镀膜操作注意事项2

镀膜操作注意事项

真空镀膜过程中观察和操作注意事项：

1）镀膜过程中注意Ti3O5和SiO2的光斑及真空度变化束流等，光斑尽可能在正中心区，视窗玻璃采用1.1mm的不良品档片切割成圆形作为防污板。四炉更换一块。

2）充氧流量计数值和真空度变化，充氧Ti2O5，SiO2的情况。

3）枪灯丝电压，电流，高压数值表变化

4）工件转动50V-100V是否正常

5）坩埚转动Ti3O5，SiO2是否常

6）坩埚上方挡板动作是否正常

7）晶控仪曲线变化及速率膜厚度设置点是否正常

8）扩散泵温度及烘烤温度是否正常

9）镀膜过程中是否有掉片且镜片掉在坩埚正上方，立即停止运行

10）新加膜料SiO2应在真空度为8.0E-103Pa进行对SiO2的熔料（注意，挡板关闭状态，束流不得大过25，坩埚必须在转动状态）

11）对设备周身前后的卫生应认真的打扫干净及真空室卫生，门和真空室之间密封条处进行擦拭。

12）对每炉产品前操作流程应认真对待，正确操作对真空室，左右壁上的锡纸，膜料，晶振，枪灯丝，应按时更换，为防止镀膜中出现异常减少损失。13）镀膜过程要经常性通过观察窗查看工转上的产品是否有掉片或异样现象，进行记录，同时观察修正板是否有抖动现象，以便下一炉进行完全固定。14）观察晶控调动幅度，并观察高压是否有打火现象。要进行记录，并在下一炉注意清洁电子枪及周边区域，观察接线柱松动等现象。

15）光斑形状在极低的光线下可以看到光斑形状与电子枪灯丝形状一样，左右前后的扫描。在镀膜前开启电子枪灯丝后要停顿一分钟再开高压，让灯丝足够的加热，再加高压，避免灯丝在高压场下产生变形。影响光斑和影响镀膜曲线变形。