【CN109994416A】蓝膜、蓝膜带及制作方法【专利】
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910291368.0
(22)申请日 2019.04.12
(71)申请人 德淮半导体有限公司
地址 223300 江苏省淮安市淮阴区长江东
路599号
(72)发明人 黄高 田茂
(74)专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专
利商标事务所 11038
代理人 陈华成
(51)Int.Cl.
H01L 21/683(2006.01)
(54)发明名称
蓝膜、蓝膜带及制作方法
(57)摘要
本公开涉及蓝膜、蓝膜带及制作方法。根据
本公开的一个方面，提供了一种蓝膜，包括：树脂
层，所述树脂层具有第一侧和第二侧，并且所述
树脂层具有粘性；蓝胶层，所述蓝胶层覆盖所述
树脂层的第一侧，并且所述蓝胶层的一侧连接至
所述树脂层的第一侧；底膜，所述底膜覆盖所述
树脂层的第二侧，所述树脂层的粘性使得底膜与
所述树脂层的第二侧可拆卸地连接；其中所述树
脂层和所述蓝胶层的尺寸设计成与铁圈和晶圆
的尺寸匹配，使得当所述蓝胶层的另一侧附接至
铁圈和晶圆时所述树脂层和所述蓝胶层能够固
定铁圈和晶圆而无需裁切蓝胶层。权利要求书1页 说明书5页 附图4页CN 109994416 A 2019.07.09
C N 109994416
A
权 利 要 求 书1/1页CN 109994416 A
1.一种蓝膜，其特征在于，包括：
树脂层，所述树脂层具有第一侧和第二侧，并且所述树脂层具有粘性；
蓝胶层，所述蓝胶层覆盖所述树脂层的第一侧，并且所述蓝胶层的一侧连接至所述树脂层的第一侧；
底膜，所述底膜覆盖所述树脂层的第二侧，所述树脂层的粘性使得底膜与所述树脂层的第二侧可拆卸地连接；
其中所述树脂层和所述蓝胶层的尺寸设计成与铁圈和晶圆的尺寸匹配，使得当所述蓝胶层的另一侧附接至铁圈和晶圆时所述树脂层和所述蓝胶层能够固定铁圈和晶圆而无需裁切蓝胶层。
2.根据权利要求1所述的蓝膜，其特征在于，当所述蓝胶层的另一侧附接至铁圈和晶圆时所述底膜能够从所述树脂层的第二侧拆卸。
3.根据权利要求1所述的蓝膜，其特征在于，所述树脂层和所述蓝胶层被设计成圆形，并且所述树脂层和所述蓝胶层的直径设计成大于铁圈的内直径而小于铁圈的外直径。
4.根据权利要求1所述的蓝膜，其特征在于，所述树脂层的尺寸被设计成等于所述蓝胶层的尺寸。
5.根据权利要求1所述的蓝膜，其特征在于，所述底膜的尺寸大于所述树脂层和所述蓝胶层的尺寸以便于所述底膜能够从所述树脂层的第二侧拆卸。
6.根据权利要求1所述的蓝膜，其特征在于，所述树脂层增大所述蓝膜对晶圆的支撑力。
7.根据权利要求1所述的蓝膜，其特征在于，所述树脂层为透明的。
8.一种制作蓝膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
在底膜上涂覆树脂层，所述树脂层具有粘性使得底膜能够从所述树脂层分离；
在所述树脂层上涂覆蓝胶层；
其中所述树脂层和所述蓝胶层的尺寸设计成与铁圈和晶圆的尺寸匹配，使得当所述蓝胶层附接至铁圈和晶圆时所述树脂层和所述蓝胶层能够固定铁圈和晶圆而无需裁切蓝胶层。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述树脂层和所述蓝胶层被设计成圆形，并且所述树脂层和所述蓝胶层的直径设计成大于铁圈的内直径而小于铁圈的外直径。
10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述树脂层的尺寸被设计成等于所述蓝胶层的尺寸。
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