二次配工程规范
二次配线规范要求
⼆次配线规范要求1、基本要求：按图施⼯、连线正确。
2、⼆次线的连接（包括螺栓连接、插接、焊接等）均应牢固可靠，线束应横平 竖直，配置坚牢，层次分明，整齐美观。
同⼀合同的相同元件⾛线⽅式应⼀致。
3、⼆次线截⾯积要求：单股导线 不⼩于1.5mm多股导线 不⼩于1.0mm弱电回路 不⼩于0.5mm电流回路 不⼩于2.5mm 保护接地线 不⼩于2.5mm4、所有连接导线中间不应有接头。
5、每个电器元件的接点最多允许接2 根线。
6、每个端⼦的接线点⼀般不宜接⼆根导线，特殊情况时如果必须接两根导线，则连接必须可靠。
7、⼆次线应远离飞弧元件，并不得防碍电器的操作。
8、电流表与分流器的连线之间不得经过端⼦，其线长不得超过3 ⽶.9、电流表与电流互感器之间的连线必须经过试验端⼦。
10、⼆次线不得从母线相间穿过。
2222211、带电阻的ProfibusBus 插头的连接（适⽤于⼀根电缆的连接）仅⼀根电缆连接时，则导线与第⼀个接⼝连接推动开关置“ON”位置编织的屏蔽带准确的放置在⾦属导向装置上12、带电阻的ProfibusBus 插头的连接（适⽤于⼆根电缆的连接）连接的两根导线是在插头之内的串联推动开关置“OFF”位置编织的屏蔽带准确的放置在⾦属导向装置上13、不带电阻的ProfibusBus 插头的连接编织的屏蔽带准确的平放在⾦属导向装置上。
导向装置中的两根红绿线放置在⼑⼝式端⼦上。
绿导线：连接点A红导线：连接点B14、回拉式弹簧端⼦的联接导线的剥线长度： 10 mm导线插⼊端⼦⼝中，直到感觉到导线已插到底部。
15、抽屉中 Profibus 屏蔽电缆的连接拧紧屏蔽线⾄约15 mm 长为上；⽤线⿐⼦把导线与屏蔽压在⼀起；压过的线回折在绝缘导线外层上；⽤热缩管固定导线连接的部分。
二次配验收标准
二次配验收標準一、工程名称：C棟SKIN廠ITO Sputter二次配二、工程地点：C栋厂房三、工作项目：本工程属于责任施工，施工前需验证二次配之设计付合业主需求。
1、合同签定后，一周内材料需到厂，若无法到达将由承包方负责。
四、本工程工作项目内容简述如下：1、电力二次配工程：于电盘分路空开二次配置管线至设备端(需配合设备端电源位置接线），电力电缆铺设至专用线槽，与设备及电盘空开接线需牢固应符合电气标准。
2、PCW（CDA)二次配工程：于一次侧预留阀位置配管至制程设备端（需配合接至设备端衔接位置），焊接时管内外需平整，焊缝均匀，并且需抛光，需试压、保压测试。
五、工地安全及管理2.乙方应遵守国家劳动法和地方政府有关用工规定，负责己方人员的安全和劳动保险。
乙方须负责管理工人及给养等。
工人如有轨外行动，及触犯地方治安条例所引起之纠葛，概由乙方负完全责任，如工人遇有意外伤亡情事，概由乙方自行料理，与甲方无涉。
3.乙方对于工地材料、机具设备，不论为自备或由甲方供（借）给，均应妥善管理，如有遗失或毁损情事发生时，应照市价赔偿。
4.本工程施工期间，如发生紧急事故，影响生命财产安全时，乙方得不经甲方之指示而采取适当行动，以防止生命财产之损失。
所有工程进行中途发生事故，概由乙方负责办理。
如有损害甲方人员或财物均由乙方负责赔偿。
如因乙方设备欠缺或施工不良，损害他人生命、身体或财产，乙方应负起全部赔偿责任。
4.本工程进行中甲方得随时派员监督及考核乙方之用料及施工情形，如发现乙方用料及施工违反本合同时，甲方得立刻要求乙方拆除重做或暂停施工，停工之损害及所需之费用均由乙方负责。
六、机具材料1.本工程所需一切机具材料，除合同另有规定外，概由乙方自备；其保管责任由乙方自行负担。
2.乙方工程进行中所需之临时水电（费）由甲方提供。
3.施工中需用到的所有材料，由乙方自行解决并提请甲方书面确认，必须保证符合双方约定的品牌、规格、型号、数量、且达到甲方的质量要求，以及国家质量标准。
工程范围及说明二次配
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(工程範圍及說明) 6/10頁
二、施工管理要求
1、 质量管理
(1) 本节概要
a. 说明执行本契约工作之质量管理规定，确保工程之成果符合设计及规 范之质量目标。质量管理范围：成立品管组统、订定施工要领、订定 施工质量管理标准、订定检验程序、订定自主施工检查表、建立文件、 纪录管理系统。
(3) 所有送审图说须于预定之送审进度时间内完成认可手续。倘图说之送审因 承包商之延迟未按期限内完成，而致延误工期时，应由承包商负责。
(4) 凡未经业主审查认可之一切图说，承包商不得自行制造，否则业主拒绝接 受。
(5) 业主依本规范之内容，有权要求承包商提供有关之详细数据及修正数据。
(6) 送审资料虽经认可，但承包商不得藉以减轻其符合本规范要求之一切责任。
宸鸿科技(厦门)有限公司
T5‐C2 OGS 二次配工程
工程规范
宸鴻科技(廈門)
宏观工程顾问股份有限公司
2012 年 2 月 13 日
宸鴻(廈門) T5-C2 OGS 二次配工程
工程规范内容：
壹、 工程范围及施工规定 一、 工程说明 二、 施工管理要求
貳、 工程规范 一、 电气工程规范 二、 制程管路工程规范
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(工程範圍及說明) 2/10頁
壹、工程范围及施工规定
一、 工程说明
1、 工程名称：宸鸿科技(厦门)T5‐C2 OGS 二次配工程 2、 施工时程: 承包商需依以下各时程完成本工程范围所有相关系统工作，若工期
延误，需遵守采购所订扣款规定。 CTX 部分：
一般车间区域、ACDE 及供酸间一次配工程于 2012-3-15 完成，让制程设 备可以 move in，本工程(二次配)需于设备安装定位后，小型设备 3 天内 完成，大型设备 5 天内完成。
二次配工程规范
二次配工程规范 Document number：BGCG-0857-BTDO-0089-2022中纬积体电路(宁波)新建工程气体管线二次配工程规范CONTENTS PAGES1.目的32.范围33.文件送审44.施工说明45.其他说明96.验收标准107.保固期限121.目的为使设备机台按照计划顺利装机、运转，且亦能维护Hook Up二次配管施工之品质及作业安全。
本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。
2.范围2.1.制程设备气体管线Hook-up工程材料采购及管路安装；Hook-up范围，GN2、PN2、PO2、CDA自主管预留阀至机台内部接点(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由气体站氢气纯化器出口及SiH4、SiH4/N2气瓶柜出口接至机台(含VMB)，其他特殊气体自位於气体房或Subfab之气瓶柜/架至机台内部接点(含VMB/VMP)，其中必要的管线、管件及焊接所需气体，均由承包商负责提供。
GN2、PN2、PO2各支管位置及预留take-off阀尺寸及数量，请参照”FAB栋一层大宗气体二次配平面图”(图号SP-211)；各VMB/VMP位置，请参照”FAB栋一层特殊气体二次配平面图”(图号SP-212)；气体站至FAB间气体管线，请参照”气体站至FAB栋气体二次配管线平面图”(图号SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off阀至机台间所需装设之阀件，请参照”SP-2二次配管详图”(图号SP-231)；而take-off阀及VMB/VMP与机台衔接点等相关资料，请参照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。
承包商需根据该表资料，设计至机台管线之路径。
2.2.前项气体管线Hook-up工程之管路细部设计、施工图绘制、ISO图绘制(Auto 2000或以上版本图档予顾问及业主)、安装後泄漏侦测、各项不纯物量测、讯号测试、材料存放及废料清洁等杂项工程。
6.化学管路二次配管施工规范
六、化学管路二次配管施工规范1.工程范围2.材料及施工标准3.施工时间4.施工规范5.PVC配管6.PFA管施工要领7.SUS配管施工要领8.信号测试一工程范围：化学管路由已安装完成之阀箱中阀的出口端将管路及讯号线安装至使用机台的入口端，以此范围之二次配管工程为主。
二材料及施工标准：1.管材：A.Model I♦化学品种类：溶剂类(IPA、EBR)♦管路材质：SUS316L BA管。
♦配管方式：单层管。
♦弯管方式：Elbow♦管径：3/4”♦接管方式：阀箱出口端：以VCR或相同之其它方式接管。
♦机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。
B.Model II♦化学品种类：DHF,BHF,ITO-Etch 1,ITO-Etch 2,AL-Etch,Cr-Etch,TMAH♦管路材质：PFA管/ 40A C-PVC管。
♦配管方式：双层管。
♦弯管方式：直接弯管(不用Elbow)。
♦管径：内管为1” AND 3/4”PFA管。
外管为40A C-PVC管。
♦接管方式：内管：阀箱出口端：扩管式。
机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。
外管：阀箱出口端：使用40A C-PVC SOCKET固定。
机台入口端：使用40A C-PVC SOCKET固定。
C.Model III♦化学品种类：Corrosive solvent (Stripper-1,Stripper-2)♦管路材质：SUS316L EP管。
♦配管方式：單层管。
♦弯管方式：直接弯管(不用Elbow)。
♦管径：SUS316L EP管。
♦接管方式：外管：阀箱出口端：使用Clamp固定。
机台入口端：使用40A JIS 10K Flange固定。
2.讯号：●使用机台提供之讯号：需求讯号。
●供酸系统提供之讯号：系统供酸正常讯号。
●讯号线材质：PVC 绝缘线。
●外加导线管做保护。
3.施工之标准程序：●GSMC厂务在三天前发Inform sheet 给UIS。
二次配工程规范
中緯積體電路(寧波)新建工程氣體管線二次配工程規範CONTENTS PAGES1.目的32.範圍33.文件送審44.施工說明55.其他說明116.驗收標準127.保固期限151.目的為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。
本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。
2.範圍2.1.製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。
GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號SP-211)；各VMB/VMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP-212)；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231)；而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gasVMB/VMP list”及附件三”CDA take-o ff list”。
承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。
2.2.前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。
工程范围及说明二次配
(3) 相关准则 有关工程用水、用电、照明、通讯、消防等之相关规定应参照自来水、电 力、照明、通讯及消防等相关法规及规范办理。
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(工程範圍及說明) 8/10頁
2、 临时设施
(1) 本节概要 本节说明工程施工或安装所需之临时设施包括工程用水、工程用电、照明、 通讯设备及消防等之相关规定，所供应对象依契约规定构成永久性工程之 水电、照明、通讯或消防等不在本章范围内。
(2) 工作范围 a. 工程用水 除契约另有规定外，工程用水包括工地房舍、业主与承包商双方人员 之饮用、盥洗设备、工程用水与道路洒水等。 b. 工程用电 除契约另有规定外，工程用电包括业主与承包商双方工地房舍之设备 及照明、工程施工之动力设备及照明、工程工区道路照明及其他设施 等之用电。 c. 照明 除契约另有规定外，照明包括业主与承包商双方工地房舍之照明、工 程施工照明、工区道路照明及其他临时照明等。 d. 通讯设备 除契约另有规定外，通讯设备包括业主与承包商双方工务所、工地间 之联络电话、无线对讲机、传真机或数据网络等。 e. 消防 除契约另有规定外，消防包括业主与承包商双方工地房舍及工程施工 构造物、设备等之消防设施等。
c. 产品制程阶段之工作 产品设计→产品试验(含实验及检验)→生产制造→运交工地 依契约或施工规范规定提出所需项目及报表。 本阶段之工作由承包商、供货商、制造商之产品质量工程司办理 之，并依契约或施工规范规定频率取样作实验及检验。
d. 施工制程阶段之工作 工地施工→试验及检验→资料分析→绘制管制图→资料建文件
工程规范
宸鴻科技(廈門)
宏观工程顾问股份有限公司
2012 年 2 月 13 日
宸鴻(廈門) T5-C2 OGS 二次配工程
二次配安装规范
二次配安装规范立昂FAB-D二次配管工程主要工作界面和安装规范二次配管工程由以下几个子项目组成：电力系统，气体系统，水和排液系统，排风系统，Pump Line系统。
承包商对附件一《FAB-D二次配清单》中的所有设备进行二次配管工作。
一、电力系统1.1工作界面：1.1.1承包商负责从一楼配电柜内部空开出口至工艺设备电源进线端的电缆连接工作，包括电缆桥架的铺设。
1.1.2承包商负责从一楼配电柜内部空开出口至二楼地面插座端的电缆连接工作，包括插座的购买和安装。
1.2技术要求：1.2.1电缆桥架采用铝合金桥架加盖。
1.2.2如动力矩阵表无特殊说明，电缆两端均采用铜鼻子连接。
1.2.3电力电缆应满足以下电压降限制的要求：一楼配电柜空开出口端和工艺设备电源进线端的电压降<3%。
1.2.4插座采用符合国标的五孔插座，除非图纸上有特别要求，插座安装在镀锌槽盒上，槽盒安装在高架地板上。
1.2.5二次配采用专用电缆桥架，电缆沿专用电缆桥架敷设，出桥架后穿镀锌钢管敷设至设备。
1.2.6电缆两头及设备进线附近均需求有电气编号标签。
二、气体体系2.1工作界面：2.1.1承包商负责从大宗气体一次配开关阀出口至工艺设备气体进口端的气体管道连接工作，包括固定支架的铺设。
2.1.2承包商负责从特气VMB或VMP出口至工艺设备气体进口端的气体管道连接工作，包括固定支架的铺设以及气体加热体系。
2.1.3承包商负责气体体系的验收测试（保压，氦检，水，氧含量，颗粒）。
2.2技术要求：2.2.1气体系统材料如下：CDA采用SUS304 BA管，GN2管道采用SUS316 BA管，真空管道采用SUS304 AP管，其他气体管道均采用SUS316L EP管，双套管内管采用SUS316L EP，外管采用SUS304 AP管。
固定支架采用镀锌C型钢，镀锌拉杆和螺母。
2.2.2二次配的每路分支必须安装开关阀。
2.2.3GN2，PN2，O2和CDA二次配管路必须安装调压阀。
二次配工程规范
中緯積體電路（寧波）新建工程氣體管線二次配工程規範CONTENTS PAGES1. 目的 32. 範圍 33. 文件送審 44. 施工說明 55. 其他說明136. 驗收標準147. 保固期限161. 目的為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up 二次配管施工之品質及作業安全。
本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。
2. 範圍2.1. 製程設備氣體管線Hook-up 工程材料採購及管路安裝；Hook-up 範圍，GN2、PN2、PO2、CDA 自主管預留閥至機台內部接點（含支管），PH 2、SiH4、SiH4/N2 由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2 氣瓶櫃出口接至機台（含VMB），其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab 之氣瓶櫃/ 架至機台內部接點（含VMB/VMP），其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。
GN2 PN2 P02各支管位置及預留take-off 閥尺寸及數量，請參照” FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”圖號SP-211）;各VMB/VMP位置，請參照” FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”圖號SP-212）；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”圖號SP-234）；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off 閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2 二次配管詳圖”（圖號SP-231）;而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一” Bulkgas take-off list 、”附件二” Specialtygas VMB/VMP list及”附件三” CDA take-off list 。
承”包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。
22 前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製（Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主）、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。
二次配工程规范
二次配工程规范1. 引言本文档旨在规范二次配工程的设计、施工与验收流程，以确保工程质量、安全和效果的达标。
二次配工程是指在建筑物或设备工程竣工后，进行电气、给排水、通风、空调等方面的配套工程。
本规范适用于各类建筑物或设备的二次配工程。
2. 设计要求2.1 电气设计•根据所需电气设备的功率、电流等参数，合理布置电缆线路、插座和开关，保证供电稳定和安全。
•根据建筑物的功能和需求确定照明设备的布置和灯具类型，确保照明效果和节能要求。
•合理划分电气回路，采取适当的保护措施（如保险丝、断路器等），以防止电器设备过载、短路等安全隐患。
2.2 给排水设计•根据建筑物的用途和人流量确定给排水设备的规模和容量，确保正常使用和应急疏散。
•合理布置给水管线、下水管道和排污设备，保证供水和排水的正常运行。
•使用符合国家标准的给水设备和排水设备，以确保水质卫生和环境安全。
2.3 通风与空调设计•根据建筑物的结构、用途和环境条件，确定合理的通风与空调设备的安装位置和类型。
•采用符合国家标准的通风与空调设备，以提供良好的室内空气质量和舒适的室内温度、湿度。
•设计合理的通风与空调管网，确保空气流通和热量传导的效果。
3. 施工要求3.1 基础施工•根据设计要求进行电气、给排水、通风与空调的预埋工程，确保管线的铺设和隐蔽工程的合格性。
•合理安装设备的支架和固定件，保证设备的稳定性和安全性。
•执行相关施工规范，如电气布线规范、给水排水工程验收规范等。
3.2 设备安装•按照设备的安装说明和技术要求进行设备安装，确保设备的正常运行和安全性。
•进行设备的调试和试运行，排除故障和问题，确保设备的正常运转。
3.3 完工验收•根据设计要求和规范进行工程的竣工验收，确保施工质量和功能的达标。
•形成相应的竣工验收报告，记录工程各项指标、设备名称与型号、试验结果等。
•交付业主或相关管理部门，进行最终acceptance。
4. 维护与保养4.1 定期检查和维护•对二次配工程的设备进行定期巡检和维护，确保设备的正常运行和性能。
二次配工程规范
中緯積體電路(寧波)新建工程氣體管線二次配工程規範CONTENTS PAGES1.目的32.範圍33.文件送審44.施工說明55.其他說明136.驗收標準147.保固期限171.目的為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。
本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。
2.範圍2.1.製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。
GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號SP-211)；各VMB/VMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP-212)；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231)；而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off li st”。
承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。
2.2.前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。
二次配工艺要求
二次配工艺要求
嘿，咱今天就来讲讲二次配工艺要求，这可真是个重要的事儿啊！
你想想，就好比建房子，一次结构搭好了，可那二次配就像是给房子精装修。
比如说，咱给电路做二次配，哎呀呀，那不就得精确到位嘛！要是接错了线，那可就麻烦啦！
再说说给管道做二次配，这不就跟拼图似的，要严丝合缝的！要是漏了水或者气啥的，那不糟糕了嘛！
对于那些精细的设备安装二次配，更是得小心翼翼啊！就如同给宝贝安家一样，得妥妥当当的。
总之，二次配工艺要求那真的是一点都不能马虎，每一个细节都得抓好，不然就会出大问题呀！结论就是：二次配工艺要求至关重要，必须认真对待！。
二次配安装规范
立昂FAB-D二次配管工程主要工作界面和安装规范二次配管工程由以下几个子项目组成：电力系统，气体系统，水和排液系统，排风系统，Pump Line系统。
承包商对附件一《FAB-D二次配清单》中的所有设备进行二次配管工作。
一、电力系统1.1 工作界面：1.1.1 承包商负责从一楼配电柜内部空开出口至工艺设备电源进线端的电缆连接工作，包括电缆桥架的铺设。
1.1.2 承包商负责从一楼配电柜内部空开出口至二楼地面插座端的电缆连接工作，包括插座的购买和安装。
1.2 技术要求：1.2.1 电缆桥架采用铝合金桥架加盖。
1.2.2 如动力矩阵表无特殊说明，电缆两端均采用铜鼻子连接。
1.2.3 电力电缆应满足以下电压降限制的要求：一楼配电柜空开出口端和工艺设备电源进线端的电压降<3%。
1.2.4 插座采用符合国标的五孔插座，除非图纸上有特别要求，插座安装在镀锌槽盒上，槽盒安装在高架地板上。
1.2.5 二次配采用专用电缆桥架，电缆沿专用电缆桥架敷设，出桥架后穿镀锌钢管敷设至设备。
1.2.6 电缆两端及设备进线附近均需要有电气编号标签。
二、气体系统2.1 工作界面：2.1.1 承包商负责从大宗气体一次配开关阀出口至工艺设备气体进口端的气体管道连接工作，包括固定支架的铺设。
2.1.2 承包商负责从特气VMB或VMP出口至工艺设备气体进口端的气体管道连接工作，包括固定支架的铺设以及气体加热系统。
2.1.3 承包商负责气体系统的验收测试（保压，氦检，水，氧含量，颗粒）。
2.2 技术要求：2.2.1 气体系统材料如下：CDA采用SUS304 BA管，GN2管道采用SUS316 BA管，真空管道采用SUS304 AP管，其他气体管道均采用SUS316L EP管，双套管内管采用SUS316L EP，外管采用SUS304 AP管。
固定支架采用镀锌C型钢，镀锌拉杆和螺母。
2.2.2 二次配的每路分支必须安装开关阀。
2.2.3 GN2，PN2，O2和CDA二次配管路必须安装调压阀。
二次线配制工艺守则
1、适用范围：本守则适用于高低压配电装置，电力传动控制装置二次线路的配制。
2、使用材料：2.1导线导线绝缘强度一般按工作电压不低于500V来选择，弱电压回路（指集成电路或晶体管电路）的导线绝缘按不低于250V来选择。
2.1.1 单芯黑色塑料绝缘铜芯线：BV-1mm2、1.5mm 2、2.5mm 2等；2.1.2 多芯黑色塑料绝缘铜芯线：BVR-1mm 2、1.5mm 2、2.5mm 2等；2.1.3 多芯黄绿双色塑料绝缘铜芯线：BVR-2.5mm 2、4mm 2等；2.2冷压端头OT型、UT型、IT型铜制冷压端头；2.3. 辅材2.3.1 塑料行线槽；2.3.2 塑料缠线管；2.3.3 1#-5#尼龙扎带；2.3.4 1mm厚绝缘纸板；2.3.5 字码管。
3、设备及工具：斜口钳、平口钳、圆（尖）嘴钳、剥线钳、压接钳、（4寸、6寸扳手，4寸螺丝刀，灯头螺丝刀，套筒扳手，剪刀，2米钢卷尺，电工刀，铅笔，工作椅）。
4、工艺要求：4.1 配线应符合图纸规定的要求。
4.2 回路的带电体间或带电体与金属骨架间的电气间隙不应少于4mm，爬电距离不应少于6mm。
4.3. 强电电压回路配线应采用截面积不小于 1.5mm2单芯或截面积不小于1.0mm2多芯铜芯绝缘线；强电电流回路配线应采用截面积不小于2.5mm2的单芯或多芯绝缘线；弱电回路导线采用截面积不小于0.75mm2单芯或截面不小于0.5mm2多芯铜芯绝缘线，插件内部的导线允许采用截面积为0.5mm2单芯铜芯绝缘线。
电流回路及元（组）件的接地，用2.5mm2多芯铜芯绝缘线；柜体活动部分（如门）的保护连续性连接，用4mm2多芯铜芯绝缘线。
4.4 配线在可能受到弯曲的地方，如门上电器与柜内元件的连线，或可能活动的插头、插座上的接线，只准许采用多芯铜芯绝缘线，并注意留有活动余量。
4.5 采用冷压铜接头的接线，只准许采用多芯铜芯绝缘线，不得使用单芯线。
4.6 除图纸上有特殊要求外，整个装置及设备内部布线的电压、电流回路采用黑色导线；电气回路和元（组）件的接地（或接镀锌构架）及柜体活动部分（如门）的保护连续性连接，用黄绿双色线。
最新二次配管技术要求
二次配管技术要求
工程名称
华海嘉园
分部名称
分项工程（工种）名称电工班组
交底内容：
一、填充墙暗配管步骤：
（1）确定水平标高
（2）弹好水平线
（3）确定座标位子
（4）强电与弱电盒间距不小于30cm
符合以上条件方可开槽、敷设，要求在同一房间内水平标高误差不超过2mm，插座盒水平标高为31cm，开关盒水平标高131cm、距门边为15cm—20cm要求尺寸统一。
九、所有箱、盒安装完毕后必须按照水平标高线，四周用砂浆摸牢，不得空鼓、开裂。
十、材料必须节约不得随意乱丢、乱放。每天下班前必须把当天的现场施工垃圾清理打扫干净，做到人走场清。
南通三建集团有限公司
安装五分公司
交底人
2006年9月21日
接底人：
2006年9月21日
二次配管技术要求
工程名称
华海嘉园
分部名称
二、暗配管在砌体上敷设，剔槽时应注意用力度要适当，以免破坏砌体结构剔槽时，錾子成斜状由上向下剔。管线敷设完后，应采用强度不低于M10的水泥浆摸面保护，保护层不低于15mm。
三、混凝土墙开槽时，遇到柱内主筋严禁私自破坏、切割。
四、绝缘导管敷设时，管口平整光滑，采用插接连接时，联连接处结合面涂专用胶合剂，接口牢固。
五、PVC管进盒、箱必须有盒接。金属导管采用焊接时，严禁对口焊接，金属导管进盒不大于2mm，并且刷好防腐漆。
六、电缆导管弯曲半径ห้องสมุดไป่ตู้应小于电缆最小允许弯曲半径：
（1）聚氯乙稀绝缘电力电缆最小允许弯曲半径10D
（2）交联聚氯乙稀电力电缆最小允许弯曲半径15D
（3）多芯控制电缆最小允许弯曲半径10D
六、镀锌钢导管不得采用溶焊跨接接地线，应用专用接地卡跨接，并采用截面积不小于4m㎡铜芯软导线。
机械二次配施工技术规范
机械二次配施工技术规范
2、UPW系统（Clean-PVC）
1、Clean-PVC管道、管件及阀门推荐日本积水（SCKISUI）、旭有机(ASAHI)或同等及以上品牌。
2、管道尺寸符合JIS K 6741标准。
3、管道阀门宜采用同材质隔膜阀。
4、所有材料必须采用超纯水清洗，1000级或更高洁净室双层洁净包装，以保证内部洁净，务必在使用时才能
拆除包装。
5、Clean-PVC管道、管件及阀门施工必须在具有洁净环境的条件下进行施工，如果必要，施工过程中
需搭设临时洁净棚。
6、垫片采用柔性聚四氟垫片（PTFE JIS10K）。
管道及管件采用承插式胶水粘接，
胶水宜采用同管道品牌之配套系列产品。
DIW系统（Clean PVC）。
二次配验收标准
二次配验收標準一、工程名称：C棟SKIN廠ITO Sputter二次配二、工程地点：C栋厂房三、工作项目：本工程属于责任施工，施工前需验证二次配之设计付合业主需求。
1、合同签定后，一周内材料需到厂，若无法到达将由承包方负责。
四、本工程工作项目内容简述如下：1、电力二次配工程：于电盘分路空开二次配置管线至设备端(需配合设备端电源位置接线），电力电缆铺设至专用线槽，与设备及电盘空开接线需牢固应符合电气标准。
2、PCW（CDA)二次配工程：于一次侧预留阀位置配管至制程设备端（需配合接至设备端衔接位置），焊接时管内外需平整，焊缝均匀，并且需抛光，需试压、保压测试。
五、工地安全及管理2.乙方应遵守国家劳动法和地方政府有关用工规定，负责己方人员的安全和劳动保险。
乙方须负责管理工人及给养等。
工人如有轨外行动，及触犯地方治安条例所引起之纠葛，概由乙方负完全责任，如工人遇有意外伤亡情事，概由乙方自行料理，与甲方无涉。
3.乙方对于工地材料、机具设备，不论为自备或由甲方供（借）给，均应妥善管理，如有遗失或毁损情事发生时，应照市价赔偿。
4.本工程施工期间，如发生紧急事故，影响生命财产安全时，乙方得不经甲方之指示而采取适当行动，以防止生命财产之损失。
所有工程进行中途发生事故，概由乙方负责办理。
如有损害甲方人员或财物均由乙方负责赔偿。
如因乙方设备欠缺或施工不良，损害他人生命、身体或财产，乙方应负起全部赔偿责任。
4.本工程进行中甲方得随时派员监督及考核乙方之用料及施工情形，如发现乙方用料及施工违反本合同时，甲方得立刻要求乙方拆除重做或暂停施工，停工之损害及所需之费用均由乙方负责。
六、机具材料1.本工程所需一切机具材料，除合同另有规定外，概由乙方自备；其保管责任由乙方自行负担。
2.乙方工程进行中所需之临时水电（费）由甲方提供。
3.施工中需用到的所有材料，由乙方自行解决并提请甲方书面确认，必须保证符合双方约定的品牌、规格、型号、数量、且达到甲方的质量要求，以及国家质量标准。
二次配工程规范
中緯積體電路(寧波)新建工程氣體管線二次配工程規範CONTENTS PAGES1.目的32.範圍33.文件送審44.施工說明55.其他說明136.驗收標準147.保固期限161. 目的為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。
本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。
2. 範圍2.1. .. 製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。
GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號SP-211)；各VMB/VMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP-212)；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231)；而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMPlist”及附件三”CDA take-off list”。
承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。
2.2. .. 前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。
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3.所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔
4.
4
4.1.1.
4.1.2.
4.1.2.1.
4.1.2.2.
4.1.2.3.
4.1.2.4.
4.1.2.5.
4.1.3.
4.1.3.1.
4.1.3.2.
4.1.3.3.
4.1.3.4.
4.1.4.
X
X
X
儀表安裝詳圖(Instrumentinstallation drawing)
X
X
送審文件清單及時程(Transmittal list and schedule)
X
品質管制程序書(Quality control procedure)
X
工地辦公室及物料暫存區需求(Site office and warehouse requirements)
Rmax< 4.5μm
Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let
d.
SUS 316L BA fitting (for tube)
Rmax< 4.5μm
Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let
e.
SUS 316L EP pipe
Rmax< 0.7μm
Sumikin/ Kuze
自燃性氣體
SiH4, SiH4/N2, PH3/N2
內管SUS 316L EP/外管SUS 304
c.
其他氣體
PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF, CHF3, CF4, C2F6, SF6, PAr, PHe, N2O, He/O2
f.
SUS 316L EP tube (註1)
Rmax< 0.7μmSum来自kin/ Kuzeg.
SUS 316L EP fitting (註1)
Rmax< 0.7μm
Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let
h.
SUS 316L BA valve (≧15A)
Bellow valve, Rmax< 4.5μm
X
X
X
管線支撐詳圖(Pipe support drawing)
X
X
管材規格(Piping material specification)
X
X
管線施工程序書(Piping construction specification)
X
X
註：1.承包商需於得標後一周內提出文件送審清單，並於施工前2周提送設計文件及相關管件及標示實體供審核；送審圖面則需在業主提出意見後3天內修改並再次送審。
中緯積體電路(寧波)新建工程
氣體管線二次配工程規範
CONTENTSPAGES
1.
為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。
2.
2
2
2
2
2
2
2
2
3.
文件名稱
投標階段
(3份)
設計階段
(5份)
竣工階段
(5份)
報價表(Quotation form)
m.
Filter in VMB/ VMP
SUS 316L EP, VCR type, pore size：0.003µm
Pall/ Millipore
n.
Gasket filter
SUS 316L EP, pore size：0.01µm
Pall/ Millipore
註：1.Cl2、NF3等氣體需選用VIM+VAR鋼材。
4.1.4.1.
4.1.4.2.
4.1.5.
4.1.5.1.
4.1.5.2.
4.1.5.3.
4.1.6.
4.1.7.
4.1.8.
4
4.2.1.
氣體種類
材質
a.
一般大宗氣體
GN2
CDA
CDA (for burnbox)
SUS 316L BA/ 5S
SUS 316L AP/ 5S
SUS 304/ 5S
b.
SS 316L EP/ 5S；另BCl3、SiH2Cl2之管線需提供加熱帶以確保供氣量。
4.2.2.
項目
規格
廠牌
a.
SUS 316L BA pipe
Rmax<3.0μm
Sumikin/ Kuze
b.
SUS 316L BA tube
Rmax< 3.0μm
Sumikin/ Kuze
c.
SUS 316L BA fitting (for pipe)
Kitz/ Ohno/ Motoyama
i.
SUS 316L BA valve (< 15A)
Diaphragm valve, Rmax< 3.0μm
Kitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyama
j.
SUS 316L EP valve (≧15A)
Bellow valve, Rmax<1.0μm
X
驗收及測試計劃/報告(Inspection & test plan/reports)
X
X
製造商測試報告(Manufacture’s inspection & test reports/records)
X
X
計算書(Contractor’s calculations)
X
X
管線配置圖(Pipe routing plan)
X
專案組織表(Project organization)
X
X
專案執行時程表(Project schedule)
X
X
工程界面清單及位置圖(List & location of tie-in point)
X
X
X
系統管儀圖(P&IDs)
X
X
X
焊接設備清單(Equipment list)
X
X
X
設備及材料型錄及資料(Vendor’s catalogs and information to support his quotation，including electrical system & I/C system)
4.2.3.
4.2.3.1.
4.2.3.2.
4.2.3.3.
4.2.3.4.
4.2.3.5.
4.2.3.6.
4.2.3.7.
4.2.3.8.
4.2.4.
4.2.5.
4.2.6.
4
4.3.1.
4.3.1.1.
4.3.1.2.
4.3.1.3.
Kitz/ Ohno/ Motoyama
k.
SUS 316L EP valve (< 15A)
Diaphragm valve, Rmax< 0.7μm
Kitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyama
l.
Regulator
SUS 316L EP, VCR type, Rmax<1.0μm
AP-tech/ Veriflo/ Tescom/ Crown