真空设备教学课程
材料成型设备课程设计
材料成型设备课程设计一、课程目标知识目标：1. 让学生掌握材料成型设备的基本原理和分类，理解不同设备的工作特点和适用范围。
2. 使学生了解材料成型设备在工业生产中的应用，掌握其主要技术参数和性能指标。
3. 引导学生了解材料成型设备的发展趋势，掌握新技术、新工艺在现代设备中的应用。
技能目标：1. 培养学生能够正确操作、调试和维护材料成型设备，提高实际动手能力。
2. 使学生具备分析材料成型设备故障原因的能力，并能提出合理的解决方案。
3. 培养学生运用所学知识进行设备选型、工艺参数优化和生产线设计的能力。
情感态度价值观目标：1. 培养学生对材料成型设备学科的兴趣，激发学习热情，树立正确的专业观念。
2. 培养学生的团队协作精神，提高沟通与交流能力，为将来从事相关工作打下基础。
3. 引导学生关注材料成型设备在生产实践中的应用，培养创新意识，提高解决实际问题的能力。
本课程针对高年级学生，课程性质为专业核心课程。
在教学过程中，需注重理论联系实际，充分调动学生的主观能动性。
课程目标旨在使学生掌握材料成型设备的基本知识，培养实际操作和解决问题的能力，同时注重培养学生的专业素养和团队合作精神，为将来的职业生涯奠定坚实基础。
二、教学内容1. 材料成型设备概述：介绍材料成型设备的基本概念、分类及其在工业生产中的应用。
- 教材章节：第一章- 内容：设备分类、应用领域、发展趋势。
2. 塑料成型设备：讲解塑料成型设备的原理、结构及其操作与维护。
- 教材章节：第二章- 内容：注射成型机、挤出成型机、吹塑成型机等。
3. 金属成型设备：分析金属成型设备的特点、应用及其工艺参数的优化。
- 教材章节：第三章- 内容：冲压成型设备、锻造成型设备、焊接成型设备等。
4. 复合材料成型设备：探讨复合材料成型设备的原理、性能及其在生产中的应用。
- 教材章节：第四章- 内容：热压成型设备、缠绕成型设备、真空吸塑成型设备等。
5. 材料成型设备选型与优化：讲解设备选型原则、方法，以及如何根据生产需求进行设备优化。
真空熔炼技术
7.2真空熔炼的理论基础
除了上述真空熔炼的特点： （1）通过降低外界压力，就可以减少气体在金属熔体中的熔解 度，从而减少气体的含量－具有除气作用； （2）同时，根据分压差原理，通过降低压力使溶解在金属熔体 中的气体，有强烈的析出倾向－具有除气作用； （3）并且，生成的气泡在上浮过程中，能吸附非金属夹杂物带 出金属熔体－具有除杂作用； （4）另外，真空条件下，能减少金属熔体的氧化倾向－具有防 止氧化作用。
7.2.3 真空条件下坩锅与金属熔体的反应情况
真空条件下，促进了坩锅与熔体的反应，而使耐火材料损坏和金属熔 体污染－增氧。 例如，熔炼含Ti的金属熔体时，与SiO2及Al2O3耐火材料反应：
SiO2＋[Ti ]→2SiO↑+TiO2 真空条件下， SiO不断溢出，从而促进 了反应的进行。 同样， Al2O3＋[Ti] →4/3[Al]+TiO2
真空熔炼
本章内容要点： 真空熔炼技术简介 真空熔炼的相关理论 真空熔炼设备介绍
第七章，真空熔炼
本课程内容目录：
7.1真空熔炼技术简介 7.1.1真空熔炼的特点 7.1.2稀有金属熔炼的特点 7.1.3真空熔炼对稀有金属的适应性
7.2真空熔炼的理论基础 7.2.1分解 7.2.2脱氧 7.2.3金属及非金属成分的挥发 7.2.4坩锅与金属间的反应
7.3.1真空感应熔炼的工作原理：
（1）加热采用无铁芯的感应熔炼炉（两吨以下的真空熔炼炉，通常采用 500~4000Hz的中频电源，大型电炉多采用三倍工频或工频电源）；
（2）熔炼炉装在一个真空室中，炉料在真空或惰行气体中熔炼，真空系 统采用初级真空泵和增压泵抽取真空，并由真空阀门和检测仪表
组 成，对于采用油增压泵和罗茨泵并联的真空系统，其真空度可达 0.06Pa；
第1章 真空技术的物理基础
在真空技术中，压强所采用的法定计量单位是帕斯卡 （Pascal），系千克米秒制单位，简称帕(Pa), 是目前国
真空特点
1. 与大气有压差。压强低于一个大气压，故需要一个“真 空”容器，即真空设备。该容器在地球上就需要承受一个 大气压力的作用，压力的大小则看容器内外压差。内部为 真空环境的容器，可以认为压差为1个大气压。所以该容 器必需承受大于1个大气压力的作用。 如需获取真空条件，必须研制设计生产真空设备，需 要进行真空获取、测量、气体成分分析，如何有效设计、 防漏、检漏等。 2.分子数密度低。在“真空”下，由于气体稀薄，即单位 体积内的分子数目较少，故分子之间或分子与其它粒子， 如电子、离子之间的碰撞就不那么频繁，明显减少， 分子主要碰撞表面，如容器表面四壁、内部装置的次 数也相对减少。这是真空的最主要的特点。正是如此，各 种真空设备正是利用它进行工作。
蒸 汽 的 临 界 温 度 气 体 的 临 界 温 度
室温
实用上的室温（15~25°C）为准，凡临 界温度高于室温的气体称为蒸汽；低于室 温的则为“永久气体”或“气体”。 如此，则室温下，蒸汽是随时可液化的， 而气体则不能。氮、氢、氩、氧和空气的 临界温度远低于室温，所以在常温下它们 是“气体”。二氧化碳的临界温度与室温 接近，极易液化。 蒸汽是不能满足理想气体方程的，如将容 器体积缩小，则有一部分蒸汽转化成液态， 其压强未增。 以上关于理想气体的概念，只适用于 “永久气体”，不适用于蒸汽。“永久气 体”与蒸汽的区别，在于其所处温度是在 临界温度以上或以下。 对一定的物质，饱和蒸汽压的大小只取决 于温度。 温度越高,蒸汽压越大.
真空技术的应用
(整理)《真空》教案.
0.5学时
0.2学时
0.2学时
0.2学时
0.4学时
本次课小结
作业、预习等
本课小结：通过学习使学生们掌握吸附泵和低温泵；了解抽气速率的测量；全面总结第三章的内容。
预习内容：真空的测量
第13次课
课时2学时
章节题目
第四章真空的测量
本次课
教学目标
通过学习本节内容使学生了解真空测量的概述，掌握U型管真空计和压缩式真空计（麦氏计）的工作原理、特点及应用。
2）按发布权限分。环境标准按发布权限可分为国家环境标准、地方环境标准和行业环境标准。通过学习本节内容使学生熟悉热传导真空计（电阻真空计和热偶真空计）的工作原理、特点及测量范围。
6.提出安全对策措施建议本次课
重点难点
热传导真空计的工作原理。
教学基本内容设计：
4.3热传导真空计
一.工作原理
二.电阻真空计
本次课
重点难点
真空泵性能参数；旋转式机械真空泵工作原理。
教学基本内容设计：
3.1概述
一、真空泵性能参数
1．抽气速率
2．极限压强
3．最大工作压强
4．压缩比：泵对给定气体的出口压力与入口压力之比
二、真空系统时间常数
三、真空泵分类
3. 2旋转式机械真空泵
一、工作原理
二、泵的特性及其应用
三、机械泵的改进
四、机械泵的常见故障和排除方法
本次课
重点难点
涡轮分子泵和离子蒸发泵的工作原理及应用。
教学基本内容设计：
3.5涡轮分子泵
一、工作原理
二、结构
三、工作特性
四、应用
3.6离子蒸发泵
一、工作原理
二、具体的泵
《过程装备密封技术》教学大纲
《过程装备密封技术》教学大纲课程编号：C064140760课程名称：过程装备密封技术课程类型：专业必修课英文名称：Package Technology of Process Equipment适用专业：过程装备与控制工程专业总学时：32学分：2一、课程的性质、目的和任务《过程装备密封技术》是过程装备与控制工程专业的一门专业必修课程，在过程装备与控制工程专业的教学中有着重要地位。
它涉及过程装备和机械设备的密封技术，具有实用性强、理论和实践结合等特点。
目的：本课程设置的目的就在于让学生了解过程装备所使用的密封技术类型，各种密封的基本结构和工作原理，使高年级学生了解相关专业领域内常用的流体密封技术（包括流体静密封、流体动密封等）及其最新进展。
为将来从事密封技术工作的学生奠定理论技术基础。
任务：通过本课程的学习，使学生能够掌握流体密封技术的基本理论和基本知识，培养学生运用基本的理论知识来理解和掌握各种流体密封装置的原理、结构特点、设计方法和选用原则，了解密封控制的新技术，提高分析与解决工程实际问题的能力，进而得以开拓视野、提高科学研究及工程开发能力。
二、课程教学的基本要求1．教学基本要求⑴掌握流体密封的机理、密封类型及方法，掌握密封流体力学和密封摩擦学的基本理论、基本知识和分析方法。
⑵掌握垫片密封、法兰密封、高压密封、密封胶及胶粘剂等各种流体静密封技术的基本原理、基本类型、主要性能参数、设计计算方法及其应用。
⑶掌握流体动密封技术特别是软填料密封、接触式机械密封、非接触式机械密封（气膜密封、液膜密封等）、弹性体密封等接触式密封、浮环密封等非接触式密封、密闭式密封等的工作原理、技术特征和使用中存在的问题，为诸多流体动密封技术的正确选用、技术改造、故障分析和使用维护打下坚实的基础。
⑷了解不停车堵漏技术、泄漏检测技术等相关技术。
2．能力培养要求培养学生运用基本的理论知识来理解和掌握各种流体密封装置的原理、结构特点、设计方法和选用原则，提高分析与解决工程实际问题的能力。
真空熔炼技术
电弧熔炼是利用电弧放电产生的高温来熔炼金属，并在真空条件下， 实现熔体的脱氧、杂质挥发和夹杂分解等熔体净化过程。 （1）电弧：
1 －阴极区； 2 －弧柱区； 3 －阳极区； 4 －温度曲线； 5 －聚弧； 6 －边弧； 7 －爬弧； 8 －阴极斑点； 9 －自耗电极； 10－铸锭。
电弧分区
1 －阴极区= 阴极斑点＋负刷＋暗区； 2 －弧柱区= 弧柱＋负弧焰； 3 －阳极区= 阳极斑点＋正刷。
真空熔炼
Melting & casting
本章内容要点： 真空熔炼技术简介 真空熔炼的相关理论 真空熔炼设备介绍
第七章，真空熔炼
Melting & casting
本课程内容目录：
7.1真空熔炼技术简介 7.1.1真空熔炼的特点 7.1.2稀有金属熔炼的特点 7.1.3真空熔炼对稀有金属的适应性 7.2真空熔炼的理论基础 7.2.1分解 7.2.2脱氧 7.2.3金属及非金属成分的挥发 7.2.4坩锅与金属间的反应
Melting & casting
1 －电缆； 2 －水冷电杆； 3 －炉壳； 4 －夹头； 5 －过渡极； 6 －真空管道； 7 －自耗电极； 8 －结晶器； 9 －稳弧线圈； 10－电弧； 11－熔池； 12－铸锭； 13－冷却水； 14－冷却水口。 真空电弧分为：自耗和非自耗型 电弧的工作电压：20～28VDC 电流：几千到几万安培
7.3真空感应炉熔炼 7.4真空电弧炉熔炼 7.4.1真空电弧炉工作原理 7.4.2真空电弧炉 7.4.3真空自耗电弧熔炼过程
Melting & casting
7.5电子束炉熔炼
7.6等离子炉熔炼
真空系统设计计算
真 空 系 统 设 计
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六
真 空 系 统 设 计
20
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六
由两个图中的曲线可见,在1.33×10－1～
真 空 系 统 设 计
13.3Pa的压强范围内,以油增压泵为主泵 的真空系统比较经济,所需要的功率小。 在压强低于1.33× 10－1 Pa的范围内,油扩 散 泵 抽 气 系 统比较经济。在压强高于 13.3Pa的范围内,罗茨泵抽气系统比较经 济。所以在选泵过程中应立足于即适用 又经济。
东北大学首期真空技术培训班系列教程之六课程结束东北大学首期真空技术培训班系列教程之六41气体流动状态对流导的影响42气体流动状态的分类43湍流湍粘滞流粘滞流之间的判44粘滞流粘滞分子流和分子流之间的判别式7841气体流动状态对流导的影响气体在管道中的流动状态不同管道的流导也不一样也就是说管道对气体的流导不仅取决于管道的几何形状和尺寸还与管道中流动的气体种类和温度有关在有的流动状态下还取决于管道中气体的平均压力
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六
真空系统设计
主讲人：王继常 东北大学
真 空 系 统 设 计
1
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六
真空系统设计
1.真空系统的组成 2.真空技术基本方程
真 空 系 统 设 计
3.真空系统的设计计算
4.气体流动状态的判别
5.流导的计算
6.抽气时间的计算 7.真空密封
真 空 系 统 设 计
29
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六
(2.)被抽容器所要求的有效抽速的计算
设被抽容器内的最大排气流量为Q Pa· 3 /s m 所要求的工作真空度为pg Pa则被抽容器所要求 的有效抽速Sey为
简易真空装置的搭建方法
简易真空装置搭建步骤及安全注意事项
简易真空装置的搭建主要包括以下步骤：
1.确定所需的材料和设备，包括真空泵、真空容器、管道、阀门等。
2.根据设计要求，将真空容器放置在合适的位置，并连接管道和阀门。
3.将真空泵连接到真空容器上，确保连接紧密无泄漏。
4.开启真空泵，开始抽真空。
根据需要，可以逐渐增加泵的转速以加快抽真
空的速度。
5.当真空度达到所需值时，关闭真空泵，停止抽真空。
6.检查装置是否有泄漏，如果有泄漏，需要修复或更换密封件。
7.重复实验或使用真空装置进行所需的操作。
需要注意的是，在搭建简易真空装置时，需要考虑到安全问题。
例如，确保真空容器不会在抽真空过程中破裂或爆炸，以及确保操作人员不会受到任何有害气体的影响。
同时，还需要根据具体的应用场景和需求，选择合适的材料和设备，以确保装置的性能和可靠性。
《炉外精炼操作与控制》课程标准
《炉外精炼操作与控制》课程标准一、课程性质和任务《炉外精炼操作与控制》课程是钢铁智能冶金技术专业的一门核心课程专业和专业必修课程。
本课程的功能是使学生了解炉外精炼的发展动态，掌握炉外精炼的理论基础，各种炉外精炼方法的工作原理、特点、工艺参数、精炼效果，根据冶炼方法和钢种选择适宜的炉外精炼方法，并能熟练地操作设备，对其进行检查、维护和一般故障的判断；具备精炼工的基本技能（包括原材料质量的判别能力、确定各种原料配比的能力、精炼过程操作和控制的能力、终点判断和控制的能力等），使学生初步具备高等技术人才应有的生产操作的技能、独立分析问题和解决现场实际问题的能力，以及组织安全生产的能力。
本课程为培养学生具备炉外精炼工的基本能力提供支撑，为学生胜任岗位工作提供技术支撑。
二、课程教学目标本课程是为培养和提高学生具备专业能力、方法能力、社会能力。
（一）知识教学目标：（1）掌握炉外精炼的理论基础；（2）掌握各种炉外精炼方法的工作原理、特点、工艺参数、精炼效果；（3）理解不同精炼炉的机械及电气设备功能及冶金功能；（4）掌握正确使用炉前工具的方法。
（二）能力培养目标：（1）熟练进行造渣操作；（2）熟练进行精炼炉的供电操作；（3）熟练进行合金成分调整操作；（4）熟练进行合理供气搅拌操作，组织、协调钢水的浇注准备；（5）熟练进行真空处理操作；（6）熟练进行终点的准确控制；（7）比较熟练地进行精炼炉设备的点检与维护；（8）培养和提高学生动手能力、仿真操作技能、观察及分析问题解决问题的能力，进一步培养学生综合利用所学知识解决钢水精炼实际问题的能力。
（三）素质教育目标：（1）具有较好的创新能力和实践能力；（2）具有严谨的科学态度和良好的职业道德；（3）在以操作为主的项目教学过程中，锻炼学生的团队合作能力；（4）采用项目化教学，按项目的不同采用任务驱动、项目导向等教学模式，培养专业技术交流的表达能力；制订工作计划的方法能力；获取新知识、新技能的学习能力；解决实际问题的工作能力。
《泵与风机》课程教学大纲
《泵与风机》Pump&fan一、课程基本信息学时:32学分：2考核方式：考试（平时成绩占总成绩的30%）中文简介：《泵与泵站》是给水排水工程专业的一门专业必修课。
主要讲述离心泵的工作原理、基本性能、水泵机组配置、运行工况的图解法和数解法原理、泵站对土建的要求和特点、泵站噪声消除及其维护管理方法；介绍其它泵与风机的基本性能及其应用；学会给水泵站和排水泵站设计的原理和方法。
是《环境工程学》、《建筑给水排水工程》和《给水排水管网工程》等专业课的基础课程。
二、教学目的与要求第一章绪论1.掌握水泵的定义；2.了解合理设计泵站具有重要的经济意义；3.按工作原理对水泵进行分类；4.了解不同种类水泵的使用范围及发展趋势。
第二章叶片式水泵1.识读水泵构造图，能准确说出离心泵各部件的构造特点和作用；2.理解水泵的工作原理，水泵铭牌意义，叶片泵基本方程式的意义；3.学会计算水泵配套电机的耗电量和电费；4.掌握闭闸启动、比例律、相似工况抛物线（也称等效率曲线）、比转数（ns）、切削律、切削抛物线、横加法原理、允许吸上真空高度HS等重要概念；5.掌握推导水泵扬程公式及公式应用方法，掌握绘制水头损失特性曲线、水泵装置的管道系统特性曲线和图解法求水泵工况点的方法，掌握水泵串联、并联、调速及换轮运行的特性曲线绘制方法，掌握准确计算水泵安装高度的方法；6.了解叶片泵常用的几种调节方法，了解水泵并联后流量、杨程及轴功率变化规律，了解水泵调速和换轮运行的优点，了解水泵启动前的准备工作、水泵的启动程序和停车程序，水泵性能曲线型谱图及其应用，了解轴流泵、混流泵的适应范围及使用条件，了解给排水工程中常用叶片泵的使用和安装特点；7.简述水泵的型号意义并归纳总结水泵运行中应注意的问题。
第三章其它水泵1.了解射流泵构造、工作原理及应用；2.了解往复泵的构造、工作原理及应用；3.了解螺旋泵的构造、工作原理及应用；4.了解真空泵的构造、工作原理及应用；5.了解离心式风机和轴流式风机的构造、性能参数及应用。
PV系统培训资料
CHINA STAR
OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY
新人技术培训课程
NO.
项目
性能参数
17
电机旋转方向
从泵往电机看，反时针
18
防护等级
IP54,F
19
噪音（离设备1米处）
≤80 dB(A)
20
泵入口端尺寸
DN150
21
泵出口端尺寸
DN150
22
重量
约3000KG
Company Confidential Ver. Do not copy or distribute. Copyright 2010 CSOT
CHINA STAR
OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY
新人技术培训课程
课程目标
学习PV系统及组成 了解真空机组工作原理 了解真空机组操作及维护
课程内容
1. PV系统组成 2. PV系统参数 3. 真空机组操作和维护要点
Company Confidential Ver. Do not copy or distribute. Copyright 2010 CSOT
19/40
CHINA STAR
OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY
2.PV机组—补水系统
2#建筑PV自来水补水及吸排气原理图排：气 自来水补水
阀门1
储水箱
阀门4
CHINA STAR
OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY
CHINA STAR
OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY
新人技术培训课程
电控箱
12/40
电机
CHINA STAR
【专业介绍】真空电子技术专业介绍
【专业介绍】真空电子技术专业介绍真空电子技术专业介绍一、专业概述真空电子技术专业学生主要学习真空技木和真空电子技术方面的基础理论、组成原理和设计方法、真空电子器件体系结构及电子光学应用软件的研究、设计、开发，以及现代真空设备的设计、制造和调测方法，并受到真空电子技术实践的良好训练。
本专业以加强学生多类型真空电子器件知识教学为特色，使学生具有较宽广的真空技术、真空镀膜技术、真空电子器件、现代大功率真空器件与真空微电子器件设计和计算机应用等方面的知识，以适应现代真空电子技术在相关各领域的发展要求。
真空电子技术专业介绍二、培养目标真空电子技术专业培养德、智、体全面发展，具备真空电子技术与光电信息处理领域内宽厚理论基础、实验能力、知识面宽、创新能力强，能在真空电子技术、光电信息工程、微电子技术和通信与计算机等研究领域从事光电器件和系统的设计、开发、应用和管理等方面的高级工程技术人才。
真空电子技术专业介绍三、培养要求真空电子技术专业的学生主要学习光电信息处理和真空电子技术的基本理论和基本知识，接受光电信息系统和真空电子技术分析与设计等方面的基本训练，具有设计、开发及应用的基本能力。
真空电子技术专业介绍四、主要课程电路原理、电子技术基础、信号与系统、微机原理及应用、半导体物理、固体物理、理论物理基础、软件技术、光电信号处理、光辐射原理、光电阴极、电子光学、光电子器件、真空电子技术、微电子技术、光电成像技术、显示技术、真空镀膜技术、半导体集成电路、集成电路测试技术、光电检测技术、固体电子器件（双语）、真空电子技术学科前沿讲座等。
真空电子技术专业介绍五、就业方向真空电子技术专业的培养目标是为真空电子技术及相关领域输送高质量的研究生以及高层次研究型人才，并为相关企业和部门输送合格的研究型、应用型管理人才。
真空电子技术专业介绍六、就业前景真空电子技术专业毕业生具有宽领域工程技术适应性，就业面很广，就业率高，毕业生实践能力强，工作上手快，可以在电子信息类的相关企业中，从事电子产品的生产、经营与技术管理和开发工作。
《机械设备控制技术》课程标准
《机械设备控制技术》课程标准一、课程性质本课程是机电技术应用专业的一门专业核心能力课程，是机电技术应用专业学生学习的必修课。
学时：108学时开课学期: 第2、3学期二、课程教学目标（一）知识目标1.掌握常用低压电器的结构、作用、型号、电路符号和主要参数。
2.了解常用低压电器的工作原理。
3.掌握电动机常用控制电路的结构特点、工作原理和保护环节。
4.掌握常用低压电器的电路符号和字母标注。
5.了解常见机床控制电路的分析方法。
6.了解机械设备控制技术的发展概况。
（二）能力目标1.能正确选用常用的低压电器。
2.能正确绘图控制电路图的技能。
3.学会控制电路安装接线图的绘制。
4.能对简单控制电路进行检测和故障排除。
（三）素质目标1.具有团队协作的意识，良好的小组成员协作能力和良好的沟通能力。
2.正确面对困难和挫折的处理能力，养成勇于克服困难的精神。
3.有良好的职业道德素养，养成负责任的工作习惯。
4.有良好的节约与保护环境的意识。
5.具备整体与创新思维能力，能够自主正确分析问题，并运用所学知识解决实际问题。
三、课程教学内容与设计（一）课程教学设计说明：教师应根据不同的教学内容可采用讲授法、启发法、案例法、演示法、示范法、现场教学法、任务驱动法、练习法、实操法等教学方法。
（二）训练项目设计本课程训练项目包括：项目一：常用低压电器；项目二：三相异步电动机单向运转控制电路；项目三：三相异步电动机异地控制；项目四：三相异步电动机顺序控制；项目五：三相异步电动机正反转控制；项目六：三相异步电动机降压起动控制电路；项目七：三相异步电动机制动控制；项目八：三相异步电动机调速控制；项目九：典型机床控制电路。
教师根据产业特点和就业岗位需求，参照训练项目示例合理设计训练项目和方法。
训练项目一示例：接触器作联锁的正反转控制电路的安装图1 接触器辅助触点作联锁的三相异步电动机正反转控制电路1、训练内容在规定时间内，按规范操作要求正确安装该控制电路并进行检测与调试。
真空使用方法
真空使用方法在科学实验和工业生产中，真空技术被广泛应用。
正确的使用真空设备和仪器对于实验结果的准确性和生产效率起着至关重要的作用。
本文将介绍真空使用的一般方法和注意事项，帮助读者正确、安全地使用真空设备。
首先，正确的操作步骤是非常关键的。
在使用真空设备之前，需要先检查设备的工作状态和密封性能，确保设备没有损坏或泄漏。
接下来，根据实际需要选择合适的真空度和工作模式，进行设备的调节和设置。
在启动设备之后，需要等待一段时间，直到设备达到稳定的真空状态，然后才能进行实验或生产操作。
其次，使用真空设备时需要注意安全问题。
在操作过程中，应遵守设备的使用规程和操作指南，严格按照要求进行操作。
在设备工作时，应随时监控设备的工作状态，确保设备正常运行。
另外，当设备出现异常情况或故障时，应立即停止操作，并及时进行维护和修理，以避免事故的发生。
此外，合理的使用方法也是非常重要的。
在真空操作过程中，应根据实际需要选择合适的操作参数和工作模式，避免过度使用或不当使用设备。
另外，对于一些特殊的实验或生产操作，需要根据具体情况进行特殊处理，以确保操作的顺利进行和结果的准确性。
最后，设备的维护和保养也是使用真空设备的关键。
在设备使用完毕后，需要对设备进行及时的清洁和维护，以保持设备的良好状态和工作性能。
另外，定期对设备进行检查和维修，及时更换老化或损坏的部件，以延长设备的使用寿命和保证设备的安全性。
总之，正确的真空使用方法对于实验和生产都是至关重要的。
正确的操作步骤、注意安全问题、合理使用方法和设备的维护保养都是使用真空设备的关键。
希望本文的介绍能够帮助读者更好地掌握真空使用的方法，确保设备的正常运行和实验结果的准确性。
真空热处理炉_课程设计
真空热处理炉设计说明书（课程设计）一、设计任务说明说：WZC-60型真空淬火炉技术参数：㎜㎜㎜由于炉子四周具有相似的工作环境，我们一般选用相同的材料。
为简单起见，炉门及出炉口我们也采用相同的结构和材料。
这里我们选用金属隔热屏，由于加热炉的最高使用温度为1300℃，这里我们采用六层全金属隔热屏，其中内三层为钼层，外三层为不锈钢层。
按设计计算，第一层钼辐射屏与炉温相等，以后各辐射屏逐层降低，钼层每层降低250℃左右，不锈钢层每层降低150℃左右。
则按上述设计，各层的设计温度为：第一层：1300℃；第二层：1050℃；第三层：800℃；第四层：550℃；第五层：400℃；第六层：250℃；水冷夹层内壁：100℃最后水冷加层内壁的温度为100℃<150℃，符合要求。
3、各隔热层、炉壳内壁的面积及厚度（1）、隔热屏由于隔热层屏与屏之间的间距约8～15mm，这里我们取10mm。
钼层厚度0.3mm，不锈钢层厚度0.6mm。
屏的各层间通过螺钉和隔套隔开。
第一层面积：1F ＝2×()111111H B H L B L ⨯+⨯+⨯＝2×(1300×900＋1300×850＋900×850)＝6.08㎡ 1F =6.08㎡ 第二层面积：2F ＝2×()222222H B H L B L ⨯+⨯+⨯＝2×（1310×910＋1310×860＋910×860）＝6.2026㎡ 2F =6.2026㎡ 第三层面积：3F ＝2×()333333H B H L B L ⨯+⨯+⨯＝2×（1320×920＋1320×870＋920×870）＝6.3264㎡ 3F =6.3264㎡ 第四层面积：4F ＝2×()444444H B H L B L ⨯+⨯+⨯＝2×（1330×930＋1330×880＋930×880）＝6.4514㎡ 4F ＝6.4514㎡第五层面积：5F ＝2×()555555H B H L B L ⨯+⨯+⨯＝2×（1340×940＋1340×890＋940×890）＝6.5776㎡ 5F ＝6.5776㎡ 第六层面积：6F ＝2×()666666H B H L B L ⨯+⨯+⨯＝2×（1350×950＋1350×900＋950×900）＝6.7050㎡ 6F ＝6.705㎡ （2）、炉壳内壁炉壳采用双层冷冷却水结构，选用45号优质 碳素钢。
真空下金属沸点的变化教案课件(一)
真空下金属沸点的变化教案课件(一)真空下金属沸点的变化教学内容•真空对金属沸点的影响•金属与非金属沸点的对比•实验演示：真空下金属的沸腾现象•真空条件下金属的应用教学准备•教师准备：多媒体设备、实验演示材料、PPT课件、讲义等•学生准备：笔记本或电脑、课堂纸笔教学目标•理解真空条件对金属沸点的影响•对比金属与非金属的沸点差异•观察实验演示并解释真空下金属的沸腾现象•讨论真空条件下金属的应用领域设计说明本课程以真空条件下金属沸点的变化为主题，通过实验演示与理论知识相结合，提高学生对真空条件的理解和对金属物性的把握。
通过教学过程的互动和讨论，培养学生的思维能力和实验操作能力。
教学过程1.导入：通过提问和引入真空概念，激活学生的前知识和思维，引起学生的兴趣。
2.介绍金属与非金属沸点的差异，并用PPT展示示意图，解释其原因。
3.实验演示：在真空环境下加热金属，观察金属的沸腾现象，并让学生进行描述和解释。
4.教师提供相关理论知识解释金属沸点的变化原因，并与学生进行讨论。
5.PPT展示相关应用领域，如真空管、半导体制造等，引导学生思考真空条件对金属的应用有哪些。
课后反思本节课通过实验演示和理论知识的讲解，让学生深入理解了真空对金属沸点的影响。
学生积极参与讨论，并展示了良好的思考能力。
另外，对于实验演示的安全措施需要加强，确保学生的安全。
从学生的反馈中发现，他们对课程内容的理解较好，但对于金属沸点的实际应用还需要进一步探讨。
教师将根据学生的反馈，进一步完善课程设计。
《食品机械与设备》课程教学大纲
《食品机械与设备》课程教学大纲课程名称：食品机械与设备课程类别：专业选修课适用专业：食品质量与安全考核方式：考查总学时、学分： 32 学时、2 学分一、课程教学目的本课程是食品质量与安全专业的专业选修课。
在机械制图、机械工程基础的基础上进一步系统地学习食品加工中常用的机械与设备，为工艺课的应用奠定基础。
本课程要求学生系统地掌握通用加工机械和常用的专用机械设备的结构、工作原理及主要性能。
了解各机械的特点及在生产中的应用、维护与保养。
通过本课程的学习，学生应具备一定的食品机械设备选型和操作能力。
二、课程教学要求本课程以食品工业中常用的机械与设备为基本结构，反映了食品加工设备的新成果。
内容有输送机械与设备、清理和分选机械、粉碎机械、分离机械、混合机械、浓缩机械、干燥、杀菌机械、熟化、速冻机械等。
执行本大纲应注意的问题：1、注意本课程与机械基础、食品包装学课程的相关内容的分工与衔接、以免遗漏或不必要的重复。
2、注意讲清本课程中的基本概念和基本理论，在保持课程的科学性及系统性的基础上，应突出重点、难点，并努力反映本学科的新成就，新动向。
反映食品机械的发展趋势及高新技术的应用。
3．教学过程中要充分利用直观教具如模型、图表、幻灯及录像和计算机辅助教学软件等。
4．注意理论与实践的联系，增加感性认识。
5．因学时有限，而内容较多，因此有一部分内容要求学生自学。
学生自学部位不占总学时，但仍然是大纲要求掌握内容。
学生自学部分，采用由教师提示，学生课后自学并提出问题，老师课后解答的方式。
三、先修课程工程制图、机械工程基础。
四、课程教学重、难点教学重点：各类食品机械设备的结构工作原理、特点及应用。
教学难点：输送机械、振动分选机械、干法粉碎机械、过滤分离机械、浓缩机械、干燥机械、杀菌及速冻机械的结构、工作原理、以及使用特点。
五、课程教学方法与教学手段本课程主要采用讲授法，结合讨论法、案例分析法、启发式教学法进行课堂教学。
通过图表、图片、音视频、动图、实物等手段，加深对食品机械与设备的了解，并掌握该学科的发展动态，学会初步解决实际问题的能力。
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濺射功率值（KW）
结 论：DC Power功率越大,,薄膜越厚,透过 率越小;镀膜时间越长,薄膜越厚,透过率越小.
真空设备教学课程
• 1.5 基片偏压对薄膜的影响
靶
1~6kv
工件
100~200v
直流偏压溅射 靶 材: Ta
Ta
200
电 160
βTa
阻 率
其它
溅射出靶原子
加热靶 ❖ 轰击靶的粒子動能大真空部设备分教学轉课程換成熱能,使靶加热.
➢靶冷却方式
阴极架 冷却水进
靶座
背板
靶材 间接冷真空却设备示教意学课图程
冷却水進出管 DC电源线 温感线
绝缘板 冷却水出 屏蔽环
❖ 直接冷却---水直接通到背板背面.
❖ 间接冷却---水通入靶座,靠靶与背板﹑靶座的良
7.7x10-3 145 236 1Atm=760
一.几个镀膜参数分析
就是对功率(电压/电流) ﹑流量﹑压
力﹑时间﹑温度﹑距离﹑形状等制成参数
的整合. 分類
項目 單位 设定值
RF
功率
W
600
RF
間 0.1秒
200
RF MFC3-02 流量
SCCM 200
RF-XG
透 過 率 (T%)
T2
T3
29.809
29.810
24.003
24.004
19.539
19.539
14.977
14.977
11.970
11.970
9.572
9.572
7.451
7.541
6.149
6.148
5.399
5.400
3.999
3.999
3.220
3.220
2.538
2.539
2.167
2.167
40
38
36
34
32 0.15 0.20 0.25 0.30 0.35 0.40 0.45 0.50
工作气压Pa
结 论 : 工作气压有一最佳值,可用溅射 率为依据来选择工作气压值.
真空设备教学课程
• 1.3 温度
1
溅 射 率 0.5
S
Bi
Cu Ag
Zn
Au
Ge
温度 ℃
-200 0 200 400 600 800 1000
120
80
(uΩ .cm)
40
0 αTa
αTa
-1000 -10 -0.1
+100
-100
+10
基片偏压(V)
基片温度 ﹤700℃ 时,钽膜呈四方晶格(βTa), ﹥700℃ 时,钽膜呈体心立方晶格(αTa).
结 论: 偏压溅射可提高薄膜的纯度;增加薄膜 附着力;改变薄膜的结构.
真空设备教学课程
溅射气体中杂质O2含量不同时,Ta 膜与偏压的关系
壓力
UNIT
595
DC鍍膜前
靜置時間 0.1秒
200
DC-01
鍍膜功率 KW
改变
移動延遲
ON時間 0.1秒
移動延遲
OFF時間 0.1秒
CAMFC1-Ar 流量
SCCM 150
CA-XG 鍍膜時間
壓力
UNIT
單真靶空设备教学课程秒
0 改变
• 1.1 溅射率与离子入射角的关系
S
靶
m
溅射率
θ Al
Ar
1
2.081
2.081
半透膜: P真M空设M备A教学镀课程Ni;时间3s.
Tave 29.808 24.006 19.537 14.979 11.971 9.573 7.483 6.148 5.402 3.998 3.225 2.540 2.167 2.081
透过率值（T%）
不同功率下透过率走勢圖
40 30 20 10 0
目录
• 几个镀膜参数分析 • 真空设备常见故障与处理 • 设备定期维护 • 配件管理
真空设备教学课程
星
际
空
大间
气
压
力 随
外 大
海气
拔
层
高
度电
的 变 化
离 层 平 流
层
对 流 层
高度Km 384400
壓力 Torr 10-15 ~10-20 7.5x10-14
380
80 12
0
真空地设备球教学课程
4.6x10-12 4.0x10-8
(uΩ .cm)
Ta
105
104
电 阻 103 率
102
0 0 -20 -100
0.9%O2
0.25%O2
剩余
基片偏压(V)
-200
-300
在负偏压大于20V时 ,Ta 膜电阻率迅速下降,表
明杂质(O2)已从Ta 膜中被溅射出来.而负偏压较高
好接触来冷却.
控制措施﹕
➢ 冷却水的温度和流量必须严格控制,机器应设置相 应的报警系统.嚴禁無水進行鍍膜作業.
➢ 靶应设置温度感应装置,超过设定温度,机器自动停 止溅射.
真空设备教学课程
Eg:Veeco Ion milling工件冷却方式
真空设备教学课程
➢ 蒸发镀膜,温度越高,蒸发速率越快.一定程度上, 提高基 片温度,可提高附着力. ➢ 卷绕式蒸发镀膜机,对于经得住高温的材料, 辊筒采用水冷即可,否则,得单独用制冷机冷缺. ➢ 基片温度直接影响膜层的生长及特性. 如:淀积钽膜时,基片温度﹤700℃ 时,钽膜呈四方 晶格 ; ﹥700℃ 时,钽膜呈体心立方晶格 . ➢ 反应离子镀,基片加热温度低,由于电离增加 了反应物活性,故可在较低的温度下获得附着性能 良好的碳化物,氮化物.若采用CVD,要加热到本基 1000 ℃左右. ➢ 作ITO,基片要加热到450~550 ℃ 结 论: 是否加热或冷缺由实际情况而定.
溅射率与靶温度的关系
❖ 溅射率与靶温度有关系. 靶温超过靶材升华温度,就 会是“溅射与靶原子的蒸发”复合作用, 溅射率陡增, 沉 積速率将急剧增加,膜層厚度無法控制. 溅射时注意控 制靶的温度,防止溅射率真急空设剧备教增学课加程 现象.
➢热量的来源
溅射时靶始终处于高能粒子的轰击中,粒 子入射到靶后﹐1%的能量被交给了溅射出来 的原子,其中75%的能量使靶加热.其余消耗在 次级电子轰击工件等.
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• 1.4 功率与膜厚的关系
序號
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14
功率
2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0
T1 29.806 24.012 19.534 14.982 11.973 9.574 7.457 6.147 5.408 3.996 3.236 2.544 2.167 2.082
0
0°
θm
90° θ
• 入射角
对Au,Ag,Cu,Pt影响小.; 对Al,Fe,Ti,Ta影响大.
结 论: 入射角60°~80°时,级联碰撞深度/范围合 适, 阻挡作用最小,轰击效果最佳,溅射率最大.
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• 1.2 沉积速率工作气压的关系
50
48
沉 46
积 速
44
率 42
(um/min)