芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解
晶圆封装测试工序和半导体制造工艺流程
A.晶圆封装测试工序一、 IC检测1. 缺陷检查Defect Inspection2. DR-SEM(Defect Review Scanning Electron Microscopy)用来检测出晶圆上是否有瑕疵,主要是微尘粒子、刮痕、残留物等问题。
此外,对已印有电路图案的图案晶圆成品而言,则需要进行深次微米范围之瑕疵检测。
一般来说,图案晶圆检测系统系以白光或雷射光来照射晶圆表面。
再由一或多组侦测器接收自晶圆表面绕射出来的光线,并将该影像交由高功能软件进行底层图案消除,以辨识并发现瑕疵。
3. CD-SEM(Critical Dimensioin Measurement)对蚀刻后的图案作精确的尺寸检测。
二、 IC封装1. 构装(Packaging)IC构装依使用材料可分为陶瓷(ceramic)及塑胶(plastic)两种,而目前商业应用上则以塑胶构装为主。
以塑胶构装中打线接合为例,其步骤依序为晶片切割(die saw)、黏晶(die mount / die bond)、焊线(wire bond)、封胶(mold)、剪切/成形(trim / form)、印字(mark)、电镀(plating)及检验(inspection)等。
(1) 晶片切割(die saw)晶片切割之目的为将前制程加工完成之晶圆上一颗颗之晶粒(die)切割分离。
举例来说:以0.2微米制程技术生产,每片八寸晶圆上可制作近六百颗以上的64M微量。
欲进行晶片切割,首先必须进行晶圆黏片,而后再送至晶片切割机上进行切割。
切割完后之晶粒井然有序排列于胶带上,而框架的支撐避免了胶带的皱褶与晶粒之相互碰撞。
(2) 黏晶(die mount / die bond)黏晶之目的乃将一颗颗之晶粒置于导线架上并以银胶(epoxy)粘着固定。
黏晶完成后之导线架则经由传输设备送至弹匣(magazine)内,以送至下一制程进行焊线。
(3) 焊线(wire bond)IC构装制程(Packaging)则是利用塑胶或陶瓷包装晶粒与配线以成集成电路(Integrated Circuit;简称IC),此制程的目的是为了制造出所生产的电路的保护层,避免电路受到机械性刮伤或是高温破坏。
芯片封装工艺过程简介
SMT SMT
Company Logo
IC Package (IC的封装形式)
• 按封装外型可分为:
SOT 、QFN 、SOIC、TSSOP、QFP、BGA、CSP等;
封装形式和工艺逐步高级和复杂
• 决定封装形式的两个关键因素:
封装效率。芯片面积/封装面积,尽量接近1:1; 引脚数。引脚数越多,越高级,但是工艺难度也相应增加;
Key Words:
Capillary:陶瓷劈刀。W/B工艺中最核心的一个Bonding Tool,内部为 空心,中间穿上金线,并分别在芯片的Pad和Lead Frame的Lead上形 成第一和第二焊点;
EFO:打火杆。用于在形成第一焊点时的烧球。打火杆打火形成高温, 将外露于Capillary前端的金线高温熔化成球形,以便在Pad上形成第一 焊点(Bond Ball);
IC Package种类很多,可以按以下标准分类:
• 按封装材料划分为: 金属封装、陶瓷封装、塑料封装
• 按照和PCB板连接方式分为: PTH封装和SMT封装
• 按照封装外型可分为: SOT、SOIC、TSSOP、QFN、QFP、BGA、CSP等;
IC Package (IC的封装形式)
• 按封装材料划分为:
FOL– Wire Bonding 引线焊接
※利用高纯度的金线(Au) 、铜线(Cu)或铝线(Al)把 Pad 和 Lead通过焊接的方法连接起来。Pad是芯片上电路的外接 点,Lead是 Lead Frame上的 连接点。 W/B是封装工艺中最为关键的一部工艺。
FOL– Wire Bonding 引线焊接
Wafer Mount 晶圆安装
Wafer Saw 晶圆切割
芯片封测简介介绍
封装材料
封装材料包括陶瓷、金属 、塑料等,不同的封装材 料具有不同的特性,如导 热性、机械强度等。
测试技术
芯片测试
对芯片进行功能和性能测 试,以确保其符合设计要 求和规格。
测试方法
测试方法包括仿真测试、 静态测试、动态测试等, 根据不同的测试需求选择 合适的测试方法。
测试设备
测试设备包括测试机、探 针台、分选机等,这些设 备用于对芯片进行测试和 筛选。
航空航天
在航空航天领域,芯片封测技术可以应用于导航系统、控制系统中,提高航空航 天器的安全性和性能。
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智能化与自动化技术的应用
智能化和自动化技术为芯片封装带来了新的发展机遇。如何将这些技术应用到生产过程中,提高生产效率和降低成本 ,是当前的重要机遇。
创新设计理念的应用
随着设计理念的不断更新和创新,为芯片封装带来了更多的创新空间。如何将这些设计理念应用到实际 生产中,提升产品性能和降低成本,是当前的重要机遇。
高可靠性要求
随着芯片应用领域的不断拓展,如汽车电子、航空航天等,对芯片封装的可靠性要求也越 来越高。如何保证封装后的芯片在高温度、高湿度的环境下仍能保持稳定的性能,是当前 面临的重要挑战。
小型化与薄型化
随着智能终端设备的不断发展,对芯片封装的小型化与薄型化要求也越来越高。如何实现 封装尺寸的进一步缩小和厚度的进一步降低,是当前面临的重要挑战。
封测的主要流程
封装
将制造完成的芯片进行封装,以保护 芯片免受外界环境的影响,同时方便 使用。封装过程包括芯片贴装、引脚 焊接、塑封固化等环节。
测试
对封装完成的芯片进行功能和性能测 试,以确保其质量和可靠性。测试内 容包括电气性能测试、可靠性测试、 环境适应性测试等。
芯片封装流程及原理
芯片封装流程及原理下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成,希望大家下载以后,能够帮助大家解决实际的问题。
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半导体集成电路封装与测试工艺流程
半导体集成电路封装与测试工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成,希望大家下载以后,能够帮助大家解决实际的问题。
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芯片封装测试流程详解
芯片封装测试流程详解1.焊接前检查:在芯片封装之前,需要对芯片进行一次全面检查,以确保芯片本身没有明显缺陷或损伤。
这包括外观检查、尺寸测量、焊盘检查等操作。
2.封装焊接:在焊接之前,需要确定好焊接参数和焊接设备设置,以确保焊接质量。
然后,将芯片放置在底部垫片上,并使用焊膏涂抹焊盘。
接下来,将芯片放置在底部垫片上,然后加热,使焊膏熔化并将芯片粘贴在底部垫片上。
3.清洗:焊接完成后,需要进行清洗以去除焊膏和其他杂质。
这可以通过超声波清洗、化学清洗或喷洗等方法来完成。
4.粘结测试:在清洗完成后,需要进行粘结测试以确保芯片与底部垫片之间的连接强度。
可以使用拉力测试仪或其他适当的测试设备。
5.电阻测试:测试芯片封装的电阻特性,包括电阻值和电阻分布。
这可以通过电阻测试工作站或连接到测试设备的万用表来完成。
6.焊盘可靠性测试:用于测试芯片封装焊盘的可靠性,主要包括焊盘的可长期存储性、耐热性和耐冷性。
这可以通过热冷循环测试和高温高湿环境测试来完成。
7.焊膏质量测试:对焊盘焊料的质量进行测试,以确保焊料的纯度、粘度和使用寿命等指标达到标准要求。
这可以通过化学分析、粘度测试和使用寿命测试等方法来完成。
8.尺寸测试:对芯片封装的尺寸进行测量,以确保芯片封装的准确性和一致性。
可以使用光学显微镜、显微投影仪或三坐标测量机等设备进行测量。
9.功能测试:在芯片封装测试的最后阶段,需要对芯片进行功能测试,以验证芯片的功能和性能是否达到设计要求。
这可以通过测试设备连接到芯片进行信号输入和输出测试来完成。
10.高温老化测试:对芯片进行高温老化测试,以验证芯片封装在高温环境下的可靠性和稳定性。
这可以通过加热设备和温度控制系统来完成。
11.最终检查和包装:在芯片封装测试结束后,需要进行最终检查和包装,以确认芯片封装品质,并将芯片封装成最终产品。
这包括外观检查、功能验证和标识等操作。
总结:芯片封装测试流程是确保芯片封装质量和性能的关键步骤。
IC_芯片封装流程
IC_芯片封装流程IC芯片封装流程是指将芯片导联引脚与外部连接器相连接,封装成集成电路封装,以保护芯片的平安与便当使用。
IC芯片封装流程主要包括设计封装布局、制造封装模具、封装工艺流程、封装工艺流程检验、封装成品测试五个环节。
首先是设计封装布局。
芯片封装是由封装层、导引层、室内层、封装间层四个部分低迷完成。
设计封装布局要依据芯片的功用、尺寸等要素停止合理布局,在这之中最重要的三个方面是封装较大的总尺寸、导引力度和封装层的最低限度间隔。
合理的封装布局能够进步封装的稳定性和性能。
其次是制造封装模具。
制造封装模具是将封装布局设计成的图纸制造模板转化为实物模具。
这一进程关系到封装工艺流程的顺畅性以及封装产率的提高。
制造封装模具进程中主要包括模板材料的挑选、制造模具种类的挑选、切割与打磨、洗涤与研磨等环节。
制造封装模具要采纳适合的原料以及精准的制造尺寸,以确保最终制造出的封装模具可以完全符合封装布局的要求。
第三是封装工艺流程。
封装工艺流程包括胶水挤撑、银丝焊接、金线焊接、热胀冷缩、填充封装材料、封装模具加压、焊锡浸镀等纷歧。
各个环节的次序和操作技术要专业,并前后衔接紧密,这样才干确保封装结果的完美,同时也能够减小芯片损坏以及封装过程中的其他问题。
第四是封装工艺流程检验。
这一环节在封装工艺流程完成后进行,要对封装结果进行综合检验。
主要检验项包括封装结果的外观光亮度、尺寸、颜色、封装后芯片的严密性、焊锡过程中金线和银线的状况等。
只有在封装工艺流程检验合格后,才干胜利停止封装成品的测试。
最后是封装成品测试。
封装成品测试相对来说就相对简单了。
主要包括封装成品的性质检验以及性质检验等。
成品测试主要是为了确保封装后的芯片性能是合格的,能够顺利运行。
如果在成品测试中发现了问题,需要及时进行维修或更换,直到最终得到合格的成品封装。
总之,IC芯片封装流程是一个复杂而精细的过程,每个环节都必须严格控制,以确保封装后的芯片能够正常工作。
半导体集成电路封装测试基本流程
半导体集成电路封装测试基本流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成,希望大家下载以后,能够帮助大家解决实际的问题。
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芯片封装基本流程及失效分析处理方法
芯片封装基本流程及失效分析处理方法一、芯片封装芯片封装的目的在于对芯片进行保护与支撑作用、形成良好的散热与隔绝层、保证芯片的可靠性,使其在应用过程中高效稳定地发挥功效。
二、工艺流程流程一:硅片减薄分为两种操作手段。
一是物理手段,如磨削、研磨等;二是化学手段,如电化学腐蚀、湿法腐蚀等,使芯片的厚度达到要求。
薄的芯片更有利于散热,减小芯片封装体积,提高机械性能等。
其次是对硅片进行切割,用多线切割机或其它手段如激光,将整个大圆片分割成单个芯片。
流程二:将晶粒黏着在导线架上,也叫作晶粒座,预设有延伸IC晶粒电路的延伸脚,用银胶对晶粒进行黏着固定,这一步骤为芯片贴装。
流程三:芯片互联,将芯片焊区与基板上的金属布线焊区相连接,使用球焊的方式,把金线压焊在适当位置。
芯片互联常见的方法有,打线键合,载在自动键合(TAB)和倒装芯片键合。
流程四:用树脂体将装在引线框上的芯片封起来,对芯片起保护作用和支撑作用。
包封固化后,在引线条上所有部位镀上一层锡,保证产品管脚的易焊性,增加外引脚的导电性及抗氧化性。
流程五:在树脂上印制标记,包含产品的型号、生产厂家等信息。
将导线架上已封装完成的晶粒,剪切分离并将不需要的连接用材料切除,提高芯片的美观度,便于使用及存储。
流程六:通过测试筛选出符合功能要求的产品,保证芯片的质量可靠性;最后包装入库,将产品按要求包装好后进入成品库,编带投入市场。
三、芯片失效芯片失效分析是判断芯片失效性质、分析芯片失效原因、研究芯片失效的预防措施的技术工作。
对芯片进行失效分析的意义在于提高芯片品质,改善生产方案,保障产品品质。
四、测试方法1、外部目检对芯片进行外观检测,判断芯片外观是否有发现裂纹、破损等异常现象。
2、X-RAY对芯片进行X-Ray检测,通过无损的手段,利用X射线透视芯片内部,检测其封装情况,判断IC封装内部是否出现各种缺陷,如分层剥离、爆裂以及键合线错位断裂等。
3、声学扫描芯片声学扫描是利用超声波反射与传输的特性,判断器件内部材料的晶格结构,有无杂质颗粒以及发现器件中空洞、裂纹、晶元或填胶中的裂缝、IC封装材料内部的气孔、分层剥离等异常情况。
芯片封装测试流程详解
芯片封装测试流程详解1.测试设备准备:在进行芯片封装测试之前,需要准备好相应的测试设备。
主要包括外观检查仪、显微镜、X光机等。
这些设备将用于对芯片封装的外观、焊接、引脚等进行检查和测试。
2.外观检查:首先进行外观检查,主要是通过外观检查仪和显微镜对芯片封装的外观是否完整、无损伤进行检查。
包括封装是否存在变形、裂纹、划痕等情况。
3.RoHS检测:接下来进行RoHS检测,主要是对芯片封装中使用的材料是否符合欧盟RoHS指令要求,即不含有铅、汞、镉、六价铬等有害物质。
一般通过X射线荧光光谱仪来进行检测。
4.焊点可靠性测试:对芯片封装的焊点进行可靠性测试,主要是通过高温环境和机械应力等测试方法,对焊点的耐热性和耐久性进行检验。
例如,通过热冲击测试、热循环测试、拉力测试、剪力测试等方式来检测焊点的可靠性。
5.引脚焊接测试:对芯片封装的引脚焊接进行测试,主要是通过引脚接触测试和电阻测试来检查引脚焊接的质量。
引脚接触测试主要是用到显微镜和导电橡胶杂质实验仪来进行,电阻测试一般是通过专用测试仪器进行。
6.电性能测试:对芯片封装的电性能进行测试,主要是测试芯片封装的电性能参数和功能能否正常。
通过测试仪器对芯片封装进行静态和动态的电学特性测试,例如,输入输出电阻、反向电流、开关时间等。
7.温度周期可靠性测试:对芯片封装进行温度周期可靠性测试,主要是通过周期性变化温度的方式,来检验芯片封装材料和结构在不同温度下的可靠性。
这个测试一般使用温度恒温老化箱等设备进行。
8.市场应用测试:对芯片封装进行市场应用测试,主要是仿真实际使用环境下的使用寿命和稳定性。
例如,对手机芯片进行通话测试、对汽车芯片进行震动测试等。
9.数据分析:对芯片封装测试的数据进行分析,对测试结果进行统计和评估。
通过对测试数据的分析,可以判断芯片封装的质量和性能是否符合要求。
10.缺陷分析和改进:对于测试中发现的缺陷,需要及时进行分析并采取相应的改进措施。
芯片封装测试流程详解
提升产品竞争力
高质量的芯片产品能够满 足客户更高需求,提高市 场竞争力。
封装测试的流程简介
测试策略制定
根据芯片特性和测试要求,制 定相应的测试策略和方案。
数据分析与判定
对测试数据进行统计分析,与 标准值进行比较,确定芯片性 能等级。
准备测试环境
搭建符合测试要求的硬件和软 件环境,准备测试夹具和仪器。
塑封固化
塑封固化是将芯片和引脚进行塑 封,以保护芯片免受外界环境的
影响,并增强其机械强度。
塑封材料通常为热塑性塑料或环 氧树脂,具有优良的绝缘、耐温、
耐腐蚀等性能。
塑封过程中,将塑封材料均匀涂 覆在芯片和引脚上,经过加热固
化后形成保护层。
去飞边、切筋整形
去飞边是将塑封材料边缘的毛 刺、溢料等去除的过程,以提 高产品的外观质量和可靠性。
芯片封装测试流程详解
contents
目录
• 芯片封装测试概述 • 芯片封装工艺流程 • 芯片功能测试 • 芯片封装质量检测 • 芯片封装测试中的问题与对策 • 未来芯片封装测试技术展望
01 芯片封装测试概述
封装测试的目的
确保芯片性能符合设计要求
通过测试,验证芯片的功能、性能参数是否达到设计预期。
06 未来芯片封装测试技术展 望
高集成度芯片封装技术
总结词
随着芯片制程技术的不断进步,高集成度芯 片封装技术成为未来的发展趋势。
详细பைடு நூலகம்述
高集成度芯片封装技术能够将更多的晶体管 集成到更小的芯片面积上,从而提高芯片的 性能和功能。这种技术需要先进的封装材料 和工艺,以满足更高的热管理、电气性能和 可靠性要求。
筛选不良品
在生产过程中尽早发现不良品,避免后续工序的浪费。
芯片封装测试流程
芯片封装测试流程一、前面工序1.材料准备:根据芯片封装的要求,准备好封装盒、导线、胶水、芯片及相关材料。
2.准备工作区:确保工作区的清洁度和安全性,设置相应的仪器和设备。
3.芯片安装:将芯片粘贴或焊接到封装盒的芯片台上,确保芯片位置正确,并使用胶水或焊接设备将芯片固定住。
4.导线连接:根据芯片封装的需要,将导线与芯片焊接或粘贴连接起来。
确保焊接点或粘贴点牢固可靠。
5.封装盒封装:将芯片及导线封装在封装盒内,确保封装盒的密封性良好,并使用胶水或其他封装材料加固盒子的连接处。
二、后面工序1.外观检查:对封装好的产品进行外观检查,包括封装盒的整体外观,焊接点或粘贴点的接触良好性等。
确保产品无任何物理损坏或松动。
2.成品测试:使用相应的测试设备对产品进行不同的测试,如功能测试、性能测试、电气特性测试等。
根据具体的产品类型和要求,进行相应的测试项目并记录测试结果。
3.电气测试:使用电气测试仪器对芯片封装的电气特性进行检测,包括电流、电压、功率等参数的测试,以确保产品的电气性能符合要求。
4.温度测试:对产品进行温度测试,通过将产品放入恒温箱或使用温度传感器等设备,模拟不同的工作温度环境,观察产品在不同温度下的性能表现。
5.可靠性测试:根据产品的可靠性要求,进行可靠性测试。
如高温老化测试、低温测试、振动测试、冲击测试等,以评估产品在不同工况下的可靠性和稳定性。
6.功能测试:根据产品的功能要求,进行相应的功能测试。
如通信模块的网络连接测试、传感器的数据采集和处理测试等,以验证产品的功能是否正常。
7.可靠性评估:根据上述测试的结果,对产品的稳定性、可靠性和性能进行评估。
根据评估结果,对产品是否合格做出判断,并记录相应的测试数据和评估结论。
8.封装检查:对封装工序进行检查,包括焊点或粘贴点的连接牢固性、封装盒的密封性良好性等。
确保封装工序没有任何问题。
以上是一个典型的芯片封装测试流程,其中包括了材料准备、芯片安装、导线连接、封装盒封装、外观检查、成品测试、电气测试、温度测试、可靠性测试、功能测试、可靠性评估和封装检查等各个环节。
芯片封装测试概念
芯片封装测试概念芯片封装测试是半导体产业链中的重要环节,它涉及到将芯片封装在保护壳内,并进行一系列的测试以确保其功能和性能符合设计要求。
下面是对芯片封装测试概念的详细介绍。
一、芯片封装芯片封装是将芯片封装在保护壳内的过程,这个保护壳通常是由塑料、金属或陶瓷等材料制成的。
封装的主要目的是保护芯片免受环境中的物理和化学因素影响,同时提供与外部电路的连接。
芯片封装通常包括以下步骤:1. 芯片贴装:将芯片放置在封装壳的特定位置。
2. 引脚焊接:将芯片的引脚与封装壳内部的引脚连接。
3. 填充材料:在芯片和引脚之间填充绝缘材料,以防止短路。
4. 密封:将封装壳密封,以保护芯片免受环境影响。
二、芯片测试芯片测试是在封装完成后对芯片进行的性能和功能测试,以确保其符合设计要求。
测试通常包括以下步骤:1. 直流测试:测试芯片的直流参数,如电压、电流等。
2. 交流测试:测试芯片的交流参数,如频率、相位等。
3. 功能测试:测试芯片的各种功能,如输入输出、时序等。
4. 可靠性测试:测试芯片在各种环境条件下的可靠性和稳定性。
在测试过程中,通常使用自动化测试设备(ATE)进行测试。
ATE可以自动完成测试程序,并生成测试报告,以便对芯片的性能和功能进行评估。
三、芯片封装测试的意义芯片封装测试是确保半导体产品质量的重要环节。
通过封装测试,可以发现并解决生产过程中可能出现的各种问题,如引脚焊接不良、填充材料不均匀等。
同时,封装测试还可以确保芯片在各种环境条件下的性能和稳定性,从而满足客户的需求。
芯片封装测试是半导体产业链中的重要环节,它涉及到将芯片封装在保护壳内并进行一系列的测试以确保其功能和性能符合设计要求。
通过封装测试,可以确保半导体产品的质量和可靠性,从而满足客户的需求。
芯片封装测试流程详解
Logo
FOL– Die Attach 芯片粘接
Epoxy Write: Coverage >75%;
Die Attach: Placement<0.05mm;
Company Logo
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FOL– Epoxy Cure 银浆固化
Write Epoxy 点银浆 Die Attach 芯片粘接 Epoxy Cure 银浆固化
Epoxy Storage: 零下50度存放;
Epoxy Aging: 使用之前回温,除 去气泡;
Epoxy Writing: 点银浆于L/F的Pad 上,Pattern可选;
Company Logo
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Typical Assembly Process Flow
FOL/前段
EOL/中段
Plating/电镀
EOL/后段
Final Test/测试
Company Logo
Logo
FOL– Front of Line前段工艺
Wafer 2nd Optical 第二道光检 Die Attach 芯片粘接
Taping 粘胶带 Back Grinding 磨片 De-Taping 去胶带
将从晶圆厂出来的Wafer进行背面研磨,来减薄晶圆达到 封装需要的厚度(8mils~10mils); 磨片时,需要在正面(Active Area)贴胶带保护电路区域 同时研磨背面。研磨之后,去除胶带,测量厚度;
Company Logo
Die Attach质量检查: 银浆固化: 175°C,1个小时; N2环境,防止氧化: Die Shear(芯片剪切力)
晶圆封装测试工序和半导体制造工艺流程
A.晶圆封装测试工序令狐采学一、 IC检测1. 缺陷检查Defect Inspection2. DRSEM(Defect Review Scanning Electron Microscopy)用来检测出晶圆上是否有瑕疵,主要是微尘粒子、刮痕、残留物等问题。
另外,对已印有电路图案的图案晶圆制品而言,则需要进行深次微米规模之瑕疵检测。
一般来说,图案晶圆检测系统系以白光或雷射光来照射晶圆概略。
再由一或多组侦测器接收自晶圆概略绕射出来的光线,并将该影像交由高功能软件进行底层图案消除,以辨识并发明瑕疵。
3. CDSEM(Critical Dimensioin Measurement)对蚀刻后的图案作精确的尺寸检测。
二、 IC封装1. 构装(Packaging)IC构装依使用资料可分为陶瓷(ceramic)及塑胶(plastic)两种,而目前商业应用上则以塑胶构装为主。
以塑胶构装中打线接合为例,其步调依序为晶片切割(die saw)、黏晶(die mount / die bond)、焊线(wire bond)、封胶(mold)、剪切/成形(trim / form)、印字(mark)、电镀(plating)及检验(inspection)等。
(1) 晶片切割(die saw)晶片切割之目的为将前制程加工完成之晶圆上一颗颗之晶粒(die)切割别离。
举例来说:以0.2微米制程技术生产,每片八寸晶圆上可制作近六百颗以上的64M微量。
欲进行晶片切割,首先必须进行晶圆黏片,此后再送至晶片切割机上进行切割。
切割完后之晶粒井然有序排列于胶带上,而框架的支撐避免了胶带的皱褶与晶粒之相互碰撞。
(2) 黏晶(die mount / die bond)黏晶之目的乃将一颗颗之晶粒置于导线架上并以银胶(epoxy)粘着固定。
黏晶完成后之导线架则经由传输设备送至弹匣(magazine)内,以送至下一制程进行焊线。
(3) 焊线(wire bond)IC构装制程(Packaging)则是利用塑胶或陶瓷包装晶粒与配线以成集成电路(Integrated Circuit;简称IC),此制程的目的是为了制造出所生产的电路的呵护层,避免电路受到机械性刮伤或是高温破坏。
半导体集成电路封装与测试工艺流程
半导体集成电路封装与测试工艺流程下载提示:该文档是本店铺精心编制而成的,希望大家下载后,能够帮助大家解决实际问题。
文档下载后可定制修改,请根据实际需要进行调整和使用,谢谢!本店铺为大家提供各种类型的实用资料,如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等,想了解不同资料格式和写法,敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by this editor. I hope that after you download it, it can help you solve practical problems. The document can be customized and modified after downloading, please adjust and use it according to actual needs, thank you! In addition, this shop provides you with various types of practical materials, such as educational essays, diary appreciation, sentence excerpts, ancient poems, classic articles, topic composition, work summary, word parsing, copy excerpts, other materials and so on, want to know different data formats and writing methods, please pay attention!随着科技的不断发展,半导体集成电路在各个领域得到了广泛的应用。
IC半导体封装测试流程
IC半导体封装测试流程前端测试:1.补片测试:在封装前,进行补片测试,即对每个已经通过前工艺裸片的可靠性和功能进行全面测试。
主要测试项目包括电特性测试、逻辑功能测试、功耗测试以及温度应力等测试。
2.功能性测试:将裸片运行在预先设计好的测试平台上,通过对接触型探针测试仪进行电学特性测试,检查电参数是否在设计要求范围内,包括电流、电压、功耗、时序等。
3.可靠性测试:对于高可靠性要求的芯片,需要进行可靠性测试,例如高温老化测试、低温冷却测试、热循环测试、温度湿度测试等,以确保芯片能够在不同工况下正常运行。
后端测试:1.静态测试:将已经封装好的芯片放置在测试夹具上,通过测试仪器进行接触测试,对封装好的芯片进行功能性测试和电学特性测试,例如功耗测试、输入输出电压测试、输入输出缓存电流测试等。
2.动态测试:通过给封装芯片输入数据信号和控制信号,测试芯片的逻辑功能和时序特性,使用逻辑分析仪等设备检测信号的变化和时机。
3.热测试:对已封装好的芯片进行高温老化测试,以验证芯片能在高温工作环境下正常工作,检测芯片工作温度范围和性能。
4.特殊测试:根据项目需求可能会进行一些特殊测试,如EMI(电磁干扰)测试、ESD(静电放电)测试、FT(功能测试)等。
5.优化测试:在测试过程中,可能会发现一些性能不佳的芯片,需要进一步分析问题原因,调查并解决问题,确保芯片能够满足设计要求。
6.统计分析:对测试结果进行统计分析,对芯片的测试数据进行归档和总结,以评估生产线的稳定性和测试过程的可靠性。
总结:IC半导体封装测试流程包括前端测试和后端测试,从裸片测试到封装后测试全面测试芯片的电特性和功能,以保证封装后的芯片能够正常工作。
测试过程中还会进行可靠性测试、热测试和特殊测试等,以确保芯片在各种环境下的稳定性和性能。
通过优化测试和统计分析,可以不断改进测试流程,提高生产效率和产品质量。
芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解
X-0.2um;Y-0.5um;Z-1.25um; 5、Bond Head Speed:1.3m/s;
芯片封装测试流程详解芯片封装测试 流程详解
FOL– Die Attach 芯片粘接
•Epoxy Write: Coverage >75%;
FOL•2nd Optical •第二道光检
•Die Attach •芯片粘接
•Back •Grinding
•磨片
•Wafer Wash •晶圆清洗
•Epoxy Cure •银浆固化
•EOL
•Wafer Mount •晶圆安装
•Wafer Saw •晶圆切割
➢存放条件:零下5°保存,常温下需回温24小时;
芯片封装测试流程详解芯片封装测试 流程详解
Raw Material in Assembly(封装原材料)
•【Epoxy】银浆
➢成分为环氧树脂填充金属粉末(Ag);
➢有三个作用:将Die固定在Die Pad上; 散热作用,导电作用;
➢将晶圆粘贴在蓝膜(Mylar)上,使得即使被切割开后,不会散落;
➢通过Saw Blade将整片Wafer切割成一个个独立的Dice,方便后面的 Die Attach等工序;
➢Wafer Wash主要清洗Saw时候产生的各种粉尘,清洁Wafer;
芯片封装测试流程详解芯片封装测试 流程详解
芯片封装测试流程详解芯片封装测试 流程详解
IC Package (IC的封装形式)
• 按封装材料划分为: •
• 塑料封装
•陶瓷封装
•金属封装主要用于军工或航天技术,无 商业化产品;
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Raw Material in Assembly(封装原材料)
【Gold Wire】焊接金线
➢实现芯片和外部引线框架的电性和物 理连接;
➢金线采用的是99.99%的高纯度金;
➢同时,出于成本考虑,目前有采用铜 线和铝线工艺的。优点是成本降低, 同时工艺难度加大,良率降低;
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FOL– Front of Line前段工艺
Wafer
2nd Optical 第二道光检
Die Attach 芯片粘接
Back Grinding
磨片
Wafer Wash 晶圆清洗
Epoxy Cure 银浆固化
EOL
Wafer Mount 晶圆安装
Wafer Saw 晶圆切割
Wire Bond 引线焊接
• 按照封装外型可分为: SOT、SOIC、TSSOP、QFN、QFP、BGA、CSP等;
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IC Package (IC的封装形式)
• 按封装材料划分为:
塑料封装
陶瓷封装
金属封装主要用于军工或航天技术,无 商业化产品;
陶瓷封装优于金属封装,也用于军事产 品,占少量商业化市场;
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IC Package Structure(IC结构图)
TOP VIEW SIDE VIEW
Lead Frame 引线框架
Die Pad 芯片焊盘
Gold Wire 金线
Epoxy 银浆
Mold Compound 环氧树脂
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Raw Material in Assembly(封装原材料)
➢线径决定可传导的电流;0.8mil, 1.0mil,1.3mils,1.5mils和2.0mils;
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Raw Material in Assembly(封装原材料)
【Mold Compound】塑封料/环氧树脂
➢主要成分为:环氧树脂及各种添加剂(固化剂,改性剂,脱 模剂,染色剂,阻燃剂等);
➢有三个作用:将Die固定在Die Pad上; 散热作用,导电作用;
➢-50°以下存放,使用之前回温24小时;
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Typical Assembly Process Flow
FOL/前段
EOL/中段
Plating/电镀
EOL/后段 Final Test/测试
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➢主要功能为:在熔融状态下将Die和Lead Frame包裹起来, 提供物理和电气保护,防止外界干扰;
➢存放条件:零下5°保存,常温下需回温24小时;
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Raw Material in Assembly(封装原材料)
【Epoxy】银浆
➢成分为环氧树脂填充金属粉末(Ag);
SMT SMT
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IC Package (IC的封装形式)
• 按封装外型可分为: SOT 、QFN 、SOIC、TSSOP、QFP、BGA、CSP等;
封装形式和工艺逐步高级和复杂
• 决定封装形式的两个关键因素: ➢ 封装效率。芯片面积/封装面积,尽量接近1:1; ➢ 引脚数。引脚数越多,越高级,但是工艺难度也相应增加;
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Introduction of IC Assembly Process IC封装工艺简介
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IC Process Flow
Customer 客户
IC Design IC设计
SMT IC组装
Wafer Fab 晶圆制造
Wafer Probe 晶圆测试
Assembly& Test IC 封装测试
3rd Optical 第三道光检
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FOL– Back Grinding背面减薄
Taping 粘胶带
Back Grinding
磨片
De-Taping 去胶带
➢将从晶圆厂出来的Wafer进行背面研磨,来减薄晶圆达到 封装需要的厚度(8mils~10mils);
➢磨片时,需要在正面(Active Area)贴胶带保护电路区域 同时研磨背面。研磨之后,去除胶带,测量厚度;
塑料封装用于消费电子,因为其成本低 ,工艺简单,可靠性高而占有绝大部分 的市场份额;
金属封装
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IC Package (IC的封装形式)
• 按与PCB板的连接方式划分为:
PTH
PTH-Pin Through Hole, 通孔式; SMT-Surface Mount Technology ,表面贴装式。 目前市面上大部分IC均采为SMT式 的
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IC Package (IC的封装形式)
Package--封装体:
➢指芯片(Die)和不同类型的框架(L/F)和塑封料(EMC) 形成的不同外形的封装体。
➢IC Package种类很多,可以按以下标准分类:
• 按封装材料划分为: 金属封装、陶瓷封装、塑料封装
• 按照和PCB板连接方式分为: PTH封装和SMT封装
【Wafer】晶圆
……
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Raw Material in Assembly(封装原材料)
【Lead Frame】引线框架
➢提供电路连接和Die的固定作用; ➢主要材料为铜,会在上面进行镀银、
NiPdAu等材料; ➢L/F的制程有Etch和Stamp两种; ➢易氧化,存放于氮气柜中,湿度小 于40%RH; ➢除了BGA和CSP外,其他Package都会采用Lead Frame,
其中,CSP由于采用了Flip Chip技术和裸片封装,达到了 芯片面积/封装面积=1:1,为目前最高级的技术;
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IC Package (IC的封装形式)
• QFN—Quad Flat No-lead Package 四方无引脚扁平封装 • SOIC—Small Outline IC 小外形IC封装 • TSSOP—Thin Small Shrink Outline Package 薄小外形封装 • QFP—Quad Flat Package 四方引脚扁平式封装 • BGA—Ball Grid Array Package 球栅阵列式封装 • CSP—Chip Scale Package 芯片尺寸级封装