gas scrubber 废气处理器
半导体厂GAS系统基础知识
GAS系统基础知识概述HOOK-UP专业认知一、厂务系统HOOK UP定义HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。
HOOK UP是将厂务提供的UTILITIES ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备( SUBUNITS)。
机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。
HOOK UP 项目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL，SEISMIC ，VACUU，GAS，CHEMICAL，D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN.二、GAS HOOK-UP专业知识的基本认识在半导体厂，所谓气体管路的Hook-up（配管衔接）以Buck Gas （一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（Main Piping）至次主管线（Sub-Main Piping）之Take Off点称为一次配（SP1Hook-up），自Take Off出口点至机台（Tool）或设备（Equipment）的入口点，谓之二次配（SP2 Hook-up）。
以Specialty Gas（特殊性气体如：腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其供气源为气柜（Gas Cabinet）。
自G/C出口点至VMB（Valve Mainfold Box.多功能阀箱）或VMP（Valve Mainfold Panel多功能阀盘）之一次测（Primary）入口点，称为一次配（SP1 Hook-up），由VMB或VMP Stick之二次侧（Secondary）出口点至机台入口点谓之二次配（SP2 Hook-up）。
电热&水洗Scrubber_507BWA尾气处理器
延长P.M.频率
www.mat.co.kr
16
2014-10-12
Micro Advanced Technology
-关键问题 2:腐蚀
解决方案 1.防腐蚀材料
高防腐蚀材料应用于会发生腐蚀处
-. B/C加热管: Inconel 600 -. B/C T/C管:Inconel 600
-.中间法兰:STS310+铁氟龙涂层
Gas Name
Gas Reaction 2AsH3 + 4O2 → As2O5 + 3H2O
DRE(%) >99
Boron Trichloride
Boron Trifluoride Diborane Chlorine Hydrogen Bromide Hydrogen Chloride Phosphine Silane
每年消耗品费用总计US$
1,758
2014-10-12
Micro Advanced Technology
非消耗品费用
非消耗品
No
品名
数量
单价(US$)
单位
使用寿命
总费用
年费用(US$)
1 2 3 4 5
燃烧室 水洗室 中间法兰 加热棒保护管
1 1 1 6
3,390 3,814 1,271 254
EA EA EA EA
高压 CDA
移除燃烧室内的粉尘 在触控面板上可更改时间/频率
延长P.M.频率
www.mat.co.kr
14
2014-10-12
Micro Advanced Technology
- 关键问题 1:粉尘堆积
解决方案 3.中间法兰的N2套管
半导体厂GAS系统基础知识
GAS系统基础知识概述HOOK-UP专业认知一、厂务系统HOOK UP定义HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。
HOOK UP是将厂务提供的UTILITIES ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备( SUBUNITS)。
机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。
HOOK UP 项目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL，SEISMIC ，VACUU，GAS，CHEMICAL，,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN.二、GAS HOOK-UP专业知识的基本认识在半导体厂，所谓气体管路的Hook-up（配管衔接）以Buck Gas （一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（Main Piping）至次主管线（Sub-Main Piping）之Take Off点称为一次配（SP1Hook-up），自Take Off出口点至机台（Tool）或设备（Equipment）的入口点，谓之二次配（SP2 Hook-up）。
以Specialty Gas（特殊性气体如：腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其供气源为气柜（Gas Cabinet）。
自G/C出口点至VMB（Valve Mainfold Box.多功能阀箱）或VMP（Valve Mainfold Panel多功能阀盘）之一次测（Primary）入口点，称为一次配（SP1 Hook-up），由VMB或VMP Stick之二次侧（Secondary）出口点至机台入口点谓之二次配（SP2 Hook-up）。
local scrubber尾气处理设备生产标准
local scrubber尾气处理设备生产标准尾气排放是汽车和工业设备运行中产生的污染物之一，对环境和人体健康造成了严重影响。
为了减少尾气排放对环境的污染，local scrubber尾气处理设备应运而生。
然而，要想生产出高质量的local scrubber尾气处理设备，就需要遵循相应的生产标准。
1. 了解local scrubber尾气处理设备的原理在深入探讨local scrubber尾气处理设备的生产标准之前，我们首先需要了解其原理。
local scrubber尾气处理设备通过将废气引入设备内部，利用化学反应将其中的有害物质转化为无害物质，最终净化废气排放。
生产local scrubber尾气处理设备需要考虑设备内部的化学反应原理，以及如何最大程度地提高净化效率。
2. 设备生产中的材料选择生产local scrubber尾气处理设备的首要考虑是材料的选择。
合适的材料能够有效保证设备在长期使用中的稳定性和耐腐蚀性，从而延长设备的使用寿命。
在选择材料时，需要考虑设备所处的环境，比如是否处于高温高湿的情况下，是否会受到化学腐蚀等。
在生产local scrubber尾气处理设备时，需要根据具体情况选择合适的材料。
3. 使用先进的生产工艺制造local scrubber尾气处理设备需要使用先进的生产工艺。
这包括设备的设计、加工、装配等环节。
设计合理的结构能够更好地满足设备的工作要求，提高设备的净化效率；精密的加工和装配能够保证设备的稳定性和密封性，减少因为操作不当导致的泄漏情况。
4. 严格的质量控制正确的生产标准必然需要严格的质量控制。
在生产local scrubber尾气处理设备时，需要对每一个环节都进行严格的质量检查。
从原材料的检验到组装过程中的各个环节，都需要进行严格的把控，确保生产出的设备达到标准要求。
总结回顾生产local scrubber尾气处理设备需要考虑到设备的原理、材料选择、生产工艺和质量控制。
废气焚烧炉原理
废气焚烧炉原理
废气焚烧炉（Waste gas incinerator）是一种用于处理废气的设备，其原理基于高温燃烧的过程，将废气中的有害物质转化为较为无害的物质。
废气焚烧炉的工作原理如下：
1.废气进料：废气从工业过程或其他来源进入焚烧炉。
废气可以包含各种有害物质，如有机化合物、挥发性有机物（VOCs）、氮氧化物（NOx）等。
2.加热预燃室：废气首先进入加热预燃室，其中燃烧器提供燃料（通常是天然气、重油或煤）和足够的氧气，以形成一个高温的燃烧环境。
3.氧化燃烧：废气在高温环境中与燃料和氧气混合燃烧。
这种高温燃烧过程中，有害物质会发生氧化反应，转化为二氧化碳（CO2）、水蒸气（H2O）以及其他无害物质。
4.燃烧控制：通过控制燃料供应和氧气供应，以及炉内温度和气流的调节，确保废气焚烧炉中的燃烧过程稳定和充分。
5.排放处理：经过燃烧后，产生的烟气经过烟囱排放至大气中。
在一些情况下，还需要进行后处理，例如使用除尘器或脱硫装置来净化烟气中的固体颗粒物或二氧化硫（SO2）。
废气焚烧炉的原理依赖于高温燃烧，通过控制燃烧条件和氧气供应，能够有效地将废气中的有害物质转化为无害物质。
这种焚烧过程通常能够达到较高的热效率和废气净化效果，对于处理工业废气具有重要作用。
然而，在实际应用中，需要根据具体的废气成分、排放标准以及环境要求来设计和操作焚烧炉，以确保其安全性和环保性。
1/ 1。
酸再生设备工艺说明
酸再生设备工艺说明(总30页)--本页仅作为文档封面，使用时请直接删除即可----内页可以根据需求调整合适字体及大小--废酸再生工厂设备的情况说明1、焙烧炉（Spray Roaster）－图号 32250工作原理：焙烧炉由燃气加热到600~700℃之间。
被浓缩的废酸经炉顶的喷嘴雾化喷洒成微小液滴，浓缩酸中的氯化铁颗粒在燃烧的气体中被焙烧成游离氯化气和氧化铁。
物理结构：焙烧炉为立式圆柱形焊接结构。
混凝土基础酸液注入口烟气出口来自旋风分离机的铁粉主燃烧室2、旋风除尘分离机（Dust Cyclone）－图号 32170工作原理：双旋风除尘分离机用於分离焙烧炉烟气中带出的氧化铁粉颗粒。
被分离出的氧化铁粉颗粒通过旋转阀及插入焙烧炉中的斜管再进入焙烧炉下部。
物理结构：分离器由两个锥形体构成，用耐磨钢制成。
3、氧化铁粉装置（Oxide Air Blaster）－图号 33340在氧化铁粉储槽的出口处安装有此装置，系利用瞬间喷出爆炸的压缩空气直接吹进下方锥形部位，避免大量铁粉造成阻塞。
铁粉排放口气爆枪混凝土基础铁粉过滤器4、酸再生储槽过滤装置（Storage Tanks Filter for ARP）－图号 22210；22211本过滤装置是用于分离废酸中的固体物质，过滤器内衬胶并装有滤芯。
预浓缩酸过滤器废酸液过滤器5、除氯装置（Chloride Reduction）－图号 33110为了减少氧化铁粉中的氯化物含量在螺旋输送机上装有小型燃烧器，将含有HCl 的气体通过热螺旋输送机经过除尘分离器输回反应炉中。
6、洗涤塔液滴分离设备（Scrubber Drop Separator）－图号 32561洗涤塔是用冲洗水直接射入含有粉尘颗粒的烟气中。
然後冲洗水和烟气在文丘里管端加速雾化，藉以分离出水和铁粉颗粒。
连续不断流出的烟气和水由分离机分离，向下流的水由下方的喷嘴排放，烟气则分离後由上方排出。
7、酸再生储槽泵（Storage Tanks Pump for ARP）－图号<1>酸洗酸泵：用於将废酸罐中的废酸送入纯化工厂的除硅装置设计：离心泵由AC马达驱动、2900转/分<2>冲洗水泵：用於提供吸收塔、预浓缩器、再生酸罐冲洗水以便配置酸溶液设计：离心泵由AC马达驱动、2900转/分<3>再生酸泵：用於向酸洗生产线输送再生酸设计：离心泵由AC马达驱动、2950转/分<4>新酸泵：用於将新酸从槽车卸至新酸罐设计：离心泵由AC马达驱动、2900转/分<5>废酸泵：用於向预浓缩器输送废酸设计：离心泵由AC马达驱动、2900转/分8、预浓缩塔（Preconcentrator）－图号 32280工作原理：来自焙烧炉的热气从预浓缩器上部进入之後，与预浓缩器盖上的4个喷嘴喷洒的废酸直接进行热交换，将废酸浓缩至70~80％。
课件：废气处理Scrubber设备教育报告
压降：<=500Pa 压降：<=500Pa 静压：5000Pa
按MODE 6次回显示状态
压力控制器-04
MODE 按1次 H1 调整 ,PH H值设定值 调整(H1 旋扭调整)
MODE 按1次
L1 调整 ,PH H值设定 值调整(H1 旋扭)
一般PH正常值为6.5~8.5 范围 H1 设置为8.5 L1 设置为6.5 备注: 当<6.5 或 >8.5 时PLC 控制是否排水 或者 是否换药水
0.5KPa 以上未活性碳材料有堵塞现况,需要处理
2.5kg/cm2 以上管道堵塞,喷淋头堵塞
喷淋状态确认
通过液位控制自动工作进行,向上喷淋头供水, 1台备用,采用单向阀门控制 (电源控制 3P 380V 5.5kw/H)
最大分布喷淋,使废气有效融入水中.
更换周期 1回/ 1.5年 作用: 分布水,分洒水,使气体有效融入水中
一般调整23.5HZ 50Hz满载时为
10800CMH (风机马达2636RPM,3P 380V 功率 18.5KW)
5. 废气特别需要注意事项
NO. 1
2
3 4 5 6 其他
部位名称
使用位置
清洗&保养& 更换事项
活性碳
1.活性碳 吸附塔
更换 : 1回/1年~2年 型号: ??? (12/16 厂家邮件发送) 名称: ??? (12/16 厂家邮件发送) 方法: 下面拆卸,上面放入
5. 马达电源开关
3. 关风机 6. 总电源
7. 手动机械 关进出水阀门
4. 废气设备Scrubber 设备 操作流程:
电导度控制器调整-03
1. MODE+ SET 同时按1次
等离子体式scrubber
等离子体式scrubber全文共四篇示例，供读者参考第一篇示例：等离子体式scrubber是一种高效的气体净化设备，通过利用等离子体技术将有害气体进行分解和净化，从而实现废气的处理和净化。
该技术被广泛应用于化工、环保、半导体等领域，在改善环境污染和保护人类健康方面发挥着重要作用。
等离子体式scrubber的工作原理是利用等离子体发生器产生的高能电子束对废气中的有机物质、气体污染物进行分解和氧化处理。
等离子体发生器是将高频高压电场作用于非热等离子体而形成的一种物理过程。
它能够生成高能离子束，将气体中的有机物质和污染物质分解为无害的二氧化碳、水蒸汽等。
通过等离子体反应的过程，废气中的有害物质被彻底降解和转化，实现了废气的净化处理。
在实际应用中，等离子体式scrubber被广泛应用于生产工艺中对废气的净化处理。
在化工生产过程中，会产生大量的有机废气和气体污染物，通过等离子体式scrubber可以将这些有害气体进行高效净化，保护环境和人类健康。
在半导体生产行业中，等离子体技术也被用于气体净化和精细处理，确保生产过程的环境友好和产品质量。
第二篇示例：等离子体式scrubber是一种新型的空气污染治理设备，通过利用等离子技术对气体中的污染物进行处理。
它利用高能电子激发气体分子，产生大量的自由基和活性物种，从而将有机物质或气体污染物转化成低毒或无毒的物质。
等离子体式scrubber广泛应用于工业废气处理、车用尾气净化、烟尘减排等领域，成为解决空气污染问题的重要手段之一。
等离子技术是近年来崛起的一项环保技术，其原理是通过高能电子激发气体分子，形成等离子体，产生大量的自由基和活性物种。
这些自由基和活性物种具有很强的氧化、还原能力，可以将有机物质或气体污染物迅速转化成无害的化合物。
等离子技术具有高效、低能耗、无二次污染等优点，因此受到了广泛关注。
等离子体式scrubber在工业废气处理、车用尾气净化、烟尘减排等领域有着广泛的应用。
尾气处理器吸附式scrubber原理
尾气处理器吸附式scrubber原理一、引言随着工业化的进程，汽车尾气排放对环境污染日益严重，尾气处理技术的发展变得尤为重要。
吸附式scrubber作为一种常见的尾气处理器技术，具有高效、可靠、经济等优点，被广泛应用于车辆尾气处理中。
二、吸附式scrubber原理概述吸附式scrubber是一种基于物理吸附和化学反应的尾气处理技术。
其主要原理是通过吸附剂吸附尾气中的污染物，然后通过化学反应将其转化为无害物质，最终达到净化尾气的目的。
三、吸附剂的选择吸附式scrubber中的吸附剂通常选择具有高吸附能力和良好稳定性的材料，如活性炭、分子筛等。
吸附剂的选择应根据尾气中的污染物种类和浓度来确定，以确保高效吸附和转化效果。
四、吸附过程吸附式scrubber的吸附过程主要分为物理吸附和化学吸附两个阶段。
物理吸附是指污染物在吸附剂表面的物理吸附作用，主要依靠吸附剂的孔隙结构和表面化学性质。
化学吸附则是指污染物与吸附剂之间的化学反应，通过化学反应将污染物转化为无害物质。
五、转化过程在吸附式scrubber中，转化过程是污染物经过吸附后被转化为无害物质的过程。
这一过程主要通过化学反应实现，吸附剂中的活性物质与污染物发生反应，将其转化为无害的化学物质。
六、应用领域吸附式scrubber广泛应用于汽车尾气处理、工业废气处理等领域。
在汽车尾气处理中，吸附式scrubber可以有效地去除尾气中的有害物质，减少对环境的污染。
在工业废气处理中，吸附式scrubber可以去除工业废气中的有毒有害物质，保护生态环境。
七、优势和限制吸附式scrubber具有高效、可靠、经济等优点。
其高效性体现在能够高效去除尾气中的有害物质，达到排放标准要求；可靠性体现在设备运行稳定，处理效果稳定可靠；经济性体现在设备成本相对较低，维护成本较低。
然而，吸附式scrubber存在一定的限制，如吸附剂的寿命有限，需要定期更换；吸附剂的再生过程相对复杂，需要专业设备和操作。
尾气处理器吸附式scrubber原理
尾气处理器吸附式scrubber原理尾气处理器吸附式Scrubber原理引言：随着工业发展和交通运输的不断增加，尾气污染问题日益突出。
为了减少尾气中的有害物质排放，尾气处理器逐渐成为各种车辆和工业设备的重要组成部分。
其中，吸附式Scrubber是一种常用的尾气处理技术，本文将详细介绍其原理和工作过程。
一、吸附式Scrubber的基本原理吸附式Scrubber是一种基于吸附和化学反应原理的尾气处理技术。
其主要原理是利用吸附剂吸附尾气中的有害物质，并通过化学反应将其转化为无害物质，从而实现尾气的净化和减排。
二、吸附式Scrubber的工作过程1. 吸附阶段：尾气进入吸附式Scrubber后，首先经过吸附装置。
吸附装置通常采用多孔性材料，如活性炭、分子筛等，能够有效吸附尾气中的有害物质，如二氧化硫、氮氧化物等。
吸附剂具有较大的表面积和孔隙结构，能够提供更多的吸附位置，增强吸附效果。
2. 清洗阶段：当吸附装置吸附物质达到一定饱和度后，需要进行清洗。
清洗过程一般采用高温或化学溶剂等方法，将吸附物质从吸附剂表面彻底去除，以恢复吸附装置的吸附能力。
3. 反应阶段：经过清洗后的吸附装置重新进入工作状态。
尾气中的有害物质被吸附到吸附装置上后，通过化学反应转化为无害物质。
这一反应过程通常需要辅助剂的参与，如催化剂、氧化剂等。
化学反应可以通过吸附装置内部的结构设计和外部条件的控制来实现。
4. 排放阶段：经过吸附和反应处理后，尾气中的有害物质已经被转化为无害物质。
经过排放管道，尾气最终释放到大气中。
排放阶段需要保证排放管道的密封性和排放口的位置，以避免有害物质再次进入环境。
三、吸附式Scrubber的优势和应用领域1. 高效净化：吸附式Scrubber能够将尾气中的有害物质有效吸附和转化，净化效率高。
根据吸附剂的选择和反应条件的调节，可以实现不同有害物质的净化要求。
2. 环保节能：与传统的尾气处理技术相比，吸附式Scrubber具有较低的运行能耗和较小的设备占地面积。
SCRUBBER
Tel:03-5535455 Fax:03-5535453TECHNOLOGY CO., LTD.Date : 4/25/2022Scrubber简介一、Scrubber定义二、Scrubber分类三、Scrubber除害原理四、废气处理最佳法五、结论Tel:03-5535455 Fax:03-5535453TECHNOLOGY CO., LTD.Date : 4/25/2022 一、Scrubber定义Scrubber原意为洗涤器，业界以洗涤塔称之，意为处理半导体工业制程生产之废气处理设备，以使废气排放能符合环境保护之标准，尤其是TLV-TWA容许浓度，TLV（Threshold Limit Valve），TWA（Time Weight Average），定义为每日作8小时，每周工作40小时，不致有不良效应，国内将实施空气污染排放标准，园区Scrubber将有极大商机。
Tel:03-5535455 Fax:03-5535453TECHNOLOGY CO., LTD.Date : 4/25/2022二、Scrubber分类2.1 Scrubber的目标与历史演变（如附图）2.2 Scrubber分类如下：用水吸收湿式用碱吸收用酸吸收用化剂吸收Scrubber 活性碳系吸着法吸着式(常温)触媒（无机系）吸收法干式直接燃烧式燃烧式(加热)触媒燃烧式（加热燃烧）*必须注意的是，并非干式或湿式独立使用，必须根据废气内含物，寻求最佳解决之道。
*目前需使用Scrubber以CVD、Dry etching，Ion Implantation制程为主。
*Burn Box不属于排气处理系统缺点如下：1.毫无控制机制下任由SiH4氧化燃烧。
2.燃烧效率无法预测。
*下列气体应装置Emergency Scrubber：AsH3、PH3、H2S、H2Se、B2H6、SiH4除害可分为图标三大系统：1.制程气体除害2.Purging Gas除害Tel:03-5535455 Fax:03-5535453TECHNOLOGY CO., LTD.Date : 4/25/2022 3.气体泄漏之除害Tel:03-5535455 Fax:03-5535453TECHNOLOGY CO., LTD.Date : 4/25/2022三、Scrubber除害原理3.1湿式洗涤塔（Wet Scrubber）使用酸、碱的中和剂以及锰酸钾（KMnO4）等氧化剂的吸收法，分成多孔板式（Perforated plate tower），喷雾式（Spraytower），Jet Scrubber式等，可因应大风量，还可同时除去排气中之尘埃，成本较为低廉，但效果较低，尤其对氢化物不适合，在半导体除害当中，常用于酸性气体之除害，以及将燃烧式除害装置排出SiO2或HF燃烧生成物予以除害。
半导体代工厂的特气供应系统探讨
半导体代工厂的特气供应系统探讨摘要：对在半导体晶圆代工厂中应用的特种气体及气体的不同特性进行了分类和讨论，进而对特种气体在晶圆厂的主要供应流程及其要点进行了阐述，并且对在晶圆厂有着重要作用的关键管件及重要设计进行了探讨。
关键词：晶圆代工；特种气体；大宗气体；阈限值1 引言在目前工艺技术较为先进的半导体晶圆代工厂的制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的气体。
一般把气体分为大宗气体(Bulk Gas)和特种气体(Special Gas)两种。
大宗气体一般是指集中供应且用量较大的气体，涵盖制程用气如PO2,PAr,PH2,PHe ，以及非制程用气如CDA,IA,GN2等。
特种气体主要有各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体以及其他广为各种制程设备所使用的惰性气体等。
如扩散工艺中作为工艺腔清洁所用的ClF 3，干层刻蚀时常用的CF4,CHF3 与SF6等，以及离子注入法作为n型硅片离子注入磷源、砷源的PH 3和AsH3等[1]。
从以上的应用可以看出，气体在半导体晶圆代工厂有着非常重要的作用。
因为各种气体的特性不同，所以要设计出不同的气体输送系统来满足各种不同制程设备的需求。
本文主要讨论特种气体的分类、供应和相关的关键管件等。
2 特气的分类半导体制造业所使用的特种气体一般按其使用时的特性见图1，可分为五大类[2]，（1）易燃性气体把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。
如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。
可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，即上限、下限值。
此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高，如B 2H6的爆炸上限为98%，爆炸下限为0.9%。
属于易燃气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 等等。
（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。
Scrubber
1.Introduction to point of use exhaust conditioning:半导体制程机台如：Etch/CVD/Implant及Diffusion等制程使用数量可观之特殊气体参与制程反应。
反应后之废气排放种类多元。
诸如Pyrophoric&Flammable/PFC/Toxic/Acid等气体皆须经过处理达到符合之规范标准后才可排放入大气中。
一般在厂区使用之废气处理之设备称之为Scrubber2.Exhaust gas conditioning technologies:废气处理之技术可大致分为六种，计有：Thermal/Wet/Dry/Catalytic/Plasma and Combination Technologies。
以上各种方式各有利弊。
使用者可依己所须自行选择使用一、热处理(Thermal)：使用燃料、电、及气体以加热方式将被处理废气氧化处理。
如H2/SiH4/PH3/NH3等气体皆可使用此种方式加以处理之。
另外，热处理亦可用来处理如Perflourinated Carbons(PFC’s)及F2二、湿式处理(Wet)：使用液态化学品(通常是水)，利用机械结构之设计将化学品之表面积加大，如以喷嘴将之处理成薄雾状等方式，藉此加大反应面积。
这使得废气反应成为液态。
此处理方式对于处理一些水溶性的acid gas有相当大的效果，如：HCL/HF/F2/HBr/NH3/Cl2等。
其它如TEOS/TCS/DCS/SiCL4等气体可以其它之液态化学品代替水来处理之，但相对其成本亦较高。
三、干式处理(Dry)：不使用水，代之而以固态之媒介参与反应，废气与之反应后形成固态片状物，并被物质床(Material bed)所捕捉。
四、催化剂处理(Catalytic):与干式处理相当类似，以催化剂对应相对应之特定气体来作反应处理。
主要用在处理VOC及PFC类之废气。
五、电浆处理(Plasma):电浆处理利用电来将各类废气激化并分解。
半导体工厂排气系统介绍
半导体工厂排气系统简介一、Exhaust 功能：由于半导体厂生产流程中会用到各种各样的化学品（液态、气态），所以从机台排气端把有异味的酸、碱、有机物等有害的气（或水气混合物）通过负压抽至主系统中，然后处理至达标是exhaust 系统的主要功能，同时也需要把配合真空系统将chamber/gas box 中可能泄露的有毒有害特气抽至主系统中，再经过净化或回收处理达到排放标准后排至大气。
当涉及exhaust hook up安装施工部分时，一般指从POU 到take-off point部分，因工艺设备move in时间与主系统施工并非同时进行，故一般不涉及主系统的排气系统，设备定位后，开始hook up部分施工。
按排气性质差别，一般分为如下几类：GEX:general exhaust (主要是机台的发热等产生的一般的空气，也包含bulk gas的gas-box的排气)SCX:scrubber exhaust(主要指酸气及其水气混合气，也包含大多数的特气的gas-box的排气以及备品柜的排气)AEX:ammonia exhaust(主要指氨水的排气，也包含DEV的排气) VEX:volatile organic compound exhaust(主要指有机物异味排气)二、Exhaust system 参数：•真空度：10~700Pa(150-200pa)••使用值/流量：200-500Pa/10~100,000 LPM；••尺寸：1/4“，3/8 “，1/2 “，2 “~ 12“；••材质：PFA，PVDF，SUS304，SUS304+coating，Galvanized ，帆布软管，铝薄软管，PVC。
••控制部件：damper 风压表;风速测量口；••主要的连接形式：法兰式，丝接式(union,flare,NPT) Clamp,喉箍式（推拔），承插式•三、风管安装前注意事项：1.风管安装的空间管理。
2.测试口的位置。
PLASMA GAS SCRUBBER DEVICE
专利内容由知识ห้องสมุดไป่ตู้权出版社提供
专利名称：PLASMA GAS SCRUBBER DEVICE 发明人：KIM, Ik Nyeon,JI, Young Yeon 申请号：KR2010003179 申请日：20100520 公开号：WO10/134 761P 1 公开日：20101125
摘要：The present invention relates to a plasma gas scrubber device. The plasma gas scrubber device according to the present invention comprises: a plurality of processing chambers where waste gas is treated by means of plasma; a plurality of nozzles which are provided at the rear ends of the processing chambers and spray water onto the waste gas discharged from the processing chambers; a single water tank connected to the plurality of processing chambers and nozzles; and a single condenser which is connected to the water tank, and cools and condenses the water vapour produced from the processing chambers and the nozzles. Because the plasma gas scrubber device according to the present invention has a plurality of processing chambers, optimum waste gas treatment can be effected by appropriately selecting the number of processing chambers in accordance with the volume to be treated.
燃烧水洗式local scrubber的工作原理
燃烧水洗式local scrubber的工作原理【燃烧水洗式local scrubber的工作原理】1. 引言燃烧过程中产生的废气中通常含有污染物，这些污染物对环境和人类健康都有害。
为了保护环境和提高空气质量，很多工业和排放源采用了气体处理设备。
燃烧水洗式local scrubber是一种常用而有效的气体处理设备，本文将深入探讨它的工作原理。
2. 概述燃烧水洗式local scrubber是一种常用的废气处理设备，它通过将废气经过水喷淋塔，实现气液接触，通过气液吸收、化学反应和物理过程，将废气中的污染物转移到液相中，从而达到净化废气的目的。
3. 工作原理燃烧水洗式local scrubber的工作原理可以分为以下几个步骤：3.1 废气进入水喷淋塔废气从燃烧设备中产生后，进入水喷淋塔顶部。
在进入喷淋塔之前，废气通常经过预处理，如净化、冷却等。
3.2 水喷淋和气液接触废气进入喷淋塔后，通过喷淋设备将水雾喷洒到废气中。
水雾将废气中的污染物吸附，并与气体进行接触。
3.3 污染物吸收和溶解在气液接触的过程中，废气中的污染物会被水雾吸附并溶解在水中。
吸附和溶解的过程取决于污染物的性质和水的性质。
3.4 化学反应除了物理吸附和溶解外，一些污染物还可以通过化学反应转化为无害物质。
在水中，一些污染物可能与水中的氧气、氢氧根离子等发生反应，达到净化废气的效果。
常见的化学反应有中和反应、氧化反应等。
3.5 液滴沉降和分离经过气液接触、污染物吸收和化学反应后，废气中的污染物会转移到液滴中。
液滴较大而重，会沉降到喷淋塔的底部。
在底部，通过分离装置将废水和净化后的废气分开。
4. 优点和应用燃烧水洗式local scrubber具有以下优点：4.1 高效净化能力通过气液接触和化学反应等过程，燃烧水洗式local scrubber能够高效地净化废气中的污染物，使废气达到排放标准。
4.2 适用于多种污染物类型燃烧水洗式local scrubber适用于多种污染物类型，包括颗粒物、酸性物质、有机物等，具有很好的适应性。
scrubber尾气机原理
scrubber尾气机原理Scrubber尾气机是一种用于净化排放尾气的设备，其原理主要是通过物理或化学方法将尾气中的污染物进行捕集和转化，从而减少对环境的污染。
本文将详细介绍Scrubber尾气机的工作原理及其应用。
一、Scrubber尾气机的工作原理Scrubber尾气机主要通过两种方式来净化排放尾气，即物理吸附和化学反应。
物理吸附：Scrubber尾气机内部通常装有一种吸附剂，比如活性炭或陶瓷球等。
当尾气经过Scrubber尾气机时，其中的污染物会被吸附剂吸附并附着在其表面上。
这样一来，尾气中的污染物浓度就可以大大降低。
化学反应：Scrubber尾气机内部还可以加入一些化学试剂，如氨水或氢氧化钠等。
这些试剂可以与尾气中的污染物发生化学反应，将其转化为无害物质。
例如，氨水可以与二氧化硫反应生成硫酸铵，从而将二氧化硫去除。
二、Scrubber尾气机的应用领域Scrubber尾气机广泛应用于工业生产中的各个环节，特别是那些有大量尾气排放的行业。
以下是几个常见的应用领域：1. 烟囱排放净化：许多工厂和发电厂都有烟囱排放，其中含有大量污染物，如二氧化硫、氮氧化物等。
通过安装Scrubber尾气机，可以有效净化这些排放物，达到环保要求。
2. 化工厂废气处理：化工厂生产过程中产生的废气中含有大量有毒有害物质，如苯、甲醛等。
Scrubber尾气机可以将这些有害物质捕集并转化为无害物质，保护环境和工人的健康。
3. 钢铁冶炼尾气处理：钢铁冶炼过程中排放的尾气中含有高浓度的二氧化硫和颗粒物，对环境造成严重污染。
Scrubber尾气机可以有效去除这些污染物，减少大气污染。
4. 煤矿井下尾气处理：煤矿井下通风系统排放的尾气中含有大量的甲烷和可燃气体，存在爆炸的危险。
Scrubber尾气机可以将这些可燃气体转化为无害物质，保障矿工的安全。
三、Scrubber尾气机的优势和不足Scrubber尾气机作为一种常用的尾气处理设备，具有以下优势：1. 高效净化：Scrubber尾气机能够高效去除尾气中的污染物，使排放达到国家环保标准。
scrubber尾气机原理
scrubber尾气机原理Scrubber尾气机原理导言：随着工业化进程的加速和全球能源消耗的增加，尾气排放成为了一个严重的环境问题。
为了减少尾气中的污染物排放，各国纷纷采取了相应的措施，其中一种常见的方法就是使用尾气处理设备，如Scrubber尾气机。
本文将介绍Scrubber尾气机的原理及其在减少尾气污染中的应用。
一、Scrubber尾气机的定义Scrubber尾气机是一种常见的尾气处理设备，主要用于去除尾气中的污染物。
它通过物理或化学方法将尾气中的有害物质与吸收液接触，从而达到净化尾气的目的。
二、Scrubber尾气机的原理Scrubber尾气机的原理主要基于吸收和反应两个过程。
1. 吸收过程吸收是指将尾气中的污染物溶解到吸收液中的过程。
Scrubber尾气机通常采用液体吸收剂作为吸收介质，例如水、碱液或酸液。
尾气在进入Scrubber尾气机后，与吸收液接触，污染物会通过扩散、溶解或反应的方式被吸收到吸收液中。
2. 反应过程反应是指吸收液中的污染物与吸收液发生化学反应的过程。
这些化学反应可以是氧化、还原、中和等等。
通过反应，吸收液中的污染物被转化为无害的物质或固体沉淀，并最终实现尾气的净化。
三、Scrubber尾气机的应用Scrubber尾气机广泛应用于工业生产和环境保护领域，其主要应用包括以下几个方面：1. 烟气脱硫Scrubber尾气机在燃煤发电厂、钢铁厂等工业生产过程中，常用于脱除烟气中的二氧化硫。
通过将烟气与一定浓度的碱液接触，二氧化硫会被吸收并转化为硫酸盐，从而达到减少大气污染物的排放。
2. 酸雾处理Scrubber尾气机还可以用于处理酸雾，如硝酸雾、硫酸雾等。
它采用酸性吸收液与酸雾接触，通过反应将酸雾中的有害物质吸收并转化为无害物质，从而减少酸雾对环境的危害。
3. 有机废气处理Scrubber尾气机也可以用于处理有机废气，如挥发性有机物（VOCs）等。
它通过将有机废气与吸收液接触，使有机物溶解到吸收液中，从而达到净化废气的目的。
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