中国半导体生厂线概况

1 生厂线概况

2000年底我国共有25条4英寸～8英寸芯片生产线，具体分布如下：1条8英寸线、3条6英寸线、6条5英寸线和15条4英寸线，基本上呈一座“金字塔”形状。4英寸线数量最大，为塔底；8英寸线只有1条，为塔顶。经过三年的建设，到2003年底，共建成9条芯片生产线并投入生产：5条8英寸线(天津摩托罗拉、上海中芯国际、苏州和舰、上海先进和上海宏力)、2条6英寸线(珠海南科、上海新进)、和2条5英寸线(吉林华微、杭州士兰)。由于无锡华晶上华公司将1条5英寸MOS线设备退还给华晶集团(现改名为华润微电子)补充到原有的双极5英寸线上去，因此5英寸线净增1条。三年共计增加8条线。到2003年底，我国IC芯片线总数达到33条线。这样，原来的“金字塔”形的结构变为“凸”字形，芯片线技术水平的结构分布大致趋向合理。三年来我国IC芯片线数量变化情况见表1。

经过2003年下半年的进展和变化，国内正在建设的和准备建设的IC芯片线情况如下。目前正在建设的IC芯片线有：1条12英寸线(北京中芯)、3条8英寸线(上海贝岭、常州柏玛、上海台积电)、8条6英寸线(宁波中纬、乐山菲尼克斯、杭州士兰、吉林华微、沈阳科希一硅技术、常州赛米微尔、福州福顺、慈溪华泰)、1条5英寸线(宁波国微明华)，共计13条。在建的13条IC芯片线结构状况见表2。

迄今已签约或已宣布准备建设的IC芯片线有：4条8英寸线(广州南科、沈阳科希—硅技术、苏州太仓西菱、上海青浦贝里斯旭庆)和8条6英寸线(南京高新半导体、无锡上华、上海嘉定茂基、西安西岳、无锡华润、深圳高科、宁波联微、上海青浦贝里斯旭庆)，共计12条。此外，还有的线在考虑改变地点，正在洽谈和筹划之中的线还有几条。拟建的12条IC芯片线结构状况见表3。

我国各地IC芯片线分布现状

我国集成电路芯片生产线主要集中在以上海市为中心、江苏省和浙江省为两翼的长江三角洲地区，其次是北京、天津两市的华北京津地区，以及广东、福建两省的东南沿海地区。除上述三大地区之外，在东北、西北、西南广大地区中也零散地分布着几条线。

上海市

上海市是我国IC芯片线最集中、生产技术水平最高、8英寸线最多的城市。它已建成华虹NEC、中芯国际、先进和宏力4条8英寸线；6英寸线有2条：先进和新进；5英寸线有1条：先进；4英寸线有1条：贝岭。在建的8英寸线有2条：位于张江的贝岭和位于松江的台积电。拟建的8英寸线有1条：位于青浦的贝里斯旭庆；6英寸线有2条：位于嘉定的茂基和位于青浦的贝里斯旭庆。值得指出的是：宏力所建的净化厂房是按12英寸线的要求建的，今后可以安装12英寸线的设备。上海市IC芯片线状况详见表4。

江苏省

江苏省已建成1条8英寸线：苏州和舰；1条6英寸线：无锡华晶上华；2条5英寸线：无锡华润和无锡58所；2条4英寸线：无锡华润和无锡58所。在建的8英寸线有1条：常州柏玛；6英寸线有1条：常州赛米微尔。拟建的8英寸线有1条：苏州太仓西菱；6英寸线

有3条：无锡上华、无锡华润和南京高新。江苏省IC芯片线状况详见表5。

浙江省

浙江省已建成2条5英寸线：绍兴华越和杭州士兰；2条4英寸线：绍兴华越和宁波国微明华。在建的6英寸线有3条：宁波中纬、杭州士兰和慈溪华泰；5英寸线有1条：宁波国微明华。拟建的6英寸线有1条：宁波联微。浙江省IC芯片线状况详见表6。

京津地区

华北京津地区已建成1条8英寸线：天津摩托罗拉；1条6英寸线：北京首钢曰电；1条5英寸线：清华大学微电子所；4条4英寸线：北京的燕东、宇翔、中科院微电子中心和北京大学微电子所。在建的有1条12英寸线：北京的中芯国际；1条6英寸线：北京首钢曰电二厂。北京中芯国际如能在2004年建成12英寸线，将是我国第一条12英寸线。京津地区IC芯片线状况详见表7。

粤闽地区

广东、福建东南沿海地区已建成1条6英寸线：广东珠海南科；1条4英寸线：福建福州福顺。在建的有1条6英寸线：福建福顺。拟建的有1条8英寸线：广东广州南科；1条6英寸线：广东深圳高科。粤闽地区IC芯片线状况详见表8。

东北、西北、西南地区

在东北、西北、西南广大地区，已建成的IC芯片线有：1条5英寸线———东北吉林华微；5条4英寸线，东北有2条———丹东安顺和沈阳47所，西北有2条———天水天光和西安771所，西南有1条———重庆24所。在建的6英寸线有3条，东北有2条———吉林华微和沈阳科希一硅技术，西南有1条———乐山菲尼克斯。拟建的8英寸线有1条———东北沈阳科希—硅技术；6英寸线也有1条———西北西安西岳。东北、西北、西南地区

从表10中看出，目前在建的有13条线，如果能在2004年和2005年两年内全部建成，那么，到“十五”计划末，我国将有46条芯片生产线。与“九五”相比，“十五”期间主要建设6英寸线和8英寸线，五年内6英寸线将增加10条，8英寸线将增加8条，而且有希望建成第一条12英寸线，从而跃进到世界IC芯片制造线的前沿水平。到那时，芯片线数量所形成的形状将是“双伞”形，生产线的技术水平将大为提高。

从表10中也可看出，拟建的线目前变化为12条线。实际上，建设IC芯片线的热潮在中国各地并未减弱。从各种信息看出，不仅在上海、北京、深圳三大城市，而且在江苏、浙江、山东、辽宁、广东等沿海省份，以至湖南、河南、四川、重庆等内地，都有各种芯片线在计划、洽谈中。随着时间的推移，还会有更多条芯片线列入拟建之中。一旦资金初步落实，该线就将从“拟建”进展到“在建”。

从总的发展趋势来看，“十五”期间我国将建成20条左右的芯片生产线，到2005年底我国将有45条左右的芯片生产线。而在未来的五年(2006—2010年)中，发展的势头将保持不变，

预计仍将有20条至30条线建成。到2010年我国将有65条至75条芯片生产线。这样才能保证实现中国集成电路产业发展目标：到2010年，IC领域上我国要占世界市场份额的5%以上，从而使中国成为世界IC芯片制造基地之一，并争取进到世界先进行列之中。