MEMS质量流量传感器

AFS02型MEMS 质量流量传感器

AFS02型气体质量流量传感器采用先进的MEMS （微机电系统）流量传感技术，响应快，功耗低，量程范围宽，无须温度压力补偿，为医疗呼吸机、麻醉机等应用（气路接口符合ISO5356规范），易安装，替代传统的压差式流量传感器，满足各类气体的测量和过程控制应用。

典型性能指标

产品型号 AFS02A AFS02D 单位 流量范围

0~100/0~200/0~300 0~100/0~200/0~300 SLPM 量程比

>1:100 >1:100 精度 ±(1.5±0.2FS) ±(1.5±0.2FS)

% 重复性 ±0.75 ±0.75

% 零位输出 0.5±0.05 V 可配置，默认2500

零位输出温度漂移 <10mV 已补偿 响应时间

10 10 ms 工作电压

DC 3.6~5.5 DC 3.6~5.5 V 工作电流

<2.75 <5 mA 待机电流

<5 <30 uA 输出方式

模拟电压输出, 0~3.3V 数字输出，

SPI/UART(TTL) 最大流量压损

<1.5 <1.5 KPa 工作压力

<0.25 <0.25 MPa 工作湿度 <95%RH,无结冰、结露

气路接口 ISO 5356 15mm 圆锥接头

工作温度 -10~50 ℃ 储存温度 -40~85 ℃

校准方式 N2，20℃，101.25kPa

重量

<30g 典型特性曲线：

AFS02A-200

AFS02D-200

接线定义 AFS02A

AFS02D 型 安装尺寸

其它事项

1、AFS02型气体质量流量传感器能敏感双向气体流量，为了充分利用其量程范围，通过电路上限制其主要敏感单向气体流量，气体流动方向同传感器壳体侧面标注箭头；可根据需要开放为双向流量传感器。

2、可据用户要求定制封装和提供标定服务。