过滤效率对照表
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气流 顶蓬过滤面积（%）
第一级过滤 DIN EN779
第二级过滤 DIN EN779 DIN 24183/EN 1822
第三级过滤 DIN 24183/EN 1822
洁净室级别与过滤室级别的对比表
100000 10000
M6.5
M5.5
1000 M4.5
100 M3.5
10 M2.5
1 M1.5
0.1
中效
97
过滤器
98
45~50 60~65
高效 过滤器
99 >99 >99.5
84~87 92~94 97~98
0.3μm 0 0 0 0
5~15 10~25 45~50 65~75 75~85
相应微粒（μm）及计数效率(%)
0.5μm 1μm
3μm
0
0
0
0
0
5~15
0
0~5
10~20
0~5
0~10 20~30
15~25 30~40 75~85
20~40 55~65 90~92
60~75 93~97
>99
85~90 97~99 约100
欧洲标准 效率分级
ASHRAEwk.baidu.com计重法%
ASHRAE 比色&计 数法%
EN1822 @MPPS%
美国DOP法 @0.3μm%
G1
＜65
G2
≥65
G3
≥80
G4
≥90
F5
≥40
F6
≥60
F7
≥80
F8
≥90
F9
≥95
H10
≥85
≥85
H11
≥95
≥98
H12
≥99.5
≥99.9
H13
≥99.95
≥99.97
H14
≥99.995 ≥99.997
U15
≥99.9995 ≥99.9997
U16
≥99.99995 ≥99.99997
U17
≥99.999995 ≥99.999997
DOP的这个效率并没有标准文献供参考，仅为行业内常用
的参考范围
洁净室级别 美国联邦标准209D 美国联邦标准209E
洁净室级别 德国工程师协会VDI2083
6
5
乱流 5~10 10~20
G4
4
过渡区 30~70
F7
H12 H13
H13
3
＞80 F5
2
1
0
平行流 ＞90
F6
F9 H10
H10
H12
H13
H13
H14
U15
U16
U17
过滤级别
G1 G2 G3 G4 F5 F6 F7 F8 F9
0.1μm 0 0 0 0
0~10 5~15 25~35 35~45 45~60
90~95
>99
约100
5μm 5~30 10~35 20~40 35~55
95 98 约100 约100 约100
10μm 50~70 50~80 70~90 80~95 97~99
99 约100 约100 约100
德国工业标准DIN24185
名称
计重法
比色法
60
0
粗效
70
10
过滤器
82
25
93
35
第一级过滤 DIN EN779
第二级过滤 DIN EN779 DIN 24183/EN 1822
第三级过滤 DIN 24183/EN 1822
洁净室级别与过滤室级别的对比表
100000 10000
M6.5
M5.5
1000 M4.5
100 M3.5
10 M2.5
1 M1.5
0.1
中效
97
过滤器
98
45~50 60~65
高效 过滤器
99 >99 >99.5
84~87 92~94 97~98
0.3μm 0 0 0 0
5~15 10~25 45~50 65~75 75~85
相应微粒（μm）及计数效率(%)
0.5μm 1μm
3μm
0
0
0
0
0
5~15
0
0~5
10~20
0~5
0~10 20~30
15~25 30~40 75~85
20~40 55~65 90~92
60~75 93~97
>99
85~90 97~99 约100
欧洲标准 效率分级
ASHRAEwk.baidu.com计重法%
ASHRAE 比色&计 数法%
EN1822 @MPPS%
美国DOP法 @0.3μm%
G1
＜65
G2
≥65
G3
≥80
G4
≥90
F5
≥40
F6
≥60
F7
≥80
F8
≥90
F9
≥95
H10
≥85
≥85
H11
≥95
≥98
H12
≥99.5
≥99.9
H13
≥99.95
≥99.97
H14
≥99.995 ≥99.997
U15
≥99.9995 ≥99.9997
U16
≥99.99995 ≥99.99997
U17
≥99.999995 ≥99.999997
DOP的这个效率并没有标准文献供参考，仅为行业内常用
的参考范围
洁净室级别 美国联邦标准209D 美国联邦标准209E
洁净室级别 德国工程师协会VDI2083
6
5
乱流 5~10 10~20
G4
4
过渡区 30~70
F7
H12 H13
H13
3
＞80 F5
2
1
0
平行流 ＞90
F6
F9 H10
H10
H12
H13
H13
H14
U15
U16
U17
过滤级别
G1 G2 G3 G4 F5 F6 F7 F8 F9
0.1μm 0 0 0 0
0~10 5~15 25~35 35~45 45~60
90~95
>99
约100
5μm 5~30 10~35 20~40 35~55
95 98 约100 约100 约100
10μm 50~70 50~80 70~90 80~95 97~99
99 约100 约100 约100
德国工业标准DIN24185
名称
计重法
比色法
60
0
粗效
70
10
过滤器
82
25
93
35