单晶炉水循环操作示意图

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2.缓慢打开两个运行水泵的管道阀门,注意水压应保持在0.18以内平 稳,关闭消防水支路阀门。如人手够的情况下建议同时操作三个阀门。 前提是保障水压平稳。
3.注意,车间应急水总阀应处于常开状态,支路应急水阀门应处于常闭 状态。平时加强巡检,发现问题及时修复。
水泵切换操作
水泵的切换操作: 运行中如遇水压异常或水泵电机异响,检查有 水泵电机异常,及时报机修切换。切换步骤为: 在泵组控制柜上将备用泵开启(按备用泵启动 按钮),关闭异常泵电源,关闭故障水泵阀 门,同时打开备用泵阀门,观察单晶炉水压是 否正常,检查备用泵运行电流是否正常。并及 时修复故障水泵或更换备用泵。正常切换水泵 操作步骤同上。 应急操作和水泵切换操作平时都应按报修流程 走,协助机修完成。紧急情况应每人都会操作。
单晶炉冷却水系统操作流程
现场培训
电控柜面板示意
绿色指示灯亮为运行灯,红色灯亮为停止
三个泵两用一备及应急消防水阀 示意图
应急消源自文库水支路阀门,每组泵配备一个
水泵共有三个泵为一组,二用一备,有标识牌标明,备用泵为常闭,运行泵为常开
消防水阀位置
车间消防水 总阀
停电停水阀门操作
停电应急处理: 停电后水泵控制柜面板指示灯全灭,自停电起等待三分钟左右,等配电 房送电(市电或发电机发电),如三分钟过后还未送上电即可作应急事 故处理。 将三个泵的水路阀门关闭。
消防水总阀打开, 泵组边上的支路消防水阀门打开。
检查炉台水压。原则上消防水阀只能作为紧急用水,不能将消防水作常 用的单晶炉冷却水,即当消防水打开后,炉台只能作停炉处理。 注意阀门的关闭开启可同时多人进行,减少抢修时间。
事故恢复步骤:
当电源恢复后,需恢复泵组供水,关闭消防水供应。操作步骤如下: 1.按下水泵控制柜上水泵启动按钮,注意三个按钮两用一备,启动两个 即可。
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