暴露大气的连续镀膜设备(Charschan,Savach等); 离子镀膜工艺研制成功(Mattox).1964年, 光生伏打薄膜的PECVD(等离子体增强化学气相沉积) 方法研制成功(Bradley等).1965年, 偏压溅射沉积方法研制成功(Maissel等); 薄膜的激光气相沉积方法研制成功(Smith,Turner); 绝缘材料的射频溅射沉积方法研制成功(Davidse,Anderson等); 脉冲激光沉积方法研制成功(Smith等); 醋酸纤维膜所用的多层真空金属网带膜研制成功(Galileo).1966年,核反应堆中的离子镀铝(Mattox等); 作为润滑剂用的软金属的离子镀膜研制成功(Spalvins); 附着性能好的阳光反射膜(3M公司).1967年, 刀具上溅射镀铬成功(Lane);真空离子镀膜方法取得专利(Mattox); 三极溅射方法研制成功(Baun,Wan等); 高真空条件下,引爆膜的沉积(Mattox).1968年, 旋转箱中,小型部件的离子镀膜(Mattox,Klein), 这个方法后来在航天工业中叫做离子气相沉积.1969年, 磁控溅射在半球形部件内部进行,多种滋控溅射源取得专利(Mullay);Leybold公司的新型溅射镀膜机问世;蒸发薄膜形态图出版发行。
20世纪70年代各种真空镀膜技术的应用全面实现产业化。
薄膜技术的发展进入黄金时期。
1970年,真空蒸发的空心阴极电子源研制成功(ULVAC公司);高沉积速率多层光学镀膜机研制成功(OCLI);空心阴极离子镀膜设备在日本出现(ULVAC公司)。
1971年,用离子轰击的方法在玻璃上镀膜的公司在不少国家大量涌现;硬碳膜研制成功(Aisenberg等);锥形部件内的磁控溅射方法取得专利(Clarke);任意位置的阳极电弧蒸发源出现(Snaper,Sablev);蒸发过程中,活性气体的等离子体激活(Heitman,Auwarter等);镀铝的香烟包装纸研制成功(Galileo);使用电子束蒸发源的离子镀膜设备出现(Chamber 公司)。
1972年,粒子束团沉积方法研制成功(Tagaki);采用离子枪的高真空溅射镀膜设备出现(Weissmantel);薄膜形态的同步轰击效应的研究(mattox等);细网上镀膜的设备获得广泛应用。
1973年,电镀行业采用新型质优价廉的离子镀膜设备(Bell公司);等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在平形板反应堆中应用(Reinberg)。
1974年,超紫外—臭氧清洗技术出现(Sowell,Cuthrell等);离子轰击膜中压缩应力的研究(Sowell,Cuthrell等); 平面磁控镀膜技术取得专利(Chapin).1975年,反应离子镀膜技术研制成功(Murayama等); 柱状阴极磁控溅射技术取得专利(Penfold等); Ⅲ—Ⅴ族半导体材料的分子束外延(MBE)研制成功(Cho,Arthur);交替式离子镀膜技术研制成功(Schiller);汽车车架上镀铬出现(Chevrolet)。