二次配工程规范
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自燃性氣體
SiH4, SiH4/N2, PH3/N2
內管SUS 316L EP/外管SUS 304
c.
其他氣體
PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF, CHF3, CF4, C2F6, SF6, PAr, PHe, N2O, He/O2
Rmax< 4.5μm
Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let
d.
SUS 316L BA fitting (for tube)
Rmax< 4.5μm
Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let
e.
SUS 316L EP pipe
Rmax< 0.7μm
Sumikin/ Kuze
SS 316L EP/ 5S；另BCl3、SiH2Cl2之管線需提供加熱帶以確保供氣量。
4.2.2.
項目
規格
廠牌
a.
SUS 316L BA pipe
Rmax<3.0μm
Sumikin/ Kuze
b.
SUS 316L BA tube
Rmax< 3.0μm
Sumikin/ Kuze
c.
SUS 316L BA fitting (for pipe)
4.2.3.
4.2.3.1.
4.2.3.2.
4.2.3.3.
4.2.3.4.
4.2.3.5.
4.2.3.6.
4.2.3.7.
4.2.3.8.
4.2.4.
4.2.5.
4.2.6.
4
4.3.1.
4.3.1Βιβλιοθήκη Baidu1.
4.3.1.2.
4.3.1.3.
X
X
X
管線支撐詳圖(Pipe support drawing)
X
X
管材規格(Piping material specification)
X
X
管線施工程序書(Piping construction specification)
X
X
註：1.承包商需於得標後一周內提出文件送審清單，並於施工前2周提送設計文件及相關管件及標示實體供審核；送審圖面則需在業主提出意見後3天內修改並再次送審。
中緯積體電路(寧波)新建工程
氣體管線二次配工程規範
CONTENTSPAGES
1.
為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。
2.
2
2
2
2
2
2
2
2
3.
文件名稱
投標階段
(3份)
設計階段
(5份)
竣工階段
(5份)
報價表(Quotation form)
X
驗收及測試計劃/報告(Inspection & test plan/reports)
X
X
製造商測試報告(Manufacture’s inspection & test reports/records)
X
X
計算書(Contractor’s calculations)
X
X
管線配置圖(Pipe routing plan)
Kitz/ Ohno/ Motoyama
k.
SUS 316L EP valve (< 15A)
Diaphragm valve, Rmax< 0.7μm
Kitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyama
l.
Regulator
SUS 316L EP, VCR type, Rmax<1.0μm
AP-tech/ Veriflo/ Tescom/ Crown
Kitz/ Ohno/ Motoyama
i.
SUS 316L BA valve (< 15A)
Diaphragm valve, Rmax< 3.0μm
Kitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyama
j.
SUS 316L EP valve (≧15A)
Bellow valve, Rmax<1.0μm
X
X
X
儀表安裝詳圖(Instrumentinstallation drawing)
X
X
送審文件清單及時程(Transmittal list and schedule)
X
品質管制程序書(Quality control procedure)
X
工地辦公室及物料暫存區需求(Site office and warehouse requirements)
4.1.4.1.
4.1.4.2.
4.1.5.
4.1.5.1.
4.1.5.2.
4.1.5.3.
4.1.6.
4.1.7.
4.1.8.
4
4.2.1.
氣體種類
材質
a.
一般大宗氣體
GN2
CDA
CDA (for burnbox)
SUS 316L BA/ 5S
SUS 316L AP/ 5S
SUS 304/ 5S
b.
X
專案組織表(Project organization)
X
X
專案執行時程表(Project schedule)
X
X
工程界面清單及位置圖(List & location of tie-in point)
X
X
X
系統管儀圖(P&IDs)
X
X
X
焊接設備清單(Equipment list)
X
X
X
設備及材料型錄及資料(Vendor’s catalogs and information to support his quotation，including electrical system & I/C system)
f.
SUS 316L EP tube (註1)
Rmax< 0.7μm
Sumikin/ Kuze
g.
SUS 316L EP fitting (註1)
Rmax< 0.7μm
Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let
h.
SUS 316L BA valve (≧15A)
Bellow valve, Rmax< 4.5μm
2.所有送審文件必須以中文或英文書寫；英文送審文件需附中文說明。
3.所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔
4.
4
4.1.1.
4.1.2.
4.1.2.1.
4.1.2.2.
4.1.2.3.
4.1.2.4.
4.1.2.5.
4.1.3.
4.1.3.1.
4.1.3.2.
4.1.3.3.
4.1.3.4.
4.1.4.
m.
Filter in VMB/ VMP
SUS 316L EP, VCR type, pore size：0.003µm
Pall/ Millipore
n.
Gasket filter
SUS 316L EP, pore size：0.01µm
Pall/ Millipore
註：1.Cl2、NF3等氣體需選用VIM+VAR鋼材。
SiH4, SiH4/N2, PH3/N2
內管SUS 316L EP/外管SUS 304
c.
其他氣體
PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF, CHF3, CF4, C2F6, SF6, PAr, PHe, N2O, He/O2
Rmax< 4.5μm
Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let
d.
SUS 316L BA fitting (for tube)
Rmax< 4.5μm
Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let
e.
SUS 316L EP pipe
Rmax< 0.7μm
Sumikin/ Kuze
SS 316L EP/ 5S；另BCl3、SiH2Cl2之管線需提供加熱帶以確保供氣量。
4.2.2.
項目
規格
廠牌
a.
SUS 316L BA pipe
Rmax<3.0μm
Sumikin/ Kuze
b.
SUS 316L BA tube
Rmax< 3.0μm
Sumikin/ Kuze
c.
SUS 316L BA fitting (for pipe)
4.2.3.
4.2.3.1.
4.2.3.2.
4.2.3.3.
4.2.3.4.
4.2.3.5.
4.2.3.6.
4.2.3.7.
4.2.3.8.
4.2.4.
4.2.5.
4.2.6.
4
4.3.1.
4.3.1Βιβλιοθήκη Baidu1.
4.3.1.2.
4.3.1.3.
X
X
X
管線支撐詳圖(Pipe support drawing)
X
X
管材規格(Piping material specification)
X
X
管線施工程序書(Piping construction specification)
X
X
註：1.承包商需於得標後一周內提出文件送審清單，並於施工前2周提送設計文件及相關管件及標示實體供審核；送審圖面則需在業主提出意見後3天內修改並再次送審。
中緯積體電路(寧波)新建工程
氣體管線二次配工程規範
CONTENTSPAGES
1.
為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。
2.
2
2
2
2
2
2
2
2
3.
文件名稱
投標階段
(3份)
設計階段
(5份)
竣工階段
(5份)
報價表(Quotation form)
X
驗收及測試計劃/報告(Inspection & test plan/reports)
X
X
製造商測試報告(Manufacture’s inspection & test reports/records)
X
X
計算書(Contractor’s calculations)
X
X
管線配置圖(Pipe routing plan)
Kitz/ Ohno/ Motoyama
k.
SUS 316L EP valve (< 15A)
Diaphragm valve, Rmax< 0.7μm
Kitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyama
l.
Regulator
SUS 316L EP, VCR type, Rmax<1.0μm
AP-tech/ Veriflo/ Tescom/ Crown
Kitz/ Ohno/ Motoyama
i.
SUS 316L BA valve (< 15A)
Diaphragm valve, Rmax< 3.0μm
Kitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyama
j.
SUS 316L EP valve (≧15A)
Bellow valve, Rmax<1.0μm
X
X
X
儀表安裝詳圖(Instrumentinstallation drawing)
X
X
送審文件清單及時程(Transmittal list and schedule)
X
品質管制程序書(Quality control procedure)
X
工地辦公室及物料暫存區需求(Site office and warehouse requirements)
4.1.4.1.
4.1.4.2.
4.1.5.
4.1.5.1.
4.1.5.2.
4.1.5.3.
4.1.6.
4.1.7.
4.1.8.
4
4.2.1.
氣體種類
材質
a.
一般大宗氣體
GN2
CDA
CDA (for burnbox)
SUS 316L BA/ 5S
SUS 316L AP/ 5S
SUS 304/ 5S
b.
X
專案組織表(Project organization)
X
X
專案執行時程表(Project schedule)
X
X
工程界面清單及位置圖(List & location of tie-in point)
X
X
X
系統管儀圖(P&IDs)
X
X
X
焊接設備清單(Equipment list)
X
X
X
設備及材料型錄及資料(Vendor’s catalogs and information to support his quotation，including electrical system & I/C system)
f.
SUS 316L EP tube (註1)
Rmax< 0.7μm
Sumikin/ Kuze
g.
SUS 316L EP fitting (註1)
Rmax< 0.7μm
Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let
h.
SUS 316L BA valve (≧15A)
Bellow valve, Rmax< 4.5μm
2.所有送審文件必須以中文或英文書寫；英文送審文件需附中文說明。
3.所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔
4.
4
4.1.1.
4.1.2.
4.1.2.1.
4.1.2.2.
4.1.2.3.
4.1.2.4.
4.1.2.5.
4.1.3.
4.1.3.1.
4.1.3.2.
4.1.3.3.
4.1.3.4.
4.1.4.
m.
Filter in VMB/ VMP
SUS 316L EP, VCR type, pore size：0.003µm
Pall/ Millipore
n.
Gasket filter
SUS 316L EP, pore size：0.01µm
Pall/ Millipore
註：1.Cl2、NF3等氣體需選用VIM+VAR鋼材。