氦检流程图
氦检工艺
U形管束管头焊缝氦泄漏检验试验程序
一．泄漏预检
将U形管束装入试压工装，压力试验合格之后进行。
在嗅吸探头技术检验之前，应先对所检设备或部件作一次预先检验，以检出和排除一些较大的泄漏，以防止正式检测时氦气污染。
将工装各密封面以贴纸密封以防止正式检测时干扰。
二．嗅吸探头技术检验
1．准备工作要求：
a.将U形管束及试压工装置于不会因通风使检验要求的灵敏度降低的场
地。
b. U形管束及试压工装表面应无油漆、油脂以及其它可能遮蔽泄漏的污
物。
被检部位的表面应干燥。
c.对被测设备或部件进行充气，先充入氮气,再冲入氦气至表压0.2MP,然
后保压30min。
2．仪器校准：仪器检测应先通电预热约10~15min,并在高真空指示灯亮时用标准漏孔进行校准，校准结束后方可进行检测。
3．泄漏检验：检验时应将嗅吸探头扫过检查表面，扫查期间探头与检查表面之间的距离应保持在3.2mm以内，从被检部位的最低点上开始，而
后渐进而上扫查。
4．检验评定：若检验的泄漏率不超过1x10-5mbar.l/s的允许的泄漏率，则
该被检验的区域可验收。
氦检漏设备
4. 氦检漏设备•基本工作原理•根据氦检漏的原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。
•基本功能•操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。
•吸枪法氦气检漏装置、真空箱法氦气检漏装置4.1 氦检漏工艺示意图---背压法预抽泵精抽泵检测仪充氦工件V3V1V2真空箱打开阀V3,预抽真空泵对已装入充氦工件的真空箱进行抽真空25秒，然后关闭阀V3，开启阀V2，再用精抽泵继续抽真空，在达到真空度10-20Pa时，开启阀V1,并用检测仪对真空箱进行检测。
氦检漏工艺示意图---真空箱法工艺过程见下页氦检漏工艺示意图文字说明工艺流程A1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测；B1：若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止；B2：若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测；C1：若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止；C2：若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。
4.2 氦检漏系统特点系统特征及优点：1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全；2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、高精度。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、专利技术的密封接头，减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。
氦检漏卤素检漏
一、氦检漏TSG R0004-2009 《固定式压力容器安全技术监察规程》规定，对于介质毒性程度为极度、高度危害或者设计上不允许有微量泄漏的压力容器，应当进行泄漏试验。
因此，泄漏检测已经成为该类压力容器普遍使用的无损检测方法之一。
氦质谱泄漏检测技术具有检漏灵敏度高、可靠性好、对漏孔既能定位又能定量等优点，从而在压力容器泄漏检测中得到了广泛的应用。
氦质谱检漏按照检测过程中氦气的流向，可分为正压检漏（氦气流出被检容器）和真空检漏（氦气流进被检容器）两种情况。
１.正压检漏氦质谱正压检漏通过在被检容器中充入一定压力的空气和氦气的混合气体，然后在容器压力较低的外侧采用一定的方式检测泄漏的氦气，从而达到对容器局部或整体、定位或定量的检漏目的。
常见的氦质谱正压检漏方法主要有吸枪直测法和氦罩积累法。
（1）吸枪直测法吸枪直测法是指用吸枪在大气中从压力容器被检部位直接获得示漏氦气，从而对压力容器进行检漏的一种氦泄漏检测方法。
吸枪直测法检漏示意图见下图。
１．氦质谱检漏仪２．吸枪３．被检容器４．氦气瓶该法为一种定性、定位检测技术，用以探测泄漏并确定其位置，检测灵敏度可达10－7Pa·m３/s。
扫查距离、速度以及不同操作人员对吸枪直测法的检测灵敏度均有一定程度的影响。
吸枪直测法一般用于容器焊缝、密封面等部位的泄漏检测，也可用于整体检漏后漏孔的定位。
（2）氦罩积累法如果被检容器的泄漏率很小，用吸枪直测法难以检测到泄漏时，则需采用氦罩积累法进行检漏。
相对于吸枪直测法的定性检测而言，氦罩积累法通过一定的积累时间，可以实现被检容器的定量微漏检测。
氦罩积累法可以对被检容器的局部或整体进行泄漏检测。
如果容器较小，用氦罩将其整个罩住，就可以对容器整体泄漏情况进行检测。
但对于焊缝、密封面较多的容器，则无法同时实现漏孔的定位。
若容器较大而且结构复杂，则需用多个小氦罩将被检部位罩住，这样既可以实现容器整体泄漏情况的检测，还可以对具体的泄漏位置以及泄漏率进行判定。
氦检机工作原理
氦检机工作原理
氦检机，又称质谱检测仪，是一种利用质谱技术来检测氦气浓度的仪器。
下面是氦检机的工作原理：
1. 氦气进样：氦气通过进样口进入氦检机的气室中。
2. 离子化：氦气在气室中被电源产生的高能电子击中，引发离子化作用，将部分氦原子转化为氦离子。
3. 加速与分离：离子化的氦离子被加速器加速，形成高速运动的离子束。
在加速器的作用下，不同质荷比的离子会与电场发生相互作用，使其在空间中运动轨迹产生分离。
4. 检测：离子束经过分离后，进入质谱仪的检测区域。
在检测区域，离子与检测器发生相互作用，例如碰撞、电离等。
通过检测器测量离子产生的电信号，可以得到样品中氦气的浓度。
5. 数据处理：仪器通过测量和分析离子的电信号，将其转化为氦气浓度的数据。
这些数据可以通过仪器上的显示屏或连接到计算机进行显示和分析。
总的来说，氦检机利用氦气的离子化特性和质谱技术，通过离子的运动轨迹和电信号的测量，来确定氦气的浓度。
真空箱式氦检漏系统介绍及维修
响，所以要对本底值进行抑制。抑零类似于电子秤的去皮归零功能，抑零后，系统排除了干扰信号， 使检测结果更为精确。理论上本底值越小，检测精度越高。氦检报本底高，就说明系统中氦气量较 大不适合检漏，如果在设定时间内达不到设定值就会报本底高。系统的真空度及周围环境氦浓度都 会影响本底。（环境氦浓度越高本地就越差）
率是有严格要求的，一旦真空阀密封不良会直接影响到检漏。
电磁阀：电磁阀在系统中有多种，总体分为两种，高压阀和低压阀，高压阀主要参与高压的
动作，比如充氦和回收，低压阀主要控制低压气体，比如氮气和压缩空气。在设备的某些地方， 系统对电磁阀的密封也是较严格的，一旦有泄漏会影响整个系统的正常运行。
检漏仪:检漏仪是整个氦检系统的核心部件，氦检所做的动作都是为检漏仪服务的。检漏仪主 要是分析系统中氦分子的量，系统根据检漏仪分析的数值来判定被测工件的合格与否。
检查检测大漏时的充氦压力是否过高，可适量调低（一般在0.2-1.0Mpa，根据工件大小设定）。
箱体和管路的吹氮对抑制本底会有比较好的效果，但是吹氮的流量不宜过大时间不宜过长，流量和 时间成反比，如果吹氮过量会对系统本底造成假象，导致本底呈上升趋势（反弹），这样易造成报 假漏，尤其是在使用抑零时更加明显。同时在检漏时也不宜吹氮。检漏时吹氮可覆盖高本地，造成 假象，导致报假漏。吹氮一般在抽空过程进行，可在检漏前10-20秒进行，因设备而异。吹氮太靠 近开检容易造成本底反弹，从而假漏。
真空系统：真空系统包括真空箱和真空管路，及真空泵和真空阀。系统对其各个部件的密
封要求极其严格。
2.3各部分的功能及术语
压缩空气：压缩空气是给系统提供动力的，比如箱门的升降，真空阀及气动阀的开关动作，都是
氦检仪操作规程
氦检仪操作规程1. 目的：正确指导SFJ-211氦检仪的使用。
2. 适用范围：本操作规程适用于SFJ-21氦检仪使用操作3. 责任：3.1 本操作规程由质保部制定修改。
3.2使用人员严格按照操作规程作业。
4. 设备:SFJ-211氦质谱检漏仪5. 设备专用辅助工具：氦气、氧气袋、喷枪、波纹管2根，快卸法兰2只6. 开机前的准备6.1 确认需要检测的设备内部无水无尘及其他漂浮物，干燥清洁6.2 确认需要检测的设备放置平稳，氦检仪放置水平，脚轮制动可靠6.3 确认需要检测的设备内部压力在1000Pa以下；如需做精密检漏被检设备内部压力≤10Pa6.4 把氧气袋装满氦气。
6.5 把需要检测的设备（管道）用波纹管连接到氦检仪上。
6.6 连接氦检仪的电源7.开机操作步骤7.1 将检漏仪的电源插头插入250V10A的电源插座（接地良好）。
7.2 将后置电源控制面板上的电源开关置于 l 位置。
7.3 主屏幕上出现启动中画面。
若启动前检漏仪已关闭很长一段时间 (数小时)，则可能需要最多三分半钟的时间稳定下来，主屏幕上出现待机中画面，同时提供可靠的量化泄漏率读数。
8. 检漏操作8.1采用氦气作为跟踪气体来探测漏眼的方法多种多样。
本规程适用真空喷吹法检测9. 关机操作步骤9.1 首先要切断氦检仪和被检工件之间相通的阀门，然后按下操作面板上的停止按钮，主屏幕上出现待机中画面，然后置电源控制面板上的电源开关置于 O 位置10.氦检仪使用注意事项10.1 检测口规管电压≯2000mv10.2 电源电压不能超过220V额定电压的±10%。
10.3 电源插座要接保护性地线10.4 0% 至 80% 相对湿度，无凝缩10.5 10°C 至 + 40 °C环境温度11. 日常维护要求11.1 对污浊或变色的真空泵油进行更换，建议真空泵油牌号为LV20 11.2 校准外部校准泄漏：确认标漏样件完好，将标漏样件和氦检仪正确连接，系统执行自动校准程序。
氦气检验操作规程
1、【目的】为确保仪器正常的使用，氦气检测结果的准确性，规范化验室全体人员的日常操作。
2、【范围】适用于化验室全体人员。
3、【职责】化验室全体人员须严格执行本规定4、【内容】4.1 开机操作流程4.1.1 确认载气：载气为氦气（99.999%以上，最好是6个9的）；驱动气为空气/氮气。
4.1.2 打开载气，调节出口压力0.5 Mpa，打开驱动气，出口调节0.4Mpa。
检查气路管道是否泄漏（如有漏气及时处理）。
4.1.3 打开仪器右上侧盖板，确认手动四通阀选择“仪器开”。
载气打开1小时后，插上纯化器电源，吹扫约一夜时间。
4.1.4 打开色谱仪主机电源开关，同时打开反控工作站。
确保联机正常。
4.1.5 先检查仪器上的载气输出压力显示是否为400Kpa左右，如果压力正常，则点击仪器操作面板“起始”键或工作站采样及控制界面“启动控温”，仪器开始升温。
4.1.6 等设定的条件温度达到，按下PDD脉冲高压开关红色按钮（灯亮表示打开高压，熄灭则关闭高压）。
信号1显示的信号在20万以下，即可做样。
4.2 关机操作流程4.2.1 关闭PDD脉冲高压开关红色按钮（灯亮表示打开高压，熄灭则关闭高压）。
4.2.2 工作站采样及控制界面点击“关闭控温”降温。
4.2.3 拔掉纯化器电源，关闭工作站，关闭电脑，关掉空气减压阀。
4.2.4 等检测器温度100度以下，各温度降到50℃以下，关闭仪器总电源。
4.2.5 可以在纯化器降温至常温后（4小时后），把仪器侧盖板的四通选择阀选择“仪器关”，最后关闭氦气。
注：如果连续几天不用分析，可以将手动四通阀选择“仪器开”，载气减压阀输出压力调节在0.2MPa以节省氦气，此时关闭PDD高压开关，纯化器不用断电。
4.3 氦气分析操作流程4.4.1 连接取样管道，确保接头处密封无泄漏。
4.4.2 选择对应的文件号（0#），连接氦气钢瓶，打开瓶阀，吹扫注检测管道三次，选择样品压力在0.10MPa左右，吹扫仪器2min后进样。
探头与氦检仪的工作原理
The world leader in industrial and medical gases2Βιβλιοθήκη 毒气探头的分类毒气探头
受环境影响较大，温度、 湿度等变化都会引起误 探测准，稳定性高 单价格较高。
报警。但价格相对便宜。
The world leader in industrial and medical gases
The world leader in industrial and medical gases
29
Case study
•
探头误报警原因？
探头过期，或受环 境影响，如灰尘， 湿度等
The world leader in industrial and medical gases
30
The End
比色法不同浓度的气体在纸带上留下的污点颜同的颜色对光能的吸收也是有所区别纸带式探头的工作原理敏感度高且不易受外界环境影响没有刻度的要求且特征明显安全无毒气体分类气体名称易燃气体sih4ash3ph3b2h6等腐蚀性气体hfhclhbrbf3等氧化性气体f2cl2clo2等可识别性nf3其他气体比色法优点及适用气纸带式探头的工作原理为什么cm4化学纸带监控点纸带式探头的工作原理cm4结构示意图负荷杆显示器报警继电探测器电路流量控制器led报警空气过滤器键盘过滤器模块纸带托盘纸带式探头的工作原理cm4背部面板进气排风口保险丝电源口开关报警器接口序列号标牌打印机接口com接口电源线拓展10纸带式探头的工作原理监控模式程序模式1
适用气体
The world leader in industrial and medical gases
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化学式探头的工作原理
The world leader in industrial and medical gases
氦检漏操作规程
氦检漏操作规程氦检漏操作规程一、检查设备及工具准备1. 检查氦气瓶是否充足，并确保气瓶与检漏仪连接良好。
2. 检查检漏仪是否正常工作。
3. 检查检测仪器及其附件是否完好，并确认其维护保养记录。
二、准备工作1. 确认需要检漏的设备或管路已完全停止运行，并做好安全措施，如切断供电、排空管路等。
2. 清洁被测设备或管路并确保其干燥。
3. 确认被测设备或管路密封是否良好，如有泄漏，必须先进行修复。
三、连接检漏仪及准备检漏仪器1. 将氦气瓶与检漏仪器连接，确保连接紧固。
2. 安装检测探头，并确保其与被测设备或管路连接牢固。
四、准备检漏区域1. 将待检漏的区域划定出来，并确保周围环境清洁无杂物。
2. 将无关设备或管路都遮挡或移开。
五、检漏操作步骤1. 打开氦气瓶，开始供氦气至被测设备或管路中。
2. 开启检漏仪，进行预热，并调整合适的检漏灵敏度。
3. 开始检漏，将检测探头沿被测区域进行慢速移动，尽可能全面地覆盖待检区域。
4. 将探头分别对准被测区域的各个角度和接头，以确保能够全面检测。
六、检测结果处理1. 当检漏仪发出声音或显示检测结果时，要及时记录并标记，以备后续处理。
2. 对于发现的泄漏点，应立即停止检漏，采取合理措施进行修复或更换。
七、检漏结束1. 关闭氦气瓶，切断气源。
2. 关闭检漏仪，并将探头从被测区域移除。
3. 集中清理现场，恢复设备或管道的正常运行。
八、记录与汇总1. 将检漏仪的检测结果与记录进行核对，确保准确无误。
2. 将检漏操作的全部过程、检测结果及处理情况进行汇总记录，以备后续参考和分析。
以上是氦检漏操作规程的一般步骤，具体情况可根据实际工作要求进行调整和补充。
在操作过程中，一定要严格遵守安全操作规范，确保操作人员的安全，防止发生意外事故。
同时，对于检测结果的处理和后续的泄漏处理也需要及时、准确地进行，以确保设备或管路的正常运行和安全使用。
真空氦检相关说明
ENT(输入确认） 测试模式(中漏模式）
附表：
空调、冰箱零部件的泄漏基准值，以氟里昂气体考虑
△P不同时的泄露量换算方法 He泄漏量=冷媒泄漏量*A/B A:测试时的气体充填压力相对应的气体扩大倍率 B:冷媒压力相对应的气体扩大倍率 附表-1：气体扩大倍率
△P（MPa） 气体放大倍率 0.7MPa 18 0.8MPa 23 0.9MPa 28 1.5MPa 70 1.6MPa 75 3MPa 230
设置每次最多扫描的条码个数
真空氦检报警原因以及解除
报警 类型 • • • • • • 1. 2. 3. • • • • • • • • • • 原 因 1. 2. 3. 4. 处 理 在规定时间，真空箱内未恢复至常压； 抽空上限设置不当。 气压不足引起开门时间过长； 气路部份漏气； 气缸上的磁感应开关位置变动； 真空箱内真空度过高，使门不能推开。 气压不足引起关门时间过长； 气路部份漏气； 气缸上的磁感应开关位置变动。 抽空阀已坏； 气动压力不足； 抽空阀的驱动阀无动作或卡死； 设定值高，在规定时间内真空度不能达到设定值； 真空箱的密封圈脱落、破损或卡死。 冷却水缺水； 流量不足； 水压开关调节不当。 气源压力低于设定值； 压力开关调节不当。 检查充气阀； 检查充气气压； 检查气动元件气源压力； 检查“充气”时间、“充气间隔”时间的设定值；
检漏工艺过程真空箱检漏过程大气压充氦停止工件抽空下限关门工件抽空he检漏充气开门平衡抽空等待真抽空下限回收充氮停止放气真空箱压力变化曲线90e9pam3s真空箱压力变化曲线25e9pam3sspngokevacfailure充气故障检漏压力关门时间抽空时间检漏时间充气时间开门时间报警点真空氦检手动操作介绍检漏仪状态以及检漏仪及时漏率显示1mu01前级泵1
氦检仪真空检漏工作流程
氦检仪真空检漏工作流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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前氦检机的工艺流程
前氦检机的工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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大型低温容器氦质谱定量检漏方法
的 情 况 下 ，尽 量 打 开 检 漏 仪 支 路 阀 ，关 小 辅 助 泵
阀 ，尽 可 能 降 低 检 漏 系 统 的 最 小 可 检 漏 率 值 。
2 检漏方法
由于大型液氢低温容器的体积大，结构复 杂 ，焊 缝 长 ，如 果 用 喷 吹 法 一 点 一 点 去 检 ，可 能 需 要 几 天 、几 十 天 ，甚 至 更 长 的 时 间 ，这 样 的 检 漏 周 期 在 工 艺 中 往 往 是 不 允 许 的 。若 借 助 于 总 体 检 漏 一 次 解 决 问 题 ，虽 然 可 以 大 大 节 约 零 部 件 的 检 漏 时 间 ，一 旦 总 漏 率 超 出 指 标 ，还 是 要 去 对 漏 点 进 行 定 位 ；如 果 漏 点 在 容 器 不 可 修 复 的 位 置 ，如 低 温容器的内容器上，将可能造成整个产品报废， 给产品带来很大的经济损失。
关键词： 低温容器；漏率；检测
中 图 分 类 号 ：TB773
文 献 标 识 码 ：B
文 章 编 号 ：1002 - 0322（2011）05 - 0008 - 04
Leak detection method of helium mass spectrometer for large cryogenic vessel
Σ Q+ Qi≥ScP
（1）
式中 Q 为被检容器的漏率；ΣQi 被检容器内材
真空箱式氦检漏系统介绍及维修
回收泵
2.2 各部分的功能及术语
真空泵：真空泵分为双级旋片泵、单级旋片真空泵、罗茨泵和分子泵，箱体抽空主要以旋片
泵和罗茨泵的组合，这种结构抽速相比单独旋片泵更高效，真空泵在系统中主要给系统提供一 个真空环境，而真空坏境又能给检漏带来高精度。
真空阀：真空阀在系统中主要起到一个开关的作用，但真空阀又不同于普通的阀门，他的漏
排 气
进
排
气
气
进
排
气
气
进
排
气
气
进 气
口
口
口
口
口
口
口
口
2.5.了解真空泵（双极旋片真空泵）
在双级泵中，若高真空级与低真空级之间是不等腔的结构，则需在两级中间通道上设置辅助排气 阀。
双级旋片真空泵的内部结构图
排 气
进 气
口
口
2.6.了解真空泵（旋片真空泵）气镇原理
气镇法又称掺气法，是防止蒸气凝结从而避免油污染的有效方法。
本底：本底为没有充氦检测时，检漏仪检测到的系统氦的信号值。因为该值对检漏的精确度有影
响，所以要对本底值进行抑制。抑零类似于电子秤的去皮归零功能，抑零后，系统排除了干扰信号， 使检测结果更为精确。理论上本底值越小，检测精度越高。氦检报本底高，就说明系统中氦气量较 大不适合检漏，如果在设定时间内达不到设定值就会报本底高。系统的真空度及周围环境氦浓度都 会影响本底。（环境氦浓度越高本地就越差）
检查检测大漏时的充氦压力是否过高，可适量调低（一般在0.2-1.0Mpa，根据工件大小设定）。
箱体和管路的吹氮对抑制本底会有比较好的效果，但是吹氮的流量不宜过大时间不宜过长，流量和 时间成反比，如果吹氮过量会对系统本底造成假象，导致本底呈上升趋势（反弹），这样易造成报 假漏，尤其是在使用抑零时更加明显。同时在检漏时也不宜吹氮。检漏时吹氮可覆盖高本地，造成 假象，导致报假漏。吹氮一般在抽空过程进行，可在检漏前10-20秒进行，因设备而异。吹氮太靠 近开检容易造成本底反弹，从而假漏。
氦检原理
氦检：氦质谱检漏仪的基本原理编辑：氦检氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。
是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。
单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。
双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。
逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。
1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其结构如图2所示。
在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。
质谱室的工作原理如图3所示。
在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。
并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。
在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。
可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。
仪器的B和R 是固定的，调节加速电压U使氦离子束[图中(me-1)2]恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。
使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。