001全自动硅装片机使用说明书

6.使用、操作
6.1 使用前的准备与检查 6.1.1 检查设备妥善安装，并将机器调至水平位置。 6.1.2 将所有电源开关及电器开关置于“关”的位置，检查电源是 否合乎要求，机壳接地是否可靠。 6.1.3 检查供应的氮气、压缩空气压力是否满足要求。
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图 6 表 2 “自动模式”屏注解 按 钮 开机复位 解 释
刚开机时必须点击此按钮，设备自动复位。否则电动执 行器不会工作
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图 5 表 1 “主菜单”屏注解 按 钮 自动模式 解 释
点击“自动模式”按钮，人机画面切换到自动模式。 屏。
手动模式 点击“手动模式”按钮，人机画面切换到手动模式屏。 系统管理 点击“系统管理”按钮人机画面切换到系统管理显示 屏。
6.2.3 自动模式 在主菜单上点击“自动模式”按钮进入自动模式屏（图 6）。在此 屏上可以进行自动模式下的操作。
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右篮向上 左篮复位 吹气启动 右篮复位
点击此按钮，右边篮具上升一层。 点击此按钮，左边篮具复位到最底层。 上料位吹气开始。 点击此按钮，右边篮具复位到最底层。
系统参数 点击并输入正确密码可以查看并更改参数。 手动模式 点击并输入正确密码可以进入手动模式。
源自文库
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图 7
执行器稳定时
皮带启动延时 硅片最小宽度 时间 片宽不够报警 时间
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6.2.4 手动模式 在主菜单上点击“手动模式”按钮进入手动模式屏（图 8）。在此 屏上可以进行手动模式下的操作。
单臂机械手送料系统 吸盘取料系统 控制系统
上料系统 导向系统
收料系统
图1 � 上料位：可调节，能兼容两种规格的硅片； � 上料位升降机构：采用伺服电机精确控制升降运动； � 分片结构：气嘴分别位于硅片两侧，吹气方向可调；在吸盘真空
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QT-5-6-GSJ 全自动硅片装片机使用说明书
QT-5-6-GSJ 全自动硅片装片机
使用说明书
东莞市启天自动化设备有限公司
二零零八年八月
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1.概述
顶缸升保持时 顶缸上升后保持稳定后再下来，否则，勾不一定能勾 间 住。该参数不可为零。
硅片阻塞时间 硅片在皮带上停留时间过长就会认为是硅片阻塞。 限制 报警持续时间 设置报警和蜂鸣延续的时间。
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3.主要技术参数及功能
3.1 外形尺寸：约 940（L）×820（W）×1365（H）（mm） 3.2 装片效率：2000-2400 片/小时 3.3 碎片率：≤0.5/1000 3.4 工位数：双工位 3.5 设备兼容 156×156 (±0.5mm)、125×125 (±0.5mm)两种规格的硅 片；
1.1 应用领域 QT-5-6-GSJ 硅片上料机应用于将成叠的干硅片分开，然后装入到 片盒中，以供下一工艺如制绒清洗等使用。 1.2 产品特点 QT-5-6-GSJ 硅片上料机相对人工装片在于无污染，碎片率低，造 成隐裂的可能性小。 本产品型号组成：“GSJ”代表硅片上料机，“5、6”代表设备适 应 5 英寸 6 英寸硅片。 1.3 品种、规格 装片机 QT-5-6-GSJ 1.4 使用环境条件 a) 环境温度：0 ℃～40 ℃ b) 相对湿度：＜85%、无凝露 d）周围环境：无腐蚀性气体 1.5 工作条件 产品工作条件为单相三线制电源，并有压缩空气源 1.6 对环境及能源的影响 本产品对环境无污染。
恢复出厂参数 点击可以恢复参数设置。
图 9
表 4 “系统参数 1”屏注解 按 钮 脉冲输入 频率输入 解 伺服每次上下运动走的长度。 伺服每次上下运动走的速度。 释
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电动执行器
上料位
`
篮具承载盒
篮具承载盒 控制面板
图 3 � 将硅片放置于上料位； � 伺服电机带动硅片向上移动到指定位置； � 电动执行器带动吸盘运动到吸片位置； � 吹气分离装置开始工作； � 吸盘吸取硅片，并轮流把硅片放置于两侧的传送带上 ； � 传送带开始工作，把硅片送入到篮具中。
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图 4 点击画面进入主菜单（图 5）。 主菜单包括: 自动模式、手动模式、系统管理三个画面切换按 钮,同时显示了系统的日期、时间(可以在系统管理屏里更改设置)。
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开始后略微下降上料台，提供足够空间让粘连硅片分开； � 吸盘：吸盘采用 4 个吸盘结构，吸取更稳定；采用双吸盘轮换吸 取模式，提高了效率。 � 传送带: 传送带选取对硅片无损伤和无污染的材料制成; � 篮具托盘：采用限位块限位，更容易、精确地达到精度要求； � 篮具上升机构：采用步阶模具精确控制升降运动； � 卡夹定位：设备采用多卡夹定位机构，保证硅片移动的准确性； 2.2 工艺流程 工艺流程示意图如图 3。
表 2 “效率统计”屏注解 按 钮 解 释
总计数清零 点击并输入正确密码可以使计数清零。 总耗时清零 点击并输入正确密码可以总装片时间数清零。 碎片数加 1 碎片数减 1 点击此按钮，碎片数增加一片。 点击此按钮，碎片数减少一片。
碎片数清零 点击并输入正确密码可以使碎片数清零。 返回 点击返回到自动模式。
6.2.5 报警历史表屏， 在主菜单上点击“报警历史表”按钮进入报警历史表屏（图 9）。
图 13 6.2.6 报警跳出 当有报警屏跳出时，按屏上所说的问题排除故障后重新开始，当 屏内储存的报警信息过多时，应及时删除以节约空间。
7.维护保养
7.1 设备应放置在洁净干燥的工作环境下，环境温度 15℃-35℃。 7.2 保证设备要可靠接地。 7.3 定期检查及清洁控制电器元件，以免因此造成的漏电及局部短 路，接触不良。 7.4 定期检查控制面板上的各操作按钮，指示灯，如果出现故障，要 及时更换。
图 8
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表 3 “系统管理”屏注解 按 钮 报警历史表 时间设置 密码设置 解 点击可以查看报警记录。 点击可以设置时间。 点击可以设置密码。 释
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图 10
表 5 “系统参数 2”屏注解 按 钮 顶缸下后*秒 退勾 普通时间间隔 到底后*秒挂 钩 皮带续动时间 解 释
顶缸下来后稳定时间，稳定了再退勾复位。否则复位不 流畅。 每一个步骤要稳定的时间再进行下一步才不会出错。该 参数不可为零。 到底后稳定时间，否则勾不一定挂得上。该参数不可为 零。 当检测到硅片已经过来进入篮具后皮带还应该再走动， 使硅片入篮齐整。
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图 11
表 6 “系统参数 2”屏注解 按 钮 解 释
机器自动模式工作以后，把取篮具的间隔时间也应计算 总计时补时 在内，如果超过该时段还没有自动操作，机器不再计 时。有利于统计效率 爪子剥离时间 爪子提升以后过该时间后再搬运到其他位置。 掉片限定时间 当有片被吸起来后超过该时间还未被计数传感器检测 到，认为是掉片，报警提示。 执行器控制指令稳定后再做下一步动作。该参数不可为 零。 当硅片落下来后过一定的时间皮带再动，否则硅片看起 来传输不稳定。 传感器检测硅片的宽度，小于该宽度即报警，一般裂片 均会报警。 该值用来辅助上一个参数设置，要比它大，两个值越接 近越严格。
图 12 表 7 “手动模式”屏注解 按 钮 解 释
手动使能 上料上 上料下 上料停
点击此按钮，手动模式打开，否则下面的键按动无效。 点击此按钮，上料伺服上行。 点击此按钮，上料伺服下行。 点击此按钮，上料伺服停止。
执行器左行 点击此按钮，执行器运行到左边。 执行器右行 点击此按钮，执行器运行到右边。 执行器中行 点击此按钮，执行器运行到中间。 左真空启 右真空启 左篮向上 左吸爪向上 右吸爪向上 点击此按钮，左边吸爪开始吸真空。 点击此按钮，右边吸爪开始吸真空。 点击此按钮，左边篮具上升一层。 点击此按钮，左边吸爪上行。 点击此按钮，右边吸爪上行。
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2.结构特征及工艺流程
2.1 结构特征 QT-5-6-GSJ 装片机主要由吹气分片结构、上料平台、上料升降 机构、搬运机构、导向机构、篮具上升机构构成。
4.功率、重量
4.1 功率：≤500W 4.2 重量：约 200kg
5.运输和安装
5.1 安装 5.1.1 安装调试之前，应先认真检查设备及其附件，检查是否有破 坏或遗漏的部分。 5.1.2 设备必须水平放置，安装时通过调整地脚螺栓，使设备达到 水平。 5.1.3 连接电源、气源等。 5.1.4 按照要求对设备进行良好接地。
自动启动 点击此按钮，设备开始先复位篮具后自动运行。 停 止 暂停 加料 续装 点击此按钮，停止自动运行的动作，不放弃吸住的硅 片。 点击此按钮，暂停自动模式，再次点击继续。 点击此按钮，可以开始加料的操作。 当有少数硅片没有吸住时，篮具会装不满，点击该按钮 可以继续装直到装满。
效率统计 点击进入统计页面。 主菜单 点击“主菜单”按钮，人机画面切换到主菜单屏。
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6.2 操作说明 设备制面板上由一个电源启动按钮（绿色）、一个停止按钮（红 色按钮）、一个急停按钮（红色蘑菇头按钮）和触摸屏构成。 6.2.1 左边有一个报警蜂鸣器（红绿黄三色）、台面上有左右两 个启动按钮(绿色按钮)、当其篮具已经装满硅片时就会发光提示。当 一切准备好时同时按下两个相当于自动启动。 6.2.2 确认设备正常后，松开急停按钮；按下电源启动按钮（该按 钮为瞬时动作），接通主回路电源，人机界面进入初始画面（图 5）；如果使用完毕，按下停止按钮（红色）,断开主回路电源；如果 有紧急情况，按下急停按钮（红色蘑菇头），设备处于无输出状态。