真空泵机组系统流程图20150411-Model
泵结构和工作原理动态图
泵结构和工作原理动态图2015-04-15 09:09:13| 发布人：杨卫平| 浏览(153)| 评论(0)铸造英才网小编整理的泵结构和工作原理动图，请参考：1、活塞泵基本原理借活塞在汽缸内的往复作用使缸内容积反复变化，以吸入和排出流体。
2、往复泵工作原理利用偏心轴的转动通过连杆装置带动活塞的运动，将轴的圆周转动转化为活塞的往复运动。
活塞不断往复运动，泵的吸水与压水过程就连续不断地交替进行。
特殊结构3、水环式真空泵工作原理水环式真空泵叶片的叶轮偏心地装在圆柱形泵壳内。
泵内注入一定量的水。
叶轮旋转时，将水甩至泵壳形成一个水环，环的内表面与叶轮轮毂相切。
由于泵壳与叶轮不同心，右半轮毂与水环间的进气空间4逐渐扩大，从而形成真空，使气体经进气管进入泵内进气空间。
随后气体进入左半部，由于毂环之间容积被逐渐压缩而增高了压强，于是气体经排气空间及排气管被排至泵外。
4、罗茨真空泵工作原理罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。
由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。
由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。
当转子继续转动时，气体排出泵外。
一般来说，罗茨泵具有以下特点：●在较宽的压强范围内有较大的抽速；●起动快，能立即工作；●对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；●转子不必润滑，泵腔内无油；●振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；●驱动功率小，机械摩擦损失小；●结构紧凑，占地面积小；●运转维护费用低。
因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业部门得到广泛的应用。
5、旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。
其工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。
水环真空泵工作原理flash动画图
水环真空泵工作原理flash动画图水环式真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限压力，对于单级泵为2.66～9.31kPa；对于双级泵为0.133～0.665kPa。
水环式真空泵也可用作压缩机，它属于低压的压缩机，其压力范围为（1～2）X105Pa表压力（在特定的条件下）。
水环式真空泵在石油、化工、机械、矿山、轻工、造纸、动力、冶金、医药和食品等工业及市政与农业等部门的许多工艺过程中，如真空过滤、真空送料、真空脱气、真空蒸发、真空浓缩和真空回潮等，得到了广泛的应用，由于水环泵压缩气体的过程是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘，含水的气体，因此，水环式真空泵的应用日益增大。
如图为水环式真空泵的工作原理示意图，水环泵是由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成的。
叶轮被偏心的安装在泵体中，当叶轮按图示方向旋转时，进入水环式真空泵泵体的水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个与泵腔形状相似的等厚度的封闭的水环。
水环的上部内表面恰好与叶轮轮毂相切（如Ⅰ-Ⅰ断面），水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上，叶片在水环内有一定的插入深度）。
此时，叶轮轮毂与水环之间形成了一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。
如果以叶轮的上部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时，小腔的容积逐渐由小变大（即从断面Ⅰ-Ⅰ到Ⅱ-Ⅱ），压强不断的降低，且与吸排气盘上的吸气口相通，当小腔空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进小腔，此时正处于吸气过程。
当吸气完成时与吸气口隔绝，从Ⅱ-Ⅱ到Ⅲ-Ⅲ断面，小腔的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程，当压缩的气体提前达到排气压力时，从辅助排气阀提前排气。
从断面Ⅲ-Ⅲ到Ⅰ-Ⅰ，而与排气口相通的小腔的容积进一步地减小压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体从排气口被排出，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。
真空系统+真空泵
具备的。
在钢液真空精炼设备上选用水环泵应考虑如下几点:
1) 水 环泵工作时必须提供连续不断的工作水,通常水为一次性使
用,以防止二次污染的水回到泵体,加重泵体及叶轮的磨损; 2) 由于水在真空状态下易沸腾及蒸发的特性,在选用水环泵时其 抽气能力及工作真空度都要留有充分余地,通常要大于额定值的20%以 上;
实例进行具体描述。
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真空系统
研1519
尹秉政
2150820027
1.真空系统
1.1 什么是真空系统？
用一句话来概括，真空系统就是用来获得有特定要求的真空度 的抽气系统。
1.2 真空系统的组成元件
一个较完善的真空系统由下列元件组成： 1．抽气设备：例如各种真空泵； 2．真空阀门； 3．连接管道；
4. 真空测量装置：例如真空压力表、各种规管；
3) 在钢液真空精炼设备上采用水环泵,可节省15%~30%的蒸汽,因
此,在用户蒸汽供给系统能力不足时可考虑采用;
5. 总结
在本次汇报中，首先简单介绍了真空系统 的相关内容；然后介 绍了真空系统中的抽气设备—真空泵；接着在各种真空泵中，选择
了水环泵 作为主要阐述对象；紧接着介绍了水环泵的应用，并通过
动态真空系统:系统中有气体流动,系统中各处压强不等,系统的各
截面有压强降落。凡是真空室或系统某处有放气或漏气的真空系统
均属此类。
1.4 真空系统分类
(1)按真空系统工作真空度的高低可分为低真空系统、中真空系统、 高真空系统和超高真空系统。 (2)按真空系统工作的清洁程度可分为有油真空系统(真空室有油蒸气 污染的)和无油真空系统(真空室无油蒸气污染的)。 (3)按真空系统的结构材料可分为玻璃真空系统(除了机械真空泵以外 全由玻璃制成)和金属真空系统。
常见泵结构和工作原理动态图
泵结构和工作原理动态图1、活塞泵基本原理借活塞在汽缸内的往复作用使缸内容积反复变化，以吸入和排出流体。
2、往复泵工作原理利用偏心轴的转动通过连杆装置带动活塞的运动，将轴的圆周转动转化为活塞的往复运动。
活塞不断往复运动，泵的吸水与压水过程就连续不断地交替进行。
特殊结构3、水环式真空泵工作原理水环式真空泵叶片的叶轮偏心地装在圆柱形泵壳内。
泵内注入一定量的水。
叶轮旋转时，将水甩至泵壳形成一个水环，环的内表面与叶轮轮毂相切。
由于泵壳与叶轮不同心，右半轮毂与水环间的进气空间4逐渐扩大，从而形成真空，使气体经进气管进入泵内进气空间。
随后气体进入左半部，由于毂环之间容积被逐渐压缩而增高了压强，于是气体经排气空间及排气管被排至泵外。
4、罗茨真空泵工作原理罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。
由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。
由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。
当转子继续转动时，气体排出泵外。
一般来说，罗茨泵具有以下特点：●在较宽的压强范围内有较大的抽速；●起动快，能立即工作；●对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；●转子不必润滑，泵腔内无油；●振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；●驱动功率小，机械摩擦损失小；●结构紧凑，占地面积小；●运转维护费用低。
因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业部门得到广泛的应用。
5、旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。
其工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。
它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。
它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。
真空泵结构、工作原理与维修PPT课件
THE END！
因本人水平有限，请大家多多指教！
谢谢！
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感谢您的观看！
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3、不同厂家的真空泵的备件原则上不允许串用。 4、在安装泵的壳体、端盖时，螺栓要按对角的顺序拧 紧。
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五、定期检查
1、真空泵油定期更换； 2、泵油的检查：泵的油面要一直保持在油位视窗的两 条红线范围内； 3、漏油的检查：如果轴的油封或O形圈密封处出现漏 油，那就需要修理； 4、吸气口滤网的检查：如果有灰尘附着在金属丝网上， 会使泵的性能大大降低； 5、异常声音和异常震动的检查：同时检查螺栓和螺母 是否松动； 6、连轴器橡胶块的检查：如果出现破损或残缺，按使 用说明书进行更换。
6、油不循环，油孔被堵住
1、输入电源的电压异常 2、电机不良 3、泵内进入异物 4、油达不到规定的量 5、连轴器橡胶块不良 6、油不循环，盖等物的油孔堵塞 7、其他，泵内零件破损
处理方法
1、接上比吸气口接口大的管子 并缩短与真空室之间的距离 2、拆下吸气口上的接管，清洗 金属丝网 3、加入规定量的油 4、更换新油 5、找到漏气的地方，止漏或更 换新管 6、分解修理，清洁油孔
4、各种压强单位之间的换算 1标准大气压=1.01325×105 Pa（帕斯卡） 1 MPa（兆帕）=1×106Pa（帕斯卡） 1bar（巴）=0.1兆帕=1×105帕斯卡 1mbar（巴）=100帕斯卡 1Torr（托）= l/760标准大气压=133.322帕 1kg/cm2（公斤力）=0.98×105帕斯卡 可以 简化记：1巴（bar）=1标准大气压=1公斤/平方厘 米=100千帕（KPa)=0.1兆帕（MPa）
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真空泵原理图解
扩散泵(油扩散泵)oil diffusion pump利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。
这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕,抽速范围为几十至十几万升／秒（1升＝10-3米3）。
油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
简史1915年，德国物理学家W.盖得发表了他研究的扩散泵报告。
1916年，美国人I.朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的所谓冷凝泵。
这些泵以汞蒸气为工作介质可获得10-5帕真空。
1928年,英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物，1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。
这两种油在室温下的饱和蒸气压都非常低，从而取代了汞作为扩散泵的工作液。
从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就日渐普遍使用，并奠定了高真空技术的基础。
60年代开始，油扩散泵又有了新的发展。
主要的改进是：①泵的材料采用放气量甚小的不锈钢。
②采用饱和蒸气压很低、热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作为泵的工作液。
③改革结构，新型油扩散泵在泵口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下，在法兰下部突出地扩大泵腔的断面，其抽气速率可增大20～40％。
如在此装设一个大直径扩散喷嘴和液氮冷却的大直径挡油帽等。
泵可有通常泵（指没有扩大泵腔断面的泵）的抽气速率，并比较彻底地克服了泵的返油而获得低于10-8帕清洁超高空。
因此,油扩散泵在清洁超高真空的工业生产和科学试验中又取得重要的地位。
结构和工作原理油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成（见图）。
当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热。
沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。
气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。
到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的。
真空泵操作流程
真空泵操作流程真空泵是一种关键的设备，用于将封闭空间中的气体抽出，产生真空环境。
在各个领域，如实验室、工业制造和医疗设备等，真空泵都扮演着重要的角色。
为了保证操作的安全性和有效性，下面将介绍真空泵的具体操作流程。
一、准备工作1. 确保工作环境整洁，没有易燃、易爆、易腐蚀等危险物质。
2. 检查真空泵及附件的完好性，包括电源线、软管、气缸等。
3. 检查真空泵机械泵的润滑油是否充足。
二、开机前操作1. 将真空泵连接到所需设备或系统的进气口，确保连接牢固。
2. 检查阀门的位置，确保泵进气和出气通路打开，同时关闭其余阀门。
三、开机操作1. 打开真空泵电源开关，确保电源正常供应。
2. 打开机械泵的电源开关，启动机械泵。
注意观察机械泵的运行状况，确保其正常运转。
3. 打开真空泵的电源开关，启动真空泵。
四、抽气过程1. 观察真空泵的指示灯，确保其正常工作。
2. 逐步打开系统中的阀门，使气体进入真空泵，并根据需要调整真空泵的抽气速度。
3. 将抽出的气体导向相应的气体处理设备或集气室。
五、关闭操作1. 当需要停止抽气时，首先关闭系统中的进气阀门。
2. 无论何时都不要突然关闭真空泵，需逐渐关闭系统中的出气阀门，以减少反冲对真空泵的影响。
3. 关闭真空泵电源开关和机械泵电源开关。
六、日常维护1. 定期检查真空泵的运行状态，如异常噪音或振动等。
2. 定期更换机械泵的润滑油，确保其正常运转。
3. 定期清洁真空泵的进气口和出气口，以防止污染物影响其工作效果。
七、安全注意事项1. 操作人员应戴上适当的防护手套和眼镜，以避免意外伤害。
2. 在操作过程中，如出现气味异常、温度升高等情况，应立即停止操作，并排除故障。
3. 禁止将有害、易燃、易爆或有毒的物质抽入真空泵。
总结：以上是真空泵的操作流程。
在操作前，需要进行准备工作，并确保设备完好。
开机时，逐步启动机械泵和真空泵。
在抽气过程中，注意调整抽气速度，逐步关闭系统中的阀门。
关闭操作时，也要逐渐关闭系统中的出气阀门，避免对真空泵造成损坏。
真空泵的工作原理PPT课件
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三、真空泵的常见故障
故障 泵无法启动
泵达不到极 限压强
可能的原因 电源线连接不正确； 供给电机的电源电压与电机不匹配；
电机发生故障； 泵油温度低于10摄氏度；
泵油太粘稠； 排气过滤器或排气管道被堵塞
泵被卡死
测量方式或规管不合适
外部泄漏 放返油阀失效
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三、真空泵的常见故障
故障
泵的抽速太 慢
停泵以后， 被抽容器中 的压强上升 过快
泵在运行中 温度过高
可能的原因 进气口或进气管道被堵塞
排气过滤器被堵塞 连接的真空管直径太小或管道太长
真空系统有泄漏
防返油阀故障
检修 清洗进气管道（预防：在进气口前安装一个
杂物过滤器） 更换过滤器
使用直径足够大的管道或短的连接管道 对系统进行检查
卡扣
密封圈
锁紧扣
锁紧环
卡扣铰链结构，一端固定在接头上，另外一端卡在套桶 上，当卡扣被推向快速接头的接口时，带动接头、锁紧 环向前推进，使得卡簧收紧锁住工艺管，接头前端的密 封圈厚度主要密封工艺管与接头的间隙。
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四、快速接头的构造及密封原理
●快速接头的接口部分
※顶针靠连接头内的卡簧将其顶起。 ※锁紧环的上下移动将导致接头内 小圆珠的凸起或下陷。
检修 检查真空系统 清洗或维修防返油阀 清洗或维修进气口和防返油阀 放掉多余的泵油 对油进行脱气或换油并冲洗泵腔；预防：打
开气镇阀 加油
清洗或更换消音孔部件 降低进气口压强
清洗或更换油雾过滤器 更换一个新的弹性联轴体
维修泵
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四、快速接头的构造及密封原理
真空机组课件
起动前应注意阀门的关闭状态，排气口阀门必须全部打开，吸气 口阀门视情况而定，其他管路上阀门参考流程图上阀门的开闭状 态。
真空机组课件
真空机组的保养
每运行2500小时，检查更换一次轴承润滑脂。油脂量应 占轴承室净空间的2/3左右。 每3个月检查一次联轴器螺栓的松紧度，检查各地脚螺 栓的松紧度。 每3个月拆卸检查工作液循环管线上的Y型过滤器，避免 过滤器堵塞。 每半年拆卸检查热交换器冷却水管线的过滤器，避免锈 蚀堵塞。
开始供工作液时，打开手动补液管路中的阀门，进行补充工作液； 工作液经 热交换器→液环真空泵→气液分离器→热交换器。当 液位升高至标准液位 （在气液分离器的液位计中位线150±30 mm内），可停止供给工作液。注：工作液过多会导致电机电流 过大。
给换热器通入冷却水，供水量可根据实际情况供冷却水；工作液 从换热器出来的温度与换热器冷却水进口的温度差一般在3～ 10°C；工作液温度越低，液环真空泵的汽蚀可能性就越低，真 空泵所能达到的真空度就越高，这样更有利于液环真空泵的寿命； 如果工作液从换热器出来的前后温度差<3°C，请先检查换热器 的冷却水量是否足够，并检查换器内部是否有结垢等现象。
真空机组课件
2，试车或运转过程中出现卡死现象
原因： 1·新管路有焊渣铁屑等异物被气体带入泵体内； 2·结垢严重。 处理方法： 1·可松开前、后盖螺栓，转动叶轮并用水清洗，待转动灵活后才 紧固螺栓。如不能排除，须拆开检查； 2·拆卸清除或酸洗。
真空泵
抽真空系统在火电机组中是必不可少的，其主要作用是：(1)在机组起动初期建立凝汽器真空当汽轮机进汽暖机时，蒸汽进入凝汽器，如果凝汽器没有建立一定的真空，蒸汽进入凝汽器就会使凝汽器形成正压，损坏设备。
(2)在机组运行过程中保持凝汽器真空，确保机组的安全经济运行因凝汽器在运行过程中其内部是处于真空状态，由于管道及壳体不严密，空气会漏人，从而破坏凝汽器真空，对汽轮机安全经济运行不利。
同时，空气含量大时，一会使凝结水的含氧量增加而加剧对设备腐蚀，二会增大传热热阻，影响冷却效果。
目前使用在火电机组中抽真空系统有喷射式抽气器及水环真空泵(喷射式抽气器有射水及射汽之分)，水环真空泵具有如下优点：①运行经济。
在起动工况下，低真空的抽吸能力远大于喷射式抽气器，大大缩短机组的起动时间。
在运行状态下，耗功仅为射水抽气器的23％～33％。
②汽水损失较小。
③泵组运行自动化程度高，操作安全、简便。
④噪声小，结构紧凑，占地面积小。
缺点是一次性投资较大。
但由于其明显的优越性，目前新建火电厂绝大多数都采用水环真空泵抽真空系统，尤其是大功率机组。
很多电厂在旧机组改造中也把喷射式抽气器改为水环真空泵机组。
目前水环真空泵机组在火电行业应用比较广，而有关这方面的文章又比较少。
本文在这里结合本公司实际情况对水环真空泵成套机组进行简单的介绍。
二、水环真空泵的工作原理图1是真空泵结构图，叶轮偏心地装在接近圆形的泵体内，当叶轮按图示箭头方向旋转时，因离心力作用，注入泵体内的水沿泵壳形成旋流的水环，因此叫水环真空泵(又叫液环真空泵，可以采用其他液体做工作液)。
水环的内表面与叶轮轮毂之间形成一个月牙形空间，当叶轮由A 点转到曰点时，两相邻叶片之间所包围的容腔逐渐增大，气体由外界吸入。
当叶轮由C点转到A 点时，相应的容腔由大变小，使原先吸入的气体受到压缩，当压力达到或略大于大气压力时，气体被排出。
随着叶轮的稳定转动，吸、排气过程连续不断地进行。
因此可以连续不断地抽吸气体。
真空系统组成及各种真空泵的工作原理
真空系统组成及各种真空泵的⼯作原理真空系统的组成及各种真空泵的⼯作原理在真空实⽤技术中，真空的获得和测量是两个最重要的⽅⾯，在⼀个真空系统中，真空获得的设备和测量仪器是必不可少的。
⽬前常⽤的真空获得设备主要有旋⽚式机械真空泵、油扩散泵、涡轮分⼦泵、离⼦溅射泵、升华泵等。
真空测量仪器主要有U 型真空计、热传导真空计、电离真空计等。
随着电⼦技术和计算机技术的发展，各种真空获得设备向⾼抽速、⾼极限真空、⽆污染⽅向发展。
各种真空测量设备与微型计算机相结合，具有数字显⽰、数据打印、⾃动监控和⾃动切换量程等功能。
究竟什么是真空系统?⽤⼀句话来概括，就是⽤来获得有特定要求的真空度的抽⽓系统。
真空系统设计的基本内容：是根据被抽容器对真空度的要求，选择适当的真空系统设计⽅案，进⾏选、配泵计算；确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等，进⾏合理配置，最后划出真空系统装配图和零部件图。
真空应⽤设备种类繁多，但⽆论何种真空应⽤设备都有⼀套排除被抽容器内⽓体的抽⽓系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。
举例来说：⼀个真空处理⽤的容器，⽤管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进⾏抽空时，容器上要有真空测量装置，这就构成了⼀个最简单的真空抽⽓系统(如图1)。
图1所⽰的最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度，当需要获得⾼真空范围内的真空度时，通常在图1所⽰的真空系统中串联⼀个⾼真空泵。
当串联⼀个⾼真空泵之后，通常要在⾼真空泵的⼊⼝和出⼝分别加上阀门，以便⾼真空泵能单独保持真空。
如果所串联的⾼真空泵是⼀个油扩散泵，为了防⽌⼤量的油蒸⽓返流进⼊被抽容器，通常在油扩散泵的⼊⼝加⼀个捕集器——⽔冷障板(如图2所⽰)。
根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵⼊⼝放⽓阀等等，这样就构成了⼀个较完善的⾼真空系统。
凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统，通常都把抽低真空的泵叫做它上⼀级⾼真空泵的前级泵(或称前置泵)，⽽最⾼⼀级的真空泵叫做该真空系统的主泵，即它是最主要的泵，被抽容器中的极限真空度和⼯作真空度就由主泵确定。
真空泵原理_图文.
8.4.4 氦质谱仪检漏法（3）检漏盒法 1-检漏仪；2-辅助阀；3-辅助泵；4-被检体； 5-氦钢瓶；6-喷枪；7-检漏盒；8-密封圈先抽气，使处于真空状态并使4与7密合→喷He
8.4.4 氦质谱仪检漏法（4）压力检漏法 1-检漏仪；2-辅助阀；3-辅助泵 4-被检体；5-氦钢瓶；6-容器对容器抽真空，制造压差，若有漏孔，有利于He漏入容器
8.4.4 氦质谱仪检漏法（5）吸嘴法 1-检漏仪；2-吸嘴；3-被检容器；4-He钢瓶
氦质谱仪内部结构示意图高灵敏度检漏器开机: 开前级泵抽空开扩散泵 10分钟后开抽速阀和冷规当质谱室压强达到一定值时,启动电子源打开标准漏孔得到仪器显示的电流大小与漏率之间的关系与被检系统(此时也应已抽至高真空相连接开始检漏返回。
水环真空泵工作原理flash动画图
水环真空泵工作原理flash动画图水环式真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限压力，对于单级泵为2.66～9.31kPa；对于双级泵为0.133～0.665kPa。
水环式真空泵也可用作压缩机，它属于低压的压缩机，其压力范围为（1～2）X105Pa表压力（在特定的条件下）。
水环式真空泵在石油、化工、机械、矿山、轻工、造纸、动力、冶金、医药和食品等工业及市政与农业等部门的许多工艺过程中，如真空过滤、真空送料、真空脱气、真空蒸发、真空浓缩和真空回潮等，得到了广泛的应用，由于水环泵压缩气体的过程是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘，含水的气体，因此，水环式真空泵的应用日益增大。
如图为水环式真空泵的工作原理示意图，水环泵是由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成的。
叶轮被偏心的安装在泵体中，当叶轮按图示方向旋转时，进入水环式真空泵泵体的水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个与泵腔形状相似的等厚度的封闭的水环。
水环的上部内表面恰好与叶轮轮毂相切（如Ⅰ-Ⅰ断面），水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上，叶片在水环内有一定的插入深度）。
此时，叶轮轮毂与水环之间形成了一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。
如果以叶轮的上部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时，小腔的容积逐渐由小变大（即从断面Ⅰ-Ⅰ到Ⅱ-Ⅱ），压强不断的降低，且与吸排气盘上的吸气口相通，当小腔空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进小腔，此时正处于吸气过程。
当吸气完成时与吸气口隔绝，从Ⅱ-Ⅱ到Ⅲ-Ⅲ断面，小腔的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程，当压缩的气体提前达到排气压力时，从辅助排气阀提前排气。
从断面Ⅲ-Ⅲ到Ⅰ-Ⅰ，而与排气口相通的小腔的容积进一步地减小压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体从排气口被排出，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。