配管材料认识及如何选料

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* CO & O3 – Gasket must be SUS.
about Valves…….
• • 1.材質同管件 2.常用種類 : * 手動閥 ( Manual Valve ) : a.Ball Valve 球閥 b.Bellows Valve 波紋管閥 c.Diaphragm Valve 膜片閥 * 氣動閥 ( Air Valve ) * 逆止閥 ( Check Valve ) * 其他 3.常用廠牌 : KITZ / OHNO / IHARA / MOTOYAMA / NUPRO….
* 選用壓力範圍適合或流量符合之閥件
• 視盤面組裝選擇料件接頭型式
* VCR / SWG / Welding / Flange…..
about Pipe & Tube…….
• 1.定義: * Pipe :一般指 1” 以上之管子, 以 公稱內徑(ID) 配合壁厚, 作為量度之尺寸. * Tube :一般指 3/4” 以下之管子, 以外徑(OD) 及壁厚作為 量度之尺寸. * 規格 : 6M/stick or 4M/stick or 100M/roll… 2.常用材質: SS304 /SS304L & SS316 / SS316L & VIM+VAR & HC-22… 3.表面處理等級 : BA – Bright Anneal 表面研磨 EP – Electro Polish 表面研磨 + 電解研磨
* 高壓 / 低壓 / 一般壓力
* 2P 無表頭 / 3P or 4P 單表頭 或雙表頭 * VCR / SWG / Flange * N2O – Seat material must be Vespel.
• 4.注意: (以 CROWN 為例) * Bulk Gas 一般使用 316L BA 或 316L EP 等級 / VCR 或SWG
about Gas Filter ……. • 1. 功能: 過濾氣體中的微粒子 ( Particle ) • 2. 過濾等級選擇 , 即濾徑尺寸(particle size) , 可分為: * 0.01um / 0.03um / 0.003um
• 3. 中心濾片 (Medium) 材質: PTFE / SS316L / NI
日 規 美 規
.SS316L BA .SS316L EP
Rmax <= 3 μm Rmax <= 0.7 μm
Ra <= 10 μ” Ra <= 3 μ”
• 4.等級: * Bulk Gas 一般使用 316L BA 或 316L EP 等級 * Specialty Gas : 易燃性 / 惰性 氣體 – 316L EP 毒性 – 雙套管 ( 304 AP + 316L EP ) / 單管 316L EP 腐蝕性 氣體 – VIM + VAR
(以 Mykrolis 為例)
毒性 / 易燃性 / 惰性 氣體 – PTFE 系列 腐蝕性 氣體 – PTFE , no SS316L for CO - PTFE type 過濾效果 PTFE (F) SS316L (M) Nickel (Ni) 好 很好 很好 防漏性 不好 好 很好 抓取率 > 10.8 6.2 > 10.8 抗腐蝕效果 N/A 很差 好
上海茂華電子工程技術有限公司 SHANGHAI PURITIC CO., LTD
配管材料認識及如何選料
1.氣體工程常用材料區分
2.選用料件依據
1.常用材料種類 • • • • • • • • • 管件-Pipe & Tube 連接配件-Fittings 閥件-Ultra CleanValves 調壓閥-Pressure Regulator 壓力偵測器-Pressure Gauge & Transducer 逆止閥-Check Valve 過濾器-Gas Filter 真空產生器-Vacuum Generator 其他
WG - 2 F T1 - RR 2
系列 PTFE VCR 尺寸
Vent out
1/2”
about Vacuum Generator ……. • 1. 功能: 裝於 G/C / G/R / VMB / VMP 作為 Vent 抽氣使用 • 文氏管原理
Process in
¼”
GN2 in
¼”
< 符號認識 : >
2.選用材料依據
• 氣體種類 , 氣體特性
* 影響材料使用的等級 – AP / BA / EP / V+V / ….
• 業主需求及預算
* 有無指定廠牌或規格
• 依機台所需用量及本身接點選定料件尺寸
* 影響材料使用的尺寸 – Biblioteka Baidu” / ¾” / 15A / …….
• 依機台所需壓力及流量不同選擇材料型式
•
* NH3 – Check valve must be AFLAS type.
• 4. 備註: * 高壓閥 / 低壓閥 -- 依使用場所不同來選擇 * 兩通閥 / 三通閥 / 四通閥 / ….. : 依需求來選擇,注意流向選擇 三通閥 3 way – 流向 Flow Type ( KITZ )
A-type : AC B-type : AB
1/4” - R25 系列 3/8” - R35 系列 1/2” - RH1 系列 因考慮流量不同
* Specialty Gas : 毒性 / 易燃性 / 惰性 氣體 – 316L EP - L25 or R25 系列 腐蝕性 氣體 – VIM + VAR - L25SVA 系列
低壓性氣體 – 需選擇可調負壓的 type - L96SSA 系列 (-30”Hg~0~30 psi)
1/2"*1/4" R-TEE
OVER TUBE
接進機台或VMB端,焊STOP SPACE終止外套管
about Fittings…….
• • 1.材質同管件 2.常用種類 : a.Nut + Gland + Gasket b.Elbow,Tee,Reducer c.Cap,Plug d.Connector e.others… 3.型式及規格 : 一般可分為 VCR / SWG / WELDING /螺牙接頭/FLANGE 尺寸從 1/8“~1”(VCR/SWG)及1/4“~300A(WELD/FLANGE) 皆有, 又分 短接頭 SCM (micro) or 長接頭 SCL (long) & SCF (以Kitz作說明) 4.常用廠牌 : KITZ / HAM-LET / IHARA / SWAGELOK /FUJIKIN….
低壓性氣體 -- 316L EP + Heater Line + Warm Cover
1/4" MENUAL VALVE
PRESSURE GAUGE
外套管SUS304-AP 1/2"
OUTSIDE TUBE 1/2" WELD
內套管SUS316L-EP(V+V) 1/4"
INSIDE TUBE 1/4" TO VMB SPRING
A
C
A
C
B
系 列 尺 寸 常 關 狀 態 三 通 閥 母 接 頭 內 部 材 質
B
KD - 4 M B - VF C - A - EP
流 向 材 質
about Regulator ……. • 1.材質同管件
• 2. Seat 材質: PCTFE , SS316L , Kel-F81…
• 3.常用種類 :
• 4. 流量考量 (flow rate) : 分 一般流量 及 大流量 30 slpm / 100 slpm / 300 slpm / 1500 slpm…. • 5. Connecting type: VCR or SWG or Welding * CO – 濾片材質為 PTFE
• 6.注意: 一般常用 濾片材質 * Bulk Gas – PTFE * Specialty Gas :
for N2O - Vespel type
about Pressure Gauge & Transducer ……. • 1.常用種類區別 : * Pressure Gauge ( PG ) 壓力表頭 , 指針式 , C122 * Pressure Switch ( PS ) 壓力開關 , 指針式 , 帶傳輸線 ,IPS 122 * Digital Pressure Gauge ( PID ) 電子式壓力表頭 * Pressure Transducer ( PT ) 壓力傳送器 • 2. 使用於: 盤面 及 管路上 • 3. 壓力範圍大致可分為 : * 高壓 (0~3000 psi) * 低壓 (-30”Hg~0~30 psi) (-30”Hg~0~160 psi) • 4. 常用電源 : 24V DC , 4~20 mA DC