晶科电池工艺培训
多晶电池工艺培训
• 设备因素
• 中途跳闸，中途降温
• 温度、流量异常 • 尾管不热（尾管堵塞） • 尾管热，炉内尾管断裂 • 均流板 • 保温棉 • 偏磷酸污染
• 操作因素
• 程序加载错误 • 程序跳步 • 提前结束 • 提前运行
• 水痕，指纹等污染导致的颜色异常片
注意事项：
• 注意扩散炉高温危险。 • 保持扩散炉台面的清洁。 • 保持生产用具的清洁。 • 定期清洗石英炉管、石英舟等物件。 • 按照净化间要求着装。 • 装、卸硅片时，需带棉布和PVC双层手套，
2P O 5Si 5SiO 4P
2
5
2
扩散重要衡量数据方块电阻：
方块电阻：就是表面为正方形的半导体薄层，在电流方向所 呈现的电阻。
生产规范：
1、扩散上、下片时，规范操作，轻拿轻放，过程中 硅片不得撞击石英舟槽、舟杆,舟壁 (严禁听到硅 片撞击石英舟的声音)
2、注意工艺卫生，及时更换PVC手套，严禁手直接 接触硅片。
清洗
目的：为了保证多晶电池制绒后，进行扩散工序时， 硅片表面的清洁、干燥，利用盐酸、氢氟酸和去 离子水，去除硅片表面残留的溶液和杂质；利用 甩干机将硅片表面的水甩干。
生产注意点：
硅片经清洗后表面脱水效果良好，甩干后表面 清洁、干燥。
操作要求:
1，要求员工生产或维修等作业时，需按要求着装， 佩戴干净的手套；
上 片
刻蚀槽
HNO3/ HF
水 喷 淋
碱洗槽
水 喷
水 去PSG槽 喷
风
KOH 淋
HF
淋刀
下 片
“一化一水”，硅片每经过一次化学品，都会经过一次水喷淋清洗。
多晶制绒原理：
在酸性溶液的腐蚀作用下硅片表面产 生蜂窝状绒面，该腐蚀现象可以用氧化化 学腐蚀的理论进行解释。化学反应方程如 下：
晶硅光伏组件材料与工艺学习.
1.8 边框
功能 为组件产品提供了足够的强度支撑和边缘防护，保证我们的组件 可在户外各种恶劣的环境中使用25年。
12
构成
1、基材：采用高性能铝合金材料制作，具有良好的力学能。 2、防护层：采用阳极氧化处理，可满足在沿海地区使用的要求。
边框的特点
1、结构强度高，经过2400Pa风压实验。 2、阳极氧化层厚，具有优良的防腐性能。 3、设计合理，节省原材料。 4、结构简洁，外观美观。
凝胶时间：凝胶时间要求≤60 min
1.7 接线盒
功能
11
用于将光伏组件产生电能输出至用电器，并在组件出现热斑效应时对组件 进行一定的保护。 构成 1、盒体、盒盖：由高耐候性，高阻燃塑料材料制成，为盒内各元器件提 供保护。 2、旁路二极管：采用国内知名品牌生产的二极管，起旁路作用。 3、电缆线：采用国际知名品牌的产品，具有良好的耐候性和阻燃性，用 于电能输出。 4、连接器：采用国际知名品牌的产品，具有良好的耐候性、阻燃性以及 电性能，用于相邻组件之间的连接，以形成具有一定规模的发电系统。
1.6 密封胶
边框密封胶主要性能指标
机械性能：硬度、拉伸强度、断裂伸长率、剪切强度 电性能：体积电阻率、击穿介电强度
10
固化深度：24小时固化深度要求大于2mm
灌封胶主要性能指标 机械性能：硬度、拉伸强度、断裂伸长率、剪切强度 电性能：体积电阻率、击穿介电强度 可操作时间：可操作时间要求达到≥8 min
材料本身具备优良的耐侯性能，对组件的背面起到保护 作用，防止湿气进入影响电池的性能，同时对电池形成 保护，也起到耐压绝缘的作用。 通常为白色，由于其对光线的反射作用，对于太阳电池 能产生“零深度反射效应”，增加组件的功率输出。1.Biblioteka 背板背板材料主要性能指标
电池片全工序基础工艺培训资料
电池片全工序基础工艺培训资料一、引言电池片是太阳能光伏发电系统的核心组件之一，其质量直接影响着光伏发电系统的性能和效益。
为了提高电池片的生产质量和工艺水平，本培训资料旨在介绍电池片全工序基础工艺，包括材料准备、切割、清洗、扩散、沉积、腐蚀、电极印刷、烧结、检测等环节。
二、材料准备1. 硅片选择：硅片是制造电池片的基础材料，应选择高纯度、低杂质的硅片。
2. 硅片切割：使用切割机将硅片切割成适当大小的方片，以适应后续工艺的要求。
3. 硅片清洗：将切割好的硅片放入清洗槽中，使用超纯水和清洗剂进行清洗，去除表面污染物。
三、扩散工艺1. 扩散介质制备：将扩散介质溶解在适当的溶剂中，制备成扩散浆料。
2. 扩散工艺参数设定：根据硅片的要求和产品规格，设定合适的扩散工艺参数，如温度、时间、浓度等。
3. 扩散过程控制：将硅片放入扩散炉中，控制好温度和时间，使扩散介质中的掺杂元素能够渗透到硅片中。
四、沉积工艺1. 沉积介质制备：将沉积介质溶解在适当的溶剂中，制备成沉积浆料。
2. 沉积工艺参数设定：根据电池片的要求和产品规格，设定合适的沉积工艺参数，如温度、时间、浓度等。
3. 沉积过程控制：将硅片放入沉积槽中，控制好温度和时间，使沉积介质中的材料能够均匀地覆盖在硅片表面。
五、腐蚀工艺1. 腐蚀介质制备：将腐蚀介质溶解在适当的溶剂中，制备成腐蚀浆料。
2. 腐蚀工艺参数设定：根据电池片的要求和产品规格，设定合适的腐蚀工艺参数，如温度、时间、浓度等。
3. 腐蚀过程控制：将硅片放入腐蚀槽中，控制好温度和时间，使腐蚀介质能够去除硅片表面的不需要部分。
六、电极印刷工艺1. 电极浆料制备：将电极浆料中的材料粉末与适当的溶剂混合，制备成电极浆料。
2. 电极印刷工艺参数设定：根据电池片的要求和产品规格，设定合适的电极印刷工艺参数，如压力、速度、温度等。
3. 电极印刷过程控制：将电极浆料均匀地印刷在硅片表面，控制好印刷的厚度和均匀性。
七、烧结工艺1. 烧结装置准备：将印刷好电极的硅片放入烧结装置中，设定合适的温度和时间。
多晶电池生产工艺流程培训课件
• 原理：利用硝酸的强氧化性和氢氟酸的络合性，对硅进行氧化和络合 剥离，导致硅表面发生各向同性非均匀性腐蚀，从而形成 类似“凹陷
坑”状的绒面。
•
Si + HNO3 → SiO2 + NOx ↑ + H2O
•
SiO2 + 6HF → H2SiF6 + 2H2O
二、太阳电池生产工艺
二、的接触和遮光率；Ag浆料中的 玻璃添加料在高温（~700度）下烧穿SiN膜，使得Ag金属接触硅 片表面，在银硅共熔点（760度）以上进行合金化。
二、太阳电池生产工艺
分类检测
工作原理：
本系统通过模拟AM（Air Mass）1.5 1000W/m2太阳光脉冲照射PV电 池表面产生光电流，光电流流过可编程模拟负载，在负载两端产生电 压，负载装置将采样到的电流、电压传送给SCLoad计算,得到IV曲线 及其它指标，并根据实际光强和温度对它们进行修正。SCLoad 根据 测试结果，按照给定的分类规则分类，将分类结果传送给分检系统，
多晶电池生产工艺流程
目录
一、 太阳电池简介 二、 太阳电池生产工艺
一、太阳电池简介
1、太阳电池简介 太阳电池是一种对光有响应并能将光能转 换成电力的器件。
太阳能电池，又叫光生伏打电池，它是以半 导体材料为基础的一种具有能量转换功能 的半导体器件，是太阳能光伏发电的最核 心的器件。
一、太阳电池简介
二、太阳电池生产工艺
二、太阳电池生产工艺
• 工序六，丝网印刷：
•
用丝网印刷的方法，完成背场、背电极、正栅
线电极的制作，以便引出产生的光生电流；
•
工艺原理：
•
给硅片表面印刷一定图形的银浆或铝浆，通过
晶体硅太阳能电池丝网印刷工艺培训
21
粘网
• 产生原因
1. 印刷压力过小。 2. 丝网间隙过小。 3. 浆料黏度过大。 4. 刮胶角度过小或刮胶刃口
磨损。 5. 印刷速度过快。 6. 网版张力不够。 7. 印刷台面真空吸力不够。
• 解决方法
1. 加大印刷压力。 2. 加大丝网间隙。 3. 浆料搅拌适当时间。 4. 重新安装或更换刮胶。 5. 降低印刷速度。 6. 更换网版。 7. 调大真空吸力。
隐裂。
• 解决方法 1. 降低印刷压力。 2. 调松定位夹具。 3. 清理台面。 4. 切换合格硅片。 5. 查找具体原因。
印刷偏移
• 产生原因 1. 网版未对准。 2. 定位夹具精度不够。 3. 硅片尺寸不一。 4. 硅片重量差异过大。
• 解决方法 1. 重新对网版。 2. 调整定位夹具。 3. 切换合格硅片。 4. 切换合格硅片。
浆料
浆料是由功能组份、粘结组份和有机载体组成的一 种流体，功能组份一般为贵金属或贵金属的混合物。载 体是聚合物在有机溶剂中的溶液。功能组份决定了成膜 后的电性能和机械性能。载体决定了厚膜的工艺特性， 是印刷膜和干燥膜的临时粘结剂。功能组份和粘结组份 一般为粉末状，在载体中进行充分搅拌和分散后形成膏 状的厚膜浆料。烧结后的厚膜导体是由金属与粘结组份 组成。
缺印
• 产生原因 1. 浆料未及时添加。 2. 丝网间隙过大。 3. 印刷压力过小。 4. 硅片表面有异物。 5. 硅片厚薄不均。
• 解决方法 1. 及时添加浆料。 2. 降低丝网间隙。 3. 加大印刷压力。 4. 清除异物。 5. 切换合格硅片。
电池片的电性能数据
Uoc
Isc
Eff
FF
2020/10/11
厚薄不均
最新晶体硅电池片检验培训讲学
晶体硅电池片1、检验内容及检验方式：1）电池片厂家，纸箱包装及内包装，电池片外观，尺寸，厚度，电性能，可焊性，细栅线印刷。
2）检验方式：品管抽检（按来料的千分之二），生产外观全检。
2、工具设备：单片测试仪，千分尺，游标卡尺，烙铁，刀片，橡皮。
3、材料：涂锡带，TPT，EVA，玻璃。
4、检验方法：1）厂家包装外观：包装良好厂名、产品名称、产品型号或标记、制造日期、生产批号、标称厚度、转换效率、合格标识，电池内包装和外包装应完好无损。
图1图2图3 2）外观目测：a.与表面成35°角日常光照情况下观察表面颜色，目视颜色均匀一致，无明显色差花斑、水痕、手印、划痕及污垢。
b.隐裂：电池片有隐裂、肉眼可见的裂纹，均视为不合格c.背面铝背电极完整，表面平整、边界清晰、无明显凸起的“铝珠，脱落3mm2 /个≤5mm2、鼓泡累计面积≤5mm2, 背面铝膜与基体材料的附着强度?背膜烧结：用层压机130—145度，超过10分钟。
冷却到室温后，用刀片隔开1cm的宽度，用大于50N的拉力，铅膜不随EVA脱落，则认为合格。
d.受光面栅线：主栅线均匀完整，栅线印刷清晰、对称；主栅线与细栅线处允许≤1mm；细栅线允许≤2mm 的脱落；栅线印刷偏离，明显两次印刷的返工片视为不合格；断点的总数≤60mme.崩边：每一边不超过两处崩边，崩边间距≥30mm、深度≤0.5片子厚度、面积≤mm2f.电池边缘缺角面积不超过1mm2，数量不超过2个。
缺角：一边有一处崩边，面积≤5mm2，一边由两处崩边、面积≤3mm2g.电池的崩边、钝形缺口等外形缺损的尺寸要求：长度不大于1.5mm，由边缘向中心的深度不大于0.5mm，同一片电池上正面出现此类外形缺损数量不超过两处。
同时不允许电池上V形缺口。
3)尺寸：符合厂家提供要求±0.5mm尺寸表1 多晶硅太阳电池的尺寸要求尺寸(mm) 103×103 125×125 150×150 156×156尺寸公差(mm) ±1.0 ±1.0 ±1.0 ±1.0垂直度90°± 0.3°厚度偏差（μm）±30总厚度偏差（μm）60表2尺寸(mm) 103×103 125×125 150×150 156×156 （准方）直径（mm）135.0 150.0或165.0 203.0 203.0尺寸公差(mm) ±1.0 ±1.0 ±1.0 ±1.0垂直度90°±0.3°厚度偏差（μm）±30总厚度偏差（μm）60注：12）总厚度偏差：在一系列点的厚度（包含电极厚度）测量中，被测电池的最大厚度与最小厚度的差值。
宁晋晶澳太阳能电池车间培训内容
宁晋晶澳太阳能电池车间培训内容为了提高宁晋晶澳太阳能电池车间员工的技能水平和工作效率，我们特别设计了一套培训内容，旨在帮助员工更好地理解和掌握太阳能电池生产工艺和操作要点。
一、太阳能电池的基本原理和组成部分太阳能电池是将光能转化为电能的装置，由多个组件组成。
在培训中，我们将详细介绍太阳能电池的基本原理、工作方式以及各个组成部分的功能和特点，让员工对太阳能电池有一个全面的了解。
二、太阳能电池的生产工艺流程针对宁晋晶澳太阳能电池车间的生产工艺流程，我们将逐一介绍每个环节的操作步骤和注意事项。
从硅片的切割、清洗到薄膜涂布、光热处理、电池片组装以及包装等环节，都将详细讲解，确保员工能够正确、高效地完成每一个步骤。
三、太阳能电池生产中的关键技术和质量控制在太阳能电池的生产过程中，有一些关键技术和质量控制点需要特别注意。
我们将详细介绍这些关键技术，并提供实际操作演示，让员工能够灵活运用，并确保每个环节的质量控制达到要求。
四、安全生产和环境保护意识培养在宁晋晶澳太阳能电池车间，安全生产和环境保护是至关重要的。
我们将培养员工的安全意识和环保意识，讲解相关法规和规范，并提供实际案例和应急处理方法，以确保员工在工作中能够安全、环保地进行操作。
五、设备操作和维护技巧太阳能电池车间涉及到各种生产设备的操作和维护，我们将详细介绍每台设备的操作要点、维护方法以及常见故障处理技巧。
培训中将提供实际操作机会，让员工能够熟练掌握设备的操作和维护，提高工作效率和设备利用率。
六、团队合作和沟通技巧在宁晋晶澳太阳能电池车间，团队合作和良好的沟通是推动工作高效进行的关键。
我们将通过团队合作演练和沟通技巧培训，帮助员工更好地理解团队合作的重要性，提高沟通效果，增强团队凝聚力。
七、质量检验和产品追溯太阳能电池的质量检验对于产品的合格性和可靠性至关重要。
我们将详细介绍质量检验的流程和标准，培训员工正确使用检测设备，掌握合格产品的判定标准，并介绍产品追溯的重要性和方法，以确保产品质量可追溯。
PERC SE 单晶电池工艺-培训资料
工艺流程：
AlOx
SiNx
SiNx
BMO Buffer Modules Out BMO/UM Buffer-Out / Unload Module LM/BMI Load / Buffer-In Module PM Process Modules (1 st PM: AlOx; 2 nd and 3 rd PM: SiNx) TM/BMI Transfer / Buffer-In Module
SiNx
AlOx
PERC电池制程@PECVD/ARC
PECVD/ARC原理： SiH4+NH3 →S ixNy+12H2 PECVD沉积SiNx减反射膜；
目的： 表面钝化和降低反射率；
JiaYue SOLAR
n1d1=λ/4
d1≈78nm （n=2.12）
太阳光能谱
减反射原理
短波光穿透深度小，在电池表面附近被吸收； 长波光穿透深度大，可注入至电池体内及背表面
JiaYue SOLAR
扩散原理： 采用三氯氧磷（POCl3）液态源扩散方法，在硅片表面形成N型层；
目的： 形成PN结（太阳电池核心单元）；
化学反应式： 4POCl3+3O2 → 2P2O5+6Cl2↑ 2P2O5+5Si → 5SiO2+4P↓
扩散装置示意图
7
PERC电池制程@扩散
JiaYue SOLAR
Selective Emitter
Hot Oxy+AlOx+ SiNx Passivation
Laser grooving
Firing
Firing
annealing
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生产太阳能电池流程
基本流程:
腐蚀绒面
PECVD SiNx
POCl3-掺杂/扩散 切边
去磷硅玻璃
丝 网 印 刷 AI/Ag 丝 网 印 刷 Al 丝 网 印 刷 Ag
烧结
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制备绒面的目的： 减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提 高电池的光电转换效率。
陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反 射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收， 从而增加吸收率。
➢ 生产没有充足的片子时，工艺对产线员工的要求。A,如果 有一个小时以上的停机，我们要求要将刻蚀槽的药液排到 tank，减少药液的挥发。B,停机后没半小时用水枪冲洗碱 槽喷淋，以防结晶盐堵塞喷淋。C,停机一个小时以上，要 在开启机器生产前半小时用水枪冲洗风刀处的滚轮，杜绝 制绒后的片子有滚轮印！
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• 并联电阻（Rsh）：系指太阳能电池 内部的、跨连在电池两端的等效电阻
Vm Voc
V • 填充因子（FF）：指太阳能电池的最 大功率与开路电压和短路电流的乘积之 比
• 转换效率（η）：指受光照太阳电池的 最大功率与入射到该太阳电池上的全部 辐射功率的百分比
太阳能电池的结构
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腐蚀绒面 InTex
降低表面反射，提高光电转换效率 ➢ 浓度: HF 125g/L， HNO3 380g/L ➢ 温度: 6 – 8 ºC (chiller) ➢ 时间: 2 分钟
清洗: ➢ 水洗: DI – H2O 20 ºC ➢ 碱洗: KOH / NaOH 5% , 20 ºC , 0.5 分钟 ➢ 酸洗: HF 5% ,HCL 10% ,20 ºC , 1 分钟
好的欧姆接触特性和焊接性能，长期附着性能很 好。 作用：收集载流子。
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四 浆料的使用
第三道印刷银浆按照硅片的不同类型使 用不同的型号单晶为ferro33—462、作 用：收集电流。
烘干炉、烧结炉的作用：烘干是为了 去除浆料中的有质部分；烧结是为了让 上下电极形成欧姆接触，提高转换效率 。
手套去拿片子。
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烧结
烧结的目的 干燥硅片上的浆料，燃尽浆料的有机组 分，使浆料和硅片形 成良好的欧姆接触 。
烧结对电池片的影响
❖相对于铝浆烧结，银浆的烧结要重 要很多，对电池片电性能影响主要表 现在串联电阻和并联电阻，即FF的变 化。 ❖背面场经烧结后形成的铝硅合金，铝 在硅中是作为P型掺杂，它可以减少金 属与硅交接处的少子复合，从而提高开 路电压和短路电流，改善对红外线的响 应。 路漫漫其悠远
质量要求
❖ 烧结后的氮化硅表面颜色应该均匀，无明显的色 差.
❖ 背场无铝珠 ❖ 电池最大弯曲度不超过1mm
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I Isc I
m
O
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测试
A M
I-V曲线专业术语 •串联电阻（Rs）：系指太阳电池内部 的与P-N结串联的电阻，它是由半导体 材料体电阻、薄层电阻、电极接触电阻 等组成
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印刷工序工艺要求
✓ 严格按照工艺要求的印刷重量进行生产。如果更 换网板刮条后印刷重量不符工艺要求，要及时向 当班的工艺技术员反应，将重量调至达标，才能 进行生产。
✓ 印刷不能偏移，不能出现印刷不全。 ✓ 正面不允许有两处断线。 ✓ 不允许浆料污染到片子。 ✓ 生产操作过程中严格要求生产要求，不允许不带
➢ 生产没有充足的片子时，工艺对产线员工的要求。A,如果 有一个小时以上的停机，我们要求要将刻蚀槽的药液排到 tank，减少药液的挥发。B,停机后没半小时用水枪冲洗碱 槽喷淋，以防结晶盐堵塞喷淋。
➢ C,停机一个小时以上，要在开启机器生产前半小时用水枪 冲洗风刀处的滚轮，杜绝制绒后的片子有滚轮印！
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空气或玻璃 n0=1 or 1.5 SiN减反膜的最佳折射率n1为 1.9或2.3 硅 n2=3.87
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PECVD颜色和膜厚的关系
氮化硅颜色与厚度的对照表
颜色
厚度（nm）
颜色
厚度（nm）
颜色
厚度（nm）
硅本色
0-20
很淡蓝色
100-110
蓝色
210-230
褐色
20-40
硅本色
110-120
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去磷硅工序工艺要求
➢ 去磷硅后的片子，不允许用手摸片子的表面。收片员工只 容许接触片子的边缘进行装片。并且要勤换手套，避免 PECVD后出现脏片！
➢ 认真执行每批片子的腐蚀重量和绝缘电阻的检测工作，绝 缘电阻是衡量后清洗工艺的重要指标。所以希望上班的测 片员工认真完成这项工作。A,要求每批测量4片。B,每次 放测量片时，把握均衡原则。如，第一批我们把测试片放 在1.3.5.7道，那下一批我们要求将测试片放在2.4.6.8道 。这样我们也就可以检测设备稳定性以及溶液的均匀性。
钝化太阳电池
在SiN减反射膜 中存在大量的 H，在烧结过 程中会钝化晶 体内部悬挂键 。
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PECVD的原理
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PECVD的原理
在左图中示出了四分之一波长减反射 膜的原理。从第二个界面返回到第一个界 面的反射光与从第一个界面的反射光相位 相差180度，所以前者在一定程度上抵消 了后者。即n1d1=λ/4
蓝绿色
230-250
黄褐色
40-50
淡黄色
120-130
浅绿色
250-280
红色
55-73
黄色
130-150
橙黄色
280-300
深蓝色
73-77
橙黄色
150-180
红色
300-330
蓝色
77-93
红色
180-190
淡蓝色
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93-100
深红色
190-210
丝网印刷工艺培训
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二 丝网印刷的工作流程
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制绒工序工艺要求
➢ 制绒后的片子，不容许用手摸片子的表片。收片员工只允 许接触片子的边缘进行装片。并且要勤换手套，避免扩散 后出现脏片！
➢ 认真执行每批片子的腐蚀深度的检测工作，腐蚀深度是衡 量制绒工艺的重要指标。所以希望上班的测片员工认真完 成这项工作。A,要求每批测量4片。B,每次放测量片时， 把握均衡原则。如，第一批我们把测试片放在1.3.5.7道 ，那下一批我们要求将测试片放在2.4.6.8道。这样我们 也就可以检测设备稳定性以及溶液的均匀性。
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PECVD的作用
在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。其还具有卓越的抗氧 化和绝缘性能，同时具有良好的阻挡钠离子、掩蔽金属和水蒸汽 扩散的能力；它的化学稳定性也很好，除氢氟酸和热磷酸能缓慢 腐蚀外，其它酸与它基本不起作用。
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PECVD的作用
减少入射光的反射
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PECVD的作用
表面无明显蓝点，手印以及因其他原因引起的污 染。
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刻蚀 InOxSide
切除硅片边缘过多的参杂部分。激光切边，等离子切边，腐蚀切边
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➢ 腐蚀溶液:
HNO3 65% , HF 49% , H2SO4 95% ➢ 温度: 6 – 8 ºC ➢ 时间: 1.5 – 2 分钟 清洗: ➢ 水洗: DI – H2O ➢ 碱洗: KOH 5% ，20 ºC
膜有刺激作用，短期内吸入大量蒸汽，可引起上呼吸道刺 激症状、咽喉炎、支气管炎；严重者可发生喉头水肿窒息 、肺炎、肺水肿、心力衰竭等危害。
接触皮肤应立即脱去被污染的衣服，要先用纸、棉花等将 液体吸去，然后用大量流动的清水冲洗至少15分钟，就医 。
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检验标准
扩散方块电阻控制在45-55Ω/□之间。同一炉扩散 方块电阻不均匀度≤10%，同一硅片扩散方块电阻 不均匀度≤5%。
生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化 硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下：
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影响扩散的因素
管内气体中杂质源的浓度 扩散温度 扩散时间
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POCl3 简介
POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源 无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄
色。 比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。 遇水蒸汽分解成磷酸和氯化氢，可致磷中毒，对皮肤、粘
扩散
太阳电池制造的核心工序
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扩散装置示意图
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太阳电池磷扩散方法
１．三氯氧磷（POCl3）液态源扩散 ２．喷涂磷酸水溶液后链式扩散
本公司目前采用的是第一种方法和第二种方法。
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POCl3磷扩散原理
POCl3在高温下与氧气反应生成五氧化二磷（ P2O5）和氯气（CL2)，其反应式如下：
➢ 酸洗: HF 5% ， 20 ºC
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腐蚀表面扩散层 InOx
酸液腐蚀: ➢ HF 5% - 7%，2 min
10 - 20 ºC 清洗: ➢ 水洗 DI – H2O，6 min
20 ºC
去磷硅玻璃主要反应方程式 1: SiO2 + 4HF = SiF4 + 2H2O 3: SiF4 + HF= H2SiF6
PECVD工艺培训
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目录
PECVD的作用 PECVD的原理
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定义
等离子体：由于物质分子热运动加剧，相互间 的碰撞就会使气体分子产生电离，这样物质就 会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子 和中性粒子组成的混合物。
PECVD：Plasma EnhanceChemical Vapour Deposition 等离子增强化学气相沉积