防静电ESD控制审核检查表
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ESD対策 点检表
货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC测试地板2点之间的表面阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○地控点检记录表公共接地点与地板表面的电阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○摩擦电压(地板/工鞋步行电压)＜100VESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各静电皮2点间的表面阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○作业台静电对策确认表静电皮的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各表面2点间的阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD固定货架 点检记录表静电皮/面的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各静电皮2点间的表面阻抗ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD移动推车 点检记录表静电皮的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○针对可接触到部品的位置放置静电垫等，测量其表面电位＜100ＶESD担当○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表整个真空包装机的接地阻值＜20ΩESD担当○○○○○2点间的表面电阻值ESD担当○○○○○○○○○○ESD脚垫 点检记录表确认静电脚垫是否有接地ESD担当○○○○○○○○○○2点间的表面阻值1.0×106～109ΩESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD座椅 点检记录表表面摩擦电压＜100V ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○拉台的接地电阻值＜20ΩESD担当○○○○○○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表测量与基板接触部分的表面电位＜100ＶESD担当○○○○○○○○○○设备接地点与设备的接地是否OK包括1.电源接地是否有效2.本体外壳的接地是否有效＜20ΩESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表上下板机接地点与上下板机的接地阻值＜20ΩESD担当○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表离子风机测量离子平衡度＜100VESD担当○○○○○○○○○○○○○○○离子风机点检记录表静电腕带/工鞋导通测试(确认静电腕带的导通与人体接触的导通是否良好)/测试人体和工鞋的电阻值0.8-1.2M Ω＜1.0×109Ω全体○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○防静电手环/鞋检测记录表备注ESD対策 点检记录表※ 如下检查项目及内容由品质部实施定期点检确认 年别：2013年阻抗基准(Ω/V）点检确认人检查对象7月8月6月＜1.0×109Ω1.0×106～109Ω一、ESD现场接地·防护控制10月1.0×106～109Ω地板防静电作业台防静电固定货架点检项目9月防静电移动推车1.0×106～109Ω＜1.0×109Ω流水拉/接驳台真空包装机防静电脚垫防静电座椅DONGGUAN EVERGREAT ELECTRONICS CO.,LTD.东莞绿成电子有限公司※ 点检确认人对所测定项目按要求定期点检确认，点检OK用“○”表示，NG用“N”表示并及时找相关责任人处理跟进至OK。
防静电ESD控制审核检查表
4. Summarize each times data for further improvement project in future
01Biblioteka 23Nothing
The APPROACH The approach is The approach is
something new to exists,meaning: SYSTEMATICALLY ASSESSED,meanin
supplier
process/procedure/ DEPLOYED,
g KPIs exist and are
WI is written.
meaning: process, measured for the
WI are deployed to approach or
all relevant people / performance is
projects - evidence assessed, etc…
is available or
Data available !
adequate people
are in place etc…
Remark: For SBI supplier, OQA audit score should not be less than 2.00
Description for use
Purpose
This is tool of PCLZ SQM. To assess the performance of supplier's quality management including production line, productivity, OQA, ESD and RoHS. Use this tool to identify gaps, strengths and opptunity to improving quality management in supplier factory This tool include: A. Production line audit check list B. Production line capacity check list C. OQA check list D. ESD check list E. RoHS check list
ESD 2023版本年度检查表
审核员Auditor：
序号 Serial Number
审核要点 Review points
1
固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到 指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？
2
生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出 来，且粘贴ESD标签？
3
是否定期对工作站接地进行检查，并记录《符合性验证记 录表》？
ESD元件的存储、运输、处理
《ESD静电放电手册》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
27
当运送ESD敏感器件时如果使用如金属手推车一类的移动 工具时，手推车有无通过拖链或导电的脚轮接地？
ESD元件的存储、运输、处理
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋 28 、防静电帽，所有人员在接触静电敏感材料时有无佩戴防 ESD元件的存储、运输、处理
√
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
备注 Notes
审核员Auditor：
序号 Serial Number
《ESD静电放电手册》
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序号 Serial Number
审核要点 Review points
1
固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到 指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？
2
生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出 来，且粘贴ESD标签？
3
是否定期对工作站接地进行检查，并记录《符合性验证记 录表》？
ESD元件的存储、运输、处理
《ESD静电放电手册》
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√ ■合格 □不合格
27
当运送ESD敏感器件时如果使用如金属手推车一类的移动 工具时，手推车有无通过拖链或导电的脚轮接地？
ESD元件的存储、运输、处理
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋 28 、防静电帽，所有人员在接触静电敏感材料时有无佩戴防 ESD元件的存储、运输、处理
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
备注 Notes
审核员Auditor：
序号 Serial Number
《ESD静电放电手册》
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ESD检查表
责任人 确认结果 确认人 备注
责任人 确认结果 确认人 备注
序号 审核要点 责任人 确认结果 确认人 备注 1 所有的ESD设备在运输过程中，是否一直处在防静电的容器中？ 是否确保不需要或私人物品不可置于ESD保护工作面，始终保持静电消耗或抗静电工作站无静电产生的材料如泡沫聚苯乙烯 、塑料支 2 架或塑料文件夹？ 3 在处理电路板时有无戴干净的防静电手套或指套？ 4 当运送ESD时如果使用如金属手推车一类的移动工具时，手推车有无通过拖链或导电的脚轮接地？ 5 所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋、防静电帽，所有人员在接触静电敏感材料时有无佩戴防静电手环？ 6 充电物品不可接触ESD敏感元件，是否满足？
审核位置：仓库 序号 审核要点 1 防静电区域内的非防静电材料（包括过期失效的防静电材料）是否及时、正确地进行了处理? 2 静电敏感物料与非静电敏感物料进行了隔离放置吗？ 3 ESSD及组件的配料、发料、转储过程是否都存放在防静电容器中？ 4 是否确保不必要的个人物品不可放置在ESD工作台上，确保防静产品远离能产生静电的物品，像泡沫、塑料文件夹等？ 5 静电区域台面电压是否小于400v 6 物料产品表面电压是否小于2000v 审核位置：车间线体/工作站 序号 审核要点 1 桌垫表面是否清洁，并且保证接到ESD地上？ 2 是否确保静电手环没有损坏，或没有松动的连接？ 3 是否确保不必要的个人物品不可放置在ESD工作台上，确保防静电工位远离能产生静电的物品，像泡沫、塑料文件夹等？ 4 电烙铁使用人员每日在烙铁温度调试之前是否对电烙铁接地电阻测试一次，并记录《每周工具检测表》？ 5 静电区域台面电压是否小于400v 6 物料产品表面电压是否小于2000v 审核位置：个人腕带的确认及ESD防护测，并将检测结果记录在《防静电手环测试记录表》中。 2 《防静电手环检测记录表》是否每天由线长或工段负责人签字审核？ 3 ESD控制区作业人员是否穿戴好ESD防护衣服、防静电帽、防静电鞋？ 4 非必须的及个人的物品不得放置在ESD防护工作台表面？ 审核位置：ESD元件的存储、运输、处理 责任人 确认结果 确认人 备注
ESD现场审核表-格式可转换编辑
1.每层货架的台垫单独和地线连接；接地夹2端连接 可靠，无脱落；
7
货架
2.与地线连接端与采用焊接方式固定；
3.台垫表面无污渍、无大面积破损；
1.台垫上的接地线连接可靠，无脱落
8
工作台台垫
2.台垫表面无污渍；
审核记录
9
腕带佩戴情况下的对 地电阻
7.5×105Ω≤R≤3.5×107Ω
10 防静电鞋穿戴下的对 5×105Ω～1.0×lO9Ω 地电阻
ESD现场审核表
部门：
审核时间：
序号
检查项目
标准和要求
1.必须穿防静电工衣、鞋、帽；
2，衣、鞋、帽须整洁,干净,无破损；
1
工作服(衣、鞋、鞋 3.衣服上钮扣应全部扣紧，穿戴整齐； 帽)穿着情况 4. 头发应被帽子罩住；
5.必须穿防静电鞋且鞋子尺码一致；
6.防静电鞋内不能有鞋垫；
1.必须使用防静电手套、手指套 2 手套、指套佩戴情况
2.手套整洁,干净,无破损；
1.腕带不能戴在衣袖上；
3
腕带佩戴情况 2.腕带上的金属应紧贴皮肤；
3.腕带上鳄鱼夹应和地线连接；
1.仪器的电源开关应保持“ON”状态或其工作指示灯 应亮； 4 离子风机、测试仪等 2.仪器定置摆放，无位移； 设施的工作状态
3.关键的或有要求的工序必须使用离子风机；
1.各工作台上的分支线、地面接地端子和干线连接牢 固，无松动或脱落；
2.接地点的标识清晰；
16 母线、分支地线及设 3.分支线与母线间电阻≤1Ω； 备的连接情况 4.电源、仪表、老化柜等设施的外壳（裸露处）与母 地线间的电阻≤2Ω；
5.母线的对地电阻≤4Ω；
17 防静电工作服 表面电阻：1×105Ω～1×109Ω
ESD日常点检表
点检人
确认人(每周由专职人 员进行一次确认)
编号：KDC-ZL007/01
版本：B/0
实施日期：2007/6/8 第2页共2页
检查工作区所有ESD敏感器件、单板都放置在防静电周转工具或包 装中。
防静电工 作台
确定你的工作区内、防静电周转工具和包装中没有不允许的或未经 处理的静电源。工作区内必须存在的一些静电源远离ESD敏感器件 和敏感单板30厘米以上。保证明显而严重的静电源远离防静电工作 区1米以上。
确认工作台台垫为防静电台垫，工具为防静电工具。确认工作区域 所有防静电工具都有ESD标识。
点检频 次
1
2
3
4
5
6
7
8
9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
∕ 目视 日/2次
防静电衣必须在更衣室更换,不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。
∕ 目视 日/2次
禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。 防静电服
点检 工具
点检 方法
点检频 次
1
2
3
4
5
6
7
8
9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
∕ 目视 日/1次
∕ 目视 日/1次
防静电工作台在日常使用中，必须确保正常接地状态。
∕ 目视 日/1次
防静电工作台上不允许存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易 产生静电的物品，图纸、资料等应放入防静电文件袋中。
防静电衣是否保持清洁。
∕ 目视 日/2次 ∕ 目视 日/2次
ESD检查记录表
青岛三元摩拓泰电子有限公司
生产线每天静电控制检查表
文件编号 版本 生效日期
日期：
部门：
线体：
责任人:
审核:
NO
项目内容
时
检查所有工作台上防静电皮各接地扣连 上
1
接是否紧固且工作台防静电皮是否清洁 并无破损现象。检查确认手腕报警器合
午 下
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
上 下
备注：每天开工前生产线班长对生产线 进行检查；经检查，通过请打上“√ ”，每天班前填写。不合格及时上报领 导通知责任人整改。
午 下 午
5
检查所有ESD敏感零件，部件或产品都妥 善放置在导电容器内。
上 下
6
检查物料车周转车接地链是否接地良好 。
上 下
穿戴好静电帽静电鞋及静电防护衣：A. 头发不能露出防静电帽外后脑部分的短 7 细的头发不能超过防静电衣领外；B.防
上 午
静电衣服袖口应扎紧；C.员工不可戴手 下
链等饰品。
午
8
根据ESD工艺测量静电环和静电鞋、烙铁 、电动螺丝刀对地电阻
格可用。 检查所有工位的接地线是否被拆开或松
2 动，特别是当仪器或设备被移动过之后
午上 午下
。
午上
如果使用了离子风机，则打开开关检查 午
3 是否正常；各工作台内产生静电的物体， 上
4 如：塑料袋、盒子、泡沫、胶带、及个 人物品，至少放置在30mm以外。
生产线每天静电控制检查表
文件编号 版本 生效日期
日期：
部门：
线体：
责任人:
审核:
NO
项目内容
时
检查所有工作台上防静电皮各接地扣连 上
1
接是否紧固且工作台防静电皮是否清洁 并无破损现象。检查确认手腕报警器合
午 下
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
上 下
备注：每天开工前生产线班长对生产线 进行检查；经检查，通过请打上“√ ”，每天班前填写。不合格及时上报领 导通知责任人整改。
午 下 午
5
检查所有ESD敏感零件，部件或产品都妥 善放置在导电容器内。
上 下
6
检查物料车周转车接地链是否接地良好 。
上 下
穿戴好静电帽静电鞋及静电防护衣：A. 头发不能露出防静电帽外后脑部分的短 7 细的头发不能超过防静电衣领外；B.防
上 午
静电衣服袖口应扎紧；C.员工不可戴手 下
链等饰品。
午
8
根据ESD工艺测量静电环和静电鞋、烙铁 、电动螺丝刀对地电阻
格可用。 检查所有工位的接地线是否被拆开或松
2 动，特别是当仪器或设备被移动过之后
午上 午下
。
午上
如果使用了离子风机，则打开开关检查 午
3 是否正常；各工作台内产生静电的物体， 上
4 如：塑料袋、盒子、泡沫、胶带、及个 人物品，至少放置在30mm以外。
2019年ESD防静电审核检查表(ESD Checklist)
□符合□不符合
3
Where ESD protective flooring is used, is the flooring grounded to the plant's common ESD ground?
是否有使用ESD保護地板並且連接至車間共同接地點?
□符合□不符合
4
Is the ESD protective flooring grounded properly at prescribed intervals?
M5. Measure the resistance between a workstation ESD ground point and the common ESD ground; Spec: < 1 Ohm
測量工作站ESD接地點至共同接地點間的阻值;規格：<1歐姆
□符合□不符合
8
Are personnel wearing grounded wrist straps at the ESD-protected workstations?
一次性腳環是否限定一次性使用?
□符合□不符合
15
Do personnel wear ESD protective garments or smocks in ESD controlled areas
人員在ESD管制區域是否有穿著靜電防護衣?
□符合□不符合
16
Are ESD protective garments correctly worn?
防靜電衣是否有正確穿著?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
3
Where ESD protective flooring is used, is the flooring grounded to the plant's common ESD ground?
是否有使用ESD保護地板並且連接至車間共同接地點?
□符合□不符合
4
Is the ESD protective flooring grounded properly at prescribed intervals?
M5. Measure the resistance between a workstation ESD ground point and the common ESD ground; Spec: < 1 Ohm
測量工作站ESD接地點至共同接地點間的阻值;規格：<1歐姆
□符合□不符合
8
Are personnel wearing grounded wrist straps at the ESD-protected workstations?
一次性腳環是否限定一次性使用?
□符合□不符合
15
Do personnel wear ESD protective garments or smocks in ESD controlled areas
人員在ESD管制區域是否有穿著靜電防護衣?
□符合□不符合
16
Are ESD protective garments correctly worn?
防靜電衣是否有正確穿著?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
ESD每月防静电核查表
防静电席摩擦电压<100V EMF-022
防静电工作台必须确保正 常接地状态，是否按照要 求摆放防静电席？且工作 台上的防静电设施的接地 线不可相互串连
目视
同一静电席上只允许有一 个接地点、静电席的上下 都不得垫非防静电材料的 物品。
目视
防静电工作台上不允许贴 非防静电的胶纸（标识用 美纹胶纸除外）
目视
摩擦电压<100V
工作服、帽、手套 表面电阻106Ω～109Ω
EMF-022 重锤表面电阻测试仪
防静电鞋 防静电凳子 防静托盘 防静电地板
接地线
摩擦电压≤100V
EMF-022
系统电阻106Ω≤R≤109Ω 重锤表面电阻测试仪
摩擦电压<100V
EMF-022
接地电阻106Ω～1010Ω 重锤表面电阻测试仪
核查人员：
年、月份：
每月防静电核查表
审核：
项目
点检要求点检工具源自结果防静电腕带 防静电工作台
腕带内表面对电缆扣<20K Ω
万用表
腕带外表面对电缆扣电阻
>107Ω
万用表
腕带连接电缆电阻1MΩ、 ±10％
万用表
防静电席的防静电接地电 阻1MΩ、±10％
万用表
防静电席表面电阻106Ω～ 109Ω
重锤表面电阻测试仪
表面电阻103Ω～109Ω
重锤表面电阻测试仪
摩擦电压<100V
EMF-022
表面电阻103Ω～109Ω
重锤表面电阻测试仪
摩擦电压≤100V
EMF-022
表面电阻105Ω～109Ω
重锤表面电阻测试仪
接地电阻≤4Ω
接地电阻测试仪
核查人签名
ESD静电检查表-中英文版
Surface Resistiviy for Dissipative Material 静电耗散材料的表面电阻率 105Ohms/sq<R<1011 Ohms/sq
01
01
Surface Resistiviy for Shielding Material 静电屏蔽材料的表面电阻率
R<104 Ohms/sq
Audit Data 审核数据
03
B--Equipment grounding conductor resistance 设备接地导体电阻
<1 Ohms
04
Equipment continuity resistance between any conductive or dissipative elements (such as nozzle ,conductive element and chain ) 设备任何传导性/耗散性部件之间连贯性 电阻(如吸嘴,传导性部件和链条)
Pass / Fail 0.9 Mohms <RTG<1.1 Mohms <4ohm
Audit Items 审查项目
Wrist strap as worn 防静电手带 ESD Socket to ground resistance 防静电插座对地电阻 A--Equipment to ground resistance 设备对地电阻
Surface Resistiviy for Conductive Material 传导材料的表面电阻率
R<105 Ohms/sq
防静电系统稽查数据表
Date/日期: Week/周: Result
结果
ea 拉号／区域：
稽查者: Audit Data 审核数据
01
01
Surface Resistiviy for Shielding Material 静电屏蔽材料的表面电阻率
R<104 Ohms/sq
Audit Data 审核数据
03
B--Equipment grounding conductor resistance 设备接地导体电阻
<1 Ohms
04
Equipment continuity resistance between any conductive or dissipative elements (such as nozzle ,conductive element and chain ) 设备任何传导性/耗散性部件之间连贯性 电阻(如吸嘴,传导性部件和链条)
Pass / Fail 0.9 Mohms <RTG<1.1 Mohms <4ohm
Audit Items 审查项目
Wrist strap as worn 防静电手带 ESD Socket to ground resistance 防静电插座对地电阻 A--Equipment to ground resistance 设备对地电阻
Surface Resistiviy for Conductive Material 传导材料的表面电阻率
R<105 Ohms/sq
防静电系统稽查数据表
Date/日期: Week/周: Result
结果
ea 拉号／区域：
稽查者: Audit Data 审核数据
ESD日常检查表
ESD 日常点检表
日期 防静电 防静电的插 接地扣 检测人 座是否松动 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏
日常点检表ຫໍສະໝຸດ 静电手 环是否 测试 Pass
日期 防静电 防静电的插 接地扣 检测人 座是否松动 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏
日常点检表ຫໍສະໝຸດ 静电手 环是否 测试 Pass
ESD内部审核检查表
ESD内审 ESD内审 抽样检测表
Ⅰ静电电压抽测
测量标准：无保护的ESD元件：12英寸以内≤±1000伏特（或按照供应商的建议） 标准设备：设备名称：数字静电测量仪. 序号 1 2 工作区域/工作站 校验有效期： 电压测量值（KV） 评价（通过/不通过）
Ⅱ接地及表面电阻抽测
测量标准：一.接地检测类型：工作站ESD接地电阻<1Ω；二.防静电类型：工作台垫表面电阻106Ω≤测量值≤1011Ω 标准设备：设备名称：数字多用表、 表面电阻测试仪. 工作站接地检测 校验有效期：
检验工序
工作站 L L
pt#
阻值（欧姆）
表面电阻
传输带
工作站 L L Ⅲ静电地板表面电阻抽测
标准设备：设备名称：表面电阻测试仪.
生产工序
pt#
表面电阻测量值
记录
测量标准：1.检测值≤1011欧姆/平方。2.检测周期为每季度检测一次。3.测量次数为每90平方米1次。 校验有效期：
检测工段
检测序号
检测值（欧姆）
序号
测试地点编号
测试阻值
状况描述
备注
备注
防静电周转箱、托盘、 Ⅳ防静电周转箱、托盘、元件盒表面电阻抽测
测量标准：1.防静电周转箱的测试点为四周的中间和隔段两区域任意两点，检测值≤1011Ω。2.检测周期为：次/半年 标准设备：设备名称：表面电阻测试仪. 校验有效期：
工段
检测序号
检测值（欧姆）
备注
Ⅴ总接地电阻检测
测量标准：1.测试数值≤4Ω为 接受，>4Ω为 不接受。2.测试点数为5个。3.工厂总接地检测周期：次/每年。 标准设备：设备名称：接地电阻测试仪 校验有效期：
Ⅰ静电电压抽测
测量标准：无保护的ESD元件：12英寸以内≤±1000伏特（或按照供应商的建议） 标准设备：设备名称：数字静电测量仪. 序号 1 2 工作区域/工作站 校验有效期： 电压测量值（KV） 评价（通过/不通过）
Ⅱ接地及表面电阻抽测
测量标准：一.接地检测类型：工作站ESD接地电阻<1Ω；二.防静电类型：工作台垫表面电阻106Ω≤测量值≤1011Ω 标准设备：设备名称：数字多用表、 表面电阻测试仪. 工作站接地检测 校验有效期：
检验工序
工作站 L L
pt#
阻值（欧姆）
表面电阻
传输带
工作站 L L Ⅲ静电地板表面电阻抽测
标准设备：设备名称：表面电阻测试仪.
生产工序
pt#
表面电阻测量值
记录
测量标准：1.检测值≤1011欧姆/平方。2.检测周期为每季度检测一次。3.测量次数为每90平方米1次。 校验有效期：
检测工段
检测序号
检测值（欧姆）
序号
测试地点编号
测试阻值
状况描述
备注
备注
防静电周转箱、托盘、 Ⅳ防静电周转箱、托盘、元件盒表面电阻抽测
测量标准：1.防静电周转箱的测试点为四周的中间和隔段两区域任意两点，检测值≤1011Ω。2.检测周期为：次/半年 标准设备：设备名称：表面电阻测试仪. 校验有效期：
工段
检测序号
检测值（欧姆）
备注
Ⅴ总接地电阻检测
测量标准：1.测试数值≤4Ω为 接受，>4Ω为 不接受。2.测试点数为5个。3.工厂总接地检测周期：次/每年。 标准设备：设备名称：接地电阻测试仪 校验有效期：
ESD防静电年度稽查报告表
5.5 ESSD器件及组件的包装盛放都有明显的防静电警示标识吗？
5.6 ESSD及组件的配料、发料、转储过程是否都存放在防静电容器中？
5.7在操作中没有IC散乱地堆放在工作台面上的操作现象吗？
5.8防静电材料的检验有专职的部门和人员、仪器保证吗？
6.体系文档、制度
6.1有正式的作业指导书（腕带和人体电阻测试方法、离子风机使用方法、接地监控仪使用方法等）指导员工如何进行正确的防静电操作吗？
5.物料
5.1防静电区域内的非防静电材料（包括过期失效的防静电材料）是否及时、正确地进行了处理?
5.2有时效性的防静电材料上是否标明了有效期？
5.3静电敏感物料与非静电敏感物料进行了隔离放置吗？
5.4放置在EPA工作台以外的静电敏感物料采取了防静电保护措施（用防静电容器和包装材料存放），没有PCB板随意裸露叠放现象吗？
2.3防静电区域配备了温湿度计吗？
2.4每工作日都对温湿度作了记录吗？
2.5记录显示温湿度控制正常吗？
2.6温湿度异常时有应急处理措施吗？
2.设备、仪器、工具、工装
2.1 ESSD及其组件的加工设备、测试仪器、工具、装备（如被测整机机框、测试设备仪器、工装和夹具、SMT系列设备、波峰焊机、烘烤箱、成型系列设备、电批、电烙铁等）是否都进行了可靠接地？硬接地电阻是否小于1Ω，软接地电阻满足≥7.5×105Ω≤1×109Ω？
设备仪器工具工装21essd及其组件的加工设备测试仪器工具装备如被测整机机框测试设备仪器工装和夹具smt系列设备波峰焊机烘烤箱成型系列设备电批电烙铁等是否都进行了可靠接地
ESD
CHECKLIST
受检区域/公司：
查检日期：
查检人员：
查检内容
查检结果
5.6 ESSD及组件的配料、发料、转储过程是否都存放在防静电容器中？
5.7在操作中没有IC散乱地堆放在工作台面上的操作现象吗？
5.8防静电材料的检验有专职的部门和人员、仪器保证吗？
6.体系文档、制度
6.1有正式的作业指导书（腕带和人体电阻测试方法、离子风机使用方法、接地监控仪使用方法等）指导员工如何进行正确的防静电操作吗？
5.物料
5.1防静电区域内的非防静电材料（包括过期失效的防静电材料）是否及时、正确地进行了处理?
5.2有时效性的防静电材料上是否标明了有效期？
5.3静电敏感物料与非静电敏感物料进行了隔离放置吗？
5.4放置在EPA工作台以外的静电敏感物料采取了防静电保护措施（用防静电容器和包装材料存放），没有PCB板随意裸露叠放现象吗？
2.3防静电区域配备了温湿度计吗？
2.4每工作日都对温湿度作了记录吗？
2.5记录显示温湿度控制正常吗？
2.6温湿度异常时有应急处理措施吗？
2.设备、仪器、工具、工装
2.1 ESSD及其组件的加工设备、测试仪器、工具、装备（如被测整机机框、测试设备仪器、工装和夹具、SMT系列设备、波峰焊机、烘烤箱、成型系列设备、电批、电烙铁等）是否都进行了可靠接地？硬接地电阻是否小于1Ω，软接地电阻满足≥7.5×105Ω≤1×109Ω？
设备仪器工具工装21essd及其组件的加工设备测试仪器工具装备如被测整机机框测试设备仪器工装和夹具smt系列设备波峰焊机烘烤箱成型系列设备电批电烙铁等是否都进行了可靠接地
ESD
CHECKLIST
受检区域/公司：
查检日期：
查检人员：
查检内容
查检结果
2019年ESD防静电审核检查表(ESD Checklist)
防靜電衣是否有正確穿著?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
測量靜電衣表面電阻率;規格：0 - 10^5歐姆/平方
□符合□不符合
17
Are the ground points of all equipment grounded to the common ESD ground of the plant?
測量工作臺任何絕緣材料及易摩擦帶電的場電壓;規格：<200V的
□符合□不符合
29
Is the RH of ESD controlled areas maintained above 40% and is the RH in these areas monitored?
Is the surface of the worktable where ESD-sensitive devices are handled covered with a static dissipative mat?
處理靜電敏感元件時是否于工作臺上鋪設靜電消散墊子?
□符合□不符合
21
Is the static dissipative mat on the table properly grounded to the ESD common ground at prescribed intervals?
在ESD管制區域是否絕緣材料存在，例如，塑料包裝袋，塑料信封，塑料文件夾，盒子？
□符合□不符合
26
Where insulative materials are present in ESD controlled areas, are ionizers in use?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
測量靜電衣表面電阻率;規格：0 - 10^5歐姆/平方
□符合□不符合
17
Are the ground points of all equipment grounded to the common ESD ground of the plant?
測量工作臺任何絕緣材料及易摩擦帶電的場電壓;規格：<200V的
□符合□不符合
29
Is the RH of ESD controlled areas maintained above 40% and is the RH in these areas monitored?
Is the surface of the worktable where ESD-sensitive devices are handled covered with a static dissipative mat?
處理靜電敏感元件時是否于工作臺上鋪設靜電消散墊子?
□符合□不符合
21
Is the static dissipative mat on the table properly grounded to the ESD common ground at prescribed intervals?
在ESD管制區域是否絕緣材料存在，例如，塑料包裝袋，塑料信封，塑料文件夾，盒子？
□符合□不符合
26
Where insulative materials are present in ESD controlled areas, are ionizers in use?
ESD内部审核检查表
14
设备部
15 16
设备部 设备部
17
ESD保护台操作区域是否设置静电手环接地点 （报警器、接地插座、接地端子）? 防静电保护台上是否有设置一个静电手环接地 点供客人和管理人员使用? 是否有检查ESD保护台上其它通电仪器设备治 工具是否有接二次保护红色设备接地线?
设备部
18
设备部 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 品保 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保 品保
19
20
离子风机/风扇/风棒/风枪是否有固定位置 距产品30cm、定最大风速、定45-90角度
离子风机/风扇/风棒/风枪是否有每日保养、 每月拆机清洁及记录与存档 ESD控制区的人员是否都参加过ESD培训、
21
1
是否有培训签到表、考核试卷、上岗证? 进入EPA防静电工作区的外来人员是否符 合ESD操作要求或有ESD合格人员陪同?
2 3
五:ESD控 制区
4
人员进入EPA区域是否按照无尘服/静电衣帽鞋 生产、IQC、 仓库、品保 着装标准执行?
5
手腕带测试仪、人体综合测试仪、手环报警器 生产、IQC、 、接地插点、接地电阻测试仪、静电压测试仪 仓库、品保 是否足够?
6
在保护台和工作区是否有非防静电的绝缘物料 （如普通Tary、泡棉、泡沫、胶袋、胶布、纸 生产、IQC、 、笔等个人物品）是否与ESD敏感器件相距 仓库、品保 30cm以上? EPA区域防静电地板/静电地垫/工作椅/货料/ 周转车是否接地？ 生产、IQC、 仓库、品保
EPA内是否有温湿度控制系统，当温湿度超标 厂务部、生产 时有无文件规定如何操作、ESD敏感元件或ESD 、IQC、仓库 产品如何操作? EPA、仓库、IQC是否配置温湿度计，是否有校 生产、IQC、 验，是否每班有温湿度记录? 仓库 EPA区域是否安装防静电地板/静电地垫？是否 有定期检测接地电阻？ EPA区域是否有配置人员（含客户/供应商等外 来人员）使用的防静电衣帽鞋、手环手套，外 来人员是否有ESD合格人员陪同? 是否配置手腕带测试仪、人体综合测试仪、手 环报警器、接地插点、接地电阻测试仪、静电 压测试仪？ 防静电检测仪器是否遵循了校验和维护程序，并 处于有效期内? EPA区域是否配置静电接地线、设备接地线供 人员、设备接地？是否有定期检测接地电阻？ 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保
防静电ESD控制审核检查表
审核及验证中发现的问题是否采取了有效的纠正和预防措施？
2.8
Are compliance verification records established and maintained? 是否建立符合性验证的记录并有人负责确认和保存？
Whether the equipment,fixture and machine touch ESDS part material is ESD
2.10
escorted by trained personnel when they are inside an EPA ? 是否只允许有标志证明的已培训的人员或未被培训的人员需在受训人员的带领
下进入EPA保护区域?
Reference 参考
Specification 標準
符合
Tool 工具
现场查阅
2.4 provision?
内部审核是否按照规定
的要求开展？
Does the equipment being used for measurements match the equipment 2.5 listed in the Compliance Verification Plan?
测试设备是否满足测符合性验证计划定义的设备要求?
ESD Con trol audi
#
1. ESD Control Plan/控制计划
Check Point 檢查內容
Whether drew up the valid ESD control procedure to combine according to 1.1 the request of the document control carry on is control?
2.8
Are compliance verification records established and maintained? 是否建立符合性验证的记录并有人负责确认和保存？
Whether the equipment,fixture and machine touch ESDS part material is ESD
2.10
escorted by trained personnel when they are inside an EPA ? 是否只允许有标志证明的已培训的人员或未被培训的人员需在受训人员的带领
下进入EPA保护区域?
Reference 参考
Specification 標準
符合
Tool 工具
现场查阅
2.4 provision?
内部审核是否按照规定
的要求开展？
Does the equipment being used for measurements match the equipment 2.5 listed in the Compliance Verification Plan?
测试设备是否满足测符合性验证计划定义的设备要求?
ESD Con trol audi
#
1. ESD Control Plan/控制计划
Check Point 檢查內容
Whether drew up the valid ESD control procedure to combine according to 1.1 the request of the document control carry on is control?
相关主题
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2.4 provision?
内部审核是否按照规定
的要求开展？
Does the equipment being used for measurements match the equipment 2.5 listed in the Compliance Verification Plan?
测试设备是否满足测符合性验证计划定义的设备要求?
ESD Con trol audi
#
1. ESD Control Plan/控制计划
Check Point 檢查內容
Whether drew up the valid ESD control procedure to combine according to 1.1 the request of the document control carry on is control?
Do you identify the program Technical elements that need to be verified? do 2.1 ESD coordinator know them?
是否有识别要测量哪些技术项目，ESD协调员是否清楚这些技术项目?
2.2
Do you determine the verification frequency for each Technical element ? 是否确定了每个技术项目检测的频率 ?
Audit Date: Auditor: Audited supplier:
Reference 参考
Specification 標準
Tool 工具
符合
现场查阅
符合
现场查阅
符合
现场查阅
符合
现场查阅
符合
现场查阅
Evidence 審核証據
符合 符合
现场查阅 现场查阅
Average rating:
Score 分数
Is the instrumentation identified, calibrated and adjusted at prescribed
2.6
intervals (or prior to use) against verified equipment having a known, valid relationship to recognized standards?
2.9
material ? Do the non-ESD material part have the evaluation report? 设备、仪器、工具和工装上接触静电敏感器件的部分是否由防静电材料制成？
非防静电材料部分是否有评估？
Are trained personnel with the badget or all untrained personnel or visitors
0
1
2
3
NA
0.00
0.00
ESD Con trol audi
#
Check Pointone procedure or guideline to define the regular ESD audit? 是否有文件规定需定期执行ESD审核?
The internal audit whether open an exhibition according to the request of the
Whether appointed one ESD control program manager or ESD coordinator 1.4 ?Do they know well their responsibility?
是否任命了ESD控制方案经理或协调员?他们是否清楚明白其职责?
Do the ESD control program cover the required Administrative and Technical Elements. (training, compliance verification, grounding, personnel grounding, 1.5 EPA requirements, packaging systems)？ ESD控制计划是否覆盖了行政和技术两个方面的要求(培训,符合性验证,人员接 地,EPA要求,包装方法)？ 2. Measurement&Verification Plan/符合性验证计划
2.10
escorted by trained personnel when they are inside an EPA ? 是否只允许有标志证明的已培训的人员或未被培训的人员需在受训人员的带领
是否编制了有效的ESD控制程序并按照文件控制的要求进行了受控？
Whether carried on definition to the sensitive degree class of the ESD 1.2 sensitive spare part?
是否针对ESD的敏感器件的敏感度级别进行了定义？
审核及验证中发现的问题是否采取了有效的纠正和预防措施？
2.8
Are compliance verification records established and maintained? 是否建立符合性验证的记录并有人负责确认和保存？
Whether the equipment,fixture and machine touch ESDS part material is ESD
使用的仪器是否依据相关标准定期(或根据使用频率)查核,校验和调整？
The inner part examine whether the problemfor discover adopted to rectify 2.7 effectively or not is the the measure with the prevention?
The power of with the ESD management whether the definition is clear and 1.3 carried on a valid communication in the company inner part?
ESD管理的权责是否定义清楚并在公司内部进行了有效的沟通？