二次配工程规范
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中緯積體電路(寧波)新建工程氣體管線二次配工程規範
CONTENTS PAGES
1.目的3
2.範圍3
3.文件送審4
4.施工說明4
5.其他說明9
6.驗收標準10
7.保固期限12
1. 目的
為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉,且亦能維護Hook Up 二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。
2. 範圍
2.1. 製程設備氣體管線Hook-up 工程材料採購及管路安裝;
Hook-up 範圍,GN 2、PN 2、PO 2、CDA 自主管預留閥至機台內部接點(含支
管),PH 2、SiH 4、SiH 4/N 2由氣體站氫氣純化器出口及SiH 4、SiH 4/N 2氣瓶
櫃出口接至機台(含VMB),其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab 之氣
瓶櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP),其中必要的管線、管件及焊接
所需氣體,均由承包商負責提供。GN 2、PN 2、PO 2各支管位置及預留
take-off 閥尺寸及數量,請參照”FAB 棟一層大宗氣體二次配平面
圖”(圖號SP-211);各VMB/VMP 位置,請參照”FAB 棟一層特殊氣體
二次配平面圖”(圖號SP-212);氣體站至FAB 間氣體管線,請參照”
氣體站至FAB 棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234);GN 2、PN 2、PO 2、
CDA 自take-off 閥至機台間所需裝設之閥件,請參照”SP-2二次配管
詳圖”(圖號SP-231);而take-off 閥及VMB/VMP 與機台銜接點等相關
資料,請參照附件一”Bulk gas take -off list”、附件二”Specialty
gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take -off list”。承包商需根據
該表資料,設計至機台管線之路徑。
2.2. 前項氣體管線Hook-up 工程之管路細部設計、施工圖繪製、
ISO 圖繪製(Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵
測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。
其中施工圖及ISO 圖面,需依照機台用量流程圖(P&ID)及機台設備外
觀圖繪製,並配合材料明細表供業主確認。
2.3. 本項工程為連工帶料施工,並包含施工中所需之施工工具、
施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等,均由承包
商負責。
2.4. 配合”二次配工程說明”(規範標號NS-SP001)要求所需各
項雜項費用。
2.5. 所有管路標示,管路標示依照”二次配工程說明”辦理。
2.6. 所有管路防震固定支撐架之安裝定位。
2.7. 高架地板開孔及收邊之工程發包、請款,切割區域管理。
2.8. 氣體站至FAB 間管線所需管橋由業主提供,承包商需負責依
業主指示規劃氣體管線路徑,並負責安裝所需管夾等固定裝置。
3.文件送審
文件及相關管件及標示實體供審核;送審圖面則需在業主提出意見後3天內修改並
再次送審。
2. 所有送審文件必須以中文或英文書寫;英文送審文件需附中文說明。
3. 所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔
4.施工說明
4.1.一般說明
4.1.1.承包商應於施工前提送施工程序書及管路測試程
序書,經審核通過後,方可據以施工。
4.1.2.承攬商需於工作場所設置工程負責人,需有相關
工程經歷三年以上,其工作職責為:
4.1.2.1.施工進度控制。
4.1.2.2.施工人員管理及安排。
4.1.2.3.材料數量管制。
4.1.2.4.現場會勘放樣。
4.1.2.
5.參與承攬商溝通協調會議
4.1.3.承攬商需於工作場所設置品管負責人,需有相關
工作經歷三年以上,其階層與工程負責人同等,其工作職責為:
4.1.3.1.施工品質控制。
4.1.3.2.施工完工品質驗收。
4.1.3.3.施工驗收報告匯總。
4.1.3.4.原料進廠自主檢查。
4.1.4.承攬商需於工作場所設置物管負責人,需有相關
工作經歷一年以上,其工作職責為:
4.1.4.1.材料數量管理。
4.1.4.2.進廠料件驗收。
4.1.
5.承攬商需於工作場所設置工安衛負責人,需有相
關工作經歷一年以上,其階層與工程負責人同等,其工作職責為:
4.1.
5.1.現場安全衛生工作監督。
4.1.
5.2.參與承攬商安全衛生協調會議。
4.1.
5.3.承攬商施工人員安全衛生訓練。
4.1.6.施工人員數組,依工程數量適時增加人員,但在
工程期限內最低需保留三組,每組人員最少三人,每組至少有一人有焊接執照,並由一資深組長帶領,所有進廠施工之人員必須經過認可且通過工安檢定之人員。
4.1.7.品管人員數組,依工程數量適時增加人員,但在
工程期限內最低需保留一組,每組人員最少二人,由一資深組長帶領,但不可由品管負責人擔任。
4.1.8.承攬商有任何人員調動需經過認可,且業主相關
之人員有權提出異議要求更換,承攬商不得有異議。
4.2.材料說明
4.2.1.氣體管線之分類及其材質要求如下表規定辦理。