单晶炉水循环操作示意图
6直拉单晶炉及热系统6
不带泵和走道的空间要求
• -长 • -宽
总设备高度
min. min.
2,800 mm 2,000 mm
• - 炉室关闭 • - 炉室打开
重量
大约 大约
6,500mm 6,900mm
• • • •
-
单晶炉 电源柜 控制柜 泵组大约 大约 大约 大约
4,000 kg 1,500 kg 300 kg 1,000 kg
5、电气系统
电气系统主要包括电源控制系统以及单晶炉控制 系统。 直拉单晶炉主电源采用三相交流供电，电压 380V，频率50Hz。经变压器整流后，形成低电 压，高电流的直流电源作为主加热电源。（功率 柜）
单晶炉控制系统主要包括速度控制单元、加热控制 单元、等径生长控制单元、水温和设备运行巡检及状态 报警、继电控制单元等部分。 1）速度控制单元对晶升、埚升、晶转、埚转的速度进 行控制。 2）温度传感器从加热器上取得的信号与等径控制器的 温度控制信号叠加后进入欧陆控制器，经分析调整控制 加热器电压，达到控制加热温度与直径的目的。 3）水温运行巡检及状态报警单元可以对单晶炉各路冷 却水温进行实时检测，当某路水温超过设定值时，相应 水路发出报警提示工作人员排除。同时本单元可以实时 检测单晶炉运行中的异常现象，给出相应报警。 4）继电控制单元包括液压系统继电控制，真空机组继 电控制及无水、欠水继电控制等部分。
2、氩气系统
氩气系统包括液氩储罐，汽化器、气阀、氩 气流量计等部件。氩气纯度为5N，在单晶生长 过程中起保护作用，一方面及时携带熔体中的挥 发物经真空泵排出；另一方面又及时带走晶体表 面的热量，增大晶体的纵向温度梯度，有利于单 晶生长。
3、真空系统
真空系统主要分两部分：主炉室真空系统和副炉室 真空系统。 主炉室真空系统主要包括主真空泵、电磁截至阀、除尘 罐、安全阀、真空计、真空管道及控制系统等。其中除 尘罐对排气中的粉尘起到过滤作用，以便保护真空泵， 除尘罐内的过滤网要定期清理，使排气畅通，否则影响 成晶，另外要定期更换泵油。 副炉室真空系统除了无除尘罐外，与主炉室真空系统相 似。主要是在拉晶过程中需要关闭主、副炉室之间的翻 板阀取晶体或提渣时，必须用副炉室真空系统来对副炉 室进行抽真空。 拉晶过程中必要时应进行真空检漏。冷炉极限真空应达 到5Pa以下，单晶炉泄露率应该低于3Pa/10min。
6.直拉单晶炉及热系统
热系统的安装与对中
热系统，特别是新系统在安装前，应仔细擦抹干净，去除表面的 浮尘，检查各部件质量，整个炉室也必须清擦干净，安装顺序一 般是由下而上，由内到外。在整个安装过程中，要求热系统对中 良好。具体对中顺序如下： 1）托杆对中，先将托杆稳定地安装在下轴上，如紧上螺丝后， 托杆还有晃动，需修磨托杆下面锥面，使托杆与下轴可以紧密配 合安装。打开埚转，测量托杆是否对中良好。 2）加热器与石墨坩埚对中，打开埚转，对平口（将石墨坩埚上 沿与加热器上沿处于同一平面），调整加热器位置，与石墨坩埚 对中，保证石墨坩埚与加热器之间的间隙四周都一致。最后紧电 极螺丝，固定好加热器。 3）保温罩与加热器对中，调整保温筒位置，做到保温筒内壁和 加热器外壁之间间隙四周都一致，注意可径向移动，不可转动， 否则取光孔和测温孔对不上。 4）保证炉底护盘与电极之间间隙前后一致，否则可能造成打火。 每次拆装炉时，都需检查同心度，这样既可保证热场的对称性， 又能避免短路打火。
3、真空系统
真空系统主要分两部分：主炉室真空系统和副炉室 真空系统。 主炉室真空系统主要包括主真空泵、电磁截至阀、除尘 罐、安全阀、真空计、真空管道及控制系统等。其中除 尘罐对排气中的粉尘起到过滤作用，以便保护真空泵， 除尘罐内的过滤网要定期清理，使排气畅通，否则影响 成晶，另外要定期更换泵油。 副炉室真空系统除了无除尘罐外，与主炉室真空系统相 似。主要是在拉晶过程中需要关闭主、副炉室之间的翻 板阀取晶体或提渣时，必须用副炉室真空系统来对副炉 室进行抽真空。 拉晶过程中必要时应进行真空检漏。冷炉极限真空应达 到3Pa以下，单晶炉泄露率应该低于3Pa/10min。 3Pa以下，单晶炉泄露率应该低于3Pa/10min。
1、水冷系统
水冷系统包括总进水管道、分水器、各路冷却水 管道以及回水管道。由循环水系统来保证水循环 正常运行。 水冷系统的正常运行非常重要，必须随时保持各 部位冷却水路畅通，不得堵塞或停水，轻者会影 响成晶率，严重会烧坏炉体部件，造成巨大损失。
带炉水循环泵启动图解分析课件
工作原理
当电动机带动传动轴旋转时，泵体内 的叶轮也会随之旋转，叶轮的叶片将 炉水从低位抽到高位，实现循环加热 。
带炉水循环泵的工作原理主要是基于 流体动力学原理，当叶轮旋转时，炉 水在叶片的作用下产生离心力，从而 形成压力差，实现循环加热。
02
带炉水循环泵启动步骤详解
Chapter
准备阶段
检查泵的所有紧固件，如螺栓、 螺母等，确保它们都已牢固连接 。
故障排查与处理
针对出现的故障和问题，应建立完善的故障排查和处理机制，及时 解决设备故障，保证生产安全。
展望未来发展与技术进步
01
技术升级
随着科技的不断进步，带炉水循环泵技术也将不断升级，未来可以期待
更高效、可靠、环保的设备出现。
02 03
智能化发展
智能化是未来设备发展的重要方向之一，通过引入物联网、大数据、人 工智能等技术，实现设备的远程监控、故障预警、优化运行等功能，提 高设备运行效率和安全性。
启动过程监测
对启动过程进行实时监测，如出 现异常情况，及时采取相应措施
进行处理，保证设备安全。
设备维护与保养建议
定期检查
定期对带炉水循环泵进行检查，关注轴承、密封件、润滑系统等 关键部位，确保设备运行正常。
保养流程
建立完善的保养流程，包括定期更换轴承润滑脂、检查密封件磨损 情况、清理设备表面等，以延长设备使用寿命。
04
检查温度
检查设备的温度，确保没有过热 现象。
定期维护
定期对设备进行维护，如更换润 滑油、清洗滤网等。
03
带炉水循环泵启动过程异常情 况处理
Chapter
无法启动
01
02
03
电源故障
单晶炉循环水自控系统说明书
单晶炉循环水自控系统说明书一：流程简介脱盐水自脱盐水站来，经过XV-13141切断阀进入25度循环水罐V1322，25度水经过P1322ABC 加压后，通过板式换热器E-1321，E-1322将温度控制在25℃，经过XV-13143后，送往各单晶炉做为循环降温水，保证单晶炉运行在正常范围内。
P1322ABC供水总管压力的控制调节通过PV-13142调节回水量达到稳定压力的目标。
为了预防在单晶炉正常运行时，循环脱盐水系统发生意外压力降低无法供水的情况，设计一个应急水罐V1323，在循环水泵压力低至某值（P-LL）时，将应急水罐内的水通过静压及罐顶空气压力控制，将应急水罐水投入到单晶炉，再回流至V1322。
应急水箱的水位通过增压泵P1323AB将脱盐水送入。
详细流程图见PID图。
二：PLC控制方案1，常规控制（1）应急水罐顶部压力PIC13001控制 :设定一个应急水罐顶部压力控制指标值，由带压空气补充PV13001阀和放空PV13002共同作用调节。
（2）应急水罐水位补水控制，设定一个上限水位（85%）和一个下限水位（60%），当液位变送器测量到水位低于下限水位时，启动补水泵（由操作人员选定A泵或B泵），到达设定下限时，停止运行的泵，补水结束。
如果有异常，当水位到达大于85%（比如90%），小于60%（比如55%）时，黄色报警，当更超出此范围师，红色并蜂鸣报警。
（3）循环水泵出口压力控制PIC-13142，通过变送器测得PI-13142，控制回流至水罐的调节阀PV-13142的开度控制回流量，保证供水总管的压力控制稳定在工艺要求指标。
（4）板式换热器出口温度控制TIC-13145，通过TV-13145循环水量大小的控制，进过板式换热器，调节25℃水的温度达到控制范围的指标。
（5）V1322S水罐水位控制，当低于一个水位时，打开XV13141，如果水位还低，则再打开XV13004，从应急水罐补水。
到达一个上限水位后，关闭XV13141（XV13004，如果打开），2，连锁保护（6）P1322abc泵出口压力低于P1（低）时，启动备用泵（需要操作人员提前手动选定连锁投入和备用泵的确定）（7）P1322ABC泵出口压力低于P2（低低）时，先进行水泵运行状态的判断，如果有泵在运行状态，则打开应急水罐XV13003阀门直接并联进行补水。
单晶炉水循环操作示意图
消防水总阀打开， 泵组边。原则上消防水阀只能作为紧急用水，不能将消防水作常 用的单晶炉冷却水，即当消防水打开后，炉台只能作停炉处理。 注意阀门的关闭开启可同时多人进行，减少抢修时间。
事故恢复步骤：
当电源恢复后，需恢复泵组供水，关闭消防水供应。操作步骤如下： 1.按下水泵控制柜上水泵启动按钮，注意三个按钮两用一备，启动两个 即可。
单晶炉冷却水系统操作流程
现场培训
电控柜面板示意
绿色指示灯亮为运行灯，红色灯亮为停止
三个泵两用一备及应急消防水阀 示意图
应急消防水支路阀门，每组泵配备一个
水泵共有三个泵为一组，二用一备，有标识牌标明，备用泵为常闭，运行泵为常开
消防水阀位置
车间消防水 总阀
停电停水阀门操作
停电应急处理： 停电后水泵控制柜面板指示灯全灭，自停电起等待三分钟左右，等配电 房送电（市电或发电机发电），如三分钟过后还未送上电即可作应急事 故处理。 将三个泵的水路阀门关闭。
2.缓慢打开两个运行水泵的管道阀门，注意水压应保持在0.18以内平 稳，关闭消防水支路阀门。如人手够的情况下建议同时操作三个阀门。 前提是保障水压平稳。
3.注意，车间应急水总阀应处于常开状态，支路应急水阀门应处于常闭 状态。平时加强巡检，发现问题及时修复。
水泵切换操作
水泵的切换操作： 运行中如遇水压异常或水泵电机异响，检查有 水泵电机异常，及时报机修切换。切换步骤为： 在泵组控制柜上将备用泵开启（按备用泵启动 按钮），关闭异常泵电源，关闭故障水泵阀 门，同时打开备用泵阀门，观察单晶炉水压是 否正常，检查备用泵运行电流是否正常。并及 时修复故障水泵或更换备用泵。正常切换水泵 操作步骤同上。 应急操作和水泵切换操作平时都应按报修流程 走，协助机修完成。紧急情况应每人都会操作。
锅炉原理课件：锅炉水循环方式
二、直流鍋爐
1、工作原理
• 直流鍋爐與自然迴圈鍋爐的主要差別在鍋內過程，而 爐內過程基本相同。
• 直流鍋爐沒有汽包，給水在給水泵壓頭的作用下，順 序流過熱水段、蒸發段和過熱段受熱面一次將給水全 部變成過熱蒸汽，蒸發區循環倍率K=1。
• 直流鍋爐由於沒有汽包，在加熱水和蒸發受熱面之間， 以及在蒸發和過熱受熱面之間都沒有固定的分界線。
直流鍋爐工作原理
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二、直流鍋爐
2、水冷壁的結構形式
• 早期采用的形式： a. 拉姆辛式(水準圍繞管圈式) b. 蘇爾壽式(回帶管圈式) c. 本生式(垂直管屏式)
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直流鍋爐水冷壁的基本形式 a. 水準圍繞管圈式 b. 回帶管圈式 c. 垂直管屏式
二、直流鍋爐
• 現代直流鍋爐采用的形式： a. 螺旋圍繞上升管屏式 b.一次垂直上升管屏式(UP型) c.爐膛下部多次上升、爐膛上 部一次上升管屏式(FW型)
自然迴圈回路
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一、自然迴圈鍋爐
• 因此，可得壓差平衡方程式： ρxj − ρss gH = ∆pxj + ∆pss
式中： ▪ ρxj, ρss分別為下降管和上升管中工質的平均密度 ，kg/m3； ▪ ∆pxj, ∆pss分別為下降管和上升管中的工質流動阻 力，Pa； ▪ H為汽包液位面到下集箱中心高度，m；
當流量和重位壓頭時工質的比容改變造成的。 • 由於出現了水動力特性的多值性，就可能使並列工作
的蒸發管中產生流量偏差及熱偏差，嚴重時，使管子 燒壞。
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二、直流鍋爐
• 蒸發管內進口水溫對管子中的流動特性有決定性影響。 當進口水溫低於飽和溫度時，整根管子分為兩段：熱 水段和蒸發段。
《锅炉及锅炉房设备》锅炉水循环及汽水分离
第一节 通风的作用和方式
• 通风过程
q 锅炉的“呼吸” 器官，也是调整 锅炉出力的手段
• 通风方式
q 自然通风 q 机械通风
• 负压通风 • 平衡通风 • 正压通风
锅炉的水循环及汽水分离
第一节 锅炉的水循环
• 锅炉水循环
q 水和汽水混合物在锅炉蒸发受热面回路中的循环流 动
• 自然循环
q 水和汽水混合物利用其密度差所产生循环流动
• 强制循环
q 借助水泵的压头使工质流动的循环
• 蒸汽锅炉基本采用自然循环
一、自然循环的基本概念
• 循环回路的总高度H 自然循环回路示意图
H=Hs+Hq
加热水区段
ห้องสมุดไป่ตู้
含汽区 段
Pg Hs Hq ' g Pxj Pg Hs ' g Hq q g Pss Pa
水循环的
运动压头
Hq g ' q Pxj Pss
循环回路的 Pa 流动总阻力
当回路中水循环处于稳定流动时， 水循环的运动压头等于整个循环回路的流动阻力
自然循环
Hq g ' q Pxj Pss
Pa
• 提高运动压头措施
q 增大循环回路的高度（高压锅炉） q 加强上升管的受热
Pyx Hq g ' q Pss
Pa
• 水循环回路的有效压头
运动压头和上升管阻力之差
• 自然循环回路的有效压头愈大，也即循环的水 量愈大，水循环愈强烈良好
二、水循环的可靠性指标
• 可靠性要求
q 所有受热的上升管得到足够的冷却——上升 管内有连续的水膜冲刷管壁，保持一定的流 速，以防止管壁结盐和超温
• 指标
单晶炉热场结构ppt课件共35页
石墨坩埚，有单体，两瓣合体 ，以及CZ1#所使用的三瓣合体 等不同形状。它们从节约成本 、使用方便来比较各有所长。 右图为三瓣埚的实物图。
保温盖、导流筒
保温盖由保温上盖、保温碳 毡和保温下盖组成。即两层 环状石墨之间夹一层石墨碳 毡组成，其内径的大小与导 流筒外径相匹配，平稳的放 在保温罩面板上。
导流筒，由内外筒之间夹一 层石墨碳毡组成。导流筒主 要是为了控制热场的温度梯 度和引导氩气流。
压环
压环，由几截弧形环构成的 一个圆形环状石墨件，它放 置在盖板与炉壁接触处，是 为了防止热量和气体从炉壁 与盖板的缝隙间通过。
热场有大有小，它是按照所用的石英坩埚的直径大小 来划分的，目前国内热场从￠12″～ ￠28 ″都有，但 以￠18″～ ￠22″居多。
一、热场结构
直拉单晶炉的热系统，也就是所谓的热场，是指为了 熔化硅料，并使单晶生长保持在一定温度下进行的整 个系统。
热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩 埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导 流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，炉底、金属电极 、托杆、都设置了保护板、保护套。
热 场 示 意 图
加热器
加热器是热场中很重要的部件 ，是直接的发热体，温度最高 的时候可以达到1600℃以上。
常见的加热器有三种形状，筒 状、杯状、螺旋状。目前绝大 多数加热器为筒状，硅单晶分 厂CZ1#厂房使用的是直筒式形 状的加热器。右图为加热器。
加热器
一般情况下，加热器是高纯 石墨加工，每个半圆筒各位 一组，纵向开缝分瓣，组成 串联电阻，两组并联后形成 串并联回路。 右下图是倒立的加热器，由 图可知，在加热器下面有两 个清晰的连接孔，这些孔是 用来连接石墨电极。
上虞晶盛单晶炉操作说明书
设备要求
运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）
（1）冷却水要求
水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上；
炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；
（2）以上操作过程中，要注意人身安全和设备安全！只要存在压砸的可能，禁止人体进入该空间。
打扫炉内卫生
（1）拿石墨器件的时候必须戴上线手套，严禁赤手接触，使用吸尘管道时，要注意防止管道被烫化在石墨件上。石墨件较烫时，不能戴薄膜手套；
（2）清除取晶时可能飞溅在隔离阀装置上的脏物和碎片；
（3）所有石墨件必须彻底打扫干净。干净的标准是：容易取出的石墨部件：导流筒、上下保温盖、上保温筒、三瓣埚、石墨埚托，必须打扫到全部露出石墨的本色，特别是不能留有黄色的挥发物。不容易取出的石墨件：加热器、主保温筒、炉底护盘等等，在大清的时候打扫，仍然要求打扫出石墨的本色。打扫石墨件时，可用百洁布；
（3）装坩埚时要防止将坩埚外壁的石英渣子带入埚中；
（4）若发现石英坩埚异常应及时与工段长或单晶技术主管联系，经判断不能使用后，进行更换；
（5）装完坩埚后，另换薄膜手套，进行装料。
装料
（1）用剪刀把多晶料包装袋沿塑料线剪开，注意外层包装袋不能接触到料；
（2）装料技巧：
a、首先选择小碎块（直径小于20mm）的料铺放到埚底，应尽量铺满坩埚底部；b、选择较小块（直径小于40mm）的料继续装入埚的中下部，中下部的料可以装的紧凑些并且贴近埚壁，但应自然堆砌，不能硬挤。与坩埚内壁接触的料块，应尽量选择具有表面光滑的球型面的料，避免尖锐端对着埚壁。
单晶硅水循环车间工艺流程
单晶硅水循环车间工艺流程英文回答：The process flow of the monocrystalline silicon water circulation workshop includes several steps:1. Raw material preparation: In this step, the raw material, which is silicon dioxide, is prepared. It is usually obtained from quartzite or silica sand. The raw material is crushed and then undergoes a series of chemical reactions to obtain pure silicon dioxide.2. Melting and purification: The pure silicon dioxide is then melted in a high-temperature furnace. The temperature is carefully controlled to ensure the formation of a single crystal structure. The molten silicon is then purified to remove impurities such as metal oxides and carbon.3. Crystal growth: In this step, the molten silicon isslowly cooled down to form a solid crystal. The crystal growth process can be done using different methods such as the Czochralski method or the floating zone method. The crystal is pulled upwards from the molten silicon, and a single crystal ingot is formed.4. Ingot slicing: The single crystal ingot is then sliced into thin wafers using a diamond wire saw. These wafers are the base material for the production of solar cells.5. Wafer surface treatment: The wafers undergo several surface treatments to remove any impurities or defects. This includes processes like etching, polishing, and cleaning.6. Doping: In this step, impurities are intentionally added to the wafers to create the desired electrical properties. This is done by diffusing impurity atoms into the wafer surface and then annealing it to activate the dopants.7. Photolithography: Photolithography is used to transfer a pattern onto the wafer surface. A layer of photoresist is applied to the wafer, and then a mask is used to expose the photoresist to light. The exposed areas are then etched away, leaving behind the desired pattern.8. Etching and deposition: Various etching and deposition processes are performed to create the different layers required for the solar cell. This includes the deposition of anti-reflective coatings, metal contacts, and passivation layers.9. Testing and sorting: The finished wafers are then tested to ensure their quality and electrical performance. They are sorted based on their characteristics and classified into different grades.10. Module assembly: The sorted wafers are then assembled into solar modules. This includes connecting the wafers in series and encapsulating them in a protective layer. The modules are then tested for performance and durability.11. Packaging and shipping: The final step involves packaging the solar modules and preparing them for shipping to customers.中文回答：单晶硅水循环车间的工艺流程包括以下几个步骤：1. 原料准备，在这个步骤中，原料硅二氧化物被准备出来。
单锅筒水管锅炉炉膛的水循环回路流程
单锅筒水管锅炉炉膛的水循环回路流程下载提示：该文档是本店铺精心编制而成的，希望大家下载后，能够帮助大家解决实际问题。
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单晶炉冷却水循环过程
单晶炉冷却水循环过程嘿，朋友们！今天咱来聊聊单晶炉冷却水循环过程这档子事儿。
你想想啊，这单晶炉就好比是一个娇贵的宝贝疙瘩，得精心呵护着。
而冷却水呢，就像是宝贝疙瘩的贴心小跟班，时刻为它服务。
那这冷却水是咋循环的呢？简单来说，就是从一个地方出来，跑一圈，再回到原来的地方。
就跟咱出去遛弯儿似的，逛一圈还得回家不是？水从进水口欢快地跑进去，就像咱早上精神饱满地出门一样。
然后呢，它在单晶炉里溜达一圈，给炉体降降温，让它别热得发慌。
这时候的水啊，就带着炉体的热气，那感觉就像咱跑完步浑身热乎乎的。
接着，热乎乎的水就跑到冷却装置那里去了，就跟咱跑完步找个凉快地儿歇会儿一样。
在冷却装置里，水把热气一甩，又变得清清爽爽的啦。
然后呢，清清爽爽的水又开开心心地回到进水口，准备开始下一轮的循环。
这循环来循环去的，可不就保证了单晶炉能一直舒舒服服地工作嘛！你说这冷却水循环是不是挺有意思的？它就这么默默地工作着，要是没有它，那单晶炉还不得热得冒烟啦？这就好比是一场精彩的演出，单晶炉是主角，那冷却水就是幕后的大功臣啊！咱再想想，如果冷却水循环出了问题，那可不得了哇！单晶炉就像没了乘凉的大树，那不热坏啦？所以啊，咱可得好好关注这冷却水循环，别让它出啥岔子。
比如说，要是水流量不够了，那不就跟咱跑步喘不上气儿似的，能好受吗？或者冷却装置出问题了，水凉不下来，那不是白忙活一场嘛！咱平时可得多留意留意，时不时检查检查，就像咱时不时得看看自己身体有没有不舒服一样。
发现问题及时解决，别等问题大了才着急忙慌的。
总之呢，单晶炉冷却水循环过程虽然看起来不那么起眼，但它的作用可大着呢！咱可不能小瞧了它。
它就像一个默默守护的卫士，保障着单晶炉的正常运行。
咱得好好对待它，让它一直好好地为我们服务呀！大家说是不是这个理儿呢？。
上虞晶盛单晶炉操作说明书
第一章单晶生长条件设备要求运行条件（以下以TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3 公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上；炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6 公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250 升每分钟，单独电源要求供水量不低于20 升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH 值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。
连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。
（2）压缩空气要求气压：≥7 公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。
流率：≥升每秒；汽缸容积：主真空球阀：2 升；辅助真空球阀：升。
（3）电力要求相制：3 相AC380V(±10%)/50Hz；功率：≥192KVA。
配电柜应装有500V、400V 的空气开关，和380V/400A的隔离开关。
（4）炉子真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTo r r/hr。
（热场已经煅烧完全）日常维护（1）坩埚轴驱动部件的维护保养 a、经常检查坩埚轴的冷却水是否通畅，避免冷却不充分而损坏坩埚轴；b、每个月对下轴丝杠至少清理一次，每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多）润滑油，然后上下快升降两次。
（2）提拉头的维护保养 a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重毛刺等），如有损坏，立即更换； b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角，否则在运行过程中会引起抖动。
（3）水冷系统的维护保养 a、每次加热前检查水流量是否充足，确保所有水路没有堵塞，水温传感器运行正常； b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。
（4）翻板阀的维护保养每次装炉前检查阀口密封圈是否完好，翻板阀操作是否轻松、无卡滞，底部挥发物是否打扫干净，如发现问题应及时排除。
锅炉给水流程图
1、锅炉给水流程图（画图）2.过热器减温水系统过热器系统设有三级喷水减温器，用来调节过热蒸汽温度，一级减温器布置在低过出口集箱至大屏进口集箱的连接管上，二级减温器布置在全大屏过热器出口集箱至屏式过热器进口集箱的连接管上，共两只，三级减温器布置在屏式过热器出口集箱至高温过热器进口集箱的连接管上，共两只。
一级减温器在运行中作汽温的粗调节，是过热汽温的主要调节手段。
当切除高加时，喷水量剧增，此时大量喷水必须通过一级减温器，以防全大屏过热器、屏式过热器和高温过热器超温。
三级减温器作为调节过热蒸汽左、右侧的汽温偏差和汽温微调用，确保蒸汽出口温度。
二级减温器主要调节大屏过热器出口汽温及其左右汽温偏差。
三级减温器均采用多孔喷管式垂直于减温器筒体轴线的笛形管上有许多小孔，减温水从小孔喷出并雾化后，与同方向的蒸汽进行混合，达到降低汽温的目的，调温幅度通过调节喷水量加以控制。
过热器的作用：过热器的作用是锅炉受热面的重要组成部分，它的作用是将饱和蒸汽加热成为具有一定温度的过热蒸汽。
在实际工作时，要求锅炉负荷或其它工况发生变化时，能保证过热蒸汽温度维持在规定范围内。
再热器的作用加热汽轮机高压缸排出的蒸汽，使之成为具有一定温度的再热蒸汽，然后再送回到汽轮机的中低压缸内继续作功。
省煤器再循环的作用在锅炉启动初期，汽包上水结束后，应开启省煤器再循环电动门，以便在点火后升压升温期间使省煤器形成水循环，在汽包连续上水后，关闭省煤器再循环电动门。
对流式过热器的汽温变化具有对流特性，即它的出口温度是随锅炉蒸发量的增大而升高。
辐射和半辐射辐射式过热器的汽温特性与对流式过热器相反，即辐射式过热器的出口温度随锅炉蒸发量的增大而降低。
半辐射过热器同时吸收炉内辐射热量和烟气冲刷的对流热量，因此它的汽温特性介于辐射和对流之间，汽温随蒸发量的变化比较小。
当锅炉蒸发量增大时，其出口汽温可能又小量的增加，也可能有小量的降低，主要取决于辐射和对流两部分吸热量的比例。
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2.缓慢打开两个运行水泵的管道阀门，注意水压应保持在0.18以内平 稳，关闭消防水支路阀门。如人手够的情况下建议同时操作三个阀门。 前提是保障水压平稳。
3.注意，车间应急水总阀应处于常开状态，支路应急水阀门应处于常闭 状态。平时加强巡检，发现问题及时修复。
水泵切换操作
水泵的切换操作： 运行中如遇水压异常或水泵电机异响，检查有 水泵电机异常，及时报机修切换。切换步骤为： 在泵组控制柜上将备用泵开启（按备用泵启动 按钮），关闭异常泵电源，关闭故障水泵阀 门，同时打开备用泵阀门，观察单晶炉水压是 否正常，检查备用泵运行电流是否正常。并及 时修复故障水泵或更换备用泵。正常切换水泵 操作步骤同上。 应急操作和水泵切换操作平时都应按报修流程 走，协助机修完成。紧急情况应每人都会操作。
单晶炉冷却水系统操作流程亮为运行灯，红色灯亮为停止
三个泵两用一备及应急消防水阀 示意图
应急消防水支路阀门，每组泵配备一个
水泵共有三个泵为一组，二用一备，有标识牌标明，备用泵为常闭，运行泵为常开
消防水阀位置
车间消防水 总阀
停电停水阀门操作
停电应急处理： 停电后水泵控制柜面板指示灯全灭，自停电起等待三分钟左右，等配电 房送电（市电或发电机发电），如三分钟过后还未送上电即可作应急事 故处理。 将三个泵的水路阀门关闭。
消防水总阀打开， 泵组边上的支路消防水阀门打开。
检查炉台水压。原则上消防水阀只能作为紧急用水，不能将消防水作常 用的单晶炉冷却水，即当消防水打开后，炉台只能作停炉处理。 注意阀门的关闭开启可同时多人进行，减少抢修时间。
事故恢复步骤：
当电源恢复后，需恢复泵组供水，关闭消防水供应。操作步骤如下： 1.按下水泵控制柜上水泵启动按钮，注意三个按钮两用一备，启动两个 即可。