烧结炉操作说明
VSJ-300W.S型真空烧结炉操作说明
VSJ-300W·S型真空烧结炉操作规程一、准备工作1、开机前接通水源，气源调整至合适状态。
2、检查设备各部分（包括按钮、旋钮开头）正常后，接通控制电源。
3、检查仪表及显示是否正常。
4、按控温调节器的使用说明书设定工艺曲线。
二、装料1、机械泵抽真空后，关上炉门开头，待齿圈旋开后，停机械泵。
2、手动开放气阀，待气压平衡后，开炉门，然后关放气阀。
3、用料车将工件装到炉床上。
4、手动推合炉门后，将炉门气缸旋钮旋至关闭位置。
三、自动程序操作1、手动/自动的旋钮旋至自动，并按下自动启动按钮，此时自动启动按钮灯会点亮，显示设备的操作已进入自动状态。
2、这时，本设备即可按设定的自动程序工作，完成抽真空、加热（预先设定加热程序），冷却全过程。
具体操作见《VSJ-300W·S型真空烧结炉电控程序说明书》。
3、当风冷结束并报警响铃时，表示自动结束，这时可以将炉门打开取出试料。
然后重新装料后，再按“自动启动”按钮即可。
四、手动程序操作这是为不同使用条件下设置的操作方式。
这时手动/自动开头应在手动位置。
1、抽真空⑴当确认炉门和手动隔膜放气阀关闭后，开启机械泵。
⑵待机械泵运转正常后开启前级阀，五分钟后关闭前级阀，并开启粗抽阀。
⑶当真空度高于是1X103Pa（即压强低于1X103Pa）时，可以开启罗茨泵。
工作时，如真空度降低，低于1X103Pa时，应及时关闭罗茨泵（设备装有过压保护装置）。
⑷当真空度高于（或压强低于）50Pa时，扩散泵预热60分钟后，应先关粗抽阀，然后再开主阀，实现扩散泵的高真空抽气。
几种情况处理：A：工作过程真空度降低当低于50pa时，关主阀开粗抽阀。
当真空度恢复后关粗抽阀开主阀。
B：抽低真空（粗真空）当工作真空度低于2X10-1pa（即压强高于2X10-1pa）时，只开机械泵和罗茨泵。
这时扩散泵不加热，主阀不开，但要开前级阀。
C：二次抽真空当连续工作时，一般扩散泵不停（间隔时间不大于1小时），当对炉内充气时，先关主阀和粗抽阀，然后停罗茨泵，由机械泵作扩散泵前级泵（有维持泵的可以关罗茨泵和前级泵，开维持泵的前级管路阀）。
粉末冶金烧结炉操作指南说明书
粉末冶金烧结炉操作指南说明书一、引言粉末冶金烧结是一种重要的金属制造工艺，通过将金属粉末加热至熔点以下，使其颗粒间发生结合，形成固体坯体。
本操作指南旨在提供对粉末冶金烧结炉的操作要求和技术指导，确保操作人员能够正确、安全地操作该设备。
二、安全操作规程1. 在操作烧结炉之前，操作人员必须穿戴防护设备，包括防热手套、防护眼镜、耐高温服装等。
2. 切勿将湿润的金属粉末投入到烧结炉中，避免发生剧烈反应或爆炸。
3. 操作人员应定期检查烧结炉内部的温度计和温度控制系统，确保其正常工作。
4. 当操作人员需要打开烧结炉门时，应先切断电源并等待炉内温度降至安全范围后方可进行。
三、烧结炉操作步骤1. 准备工作a) 将所需金属粉末按照工艺要求进行筛选，确保符合烧结所需的粒径范围。
b) 将筛选好的金属粉末加入烧结模具中，并采取适当的压制力进行初步成型。
2. 加热阶段a) 将已加入金属粉末的烧结模具放入预热室中，并确保其位置稳固。
b) 打开预热室和烧结炉的门，使用温度计测量炉内温度，并调整温度控制系统进行加热。
c) 根据工艺要求，控制烧结炉内的温度升降速度，使金属粉末逐渐达到烧结温度。
3. 烧结阶段a) 当烧结温度达到要求后，控制烧结炉内的保温时间，确保金属粉末达到充分结合的状态。
b) 在烧结过程中，可以根据需要进行一些辅助操作，如喷雾冷却、气氛调节等，以优化烧结效果。
4. 冷却与取出a) 烧结完成后，关闭温度控制系统，逐渐降低烧结炉内的温度。
b) 待烧结炉内温度降至安全范围后，打开烧结炉门，使用防护工具将烧结坯体取出，注意避免烫伤。
四、烧结炉维护1. 每次使用后，应将烧结炉进行全面清洁，清除炉膛内的金属残渣、附着物等。
2. 定期检查和清理烧结炉的通风系统，确保其正常运行。
3. 若发现烧结炉内部有损坏或异常，应及时联系专业维修人员进行修复。
五、注意事项1. 操作人员必须熟悉烧结炉的工作原理、操作要求和应急处理措施，确保操作的安全性和顺利性。
烧结操作规程
烧结操作规程烧结操作规程一、烧结工艺概述烧结是一种将粉末颗粒在一定条件下通过加热使之相互融结并形成致密块体的工艺。
烧结操作规程是制定和规范烧结工艺的操作指南，通过严格执行操作规程，可以保证产品的质量稳定性和生产效率。
二、操作准备1. 烧结设备检查：检查烧结设备的各项参数和设备运行状态，确保设备正常工作。
2. 确定烧结工艺参数：根据产品要求和烧结设备的特性，确定烧结温度、时间、气氛和加热速率等工艺参数。
三、烧结操作步骤1. 入炉准备：将待烧结的物料按照工艺要求整理，清除表面杂质和水分。
然后将物料放入烧结炉，注意排列均匀，避免堆积过高或堆积不均匀。
2. 炉温升温：根据烧结工艺参数，将炉温逐渐升高至目标温度。
升温速率应控制在合理范围内，避免过快或过慢。
3. 保温烧结：当炉温升至目标温度后，保持一段时间进行保温烧结。
保持时间应根据具体产品的要求确定，一般在30分钟至2小时之间。
4. 炉温冷却：保温烧结完成后，将炉温逐渐降低至室温，冷却速率应适中，避免过快或过慢引起断裂或变形。
5. 取出产品：炉温冷却至室温后，打开烧结炉门，小心取出产品。
产品应进行质量检查，记录烧结参数和产品质量情况。
四、操作注意事项1. 操作人员应熟悉烧结工艺和设备操作规程，并佩戴相关的个人防护用品。
2. 物料应按照规定的品种、数量和质量进行装载和放置。
3. 炉温升降速率应根据具体物料和工艺要求合理确定，避免产生过快或过慢的冷却速度。
4. 在烧结过程中应定期监测和记录烧结设备和产品的温度、压力、气氛和形态等参数。
5. 若出现设备故障或异常情况，应及时停机检修或采取相应的应急措施，保证人员和设备安全。
6. 完成烧结后，应及时清理烧结炉和相关设备，做好设备维护和保养工作。
五、操作规程的执行和改进1. 烧结操作规程应由指定的技术人员编写，并明确操作人员的职责和权限。
2. 操作规程的执行应由质量管理部门进行监督和检查，确保操作的合规性和可靠性。
压力烧结炉日常维护和使用说明
过压炉日常维护和操作说明为保证生产正常运转，提高设备运行率，现对过压炉日常维护和使用情况作具体规范，如有不完善之处，根据实际情况调整。
一）开炉前检查和维护1）检查真空泵油，油位不够应及时补充，泵油混浊则应更换。
2）检查冷却水系统是否正常，各支路水流量是否处于正常值范围，供水压力在0.25MP-0.45 MP范围。
3）检查液压系统油位、压力、是否正常，系统不得有渗漏。
4）检查压缩空气压力是否在（0.5-0.7）MP范围，空气三联体是否清洁。
5）检查高压氩气系统是否正常，包括：液压槽、低温阀门、低温泵组、汽化器、稳压罐、压力表、减压阀、安全阀、不得有任何泄漏。
6）检查各工艺气体的供气系统是否正常，不得有任何泄露。
7）检查机械系统，包括：炉门、转环、排气阀、安全阀是否正常，必须润滑良好，无异常响声。
8）每次关闭炉门之前必须清理炉门转环、包炉：炉体与炉门的两部分及正反两面，要求无任何杂质，润滑良好。
9）检查炉门密封面、密封圈、清洁炉门密封面并涂以少许防锈油。
10）检查炉体内发热体、保温层是否正常，检查石墨筒体、石墨导轨、滚轮是否正常、特别检查石墨发热元件是否氧化、有放电火花痕迹，表面颗粒变粗等则应及时更换。
PT100个4个铠装热电偶，6炉1#检查各热电偶是否正常，如：）11．电阻温度计等。
12）检查计机内报警信息记录，对多次重复报警信息需分析原因，并采取相应的措施。
13）检查电动液压装炉叉车的电器系统、液压系统、以及其它机械构件。
包括：电瓶、导向机构、升降机构、送料机构等。
二）正常操作：1）开炉前确保无任何报警信息出现，发现问题在开炉前处理。
2）检查工业PC机中各参数设置是否符合要求，炉子的基本设定值，非专业人员不得擅自修改，否则给炉子带来致命伤害。
3）根据过压炉叉车使用说明将炉料送入炉内，关闭炉门，注意上部安全插销必须推送到位。
4）根据工艺单，在SE404或工业PC机中调出工艺曲线，必要时修改，需另外一人进行复核，确保工艺执行无误。
放电等离子烧结炉安全操作及保养规程
放电等离子烧结炉安全操作及保养规程1. 前言放电等离子烧结炉是一种重要的材料制备设备，主要应用于薄膜、陶瓷、晶体等多种材料的制备。
在使用烧结炉的时候，必须按照正确的操作方法进行操作，以保证设备的稳定和安全，同时也能够延长烧结炉的使用寿命。
本文将详细介绍放电等离子烧结炉的安全操作和保养规程。
2. 安全操作规程2.1 安全设施在使用放电等离子烧结炉之前，必须先检查设备是否有完备的安全设施，包括：1.紧急停机按钮：必须设置在易于操作的位置，并且必须能够立即停止设备的运行；2.安全开关：这个开关必须设置在变压器之前，可以自动断电或者分断电源电路，以保证设备在出现故障时能够立刻停机；3.过渡灯：必须设置在控制面板后面或者设备的察看口上方，以便对设备进行观察；4.保护装置：这个装置必须能够自动检测、判断并停止不正常运行的设备。
2.2 操作规程放电等离子烧结炉启动前的操作：1.检查设备是否能够正常通电，加热和送电，等到达一定程度后，才能投料；2.将半成品放入烧结炉上方的隔热室内，并将靶材放在工作台上；3.打开真空泵进行排气，排除内部氧气，保证真空度强；4.打开气源，用氢气或氮气对靶材进行冲洗。
放电等离子烧结炉操作中的注意事项：1.必须按照规定容量的电压和电流进行运行，否则将直接致使设备的故障；2.然而不能太过放电硬烧，跟加热器初始状态会造成较高弧电流，甚至导致铜内电导出的变形；3.必须在定期维护和保养之后使用设备。
2.3 关机操作关机操作应当按如下步骤进行：1.首先将加热器和保温器的温度调到可下降到自然温度炉，等待设备自然冷却；2.将机器外部及内部清洗干净；3.拆下维修部件，更换或修理；4.重要是，关闭电源。
3. 烧结炉保养规程为了更好地对设备进行长期稳定的使用，必须进行一些常规的保养操作，包括：1.定期检查电气连接、驱动链轮和钳口弹簧；2.定期对设备进行拆卸、清洗和改进；3.检查电缆的外观是否损坏以及电缆的接地情况；4.烧结炉的冷却水的过滤和更换；5.定期检查设备的密封性以及真空度，发现问题及时维护；6.烧结炉放电电源容易支离破碎，但是不能使用大力，容易破坏放电电压器等部件；7.定期清洁加热加学，以免出现电磁干扰不妥呢条形等问题。
烧结炉操作规程(一)2024
烧结炉操作规程（一）引言概述：烧结炉是一种重要的冶金设备，用于将颗粒状原料通过高温、高压和化学反应，实现矿石、粉末等物料的烧结过程。
为了安全高效地操作烧结炉，本文将首先介绍烧结炉的基本构造和工作原理，然后详细阐述烧结炉的操作规程。
正文：一、操作前的准备1. 清理和检查设备，确保烧结炉内无异物和积存物。
2. 检查燃料和冷却水供应是否充足，确保原料供给的稳定性。
3. 检查电气设备是否正常运行，确保自动控制系统正常工作。
4. 装备个人防护用品，如防热手套、护目镜、防护服等。
二、启动和预热1. 打开燃料供给系统并进行点火，确保烧结炉内的温度迅速升高。
2. 调节风门和燃料供给量，保持燃烧的稳定性。
3. 检查烧结炉的加热系统是否正常运行，确保温度的均匀性。
4. 根据烧结炉的设计要求，预热烧结炉至设定温度。
三、投料和烧结1. 调节原料供给系统，控制物料的安全投入和均匀分布。
2. 根据工艺要求，设置烧结炉的温度、压力和气氛。
3. 监测烧结炉内的温度、气氛和压力情况，及时作出调整。
4. 控制烧结炉内的冷却速率，防止过热或过冷产生不良反应。
5. 根据工艺流程和烧结炉运行情况，及时采取合适的措施调整操作参数。
四、停炉和冷却1. 停止原料供给和燃料供给系统，关闭排放系统。
2. 断开电源并断开热源，停止烧结炉的加热。
3. 控制冷却速率，防止急冷导致烧结炉的破裂。
4. 监测烧结炉内部温度的变化，确保冷却过程安全可控。
5. 冷却完毕后，彻底清理烧结炉，清除积存物。
总结：烧结炉操作规程对于烧结过程的安全和效率具有重要意义。
通过对烧结炉的准备、启动、投料和烧结、停炉和冷却等环节的详细阐述，可以确保操作人员在烧结炉操作过程中能够正确操作、稳定运行，并严格遵守安全规范，从而保障生产工艺的顺利进行。
烧结炉的操作流程
烧结炉的操作流程
一、炉前准备
1.检查炉子的完好性，确定烧结炉是否可以正常使用。
2.查看每个热区的加热器、燃气和电气系统是否正常。
3.确认烟囱是否通畅，能否排放废气。
4.确认仪表读数和电气控制系统是否正常，是否需要调整或更换。
二、上料
1.根据生产计划，选择合适的烧结矿和辅料，将其投入到上料斗中，注意按比例投放。
2.目测检查料层高度是否均匀，是否达到生产要求。
3.关闭上料斗。
三、点火和加热
1.打开主管道燃气，并清洗管道，防止堵塞。
2.打开点火器，使其在炉内点燃燃料。
3.按照操作说明书，设置合适的温度和时间，开始加热烧结矿。
4.加热过程中，根据物料状态和热场温度，调整燃料的喷射量和燃气流量，以达到最佳效果。
四、降温和卸炉
1.达到目标烧结温度后，根据需要，开始降温卸炉。
2.打开降温风机，降低炉体温度，同时清理残留物。
3.根据卸炉需要，依次打开废气管道和卸炉装置，将烧结矿卸出。
五、常见故障排除
1.加热不均匀，烧结矿颜色不一致：检查加热器是否正常、燃气和电气系统是否有故障。
2.炉子温度升不起来：检查燃气供应管道是否正常，燃气流量是否足够，是否需要更换点火器。
3.排气不畅，烧结矿含碳量过高：检查烟囱是否通畅，排气量是否足够，是否需要更换废气处理设备。
以上就是烧结炉操作规程的简要介绍，希望对读者有所帮助。
在烧结生产中，及时发现故障并进行处理，可以提高炉子的生产效率和品质。
一线烧结炉中文操作手册
目录1操作指令备注1.1标识描述1.2定义1.2.1设备用户1.2.2熟练技工1.2.3操作人员1.3版权1.4实质性过失责任2 绪论2.1身份识别2.2 尺寸2.3炉子数据2.3.1传送带2.3.2盒式快速烧结加热2.3.3冷却2.4处理温度2.5媒介供给线路2.5.1水2.5.2空气2.5.3去除废气2.5.4电流2.6 电脑设备2.7功能描述3安全3.1正确用法3.2错误用法3.3安全指示概要3.4安全装备3.4.1过热防护3.4.2紧急停止开关3.4.3“Belt stop”按钮3.5绝缘说明3.6设备操作软件说明3.7防火灭火4功能描述4.1入口/出口4.1.1入口门4.1.2出口门4.2加热4.2.1加热盒烧结FF4.2.2中间的Muffle4.3冷却4.3.1冷却盒4.3.2冷却橱4.4 设备驱动装置4.5媒介4.5.1电力供给装置4.5.2冷却水供给装置4.5.3压缩空气供给装置4.5.4文丘里管系统4.6操作/控制4.6.1CANtrol系统控制器4.6.2动力控制装置4.6.3 CAN Bus 1 和24.6.4温控装置4.6.5 CANtrol 处理控制系统4.6.6变频器4.6.7 遥控服务4.7去除废气5搬运5.1特别安全措施5.2包装类型5.3搬运5.4引入检验5.4.1交付范围5.4.2搬运损害5.4.3存储措施6组装6.1预备安装场所6.2设备核检6.3安装7试运转及停止运转7.1初始启动7.2试运转7.2.1设备-电脑7.2.1.1微软Windows用户界面7.2.1.2 CT-Visual用户界面7.2.2 手动操作面板7.2.3启动7.2.4运行模式7.2.4.1生产7.2.4.2周末运行7.3停止试运转7.4处理8操作8.1状态屏8.2导航栅8.2.1用户登录及退出8.2.2处方保存8.2.3处方加载8.2.4打印8.3跳格设定8.3.1加热8.3.1.1随处方而定的输入值8.3.1.2一般输入值8.3.1.3“Temperature”指示器值8.3.1.4“Operational States”指示器值8.3.1.5“Disturbance”指示器涵义值8.3.2气体供给8.3.3冷却系统8.3.4设置8.3.4.1输入值8.3.5警报8.3.5.1表格显示器定义8.3.5.2显示器选项8.3.5.3警报选项8.3.5.4“附加选项”菜单8.3.6测量8.3.6.1功用概要8.3.6.2测量路线定义8.3.6.3开始测量8.3.6.4连续测量8.3.6.5曲线跟踪8.3.7选项8.3.7.1数据录入8.3.7.2时间控制8.3.7.3用户管理8.3.7.4配置8.3.7.5数据根目录8.3.7.6烧结炉数据8.4网络显示器8.4.1控制系统俯视图8.4.2 CT 视觉系统目录结构9维护9.1故障诊断9.1.1信号灯9.1.2个别干扰9.1.3 ID 10-74 加热故障讯息9.1.3.1超温控制器FF9.1.3.2超温监测器FF9.1.3.3温度测量故障9.1.3.4加热回路FF9.1.3.5温度公差FF9.1.4 ID 100-104 驱动故障讯息9.1.4.1传送带停止按钮9.1.4.2变频器驱动9.1.4.3 CAN-Bus-Error变频器驱动9.1.4.4传送带停顿9.1.4.5传送带公差9.1.4.6外部传送带停止按钮9.1.5 ID 200-255 气体供给故障讯息9.1.5.1处理气压消失9.1.5.2提升气胎气压消失9.1.5.3外部排气装置故障9.1.5.4 Y321-Y335流量计9.1.6 ID 300-322 冷却故障讯息9.1.6.1冷却水箱式冷却器及固态继电器9.1.6.2冷却水回路1-39.1.6.3冷却水中间MUFFLE9.1.6.4 超1分钟温度/冷水回路9.1.6.5 上下冷却盒1/2中冷却扇停止控制9.1.7 ID 400-402 不间断电源/干线供给故障讯息9.1.7.1干线供给阶段性消失9.1.7.2动力失灵超过10秒钟9.1.7.3 L1-L3/N震荡保护开启9.1.8 ID 500-505 气胎故障讯息9.1.8.1冷却盒上半部分1/2没关上9.1.9 ID 600-662 故障/警告混杂讯息9.1.9.1驱动关闭9.1.9.2加热FF关闭9.1.9.3 加热盒FF加温9.1.9.4加热盒FF冷却9.1.9.5校准区温度公差运行后延时9.1.9.6指示灯由黄变绿延时9.1.10 ID 700-703 清洁传送带9.1.10.1刷子清洁器提升/清洁位置不正确9.1.10.2刷子清洁器汽缸开关故障9.1.11 ID801-902 继电器单独警报故障讯息9.1.11.1 V1…V59加热电路控制9.2选取部件的置换9.2.1加热9.2.1.1加热器的置换9.2.2石英轨道上的石英棒9.2.2.1加热盒式烧结FF石英棒更换9.2.2.2盒式冷却石英棒的更换9.2.3冷却系统9.2.3.1冷却盒中冷却扇的更换9.2.3.2冷却盒下半部分冷却扇的更换9.2.4驱动装置9.2.4.1传送带的更换9.2.4.2齿轮电机的更换9.2.4.3滑动离合器的更换9.2.4.4磁制离合器的更换9.2.5媒介9.2.5.1冷却水过滤器的更换9.2.5.2气体加热器的更换9.2.5.3文丘里管喷嘴的更换9.2.5.4如何置换电子流量计（FM）9.2.6操作/控制9.2.6.1单体温控器的更换9.2.6.2更换TMM5模块9.2.6.3更换CAN I/O模块9.2.6.4更换RDIO 8/24模块9.2.6.5更换固态继电器9.2.6.6更换热电偶9.2.6.7更换变频器9.2.6.8更换工业PC（温控器）9.2.6.9更换PLC 中央处理器模块（CEDIO）9.2.6.10更换PLC外延模块9.2.6.11更换BEBRO DC 发动机控制器9.2.6.12更换FANCON扇控制器9.3灭火措施10预防性维护10.1安全检查10.2 烧结炉日志10.3预防性维护间隔期10.3.1日常维护程序10.3.1.1核检设置显示器10.3.1.2核检“Alarm”表符讯息10.3.2周预防性维护程序10.3.2.1核检信号灯功能10.3.2.2核检传送带10.3.3月预防性维护程序10.3.3.1清洁传送带10.3.3.2核检传送带长度10.3.3.3核检冷却盒中冷却扇部分10.3.3.4核检传送带牵引性能10.3.3.5进行数据备份10.3.4季度预防性维护程序10.3.4.1核检单体温控器10.3.4.2清洁文丘里管喷嘴10.3.4.3清洁冷却水过滤器（大）10.3.5半年度预防性维护程序10.3.5.1清洁冷却盒10.3.6年度预防性维护程序10.3.6.1清洁加热盒烧结FF装置10.3.6.2核检温度测量值10.3.6.3核检驱动器速度校准10.3.7每四年度预防性维护程序11备用部件及服务11.1如何订购备用部件11.2备用和磨损部件清单11.3废物处理12附录12.1一致性声明，图版类型，档案12.2制图，规格单，电路图表12.3参数描述12.4控制系统12.5驱动装置12.6软件12.7备用及磨损部件12.8玷污声明12.9供应商文档12.10有独立档案的PC附件12.11图形明细操作手册正文部分：1 操作指令备注该部分内容是设备技术手册的一部分，其涵盖了相关诸如搬运、安装、试运转、运行、服务及设备维护等重要信息的操作指令。
烧结炉中文操作手册
目录1操作指令备注1.1标识描述1.2定义1.2.1设备用户1.2.2熟练技工1.2.3操作人员1.3版权1.4实质性过失责任2 绪论2.1身份识别2.2 尺寸2.3炉子数据2.3.1传送带2.3.2盒式快速烧结加热2.3.3冷却2.4处理温度2.5媒介供给线路2.5.1水2.5.2空气2.5.3去除废气2.5.4电流2.6 电脑设备2.7功能描述3安全3.1正确用法3.2错误用法3.3安全指示概要3.4安全装备3.4.1过热防护3.4.2紧急停止开关3.4.3“Belt stop”按钮3.5绝缘说明3.6设备操作软件说明3.7防火灭火4功能描述4.1入口/出口4.1.1入口门4.1.2出口门4.2加热4.2.1加热盒烧结FF4.2.2中间的Muffle4.3冷却4.3.1冷却盒4.3.2冷却橱4.4 设备驱动装置4.5媒介4.5.1电力供给装置4.5.2冷却水供给装置4.5.3压缩空气供给装置4.5.4文丘里管系统4.6操作/控制4.6.1CANtrol系统控制器4.6.2动力控制装置4.6.3 CAN Bus 1 和 24.6.4温控装置4.6.5 CANtrol 处理控制系统4.6.6变频器4.6.7 遥控服务4.7去除废气5搬运5.1特别安全措施5.2包装类型5.3搬运5.4引入检验5.4.1交付范围5.4.2搬运损害5.4.3存储措施6组装6.1预备安装场所6.2设备核检6.3安装7试运转及停止运转7.1初始启动7.2试运转7.2.1设备-电脑7.2.1.1微软Windows用户界面7.2.1.2 CT-Visual用户界面7.2.2 手动操作面板7.2.3启动7.2.4运行模式7.2.4.1生产7.2.4.2周末运行7.3停止试运转7.4处理8操作8.1状态屏8.2导航栅8.2.1用户登录及退出8.2.2处方保存8.2.3处方加载8.2.4打印8.3跳格设定8.3.1加热8.3.1.1随处方而定的输入值8.3.1.2一般输入值8.3.1.3“Temperature”指示器值8.3.1.4“Operational States”指示器值8.3.1.5“Disturbance”指示器涵义值8.3.2气体供给8.3.3冷却系统8.3.4设置8.3.4.1输入值8.3.5警报8.3.5.1表格显示器定义8.3.5.2显示器选项8.3.5.3警报选项8.3.5.4“附加选项”菜单8.3.6测量8.3.6.1功用概要8.3.6.2测量路线定义8.3.6.3开始测量8.3.6.4连续测量8.3.6.5曲线跟踪8.3.7选项8.3.7.1数据录入8.3.7.2时间控制8.3.7.3用户管理8.3.7.4配置8.3.7.5数据根目录8.3.7.6烧结炉数据8.4网络显示器8.4.1控制系统俯视图8.4.2 CT 视觉系统目录结构9维护9.1故障诊断9.1.1信号灯9.1.2个别干扰9.1.3 ID 10-74 加热故障讯息9.1.3.1超温控制器FF9.1.3.2超温监测器FF9.1.3.3温度测量故障9.1.3.4加热回路FF9.1.3.5温度公差FF9.1.4 ID 100-104 驱动故障讯息9.1.4.1传送带停止按钮9.1.4.2变频器驱动9.1.4.3 CAN-Bus-Error变频器驱动9.1.4.4传送带停顿9.1.4.5传送带公差9.1.4.6外部传送带停止按钮9.1.5 ID 200-255 气体供给故障讯息9.1.5.1处理气压消失9.1.5.2提升气胎气压消失9.1.5.3外部排气装置故障9.1.5.4 Y321-Y335流量计9.1.6 ID 300-322 冷却故障讯息9.1.6.1冷却水箱式冷却器及固态继电器9.1.6.2冷却水回路1-39.1.6.3冷却水中间MUFFLE9.1.6.4 超1分钟温度/冷水回路9.1.6.5 上下冷却盒1/2中冷却扇停止控制9.1.7 ID 400-402 不间断电源/干线供给故障讯息9.1.7.1干线供给阶段性消失9.1.7.2动力失灵超过10秒钟9.1.7.3 L1-L3/N震荡保护开启9.1.8 ID 500-505 气胎故障讯息9.1.8.1冷却盒上半部分1/2没关上9.1.9 ID 600-662 故障/警告混杂讯息9.1.9.1驱动关闭9.1.9.2加热FF关闭9.1.9.3 加热盒FF加温9.1.9.4加热盒FF冷却9.1.9.5校准区温度公差运行后延时9.1.9.6指示灯由黄变绿延时9.1.10 ID 700-703 清洁传送带9.1.10.1刷子清洁器提升/清洁位置不正确9.1.10.2刷子清洁器汽缸开关故障9.1.11 ID801-902 继电器单独警报故障讯息9.1.11.1 V1…V59加热电路控制9.2选取部件的置换9.2.1加热9.2.1.1加热器的置换9.2.2石英轨道上的石英棒9.2.2.1加热盒式烧结FF石英棒更换9.2.2.2盒式冷却石英棒的更换9.2.3冷却系统9.2.3.1冷却盒中冷却扇的更换9.2.3.2冷却盒下半部分冷却扇的更换9.2.4驱动装置9.2.4.1传送带的更换9.2.4.2齿轮电机的更换9.2.4.3滑动离合器的更换9.2.4.4磁制离合器的更换9.2.5媒介9.2.5.1冷却水过滤器的更换9.2.5.2气体加热器的更换9.2.5.3文丘里管喷嘴的更换9.2.5.4如何置换电子流量计（FM）9.2.6操作/控制9.2.6.1单体温控器的更换9.2.6.2更换TMM5模块9.2.6.3更换CAN I/O模块9.2.6.4更换RDIO 8/24模块9.2.6.5更换固态继电器9.2.6.6更换热电偶9.2.6.7更换变频器9.2.6.8更换工业PC（温控器）9.2.6.9更换PLC 中央处理器模块（CEDIO）9.2.6.10更换PLC外延模块9.2.6.11更换BEBRO DC 发动机控制器9.2.6.12更换FANCON扇控制器9.3灭火措施10预防性维护10.1安全检查10.2 烧结炉日志10.3预防性维护间隔期10.3.1日常维护程序10.3.1.1核检设置显示器10.3.1.2核检“Alarm”表符讯息10.3.2周预防性维护程序10.3.2.1核检信号灯功能10.3.2.2核检传送带10.3.3月预防性维护程序10.3.3.1清洁传送带10.3.3.2核检传送带长度10.3.3.3核检冷却盒中冷却扇部分10.3.3.4核检传送带牵引性能10.3.3.5进行数据备份10.3.4季度预防性维护程序10.3.4.1核检单体温控器10.3.4.2清洁文丘里管喷嘴10.3.4.3清洁冷却水过滤器（大）10.3.5半年度预防性维护程序10.3.5.1清洁冷却盒10.3.6年度预防性维护程序10.3.6.1清洁加热盒烧结FF装置10.3.6.2核检温度测量值10.3.6.3核检驱动器速度校准10.3.7每四年度预防性维护程序11备用部件及服务11.1如何订购备用部件11.2备用和磨损部件清单11.3废物处理12附录12.1一致性声明，图版类型，档案12.2制图，规格单，电路图表12.3参数描述12.4控制系统12.5驱动装置12.6软件12.7备用及磨损部件12.8玷污声明12.9供应商文档12.10有独立档案的PC附件12.11图形明细操作手册正文部分：1 操作指令备注该部分内容是设备技术手册的一部分，其涵盖了相关诸如搬运、安装、试运转、运行、服务及设备维护等重要信息的操作指令。
实验室微波高温烧结炉安全操作及保养规程
实验室微波高温烧结炉安全操作及保养规程微波高温烧结炉是实验室中的重要设备之一。
正确的使用和保养是保证实验室工作安全和正常进行的关键。
本文将介绍微波高温烧结炉的操作、使用以及保养规程，以确保使用者正确操作设备并保持设备的正常运行。
操作规程1. 设备准备在操作微波高温烧结炉之前，必须进行以下准备工作：•检查设备的供电情况，是否处于正常状态。
•检查设备的散热系统是否正常运行。
•查看设备温度控制仪表是否正常，通过控制盘设定温度和时间。
•检查炉膛是否干净，如有残留物应该清理干净。
2. 操作细节在放入样品之前，应在炉膛中放置一个保护板或者其他隔热材料以避免直接暴露在炉中的样品产生太大的热冲击引起爆炸。
将预先准备的样品放入隔热材料上后，再放入炉膛，并将炉膛盖好，启动设备，按照设定温度和时间进行烧结，期间应密切关注炉膛内的情况。
如果发现异常情况，应及时采取措施。
在操作微波高温烧结炉时，应注意以下几点：•操作前必须戴上隔热手套，避免直接接触设备或炉膛。
•操作时，不得随意开启设备或炉膛盖，以避免对设备或实验造成损伤。
•炉膛内不得操作过于湿润的样品，以免造成炉体内部电子元器件和设备的受损。
•在操作过程中，必须保持设备周围的空气流通，如发现异常气味应立即停机，排除异常情况。
保养规程正确的保养可以延长微波高温烧结炉的使用寿命，保证实验的正常进行。
1. 日常保养日常使用中，应注意以下几点：•使用后及时清理炉膛，避免灰尘和杂质的积累影响下一次实验的正常进行。
•定期检查加热管和风机能否正常工作。
•启动设备前，注意清理散热系统，避免灰尘和杂质的积累，造成炉体过热。
•操作结束后，关闭炉体电源，并断开供电电源。
2. 长期保养长期不用的微波高温烧结炉，应该进行特殊的保养：•进行彻底的清洁，避免存在灰尘和其他残留物。
•对设备进行全面检查，以便预防任何故障的发生。
•将设备拆卸，并将其存放在干燥通风的地方，避免设备的潮湿与腐蚀导致设备的故障。
烧结炉中文操作手册
目录1操作指令备注1.1标识描述1.2定义1.2.1设备用户1.2.2熟练技工1.2.3操作人员1.3版权1.4实质性过失责任2 绪论2.1身份识别2.2 尺寸2.3炉子数据2.3.1传送带2.3.2盒式快速烧结加热2.3.3冷却2.4处理温度2.5媒介供给线路2.5.1水2.5.2空气2.5.3去除废气2.5.4电流2.6 电脑设备2.7功能描述3安全3.1正确用法3.2错误用法3.3安全指示概要3.4安全装备3.4.1过热防护3.4.2紧急停止开关3.4.3“Belt stop”按钮3.5绝缘说明3.6设备操作软件说明3.7防火灭火4功能描述4.1入口/出口4.1.1入口门4.1.2出口门4.2加热4.2.1加热盒烧结FF4.2.2中间的Muffle4.3冷却4.3.1冷却盒4.3.2冷却橱4.4 设备驱动装置4.5媒介4.5.1电力供给装置4.5.2冷却水供给装置4.5.3压缩空气供给装置4.5.4文丘里管系统4.6操作/控制4.6.1CANtrol系统控制器4.6.2动力控制装置4.6.3 CAN Bus 1 和24.6.4温控装置4.6.5 CANtrol 处理控制系统4.6.6变频器4.6.7 遥控服务4.7去除废气5搬运5.1特别安全措施5.2包装类型5.3搬运5.4引入检验5.4.1交付范围5.4.2搬运损害5.4.3存储措施6组装6.1预备安装场所6.2设备核检6.3安装7试运转及停止运转7.1初始启动7.2试运转7.2.1设备-电脑7.2.1.1微软Windows用户界面7.2.1.2 CT-Visual用户界面7.2.2 手动操作面板7.2.3启动7.2.4运行模式7.2.4.1生产7.2.4.2周末运行7.3停止试运转7.4处理8操作8.1状态屏8.2导航栅8.2.1用户登录及退出8.2.2处方保存8.2.3处方加载8.2.4打印8.3跳格设定8.3.1加热8.3.1.1随处方而定的输入值8.3.1.2一般输入值8.3.1.3“Temperature”指示器值8.3.1.4“Operational States”指示器值8.3.1.5“Disturbance”指示器涵义值8.3.2气体供给8.3.3冷却系统8.3.4设置8.3.4.1输入值8.3.5警报8.3.5.1表格显示器定义8.3.5.2显示器选项8.3.5.3警报选项8.3.5.4“附加选项”菜单8.3.6测量8.3.6.1功用概要8.3.6.2测量路线定义8.3.6.3开始测量8.3.6.4连续测量8.3.6.5曲线跟踪8.3.7选项8.3.7.1数据录入8.3.7.2时间控制8.3.7.3用户管理8.3.7.4配置8.3.7.5数据根目录8.3.7.6烧结炉数据8.4网络显示器8.4.1控制系统俯视图8.4.2 CT 视觉系统目录结构9维护9.1故障诊断9.1.1信号灯9.1.2个别干扰9.1.3 ID 10-74 加热故障讯息9.1.3.1超温控制器FF9.1.3.2超温监测器FF9.1.3.3温度测量故障9.1.3.4加热回路FF9.1.3.5温度公差FF9.1.4 ID 100-104 驱动故障讯息9.1.4.1传送带停止按钮9.1.4.2变频器驱动9.1.4.3 CAN-Bus-Error变频器驱动9.1.4.4传送带停顿9.1.4.5传送带公差9.1.4.6外部传送带停止按钮9.1.5 ID 200-255 气体供给故障讯息9.1.5.1处理气压消失9.1.5.2提升气胎气压消失9.1.5.3外部排气装置故障9.1.5.4 Y321-Y335流量计9.1.6 ID 300-322 冷却故障讯息9.1.6.1冷却水箱式冷却器及固态继电器9.1.6.2冷却水回路1-39.1.6.3冷却水中间MUFFLE9.1.6.4 超1分钟温度/冷水回路9.1.6.5 上下冷却盒1/2中冷却扇停止控制9.1.7 ID 400-402 不间断电源/干线供给故障讯息9.1.7.1干线供给阶段性消失9.1.7.2动力失灵超过10秒钟9.1.7.3 L1-L3/N震荡保护开启9.1.8 ID 500-505 气胎故障讯息9.1.8.1冷却盒上半部分1/2没关上9.1.9 ID 600-662 故障/警告混杂讯息9.1.9.1驱动关闭9.1.9.2加热FF关闭9.1.9.3 加热盒FF加温9.1.9.4加热盒FF冷却9.1.9.5校准区温度公差运行后延时9.1.9.6指示灯由黄变绿延时9.1.10 ID 700-703 清洁传送带9.1.10.1刷子清洁器提升/清洁位置不正确9.1.10.2刷子清洁器汽缸开关故障9.1.11 ID801-902 继电器单独警报故障讯息9.1.11.1 V1…V59加热电路控制9.2选取部件的置换9.2.1加热9.2.1.1加热器的置换9.2.2石英轨道上的石英棒9.2.2.1加热盒式烧结FF石英棒更换9.2.2.2盒式冷却石英棒的更换9.2.3冷却系统9.2.3.1冷却盒中冷却扇的更换9.2.3.2冷却盒下半部分冷却扇的更换9.2.4驱动装置9.2.4.1传送带的更换9.2.4.2齿轮电机的更换9.2.4.3滑动离合器的更换9.2.4.4磁制离合器的更换9.2.5媒介9.2.5.1冷却水过滤器的更换9.2.5.2气体加热器的更换9.2.5.3文丘里管喷嘴的更换9.2.5.4如何置换电子流量计（FM）9.2.6操作/控制9.2.6.1单体温控器的更换9.2.6.2更换TMM5模块9.2.6.3更换CAN I/O模块9.2.6.4更换RDIO 8/24模块9.2.6.5更换固态继电器9.2.6.6更换热电偶9.2.6.7更换变频器9.2.6.8更换工业PC（温控器）9.2.6.9更换PLC 中央处理器模块（CEDIO）9.2.6.10更换PLC外延模块9.2.6.11更换BEBRO DC 发动机控制器9.2.6.12更换FANCON扇控制器9.3灭火措施10预防性维护10.1安全检查10.2 烧结炉日志10.3预防性维护间隔期10.3.1日常维护程序10.3.1.1核检设置显示器10.3.1.2核检“Alarm”表符讯息10.3.2周预防性维护程序10.3.2.1核检信号灯功能10.3.2.2核检传送带10.3.3月预防性维护程序10.3.3.1清洁传送带10.3.3.2核检传送带长度10.3.3.3核检冷却盒中冷却扇部分10.3.3.4核检传送带牵引性能10.3.3.5进行数据备份10.3.4季度预防性维护程序10.3.4.1核检单体温控器10.3.4.2清洁文丘里管喷嘴10.3.4.3清洁冷却水过滤器（大）10.3.5半年度预防性维护程序10.3.5.1清洁冷却盒10.3.6年度预防性维护程序10.3.6.1清洁加热盒烧结FF装置10.3.6.2核检温度测量值10.3.6.3核检驱动器速度校准10.3.7每四年度预防性维护程序11备用部件及服务11.1如何订购备用部件11.2备用和磨损部件清单11.3废物处理12附录12.1一致性声明，图版类型，档案12.2制图，规格单，电路图表12.3参数描述12.4控制系统12.5驱动装置12.6软件12.7备用及磨损部件12.8玷污声明12.9供应商文档12.10有独立档案的PC附件12.11图形明细操作手册正文部分：1 操作指令备注该部分内容是设备技术手册的一部分，其涵盖了相关诸如搬运、安装、试运转、运行、服务及设备维护等重要信息的操作指令。
微波烧结炉操作说明
微波烧结炉操作说明大连交通大学环境与化学工程学院物质吸收微波的能力，由介质损耗因数决定，介质损耗大，则加热后温度高。
物质不吸收微波，需用碳化硅坩埚提高加热效果。
1. 开总电闸、机柜电闸。
2. 打开磁控管冷却水的进水阀，水流量大于199，调至1000左右流量。
3. 观察机柜中各冷却水软管是否渗水、漏水。
如有此现象，停止操作，待修。
4. 样品放置，石英转盘上依次放置保温砖、保温棉，坩埚用保温棉包裹。
5. 红外对焦，按一下红外对焦仪的最上按钮，可看到红外焦点，使焦点对准坩埚中心；对焦后，关闭红外对焦，并确认。
6. 关闭炉门，如果炉门右侧有缝隙，需将炉门轴的连接处向里推。
7. 确认控制面板的“放气阀”关，机柜中手动放气白阀关，真空泵抽气阀关，真空泵水阀开，点控制面板的“真空1”，打开真空泵，微开真空泵手动抽气阀，顺序不可颠倒。
（如果颠倒顺序，由于抽气瞬间的气量太大，真空泵的出水管会剧烈震动，水四处喷溅）。
8. 设置真空上下限，控制面板中真空度，点上限，设置3.0 KPa，点下限，设为2.0 KPa，真空度在上下限之间变动，最低真空度由水环泵的特性决定。
（真空抽气管处的自动阀动作：真空泵启动，电子抽气阀开，开始抽气，至真空下限值，阀关闭，炉腔压力回升至上限值，阀开，继续抽气，即上限值为阀开启，下限值为阀关闭）9. 设置温控仪的加热程序长按SET键，4 s后进入编程，依次按SET，分别显示TD（00是以秒计时、01是以分钟计时）、STA（00，加热起始段号）、LOOP（00，程序运行终止后，再次重复运行的起始段号，适用于多次热处理），以上默认设定值均不动。
以下参数可以更改，TI00是加热起始段的加热时间，SU00是加热起始段的终止温度，“∧”键增加设定值，“∨”键减小设定值，“<”光标左移，可修改光标处的数字，每个参数设定完后，点SET保存，同时显示可修改的下一参数，以此类推，依次设定TI01、SU01、TI02、SU02、TI03、SU03……，最后一段，加热终止，TI**的设定值为0，SU**的设定值为0，程序运行至该段，微波停止加热。
热压烧结炉使用
一、快速操作指南（一）开机操作1：检查电路和水路是否正常，如正常通电，通水。
2：打开机械泵,过30秒后缓慢打开预抽阀，1分钟后打开前级阀。
3:在真空度达到10Pa以下时打开扩散泵，给扩散泵加热4:扩散泵加热到60分钟后，关闭预抽阀,打开高真空阀，真空度会逐渐达到高真空.5:加热启动,在200度以下请你选用手动加热，在控制面板手动操作菜单中，注意第一次使用时，把拨钮上下波动一次，然后拨到手动位置，启动加热，输入50左右，确定。
电流一般控制在300A以下,自动加热:在温度控制界面设定温控表自动开始加热或开启手动位用手动开始加热。
以上设置说明：从200度用时120分钟到600度，600度时保温30分钟，从600度用时130分钟到1000度,在1000度时保温5个小时,从1000度降到600度用时60分钟，60分钟后程序自动停止（注:在时间上设定—121程序在此会自动停止)。
设定好加热工艺后，首先停止手动加热，然后把拨钮拨到自动位置，启动自动加热程序，如果需要记录数据请在数据保存见面打“√”。
6：在保温状态下，一定要保持循环水的正常循环。
7：保温时间到后，关闭加热开关，如果不需要高真空可以关闭扩散泵,打开预抽阀，关闭高真空阀,开始降温。
注意：机械泵不要关闭8：在温度降到200度时关掉机械泵(扩散泵达到常温），关闭所有阀门.9：在常温下释放压力，冲入空气，将原料取出。
10：如不继续工作，应打开机械泵和预抽阀再抽5分钟真空,关闭机械泵和预抽阀.保持工作室里有真空度,防止水汽侵入.11、压力操作：首先在手动操作界面，报压力模式拨到自动位置，可以直接用仪表操作,设定好程序后按run键3秒启动,按stop键3秒停止.压力触摸屏控制如下说明：从0到2MPa用时2分钟，在2MPa上保压2分钟，从2MPa到6。
15MPa用时5分钟，保压60分钟后程序自动停止。
（在时间上设定—121程序会自动停止)。
设定完后一定要按“确定”键。
真空烧结炉说明书
真空高温烧结炉说明书目录1 前言 (4)2 设备的工作原理 (4)3 技术指标 (4)4 设备构成 (5)4.1炉体总成 (5)4.2保温套 (5)4.3感应圈总成 (6)4.4集电装置 (6)4.5真空系统 (6)4.6水冷系统 (6)4.7电控系统 (6)4.8辅助系统............................................................................................................. 错误!未定义书签。
5 安装调试 (7)6 使用操作 (7)6.1真空操作 (7)6.2加热升温操作 (7)6.3水路系统操作 (8)6.4充气系统操作 (8)6.5破真空操作 (8)6.6炉盖升降操作 (8)7注意事项 (8)8设备的保养 (9)1 前言在使用本设备前，要充分阅读本说明书的各项要求及注意事项，熟悉设备的性能、功能及使用要求高温烧结炉是在真空或特定气氛条件下进行高温烧结的设备，能够满足特定的工艺需求，适用科研单位或生产单位使用。
设备具有结构紧凑、操作简单、易于维护等特点。
2 设备的工作原理本高温烧结炉的加热方式采用石墨电阻加热，在真空或特定气氛条件下利用石墨电阻发热，对物料进行加热来达到工艺要求。
3 技术指标极限真空度：6.6×10-4 Pa；系统漏率：停泵关机后残余气体压力≤0.66Pa/h；工作区尺寸：立式加热区Ø280×450mm（H）均温区尺寸：Ø 180×220mm（H）工作区温度：最高加热温度2200℃；工作区加热温度速率范围：≤35℃/Min；4 设备构成设备构成包括：炉体总成、保温套、石墨发热体、集电装置、真空系统、水冷系统、变压器、电控系统及充气等辅助设备组成。
4.1炉体总成炉体采用圆形上开盖结构，炉体材质采用内、外层不锈钢（304）结构。
科晶KSL1600X-A3箱式高温烧结炉操作说明
科晶KSL1600X-A3箱式高温烧结炉操作说明第一篇：科晶KSL1600X-A3箱式高温烧结炉操作说明科晶KSL1600X-A3箱式高温烧结炉操作说明1、合上配电箱中的WP25，此时圆形绿色Power指示灯亮；顺时针旋开控制电源开关Lock，此时仪表盘灯亮；2、输入控温程序曲线；① 在基本状态下按 < 键1秒进入控温程序设置状态。
仪表显示的是当前运行段起始给定值（C01），可按< ∧ ∨ 三键进行数据设定；② 按滚动键（带顺时针箭头的未闭合圆圈）依次显示下一个要设置的程序值，每段控温按C-t的方式依次排列，即该段的起始温度（C01）→该段运行时间（t01）→该段目标值（C02，也是下一段的起始温度）。
按< ∧ ∨ 三键进行数据设定；③ 按 < 键2秒，可返回设置上一数据；-III-第二篇：SRJX-4-13高温箱式电阻炉操作规范SRJX-4-13高温箱式电阻炉操作规范一．操作规范1.使用前需要检查箱体及附件是否齐全，接线端子是否松动。
注意是否有断路或漏洞现象。
2.仔细阅读使用说明书及仪表操作说明书。
3.待一切准备就绪就可将试样放入砂钵，然后将砂钵放入炉中，关上箱门。
4.通电使用a)确认接线无误后，接通总电源。
b)接通控制器电源开关此时根据工艺要求，按照仪表说明书设定使用温度，以及调整功率限幅，将F值调整到30~40%。
c)当仪表调整结束，确认调整无误后，接通控温开关，再按仪表表面板上的RUN键，此时电炉开始升温。
当炉温上升过程中，碳棒电阻随着炉温升高而增加，此时电流减少。
需要对仪表输出F值进行调整，增加。
在调整过程中观察电流表，慢调至输出电流在30A左右即可。
（此过程须参照仪表说明书以及使用情况而定）5.当曲线运行至降温曲线时闭炉，降温到300℃以下时可以打开炉门将砂钵取出。
二．注意事项1.当电炉第一次使用或长期停用后再次使用时，必须按照说明书进行一次烘炉干燥。
注：打开炉门红炉时，限位必须短接，否则不能升温。
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停电故障
烧结炉正常工作时突然出现现停电故障，应 立即打开电源控制柜确认是外部停电故障， 还是设备内部电源故障。如果是外部停电故 障应立即关闭总电源开关，并取下进口和出 口传送带上的硅片，来电时在设备PC上下载 冷却工艺，开启设备，取出炉子里的硅片， 再按正常开机升温步骤升温即可恢复生产； 如果是设备内部总电源故障，请通知工程部 该设备的相关负责人处理。
传送带速度设定
设备参数设定
热空气风扇速度设定
烧结炉开机升温
为了延长烧结炉加热管寿命，升温按三步升温 原则，不可直接运行工艺温度。
第一步运行 lingyang100-300-3000 升温工艺 第二步运行 lingyang200-600-4000 升温工艺 第三步运行 生产工艺
烧结炉降温
1. 长时间不生产时，应该降低炉温，降温的步骤 是上述的第二步，第一步。
驱动系统
进口处
出口处
清洁装置
驱动装置
驱动马达
CAN控制系统
3 烧结炉的功能
干燥区功能
干燥最后应用的浆料, 燃尽浆料内有机组分。
烧结区功能
通过高温烧结将浆料渗透入 硅片表面，形成电极。
冷却区功能
冷却传送带和硅片， 保证测试温度符合要求。
4. 操 作
辅助介质
打开冷却水阀
冷却水阀 1
冷却水阀 2
外部清洁文氏管喷嘴。 5．设置文氏管喷嘴至位置“5”并安装。 6．检查媒介装配板上的流速表显示的设置流速。
检查传送带的引导
1. 移除入口和出口工作台区域的金属门 2. 使用滑动座的调整螺丝重新调整传送带在入
口和出口处的运动方向。 3. 开启驱动单元。 4. 留意传送带的运转。只有在一小时或数次生
产运转后才可以测定一结果。 5. 如果结果仍然不满意，重复以上步骤。 6. 必要时更换传送带
10. 信号灯 11. 设备状态 12. 选项菜单 13. 温度曲线菜单 14. 警报菜单 15. 参数设定菜单 16. 冷却系统菜单 17. 气体供应菜单 18. 加热设定菜单
干燥区工艺参数设定
烧结区工艺参数设定
设备参数设定
干燥区加热管功率输出设置
设备参数设定
烧结区加热管功率输出设置
设备参数设定
的干净的塑料布上。（注意摆放顺序） ⑽ 用酒精清洁每一根石英棒。（石英易碎，小心擦拭） ⑾ 清洁干燥区和冷却区里面的碎片及周边的卫生。
（冷却区的冷凝片用酒精和无尘布擦） ⑿ 用酒精清洁炉子下面的导轮和橡皮轮。 ⒀ 依次装入干净的石英棒。（注意石英棒之间的间距
均匀） ⒁ 把清洁过的传送带放到烧结炉的出口处，准备安装。
HTO加热区
空气加热 区 4
加热区 3
加热区 2
加热区 1
废气抽气装置
烧结区 FF
烧结区 FF
压缩空气
压缩空气
FF 5/6
FF 4
FF 3
FF 2
FF 1
冷却区
冷却区
风扇 风扇 风扇 风扇 风扇
风扇 风扇 风扇 风扇 风扇
冷却区 1
冷却区 2
风扇 风扇 风扇 风扇 风扇
风扇 风扇 风扇 风扇 风扇
2. 非设备负责人指定人员不可以变更设备内部设备 参数，以免损伤设备
3. 烧结炉外部的冷却水流量，出水报警温度，压缩 空气压力和流量不可以变更，以免烧结炉受到不 必要的损伤。
注意
烧结炉冷却水温度在15℃—25℃（与PECVD 对应）。当PECVD因为冷却水过高而停机时， 禁止向烧结炉内部流片（避免因冷却水温过 高而停机烧坏炉子内的硅片），等烧结炉内 部片子流完后立即下载lingyang-01降温工艺。
导引。
8. 插入新的加热管。 9. 固定加热管并连接电源线。 10. 安装两边的金属罩。 11. 安装金属门。 12. 重启设备
冷却风扇更换
1. 设置主电源开关至位置“0”并确保不能开启。 2. 移除冷却区设备尾部的金属门 3. 拆开故障风扇的电力供应。 4. 松开冷却载片盒的上部覆盖板的固定装置并移除板。 5. 写下故障风扇的记号。 6．更换故障风扇。当安装新风扇时，留意吹送方向和记号！ 7．插入并拧紧冷却载片盒的覆盖板。 8．连接冷却风扇电力供应。 9．装上金属门 10 重启设备
冷却水过滤器的清洁
1. 关闭设备。 2. 关闭水供应。 3. 拆下冷却水过滤器。 4. 清洁冷却水过滤器。 5. 装上冷却水过滤器。 6. 开启水供应。 7. 重启设备。
7. 零件更换
红外加热管的更换
1. 冷却设备。 2. 设置主电源开关至位置“0”并确保不能开启。 3. 移除烧结区的金属门。 4. 移除两边的金属罩。 5. 拆开两边的故障加热管的连线。 6. 松开并移除加热装置。 7 插入石英玻璃或不锈钢管，作为加热管连接线的
冷却水故障
⑵ 烧结炉正常工作时突然无冷却水，设备会
自动停止运转，同时警报被触发。此时应取 下进口和出口传送带上的硅片，在设备PC上 下载冷却工艺。待有冷却水时开启设备，取 出炉子里的硅片，再按正常升温步骤升温即 可恢复生产。
冷却水故障
⑶ 烧结炉正常工作时突然出现冷却水流量低下， 设备会自动停止运转，同时警报被触发。此时 先取下进口和出口的传送带上硅片，在设备PC 上下载冷却工艺。可能原因是冷却水过滤器被 堵塞；流量计故障；进口的冷却水流量偏低。 处理方法是清洁冷却水过滤器；更换流量计； 通知工程部设施相关人员增大冷却水的压力。 当故障解除后开启设备，取出炉子里的硅片， 再按正常升温步骤升温即可恢复生产。
设备开机操作
退出用户操作
参数保存
点击“ Save recipe”按钮。
参数保存
输入要保存的文件名及对文件名的描叙， 点击“OK”按钮
工艺参数及设备参数的设置
菜单
1. 用户登入 2. 用户退出 3. Windows 主菜单 4. 用户名称 5. 参数保存菜单 6. 参数下载菜单 7. 工艺名称 8. 工艺描叙 9. 打印菜单
清洁热空气过滤器网
1. 冷却设备。 2. 设置主电源开关至位置“0”并确保不能启。 3. 移除对流加热区的金属门。 4. 移除内部的金属罩。 5. 松开过滤网框架的螺丝并移除框架。 6. 检查过滤器的污染，如果必要则更换。 7. 装上过滤网框架并拧紧螺丝。 8. 装上内部的金属罩 9. 装上金属门
2. 烧结炉关机降温应该运行 lingyang-01 降温工艺。
3. 烧结炉出现故障（冷却水温高，瞬间断电、断气 等）时应该立即运行lingyang-01降温 工艺，以 防止烧结炉受到不必要的损伤
烧结炉参数更改
1. 变更烧结炉温度参数时，温差范围不可一次超过 50℃，否则机器会发生报警。调节温差范围较大 时可以分步进行。
2. 炉 体结 构
烧结炉结构
烧结炉
干燥区HTO
烧结区 FF
冷却区
炉体参数
干燥区的长度5900mm，最高设定温为500℃。 烧结区的长度2150mm，1 – 4区最高设定温度650℃，
5、6两区最高设定温度1000℃. 冷却区的长度3500mm。
最大带速为6000mm /min.
HTO加热区
HTO加热装置
DO12.500-300-FFHTO-N2/Air-CANtrol
目录
1. 安 全 2. 炉体结构 3. 功 能 4. 操 作 5. 故障处理 6. 维 护 7. 零件更换
危险的三个级别
注意（Attention） 潜在危险环境有可能导致轻微人身伤害。 同时指示相关于财产损伤的警告。
警告（Warning） 潜在危险环境有可能导致严重的潜在人身伤亡。 危险（Danger） 瞬时危险有可能导致严重人身伤亡。
下部冷却风扇更换
1. 设置主电源开关至位置“0”并确保不能开启。 2. 移除冷却区设备尾部的金属门 3. 断开故障风扇的电力供应。 4. 松开故障风扇固定板的螺丝。 5． 拉出风扇装配板。 6. 写下故障风扇的记号。 7．更换故障风扇。当安装新风扇时，留意吹送方向和记号！ 8．推入冷却风扇装配板并加以固定 9．连接冷却风扇电力供应。 10．装上金属门。 11．重启设备
Only show alarms
设备开机操作
点击“Drive/heating reset”标签上的“Reset”、 “Confirm/horn”标签上的“Confirm disturbance” 按钮和“Horn OFF”按钮。来确 认警报讯息
Reset
Confirm disturbance Horn OFF
带驱动。 ⑷ 打开传送带的张紧压轮。 ⑸ 在冷却区1的下方拆开传送带的接头连接，并在
左边的传送带接头上系一根软电线。 ⑹ 开启传送带驱动，按顺时针方向卷取右边传送带。
（ 同时注意左侧传送带的运动情况） ⑺ 取下传送带送一次清洗用超声波清洗机清洗。
传送带的水洗
⑻ 打开干燥区和冷却区的载片盒 ⑼ 依次拿下炉子里面的石英棒，放置到预先准备好
维护保养后出现的故障
⑵ 清洁完传送带后设备无法开启，可能原因有： a. 烧结炉进口和出口处的紧急停止开关被按下，
拔出紧急停止开关即可解除机械锁定。 b. 烧结炉下方有一移动的驱动钥匙开关被关闭，
设置驱动钥匙开关到“ON”位置。 c. 传送带张紧压轮有没有关闭（即压紧传送带）。 d. 检查传送带有没有卡死。
传送带的水洗
⒂ 把第5部系在传送带上的电线还系到传送带的 一头。（注意传送带有正反面，磨损面向下）
⒃ 利用电线的牵引使传送带穿越整个炉体及驱动 装置。
⒄ 连接传送带的接头。 ⒅ 关闭张紧压轮，压紧传送带。 ⒆ 开启传送带驱动，检查传送的运转情况，调整
张紧度和平滑性。
文氏管嘴的清洁
1. 卸载文氏管喷嘴，开启文氏管的法兰夹。 2. 移除文氏管喷嘴上方的管道。 3. 松开底部螺丝点的文氏管喷嘴。 4. 溶剂和刷子或超声清洁器（U-cleaner）在