多晶硅片切片工艺介绍 PPT
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切断：切断机
（产生：头尾料）
切方：切方机
（产生：边皮料）
·
粘胶：
各工艺流程介绍
单晶硅片生产与加工●切片
设备：切片机 切割材料及作用： 钢丝：砂浆的载体 浆料（砂+液）：冷却、悬浮 砂（碳化硅，菱形）：切割作用 液（乙二醇）：悬浮作用
·
各工艺流程介绍
单晶硅片生产与加工●清洗
清洗原理：超声波清洗。 清洗目的：除去硅片表面
切片生产工艺简介
切片工艺的意义：
切片是最后一道加工工序，切 片技术的好坏直接关系到最终 产品-----硅片质量的好坏，硅 片厚度与质量直接关系到生产 成本的高低。
切割原理
切片的原理及过程：利用切割钢丝带动砂浆，利用砂浆 中SiC微粒与晶棒进行摩擦，达到切割的目的。并不是 钢丝切割晶棒，钢丝的摩尔硬度为5.5左右，单晶硅的 摩尔硬度为6.5左右，而SiC的摩尔硬度为9.25-9.5左右， 因此钢丝是切割不了晶棒的，这也是解释当砂浆流量异 常及砂浆中SiC含量过低时容易断线的原因。切割的过 程就是将晶棒固定于进给台，进给台按一定的下压速度 将晶棒与高速运动的线网接触，利用线网带动砂浆中的 SiC切割晶棒，根据不同主辊槽距和钢丝线径将晶棒切 割成0.2mm左右厚的硅片。
液体 纯净水 纯净水+柠檬酸 纯净水+清洗剂 纯净水 纯净水 纯净水 纯净水
硅片参数
多晶硅片
切割设备介绍
设备介绍
切断机床
磨面机
开方机
NTC切片机
MB切片机
清洗机
清洗机
甩干机
非常感谢
切割原理示意图：
切割材料及作用： 钢丝：砂浆的载体 浆料（砂+液）：冷却、悬浮 砂（碳化硅，菱形）：切割作 用 导轮：放置钢线
硅片生产工艺流程
拉晶 切断 切方 切片 清洗 检验
分选
腐蚀
铸锭 剖方 切片 清洗 检验
多晶硅片生产流程
பைடு நூலகம்晶硅片生产流程：
多晶各工艺流程介绍
铸锭
↑多晶硅锭
↑多晶炉
各工艺流程介绍
开方
多晶硅块
多晶边体料 顶料、底料
去头尾
各工艺流程介绍
切片
单晶硅片生产流程
各工艺流程介绍
单晶硅棒生产与加工●拉晶
单晶车间：进行单晶硅棒的生产。 设备：单晶炉（日本、瑞士进口设备）
籽晶、石墨件、石英坩埚
（真空、高温、高压）
↑单晶硅棒
←装料（埚底料、吊料）
各工艺流程介绍
单晶硅棒生产与加工●切断&切方
附着的浆料 和硅粉。
承 载 器：放25片单晶硅片。 清洗提篮：放8个承载器。
清洗槽 第一清洗槽 第二清洗槽 第三清洗槽 第四清洗槽 第五清洗槽 第六清洗槽 第七清洗槽
温度 40—45 C° 40—45 C° 73---77 C° 73---77 C° 40---45 C° 40---45 C° 35---45 C°
（产生：头尾料）
切方：切方机
（产生：边皮料）
·
粘胶：
各工艺流程介绍
单晶硅片生产与加工●切片
设备：切片机 切割材料及作用： 钢丝：砂浆的载体 浆料（砂+液）：冷却、悬浮 砂（碳化硅，菱形）：切割作用 液（乙二醇）：悬浮作用
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各工艺流程介绍
单晶硅片生产与加工●清洗
清洗原理：超声波清洗。 清洗目的：除去硅片表面
切片生产工艺简介
切片工艺的意义：
切片是最后一道加工工序，切 片技术的好坏直接关系到最终 产品-----硅片质量的好坏，硅 片厚度与质量直接关系到生产 成本的高低。
切割原理
切片的原理及过程：利用切割钢丝带动砂浆，利用砂浆 中SiC微粒与晶棒进行摩擦，达到切割的目的。并不是 钢丝切割晶棒，钢丝的摩尔硬度为5.5左右，单晶硅的 摩尔硬度为6.5左右，而SiC的摩尔硬度为9.25-9.5左右， 因此钢丝是切割不了晶棒的，这也是解释当砂浆流量异 常及砂浆中SiC含量过低时容易断线的原因。切割的过 程就是将晶棒固定于进给台，进给台按一定的下压速度 将晶棒与高速运动的线网接触，利用线网带动砂浆中的 SiC切割晶棒，根据不同主辊槽距和钢丝线径将晶棒切 割成0.2mm左右厚的硅片。
液体 纯净水 纯净水+柠檬酸 纯净水+清洗剂 纯净水 纯净水 纯净水 纯净水
硅片参数
多晶硅片
切割设备介绍
设备介绍
切断机床
磨面机
开方机
NTC切片机
MB切片机
清洗机
清洗机
甩干机
非常感谢
切割原理示意图：
切割材料及作用： 钢丝：砂浆的载体 浆料（砂+液）：冷却、悬浮 砂（碳化硅，菱形）：切割作 用 导轮：放置钢线
硅片生产工艺流程
拉晶 切断 切方 切片 清洗 检验
分选
腐蚀
铸锭 剖方 切片 清洗 检验
多晶硅片生产流程
பைடு நூலகம்晶硅片生产流程：
多晶各工艺流程介绍
铸锭
↑多晶硅锭
↑多晶炉
各工艺流程介绍
开方
多晶硅块
多晶边体料 顶料、底料
去头尾
各工艺流程介绍
切片
单晶硅片生产流程
各工艺流程介绍
单晶硅棒生产与加工●拉晶
单晶车间：进行单晶硅棒的生产。 设备：单晶炉（日本、瑞士进口设备）
籽晶、石墨件、石英坩埚
（真空、高温、高压）
↑单晶硅棒
←装料（埚底料、吊料）
各工艺流程介绍
单晶硅棒生产与加工●切断&切方
附着的浆料 和硅粉。
承 载 器：放25片单晶硅片。 清洗提篮：放8个承载器。
清洗槽 第一清洗槽 第二清洗槽 第三清洗槽 第四清洗槽 第五清洗槽 第六清洗槽 第七清洗槽
温度 40—45 C° 40—45 C° 73---77 C° 73---77 C° 40---45 C° 40---45 C° 35---45 C°