单晶炉热场清洁与安装作业指导书

4.2.2.1 将热场底盘放在主室底座上，底盘安装须平稳。 （见右图）
4.2.2.2 底盘边缘与主室底座内壁的距离应相等。（见下图）
4.2.2.3 底盘上的电极孔、中心孔要与主室底座的孔对应、对正。 （见右图）
4.2.3 装电极柱： 4.2.3.1 装电极柱：装电极柱时不宜太紧，否则容易涨裂引起电极打火。
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一、目的：
清除炉内杂物、规范热场的安装，提高产品质量。
二、范围：
单晶炉的热场的清扫和安装。 三、职责：班长负责当班期间组织生产，组长监督工艺操作人员对热场的安全安装。 四、作业内容： 4.1、热场的清洁：
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4.1.3.8.3、用沾酒精的纸擦拭除尘筒和密封部件； 4.1.3.8.4、将清扫后的过滤网缓慢放进除尘筒； 4.1.3.8.5、将除尘筒盖密封圈擦净，盖好除尘筒盖并用专用工具拧紧螺栓； 4.1.3.8.6、清洁除尘筒表面卫生； 4.2、热场的安装： 4.2.1 安装前需检查： 4.2.1.1 热场的所有石墨器件必须是经过锻烧合格方可使用。 4.2.1.2 检查主室底座的清洁度，确定电极柱周围及坩埚轴端面上没有石英、石墨碳毡及 硅粉颗粒。 4.2.2 底盘安装：
心取埚底料，应避免埚底从热场的缝隙掉下杂物； 4.1.3.3.4 待石英坩埚和埚底料冷却后，放入指定的箱子并做好编号 4.1.3.4 按一定顺序取出热场的石墨器件，顺序如下：导流筒→热屏支撑环→上保温罩 →三瓣埚→坩埚底盘→中保温罩→石墨中轴→加热器→下保温罩和底盘 （如下图）
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取导流筒
取热屏支撑环
4.1.3.5.2 清洁加热器时先用氧化铝砂布打磨加热器的内外表面及夹缝的氧化物。（见下图）
打磨夹缝
打磨外表面
4.1.3.5.3 检查石墨器件上是否有硅蒸气沉积引起的凸出物，如有用
打磨机去除，并用吸尘设备清除干净。
4.1.3.6 检查石墨器件有无缺损、裂缝及使用的炉数，
如有缺损、裂缝或使用炉数已达到规定的数量，需根据
4.1.1 工作服必须洁净。工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工序带来沾污； 4.1.2 所用物品必须洁净、摆放整齐。物品的齐全及整齐摆放能减少不必要的时间浪费；
4.1.3、内容：
4.1.3.1 清炉时须戴好口罩和帽子，穿好工作服
4.1.3.2 用吸尘设备吸去附在副室、炉盖筒壁上的氧化物并用丝光毛巾蘸少许无水乙醇擦
实际情况及时调换新的已锻烧过的石墨器件。（见右图）
4.1.3.7 清除真空管道内的氧化物：用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管 必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽；
4.1.3.7．1 拆除球阀与主室真空管连接部位，用不锈钢清洁 球擦净管道内的氧化物，并用吸尘设备清除干 净。（见右图）
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4.2.7.3 下降并转动坩埚轴，检查托身上口与加热器上口是否在 同一平面。如不在同一平面，检查连杆的锥度与下轴的锥度配合 是否紧密，如不紧密须修正连杆的锥度或由设备维修人员检修下 轴调节下轴的垂直度。（见左图）
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4.2.10 装上保温罩：
上保温罩必须平稳地装在保温筒上,所有止口必须到位。 五、相关记录：
在《直拉硅单晶运行记录单》上记录相应数据。 六、相关文件与记录：
《直拉硅单晶运行记录单》
编制
审核
批准
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净，最后用无尘纸蘸少许无水乙醇擦一遍。 4.1.3.3 取出埚底硅料
4.1.3.3.1 戴好耐高温手套和准备好钳子； 4.1.3.3.2 用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动； 4.1.3.3.2 戴好耐高温手套将石英坩埚和埚底料全部带出放入不锈钢小车上； 4.1.3.3.3 用工具操作时注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身体及衣服，应小
安装连杆时，紧固连杆的螺丝必须加垫片，连杆上下左右晃动的间隙小于 1mm。连接杆
必须处于正中心位置。（见下图）
4.2.7 安装石墨埚托、三瓣埚：
4.2.7.1 埚托安装须平稳，下降坩埚轴至最低位置时距离加热器脚应不少于 2cm。 4.2.7.2 埚托与三瓣埚装配时必须紧密配合（装配时主要检查三瓣埚的底部与埚托是否因 加工误差造成高度不一致，装配不紧密）。（见下图）
4.2.3.2 装电极柱时要检查两个电极柱是否在同一水平面上。 4.2.4 装石英环：
在装石英环时，先用吸尘设备吸除电极周围的粉状杂物。确保石英环在电极和底 盘之间起到绝缘作用。 4.2.5 装石墨加热器： 4.2.5.1 安装加热器时，电极螺丝必须拧紧，加热器与电极的接触部分须垫碳箔，否
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4.2.8.3 转回主室直至主室上的导向孔对准导向柱为止。 4.2.8.4 按下控制面板上”下降”按钮,使主室平稳地停在底座上。 4.2.9 对准温度信号孔:
保温筒上的温度信号孔必须和主室炉筒温度信号孔对正，如不对正可旋转保温筒调节。 (见下图)
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取上保温罩
取三瓣埚
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取坩埚底盘
取中保温罩
取石墨中轴
取加热器
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取下保温罩和底盘 4.1.3.5 用吸尘设备清洁石墨器件：
4.1.3.5.1 待石墨器件冷却后，用吸尘设备吸去石墨器件上的氧化物。沟槽及接口等吸附挥 发物较多的部位要用砂布认真打磨。
4.1.3.7.2 用酒精擦净球阀与真空管道接口处，并检查 O 型密封圈是否损坏，如有损坏必 须更换。注意在安装球阀与真空管道时，要保证螺丝受力均匀，防止螺丝不紧引起漏气。 4.1.3.8 清理除尘筒：
4.1.3.8.1、用专用工具除尘筒螺栓，取出罐盖和过滤网。打开除尘筒前确认真空泵球 阀和真空泵电源在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内倒吸气，造成炉内污染； 4.1.3.8.2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及除尘筒内的氧化物；
4.2.7.4 当三瓣埚上口和加热器上口在同一平面时,将此时的埚位记录在运行记录本上。 4.2.7.5 检查三瓣埚与加热器之间的间隙是否均匀(三瓣埚与加 热器之间的间隙相差应小于 3mm)。（见右图）
4.2.8 装保温筒: 4.2.8.1 保温筒必须平稳地安装在底盘止口上,并须检查保温筒与加热器之间的间隙是否 均匀。 4.2.8.2 用丝光毛巾或无尘纸蘸少许无水乙醇擦净主室底座与主室接触的密封部位。(见 下图)
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则会引起放电、打火事故。（见下图）
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4.2.5.2 必须注意的是，每次清炉时电极螺丝先松掉后再拧紧。以防硅蒸汽进入电极螺丝和 加热器脚之间的缝隙使之粘住无法拆卸。 4.2.5.3 检查加热器上口是否处于同一水平面。 4.2.6 安装石墨中轴连接杆：