烧结炉操作说明

5 故障处理
冷却水故障
⑴
烧结炉正常工作时冷却水温度控制在15℃
和25℃范围内，当冷却水温度超过25℃度
但小于30℃时，出水温度也会随之升高，
为了保证硅片出炉温度不超过40℃，此时
必须增大冷却水的流量。当温度超过30℃
以上时必须立即通知前道工序，停止硅片
流入烧结炉里。如果有必要采取降温措施，
下载冷却工艺（视当时情况而定）。
清洁热空气过滤器网
1. 冷却设备。 2. 设置主电源开关至位置“0”并确保不能启。 3. 移除对流加热区的金属门。 4. 移除内部的金属罩。 5. 松开过滤网框架的螺丝并移除框架。 6. 检查过滤器的污染，如果必要则更换。 7. 装上过滤网框架并拧紧螺丝。 8. 装上内部的金属罩 9. 装上金属门
传送带的干洗
点击“Save recipe”按纽和“OK”按纽保存参数
传送带的干洗
退出用户操作
传送带的水洗
传送带＆石英棒的清洁方法
⑴ 下载低温配方待温度到100℃左右时关闭加热器HTO 和FF开关，冷却设备到50℃以下。
⑵ 拆除所有的金属门和金属蒙罩。 ⑶ 在冷却区1的下方找到传送带的接头，并停止传送
维护保养后出现的故障
⑴ 清洁完干燥区和冷却区内碎片后发现设备无 开启，可能原因有：
a. 干燥区载片盒和冷却载片盒有没有完全闭， 检查载片盒四周有无异物。
b. 干燥区载片盒和冷却载片盒的汽缸底部的磁 簧开关故障，必要时可以调整汽缸的压力或 者磁簧开关的位置。
c. 传送带张紧压轮有没有关闭（即压紧传带）。
的干净的塑料布上。（注意摆放顺序） ⑽ 用酒精清洁每一根石英棒。（石英易碎，小心擦拭） ⑾ 清洁干燥区和冷却区里面的碎片及周边的卫生。
（冷却区的冷凝片用酒精和无尘布擦） ⑿ 用酒精清洁炉子下面的导轮和橡皮轮。 ⒀ 依次装入干净的石英棒。（注意石英棒之间的间距
均匀） ⒁ 把清洁过的传送带放到烧结炉的出口处，准备安装。
停电故障
烧结炉正常工作时突然出现现停电故障，应 立即打开电源控制柜确认是外部停电故障， 还是设备内部电源故障。如果是外部停电故 障应立即关闭总电源开关，并取下进口和出 口传送带上的硅片，来电时在设备PC上下载 冷却工艺，开启设备，取出炉子里的硅片， 再按正常开机升温步骤升温即可恢复生产； 如果是设备内部总电源故障，请通知工程部 该设备的相关负责人处理。
2. 烧结炉关机降温应该运行 lingyang-01 降温工艺。
3. 烧结炉出现故障（冷却水温高，瞬间断电、断气 等）时应该立即运行lingyang-01降温 工艺，以 防止烧结炉受到不必要的损伤
烧结炉参数更改
1. 变更烧结炉温度参数时，温差范围不可一次超过 50℃，否则机器会发生报警。调节温差范围较大 时可以分步进行。
压缩空气故障
烧结炉正常工作时突然出现压缩空气流速低下， 设备会自动停止运转，同时警报被触发。此时 先取下进口和出口的传送带上硅片，在设备PC 上下载冷却工艺。可能原因是流量计故障或进 口的压缩空气压力偏低。处理方法是增大流速 设定，检查流量计、减压阀必要时更换或者是 通知工程部相关人员增大压缩空气的压力。当 故障解除后开启设备，取出炉子里的硅片，再 按正常升温步骤升温即可恢复生产。
HTO加热区
空气加热 区 4
加热区 3
加热区 2
加热区 1
废气抽气装置
烧结区 FF
烧结区 FF
压缩空气
压缩空气
FF 5/6
FF 4
FF 3
FF 2
FF 1
冷却区
冷却区
风扇 风扇 风扇 风扇 风扇
风扇 风扇 风扇 风扇 风扇
冷却区 1
冷却区 2
风扇 风扇 风扇 风扇 风扇
风扇 风扇 风扇 风扇 风扇
导引。
8. 插入新的加热管。 9. 固定加热管并连接电源线。 10. 安装两边的金属罩。 11. 安装金属门。 12. 重启设备
冷却风扇更换
1. 设置主电源开关至位置“0”并确保不能开启。 2. 移除冷却区设备尾部的金属门 3. 拆开故障风扇的电力供应。 4. 松开冷却载片盒的上部覆盖板的固定装置并移除板。 5. 写下故障风扇的记号。 6．更换故障风扇。当安装新风扇时，留意吹送方向和记号！ 7．插入并拧紧冷却载片盒的覆盖板。 8．连接冷却风扇电力供应。 9．装上金属门 10 重启设备
以上原因都不是的话请通知工程部该设备的 相关负责人处理。
6. 维 护
传送带的干洗
点击“Login”按钮
传送带的干洗
选择用户并输入密码
传送带的干洗
点击“Brush cleaner on/off”按纽。 点击这里
传送带的干洗
设备自动进行传送带刷洗，15分钟后 再次点击“Brush cleaner on/off”按纽， 停止传送带刷洗
2. 非设备负责人指定人员不可以变更设备内部设备 参数，以免损伤设备
3. 烧结炉外部的冷却水流量，出水报警温度，压缩 空气压力和流量不可以变更，以免烧结炉受到不 必要的损伤。
注意
烧结炉冷却水温度在15℃—25℃（与PECVD 对应）。当PECVD因为冷却水过高而停机时， 禁止向烧结炉内部流片（避免因冷却水温过 高而停机烧坏炉子内的硅片），等烧结炉内 部片子流完后立即下载lingyang-01降温工艺。
下部冷却风扇更换
1. 设置主电源开关至位置“0”并确保不能开启。 2. 移除冷却区设备尾部的金属门 3. 断开故障风扇的电力供应。 4. 松开故障风扇固定板的螺丝。 5． 拉出风扇装配板。 6. 写下故障风扇的记号。 7．更换故障风扇。当安装新风扇时，留意吹送方向和记号！ 8．推入冷却风扇装配板并加以固定 9．连接冷却风扇电力供应。 10．装上金属门。 11．重启设备
传送带速度设定
设备参数设定
热空气风扇速度设定
烧结炉开机升温
为了延长烧结炉加热管寿命，升温按三步升温 原则，不可直接运行工艺温度。
第一步运行 lingyang100-300-3000 升温工艺 第二步运行 lingyang200-600-4000 升温工艺 第三步运行 生产工艺
烧结炉降温
1. 长时间不生产时，应该降低炉温，降温的步骤 是上述的第二步，第一步。
辅助介质
打开压缩空气阀
压缩空气阀
辅助介质
打开总电源开关
设备开机操作
开启设备PC电源，CT Visual软件自动运行 。
设备开机操作
点击“Login”按钮。
设备开机操作
选择用户并输入密码
设备开机操作
在导航条上，点击“Load recipe”按钮
设备开机操作
选择相应配方并按“OK” 确定。升温时按三步升 温步骤升温。
设备开机操作
退出用户操作
参数保存
点击“ Save recipe”按钮。
参数保存
输入要保存的文件名及对文件名的描叙， 点击“OK”按钮
工艺参数及设备参数的设置
菜单
1. 用户登入 2. 用户退出 3. Windows 主菜单 4. 用户名称 5. 参数保存菜单 6. 参数下载菜单 7. 工艺名称 8. 工艺描叙 9. 打印菜单
维护保养后出现的故障
⑵ 清洁完传送带后设备无法开启，可能原因有： a. 烧结炉进口和出口处的紧急停止开关被按下，
拔出紧急停止开关即可解除机械锁定。 b. 烧结炉下方有一移动的驱动钥匙开关被关闭，
设置驱动钥匙开关到“ON”位置。 c. 传送带张紧压轮有没有关闭（即压紧传送带）。 d. 检查传送带有没有卡死。
DO12.500-300-FFHTO-N2/Air-CANtrol
目录
1. 安 全 2. 炉体结构 3. 功 能 4. 操 作 5. 故障处理 6. 维 护 7. 零件更换
危险的三个级别
注意（Attention） 潜在危险环境有可能导致轻微人身伤害。 同时指示相关于财产损伤的警告。
警告（Warning） 潜在危险环境有可能导致严重的潜在人身伤亡。 危险（Danger） 瞬时危险有可能导致严重人身伤亡。
设备开机操作
手动操作面板上，设置钥匙开关“Drive OFF/ON”、“Heating FF OFF/ON” 以及
“Heating HTO OFF/ON”至位置“I”。
传送带开关 烧结加热开关 干燥加热开关
设备开机操作
点击“Alarms”标签上“Only show alarms” 区域 表格只列出未确认的警报，查看警报信息。
驱动系统
进口处
出口处
清洁装置
驱动装置
驱动马达
CAN控制系统
3 烧结炉的功能
干燥区功能
干燥最后应用的浆料, 燃尽浆料内有机组分。
烧结区功能
通过高温烧结将浆料渗透入 硅片表面，形成电极。
冷却区功能
冷却传送带和硅片， 保证测试温度符合要求。
4. 操 作
辅助介质
打开冷却水阀
冷却水阀 1
冷却水阀 2
10. 信号灯 11. 设备状态 12. 选项菜单 13. 温度曲线菜单 14. 警报菜单 15. 参数设定菜单 16. 冷却系统菜单 17. 气体供应菜单 18. 加热设定菜单
干燥区工艺参数设定
烧结区工艺参数设定
设备参数设定
干燥区加热管功率输出设置
设备参数设定
烧结区加热管功率输出设置
设备参数设定
冷却水过滤器的清洁
1. 关闭设备。 2. 关闭水供应。 3. 拆下冷却水过滤器。 4. 清洁冷却水过滤器。 5. 装上冷却水过滤器。 6. 开启水供应。 7. 重启设备。
7. 零件更换
红外加热管的更换
1. 冷却设备。 2. 设置主电源开关至位置“0”并确保不能开启。 3. 移除烧结区的金属门。 4. 移除两边的金属罩。 5. 拆开两边的故障加热管的连线。 6. 松开并移除加热装置。 7 插入石英玻璃或不锈钢管，作为加热管连接线的
带驱动。 ⑷ 打开传送带的张紧压轮。 ⑸ 在冷却区1的下方拆开传送带的接头连接，并在
左边的传送带接头上系一根软电线。 ⑹ 开启传送带驱动，按顺时针方向卷取右边传送带。
（ 同时注意左侧传送带的运动情况） ⑺ 取下传送带送一次清洗用超声波清洗机清洗。
传送带的水洗
⑻ 打开干燥区和冷却区的载片盒 ⑼ 依次拿下炉子里面的石英棒，放置到预先准备好
外部清洁文氏管喷嘴。 5．设置文氏管喷嘴至位置“5”并安装。 6．检查媒介装配板上的流速表显示的设置流速。
检查传送带的引导
1. 移除入口和出口工作台区域的金属门 2. 使用滑动座的调整螺丝重新调整传送带在入
口和出口处的运动方向。 3. 开启驱动单元。 4. 留意传送带的运转。只有在一小时或数次生
产运转后才可以测定一结果。 5. 如果结果仍然不满意，重复以上步骤。 6. 必要时更换传送带
Only show alarms
设备开机操作
点击“Drive/heating reset”标签上的“Reset”、 “Confirm/horn”标签上的“Confirm disturbance” 按钮和“Horn OFF”按钮。来确 认警报讯息
Reset
Confirm disturbance Horn OFF
冷却水故障
⑵ 烧结炉正常工作时突然无冷却水，设备会
自动停止运转，同时警报被触发。此时应取 下进口和出口传送带上的硅片，在设备PC上 下载冷却工艺。待有冷却水时开启设备，取 出炉子里的硅片，再按正常升温步骤升温即 可恢复生产。
冷却水故障
⑶ 烧结炉正常工作时突然出现冷却水流量低下， 设备会自动停止运转，同时警报被触发。此时 先取下进口和出口的传送带上硅片，在设备PC 上下载冷却工艺。可能原因是冷却水过滤器被 堵塞；流量计故障；进口的冷却水流量偏低。 处理方法是清洁冷却水过滤器；更换流量计； 通知工程部设施相关人员增大冷却水的压力。 当故障解除后开启设备，取出炉子里的硅片， 再按正常升温步骤升温即可恢复生产。
2. 炉 体结 构
烧结炉结构
烧结炉
干燥区HTO
烧结区 FF
冷却区
炉体参数
干燥区的长度5900mm，最高设定温为500℃。 烧结区的长度2150mm，1 – 4区最高设定温度650℃，
5、6两区最高设定温度1000℃. 冷却区的长度3500mm。
最大带速为6000mm /min.
HTO加热区
HTO加热装置
传送带的水洗
⒂ 把第5部系在传送带上的电线还系到传送带的 一头。（注意传送带有正反面，磨损面向下）
⒃ 利用电线的牵引使传送带穿越整个炉体及驱动 装置。
⒄ 连接传送带的接头。 ⒅ 关闭张紧压轮，压紧传送带。 ⒆ 开启传送带驱动，检查传送的运转情况，调整
张紧度和平滑性。
文氏管嘴的清洁
1. 卸载文氏管喷嘴，开启文氏管的法兰夹。 2. 移除文氏管喷嘴上方的管道。 3. 松开底部螺丝点的文氏管喷嘴。 4. 溶剂和刷子或超声清洁器（U-cHale Waihona Puke Baidueaner）在