最全无尘室等级标准
无尘室粒子标准
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无尘室粒子标准无尘室是一种高洁净度的房间,主要用于制造高精度电子仪器、精密化学品和生物制品。
为了确认无尘室的真正洁净程度,需要对其内部的粒子数量进行评估。
存在许多粒子标准,用以评估无尘室的洁净程度。
本文将全面介绍几种常用的无尘室粒子标准。
1. ISO 14644-1标准ISO 14644-1标准是一种适用于洁净室中粒子计数的国际标准。
该标准将洁净度分为9个等级,即ISO 1-ISO 9,数字越小表示洁净度越高。
在ISO 14644-1标准中,要求对每个等级进行粒子计数,并确认其可达到对应的洁净度等级。
事实上,在实际应用中大多数无尘室通常被要求达到ISO 5级或更高等级的洁净度。
2. FS209E标准4. GMP标准GMP是制药行业中通用的质量管理标准。
其中包括一个称为“无菌制剂制造的技术指南”的章节,该章节提供了对无菌洁净度的要求。
须要对生产区域进行洁净标准分类,严格依照相应等级进行数量检测,并及时清洁。
GMP标准对于洁净工作与洁净设备的清洁和维护难度要求越来越高,同时对于标准方面的要求以及清洁设备的方法也会不断更新。
总结以上介绍的四种无尘室粒子标准,用于评估洁净度的方法和标准均有所不同,但是对于洁净度的要求十分严格。
在实际应用中,需要根据具体情况选择适当的标准来进行评估和检测,以保证无尘室的真正洁净程度。
本文将继续介绍一些无尘室粒子标准的相关内容。
一、粒径(Particle Size)粒子计数是指在特定的时间、空间和粒径尺寸内统计固体和液体颗粒的数量。
无尘室粒子计数设备需要能够准确地测量每单位体积内的微粒数并计算其密度,同时还能以统计数据的形式提供全面的信息。
针对不同的无尘室,粒子计数的结果受到多种因素的影响,包括室内空气流动、洁净度、机器运行等。
为了获得准确的结果,需要考虑室内实际运行状态并相应地进行调整。
在进行粒子计数时,总粒子数通常会从高到低依次计算,统计每个级别内的粒子数,以获得真正的洁净度级别。
无尘室洁净等级
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无尘室洁净等级
洁净无尘室,洁净手术室工程,GMP洁净厂房,无尘无菌手术室,无尘室净化车间,万级无尘室净化车间,无尘实验室,专业施工队伍,工程设计,安装施工。
洁净车间级别五个等级分别是:
1、100级
也称为“无菌室”、“无尘室”。
微生物最大允许数:5浮游菌/m;微粒控制在100以内/m。
适用场合:医药工业的无菌制造工艺。
2、1000级
微生物最大允许数:1000浮游菌/m;主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机陀螺仪,装配高质微型轴承等。
3、1W级
微生物最大允许数:100浮游菌/m;车间里的微粒控制在1W/m 以内。
适用场合:小容量注射剂灌装车间,直接接触药品的包装材料最终处理车间。
4、10W级
微生物最大允许数:500浮游菌/m;车间里每微粒控制在10W/m 以内,适用场合:注射剂浓配车间。
5、30W级
微生物最大允许数:1000浮游菌/m;车间里的微粒控制在30W/m 以内,适用场合:丸剂、颗粒包装车间。
class 100,000 无尘标准等级
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class 100,000 无尘标准等级一、概述Class100,000无尘标准等级是一种用于电子制造行业的环境标准,旨在确保生产环境中的尘埃粒子浓度控制在极低的水平,从而保证电子产品的质量、性能和寿命。
二、无尘标准等级的定义Class100,000无尘标准等级是指环境中尘埃粒子浓度小于或等于一百万个每立方英尺的空间体积。
这种高标准的洁净级别适用于大规模集成电路(LSI)和微电子制造等对环境要求极为严格的行业。
三、无尘室的设施和要求1.清洁设备:Class100,000无尘标准等级的无尘室通常配备有高效微粒过滤器(HEPA)和活性过滤器等先进的清洁设备,以有效捕获和消除尘埃粒子。
2.空气过滤系统:无尘室通常采用封闭式空气处理系统,通过循环和过滤空气来保持环境清洁。
这种系统通常包括初效过滤器、中效过滤器、亚高效过滤器以及高效微粒过滤器(HEPA)。
3.空气分布系统:无尘室应具备合理的空气分布系统,以确保空气均匀分布,避免尘埃粒子在局部区域积聚。
4.湿度控制:无尘室应具备适宜的湿度控制,以防止尘埃粒子凝结或飞扬。
5.人员进出控制:无尘室应采取严格的措施,控制人员进出,以减少尘埃污染。
通常要求工作人员穿戴防尘服、防尘鞋和佩戴防尘眼镜等防护装备。
6.尘埃监测设备:无尘室应配备专业的尘埃监测设备,定期进行尘埃粒子计数,确保环境符合标准要求。
四、无尘标准等级的应用Class100,000无尘标准等级适用于高精密电子制造过程,如大规模集成电路(LSI)、微处理器、硬盘驱动器等产品的生产。
这些产品对尘埃粒子和其他污染物的敏感度非常高,因此需要严格的环境控制。
同时,该标准也适用于电子元器件制造、半导体设备制造等领域。
五、验证与评估为了保证无尘室的环境符合Class100,000标准等级,通常需要进行定期的验证和评估。
这些评估通常包括尘埃粒子计数、空气质量检测、温湿度测量等多个方面。
此外,无尘室还应该定期进行清洁和维护,以确保其持续符合标准要求。
无尘室等级对照表
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无尘室等级对照表无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
它是污染控制的基础。
控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
如表所示,每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。
应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
1.乱流式(Turbulent Flow)空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。
气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。
气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。
此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本,无尘室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘室等级。
十级无尘室标准
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十级无尘室标准一、引言无尘室是一种特殊的洁净环境,广泛应用于电子、光学、制药等行业。
为了保证无尘室的洁净度和稳定性,国际标准化组织(ISO)制定了一系列的无尘室标准。
本文将重点探讨十级无尘室标准,介绍其标准要求、特点以及在实际应用中的意义。
二、十级无尘室标准概述十级无尘室标准是指根据ISO 14644-1标准,将洁净度等级划分为十级的无尘室。
ISO 14644-1标准是洁净室设计、建设和运行的基础标准,其中包括了洁净度等级的定义和评定标准。
三、十级无尘室标准要求根据ISO 14644-1标准,十级无尘室的洁净度等级如下:1.风尘粒子浓度:每立方米空气中的粒子数应小于35万个(粒径大于0.5μm)。
2.悬浮颗粒浓度:每立方米空气中的悬浮颗粒浓度应小于5万个(粒径大于5μm)。
3.空气洁净度等级:符合ISO 14644-1标准中的十级洁净度等级。
四、十级无尘室标准特点1.充分净化:十级无尘室标准要求非常高,能够有效净化空气中的颗粒物和微生物等污染源。
2.精密控制:十级无尘室需要精密控制空气流速、湿度、温度等参数,以保证无尘室内的洁净度和稳定性。
3.严格监测:十级无尘室需要实时监测洁净度等级,通过精密的仪器设备对空气中的颗粒物进行检测和计数。
4.全面考虑:十级无尘室在设计和建设过程中需考虑空气处理系统、过滤器性能、工艺流程等多个因素。
五、十级无尘室标准的意义1.保证产品质量:十级无尘室能够有效控制空气中的污染物,减少产品受污染的概率,保证产品的质量和可靠性。
2.降低生产成本:通过使用十级无尘室,企业能够减少产品的次品率,节省材料和人力成本,提高生产效率。
3.提升企业形象:无尘室是现代化生产的标志之一,使用十级无尘室能够提升企业在市场中的竞争力和形象。
4.保护员工健康:十级无尘室能够过滤空气中的有害物质,降低员工接触有害物质的风险,保护员工健康和安全。
六、结论十级无尘室标准是洁净室行业的重要参考标准,对保证产品质量、降低生产成本、提升企业形象和保护员工健康都有着重要的意义。
无尘室等级
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无尘室等级,无尘室标准,无尘室等级标准是什么? (2009/08/10 13:56)依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。
分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。
而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
无尘室等级,无尘室标准,无尘室标准定义一、无尘室定义将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间。
此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子,且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。
无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo(BCR)。
二、联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b),BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空署5340.2规格)。
其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。
例如:空气中含有10个0.5以下时,表示为“等级10”。
二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。
三、在JIS标准下,无尘室清洁度,共分为8个等级一般清洁度是指空气的洁净等级,分为等级1、2···8,8阶段。
在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。
无尘室等级
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GMP清洁度A,B,C,D的新版本“药品良好生产规范(2010年修订)”(GMP的新版本)于2011年3月1日生效。
新GMP 中的清洁度等级为A,B,C和D四个等级,新GMP中的清洁度等级为标准。
新GMP清洁度A,B,C和D级的主要参数要求:A类清洁区域清洁操作区域的空气温度应为20-24℃,清洁操作区域的相对湿度应为45%-60%。
作业区风速:水平风速≥0.54m/s;垂直风速≥0.36m/s;高效过滤器的泄漏检测应大于99.97%照度:>300lx-600lx噪声:≤75db(动态测试)BB级清洁操作区清洁操作区的空气温度应为20-24℃,相对湿度清洁操作区域的面积应为45%-60%,室内换气次数:≥25次/小时,压力差:相对于室外的B级区域≥10Pa,相同水平的不同区域应根据气流保持一定的压力差方向。
高效过滤器的泄漏检测大于99.97%照度:>300lx-600lx噪声:≤75db(动态测试)清洁操作区域的空气温度应为20-24℃,清洁操作区域的相对湿度应为45%-60%,室内换气频率:≥25次/小时,压力差:相对于室外的C级区域,≥10Pa,相同水平的不同区域应根据流动方向保持一定的压力差。
高效过滤器的泄漏检测应大于99.97%照度:>300lx-600lx噪声:≤75db(动态测试)清洁操作区域的空气温度应为18-26℃,清洁操作区域的相对湿度应为45%-60%,室内换气次数:≥15次/小时,压差:相对于室外空气为100000液面面积≥10Pa,高效过滤器的泄漏检测大于99.97%照度:>300lx-600lx 噪音:≤75db(动态测试)。
无尘室洁净度等级标准1000
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无尘室洁净度等级标准1000千级无尘车间的标准:微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗。
千级无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速
度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所
给予特别设计之房间。
千级无尘室室内空气参数要求:
1、温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
2、新风量大。
由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值
应取下列的最大值:
非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正
压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。
3、送风量大。
为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h 的送风量(换气次数,是≥15次/h)。
无尘车间(即无尘室、洁净室)是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室等级
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无尘室等级1、1级:级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。
2、10级:十级的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
3、100级:百级无尘车间并非无菌室,百级无尘车间对“无菌”的或“无尘”的环境要严格,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一无尘车间大量应用于植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
4、1000级:千级的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
5、10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。
6、100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。
7、300000级别:三十万级无尘车间级别较低,用于普通洁净区,如级别不高的走道。
扩展资料:1、选址原则:无尘车间地址的选择应符合有利生产、方便生活、节省投资和经营费用的原则。
厂址应设在自然环境和水质较好,大气含尘浓度较低,地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产、节能的区域,应远离大量散发粉尘、烟雾、有毒害气体和微生物的区域,如机场、铁路、码头、交通要道等,并在污染源和全年主导风向的上风侧面,且有一定的防护距离。
无尘车间与交通主干道间距宜50米以上。
2、动线规划要点:要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染。
作业者、化学药品、材料等动线勿集中;无尘车间四周,宜设缓冲区;制造装置的出入,不要对作业产生大影响。
3、有些空气净化系统的空气,如经处理仍不能避免交叉污染时,则不能循环使用:固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序;用有机溶媒精制的原料药精制、干燥工序;放射性药品生产区;病原体操作区;工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序;固体口服制剂的颗料4、节能原则:无尘车间里存在大量可以节约能源的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。
无尘室等级对照表
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对照表:
无尘车间可分为以下几个级别:1、100、1000、10000、100000、300000,百万。
每立方米粒径小于0.5μm的粉尘量应控制在3500以下,达到国际无尘标准a级。
目前,芯片级生产和加工中使用的无尘标准对粉尘的要求高于A级标准,而A级标准主要用于某些高档芯片的生产中。
灰尘量严格控制在每立方米1000内,这在工业上也称为1000级。
无尘室的等级要求和分类:
每立方米粒径小于0.3μm的粉尘量应控制在3500以下,达到国际无尘标准a级。
目前,芯片级生产和加工中使用的无尘标准对粉尘的要求高于A级标准,而A级标准主要用于某些高档芯片的生产中。
0.5微米及以下的微尘量严格控制在每立方米1000以内,这在业界通常称为1K级。
每立方米无尘室真空吸尘器中包含的灰尘颗粒越少,意味着无尘室的水平越高。
无尘室可以从高到低分为100、1000、10000和100000等级。
扩展数据
南京天佳空调设备有限公司完成了中国第一个国际最高水平的“ISO 1”无尘室集成系统,并通过了专家组的评估。
来自中国科学院,中国工程院,行业协会,大学和学院的近30位权威专家,包括几位院士,对该系统的评价是国内首创,达到了国际先进水平。
1963年,美国制定了世界上第一套无尘室标准,此后不断修订标准。
ISO在1999年统一了各个国家的清洁标准并发布了标准。
“ ISO 1级”是标准的最高要求,因此很难实现。
洁净室中每立方米只有0.5个0.1微米的颗粒。
在无尘的房间里,只有10个颗粒相当于头发直径的千分之一。
无尘室等级对照表
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无尘车间可以分为以下几个级别:1级、百级、千级、万级、十万级、30万级、百万级。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。
目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称级别中的千级。
扩展资料:
我国第一个国际最高等级“ISO 1级”的无尘室集成系统在南京天加空调设备有限公司落成,并通过专家组评定。
来自中国科学院、中国工程院、行业协会、高校,包括多名院士在内的近30名权威专家一致评定,该系统为国内首创,达国际先进水平。
1963年美国制定出国际上第一套无尘室标准,此后不断修改标准。
1999年,ISO统一了各国的洁净度标准,并颁发标准。
“ISO 1级”是该标准的最高要求,实现难度非常大。
无尘室里面每立方米的空间只有0.1微米的颗粒0.5颗。
在无尘室,相当于头发丝直径千分之一的颗粒只有10粒。
无尘车间级别划分
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无尘车间级别划分
1、1级:级尘车间主要制成的微电子工业,对集成电路的要求为亚微米。
2、10级:十级的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
3、100级:百级无尘车间并非无菌室,百级无尘车间对“无菌”的或“无尘”的环境要严格,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一无尘车间大量应用于植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离,如像骨髓移植病人术后的隔离。
4、1000级:千级的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
5、10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。
6、100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这级无尘车间。
7、300000级别:三十万级无尘车间级别较低,用于普通洁净区,如级别不高的走道。
无尘车间 标准
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一、10级:0.1um浓度≤10,0.2um浓度≤2。
该级别属于高等级净化工程,适用于精密、微型的电子科技行业。
二、100级:0.1um浓度≤100,0.2um浓度≤24,0.3um浓度≤10,0.5um 浓度≤4,该级别为常见等级,应用于医药行业的无菌制造。
三、1000级:0.1um浓度≤1000,0.2um浓度≤237,0.3um浓度≤102,
0.5um浓度≤35,1.0um浓度≤8,该级别应用于生产微型轴、光学器件。
四、10000级:0.1um浓度≤10000,0.2um浓度≤2370,0.3um浓度≤1020,
0.5um浓度≤352,1.0um浓度≤83,该级别应用于生产液压设备或食品饮料。
五、100000级:0.1um浓度≤100000,0.2um浓度≤23700,0.3um浓度≤10200,0.5um浓度≤3520,1.0um浓度≤832,5.0um浓度≤29,该级别应用于很多工业领域。
六、1000000级:0.1um浓度≤1000000,0.2um浓度≤237000,0.3um浓度≤102000,0.5um浓度≤35200,1.0um浓度≤8320,5.0um浓度≤293,该级别净化程度较低,主要应用于印刷厂、包装厂等对洁净度要求不高的行业。
无尘室等级标准
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1半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。
为了让这些极小的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在无尘室内进行,集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资,多因为需要一个无尘室。
所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。
由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。
例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。
又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可将无尘室分为六级。
分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为µm,例如,1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是µm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
例如:10级在µm(尘粒尺寸在µm或更大下,密度不大于75颗/立方英),1级在µm(尘粒尺寸在µm或更大下,密度不大于35颗/立方英)。
而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
为保持无尘室的洁净度,进出的人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩,下表为无尘室清洁度的定义:尘粒数/立方英级数μm μm μm μm μm1 35 3 1 N/A10 350 75 30 10 N/A100 N/A 750 300 100 N/A1000 N/A N/A N/A 1000 7210000 N/A N/A N/A 10000 70100000 N/A N/A N/A 100000 700環境介紹及溫溼度條件:4.1.1 無塵室是以美國聯邦標準做為分級的規範,外層無塵室,內層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室的微粒為10K級,5um微粒為100K級。
车间无尘等级标准
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车间无尘等级标准
车间无尘等级标准通常根据国家或行业规范制定。
以下是一些常见的车间无尘等级标准:
1. 美国联邦标准209E:该标准定义了无尘室的等级,从ISO Class 1到ISO Class 9。
ISO Class 1代表最高级别的无尘室,要求每立方英尺内的颗粒物数量不超过0.1粒。
ISO Class 9则代表最低级别的无尘室,要求每立方英尺内的颗粒物数量不超过35,200粒。
2. ISO14644标准:该标准是国际标准化组织(ISO)制定的无尘室等级标准。
其中包括ISO Class 1到ISO Class 9,与美国联邦标准209E相似。
3. GMP标准:GMP(Good Manufacturing Practice)是一种世界范围内用于药品生产的质量管理体系标准。
GMP标准中对车间无尘等级有详细的规定,包括空气中颗粒物的数量、尺寸和分布要求等。
4. SEMI标准:SEMI是半导体工业协会,该组织制定了针对半导体生产车间无尘等级的标准,包括SEMI S2、SEMI S6和SEMI F18等。
需要注意的是,不同行业和应用领域对无尘等级的要求可能会有所不同,具体的无尘等级标准应根据实际情况进行确定。
无尘房等级划分的依据
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无尘房等级划分的依据无尘房,这个听起来像是高大上的东西,实际上就像是我们生活中常见的“净土”,可是你知道它到底分几个等级吗?嘿,说到无尘房,真是个神奇的地方。
就像一间神秘的实验室,空气中飘着的是“无尘”的气息,简直让人忍不住想深吸一口。
想象一下,那些高科技的产品在里面一丝不苟地诞生,每一个细节都经过严格把关。
没错,无尘房的等级划分可不是随随便便的,而是有它的讲究的。
让我们聊聊无尘房的等级。
通常来说,它分为几个级别,从洁净程度来说,等级越高,空气中允许的尘埃颗粒就越少。
想想看,像我们日常生活中的灰尘,稍微有点风就飞得满天都是,而在无尘房里,嘿,那简直是个“无尘之境”。
比如,最初级的无尘房就是等级100,000,这个等级下,空气中每立方米的颗粒数可以达到十万个。
听上去挺可怕的,简直就像在沙漠里捡起了一堆沙子,尘土飞扬的场景。
可是想想那些高端设备、芯片制造、医药行业需要的洁净环境,这个等级简直不够看。
再来看看更高等级的无尘房,比如说等级10,000和等级1,000。
这两个等级可就不是一般的“清新”了,空气中的尘埃数量直接降到了一万和一千,简直像是在太空中漂浮一样。
真是神奇,想想在这种环境里工作,感觉自己就像是个科学家,正在进行一项重大的实验。
你知道吗,在这些无尘房里,每一个小细节都需要认真对待,甚至空气的流通都是经过精密设计的。
真是令人叹为观止。
然后就到了更高级的等级,比如等级100和等级10。
这时,空气中的颗粒数量减少到了极致,几乎是无尘的状态。
这种无尘房通常用于制药和电子产品制造领域,绝对是精益求精的代表。
可以想象,走进这样的环境,仿佛整个世界都变得干净了,呼吸的每一口空气都是那么清新,简直是对身体的最大恩赐。
工作在这里的人,那都是天上掉下来的“人才”,每天都在和科技前沿擦肩而过,特别的令人羡慕。
有趣的是,不同等级的无尘房在设计和运行上也有着不同的要求。
比如说,想要达到更高的洁净度,建筑材料、过滤系统、甚至温湿度控制都是非常讲究的。
最全无尘室等级标准
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最全无尘室洁净等级标准洁净室等级标准(国内和国外标准对比)ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级ISO分级大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度(颗/m3)0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μmISO1级10 2ISO2级100 24 10 4ISO3级1000 237 102 35 8ISO4级10000 2370 1020 352 83ISO5级100000 23700 10200 3520 832 29ISO6级1000000 237000 102000 35200 8320 293ISO7级352000 83200 2930ISO8级3520000 832000 29300ISO9级35200000 8320000 293000《药品生产质量管理规范》(1992年修订)洁净级别活粒数/立方米活微生物数/立方米≥0.5μm ≥5μm100 级≤3,500 0 ≤510,000 级≤350,000 ≤2,000 ≤100100,000级≤3,500,000 ≤20,000 ≤500洁净手术部洁净用房等级标准等级沉降(浮游)细菌最大平均浓度表面最大染菌密度空气洁净度级别手术区周边区手术区周边区I 0.2个/30minΦ90皿(5个/ m3)0.4个/30minΦ90皿(10个/ m3)5个/cm2 100级1000级II 0.75个/30minΦ90皿(25个/ m3)1.5个/30minΦ90皿(50个/ m3)5个/cm2 1000级10000级III 2个/30minΦ90皿(75个/ m3)4个/30minΦ90皿(150个/ m3)5个/cm2 10000级100000级IV 5个/30min,Φ90皿(175个/ m3)5个/cm2 300000级美国联邦标准209E等级名称等极限值0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm国际单位英制单位/m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 3.53 1.00M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83M2.5 10 1240 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3M3.5 100 26500 750 10600 300 3530 100M4 75700 21400 30900 875 10000 283M4.5 1000 35300 1000 247 7M5 100000 2830 618 17.5M5.5 10000 353000 10000 2470 70.0M6 1000000 28300 6180 175M6.5 100000 3530000 100000 24700 700M7 10000000 283000 61800 1750常用单位换算1米m = 3.28英尺ft 1CFM(ft3/min)= 0.4719L/s1平方米m2 = 10.76平方英尺ft2 1CFS(ft3/s) = 28.32L/s1立方米m3 = 35.3立方英尺ft3 1FPM(ft/min) = 0.00508m/s1英制加仑gallon = 4.55升L 1BTU/h = 0.2931W1美制加仑gallon = 3.79升L 1千瓦kw = 860千卡/小时kcal/h1磅lb = 454克g 1USTR美国冷吨= 3.516 kw1马力HP = 0.746千瓦kw 1巴bar = 100千帕kpa1摄氏度℃= 5(华氏度F-32)/9 1mmH2O(毫米水柱) = 9.8067帕Pa。
无尘室等级标准
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半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。
为了让这些极小的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在无尘室内进行,集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资,多因为需要一个无尘室。
所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。
由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。
例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。
又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可将无尘室分为六级。
分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5µm,例如,1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5µm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
例如:10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75颗/立方英?),1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35颗/立方英?)。
而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
为保持无尘室的洁净度,进出的人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩,下表为无尘室清洁度的定义:尘粒数/立方英级数0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm1 35 7.5 3 1 N/A10 350 75 30 10 N/A100 N/A 750 300 100 N/A1000 N/A N/A N/A 1000 710000 N/A N/A N/A 10000 70100000 N/A N/A N/A 100000 7004.1 環境介紹及溫溼度條件:4.1.1 無塵室是以美國聯邦標準做為分級的規範,外層無塵室,內層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室0.5um的微粒為10K級,5um 微粒為100K級。
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最全无尘室洁净等级标准
洁净室等级标准(国内和国外标准对比)
ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级
ISO分级大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度(颗/m3)
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
ISO1级10 2
ISO2级100 24 10 4
ISO3级1000 237 102 35 8
ISO4级10000 2370 1020 352 83
ISO5级100000 23700 10200 3520 832 29
ISO6级1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISO7级352000 83200 2930
ISO8级3520000 832000 29300
ISO9级35200000 8320000 293000
《药品生产质量管理规范》(1992年修订)
洁净级别活粒数/立方米活微生物数/立方米
≥0.5μm ≥5μm
100 级≤3,500 0 ≤5
10,000 级≤350,000 ≤2,000 ≤100
100,000级≤3,500,000 ≤20,000 ≤500
洁净手术部洁净用房等级标准
等级沉降(浮游)细菌最大平均浓度表面最大染菌密度空气洁净度级别
手术区周边区手术区周边区
I 0.2个/30minΦ90皿(5个/ m3)0.4个/30minΦ90皿(10个/ m3)5个/cm2 100级1000级
II 0.75个/30minΦ90皿(25个/ m3)1.5个/30minΦ90皿(50个/ m3)5个/cm2 1000级10000级
III 2个/30minΦ90皿(75个/ m3)4个/30minΦ90皿(150个/ m3)5个/cm2 10000级100000级
IV 5个/30min,Φ90皿(175个/ m3)5个/cm2 300000级
美国联邦标准209E
等级名称等极限值
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
国际单位英制单位/m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283
M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 3.53 1.00
M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83
M2.5 10 1240 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0
M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3
M3.5 100 26500 750 10600 300 3530 100
M4 75700 21400 30900 875 10000 283
M4.5 1000 35300 1000 247 7
M5 100000 2830 618 17.5
M5.5 10000 353000 10000 2470 70.0
M6 1000000 28300 6180 175
M6.5 100000 3530000 100000 24700 700
M7 10000000 283000 61800 1750
常用单位换算
1米m = 3.28英尺ft 1CFM(ft3/min)= 0.4719L/s
1平方米m2 = 10.76平方英尺ft2 1CFS(ft3/s) = 28.32L/s
1立方米m3 = 35.3立方英尺ft3 1FPM(ft/min) = 0.00508m/s
1英制加仑gallon = 4.55升L 1BTU/h = 0.2931W
1美制加仑gallon = 3.79升L 1千瓦kw = 860千卡/小时kcal/h
1磅lb = 454克g 1USTR美国冷吨= 3.516 kw
1马力HP = 0.746千瓦kw 1巴bar = 100千帕kpa
1摄氏度℃= 5(华氏度F-32)/9 1mmH2O(毫米水柱) = 9.8067帕Pa。