二次配工程规范

中纬积体电路(宁波)新建工程气体管线二次配工程规范

CONTENTS PAGES

1.目的

2.范围

3.文件送审

4.施工说明

5.其他说明

6.验收标准

7.保固期限

1. 目的

为使设备机台按照计划顺利装机、运转，且亦能维护Hook Up二次配管施工之品质及作业安全。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。2. 范围

2.1. 制程设备气体管线Hook-up工程材料采购及管路安装；Hook-up范围，

GN2、PN2、PO2、CDA自主管预留阀至机台内部接点(含支管)，PH2、

SiH4、SiH4/N2由气体站氢气纯化器出口及SiH4、SiH4/N2气瓶柜出口

接至机台(含VMB)，其他特殊气体自位於气体房或Subfab之气瓶柜/

架至机台内部接点(含VMB/VMP)，其中必要的管线、管件及焊接所需

气体，均由承包商负责提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及预留take-off

阀尺寸及数量，请参照”FAB栋一层大宗气体二次配平面图”(图号

SP-211)；各VMB/VMP位置，请参照”FAB栋一层特殊气体二次配平

面图”(图号SP-212)；气体站至FAB间气体管线，请参照”气体站至FAB

栋气体二次配管线平面图”(图号SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自

take-off阀至机台间所需装设之阀件，请参照”SP-2二次配管详图”(图

号SP-231)；而take-off阀及VMB/VMP与机台衔接点等相关资料，请

参照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP

list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根据该表资料，设计至机台

管线之路径。

2.2. 前项气体管线Hook-up工程之管路细部设计、施工图绘制、ISO图绘制

(Auto 2000或以上版本图档予顾问及业主)、安装後泄漏侦测、各项不

纯物量测、讯号测试、材料存放及废料清洁等杂项工程。其中施工图

及ISO图面，需依照机台用量流程图(P&ID)及机台设备外观图绘制，

并配合材料明细表供业主确认。

2.3. 本项工程为连工带料施工，并包含施工中所需之施工工具、施工设备、

无尘服、安全防护器具、管支撑及杂项消耗等，均由承包商负责。

2.4. 配合”二次配工程说明”(规范标号NS-SP001)要求所需各项杂项费用。

2.5. 所有管路标示，管路标示依照”二次配工程说明”办理。

2.6. 所有管路防震固定支撑架之安装定位。

2.7. 高架地板开孔及收边之工程发包、请款，切割区域管理。

2.8. 气体站至FAB间管线所需管桥由业主提供，承包商需负责依业主指示

规划气体管线路径，并负责安装所需管夹等固定装置。

3. 文件送审

件及相关管件及标示实体供审核；送审图面则需在业主提出意见後3天内修

改并再次送审。

2. 所有送审文件必须以中文或英文书写；英文送审文件需附中文说明。

3. 所有竣工阶段需提送之文件均需检附电子档

4. 施工说明

4.1. 一般说明

4.1.1. 承包商应於施工前提送施工程序书及管路测试程序书，经审核

通过後，方可据以施工。

4.1.2. 承揽商需於工作场所设置工程负责人，需有相关工程经历三年

以上，其工作职责为：

4.1.2.1. 施工进度控制。

4.1.2.2. 施工人员管理及安排。

4.1.2.3. 材料数量管制。

4.1.2.4. 现场会勘放样。

4.1.2.

5. 参与承揽商沟通协调会议

4.1.3. 承揽商需於工作场所设置品管负责人，需有相关工作经历三年

以上，其阶层与工程负责人同等，其工作职责为：

4.1.3.1. 施工品质控制。

4.1.3.2. 施工完工品质验收。

4.1.3.3. 施工验收报告汇总。

4.1.3.4. 原料进厂自主检查。

4.1.4. 承揽商需於工作场所设置物管负责人，需有相关工作经历一年

以上，其工作职责为：

4.1.4.1. 材料数量管理。

4.1.4.2. 进厂料件验收。

4.1.

5. 承揽商需於工作场所设置工安卫负责人，需有相关工作经历一

年以上，其阶层与工程负责人同等，其工作职责为：

4.1.

5.1. 现场安全卫生工作监督。

4.1.

5.2. 参与承揽商安全卫生协调会议。

4.1.

5.3. 承揽商施工人员安全卫生训练。

4.1.6. 施工人员数组，依工程数量适时增加人员，但在工程期限内最

低需保留三组，每组人员最少三人，每组至少有一人有焊接执

照，并由一资深组长带领，所有进厂施工之人员必须经过认可

且通过工安检定之人员。

4.1.7. 品管人员数组，依工程数量适时增加人员，但在工程期限内最

低需保留一组，每组人员最少二人，由一资深组长带领，但不

可由品管负责人担任。

4.1.8. 承揽商有任何人员调动需经过认可，且业主相关之人员有权提

出异议要求更换，承揽商不得有异议。

4.2. 材料说明

4.2.1. 气体管线之分类及其材质要求如下表规定办理。

4.2.2. 各类管线、管件及仪表厂牌，请依下表规定办理，承包商应以一次配选用厂牌为优先考量，如欲选用非下表规定之厂牌，需经过业主审核同意後使得选用。

注：

1. C l 2、NF 3等气体需选用VIM+VAR 钢材。

4.2.3. VMB/VMP 设备

4.2.3.1. 承包商需负责设计及提供特殊气体供应所需VMB

及VMP ，其安装数量及位置请参照”附件二 Specialty Gas VMB list ”及相关图面指示办理；经过VMB/VMP 後管线则直接接至使用点。

4.2.3.2. VMB 及VMP 所需安装各项阀件及仪表请参

照”VMB/VMP 示意图”(图号SP-230)指示办理。承