台阶仪操作规程

台阶仪标准操作规程

1.0目的

为了确保使用人员对机器和设备进行正确操作，并作为初学者的学习指引，特制订此操作规范。 2.0职责

2.1工艺部门对产品制定检查标准

2.2对新进入操作员工进行培训和技能指导

2.3按照标准对产品进行检查

3.0文件内容

3.1台阶仪

3.2 台阶仪操作步骤

3.2.1单点测量

3.2.1.1. 打开电脑，待电脑完全启动后，打开台阶仪电源。将待测样品放在台阶仪平台上，尽量保证在探

针的正下方。

3.2.1.2. 双击桌面的 图标，开启测试软件，此时测试平台自动调整。

台阶仪电源开关 焦距调节旋钮 平台微调旋钮

平台倾斜调节

3.2.1.3.打开软件后单击工具栏的图标，探针缓缓下降，注意此过程中要随时调节测试平台的位置，

保证探针落在样品上。探针在正常接触样品后会自动抬起，调节焦距旋钮，使屏幕中心的图像最

清楚。

3.2.1.

4.上述操作就绪后，单击工具栏图标，新建一个文件。在转换后的界面中单击“Data File”

在弹出的对话框scan data项中设定好文件的存储位置。

3.2.1.5. 然后单击工具栏中的图标进入到参数设置界面，在“Scan Parameters ”中单击任意一

个链接，弹出对话框，在“Length”中输入扫描距离，“Duration”中输入扫描时间，“Meas Range”

中选择适当的量程。“profile”中勾选Hill&Valleys。依次单击Apply和OK。

3.2.1.6.单击工具栏图标切换到样品表面图像，调节平台微调旋钮使十字光标在指定的测量位置。

3.2.1.7.单击工具栏的图标运行，开始自动扫描。

3.2.1.8.扫描结束，软件会自动切换到曲线数据界面，看曲线是否倾斜，若曲线水平部分 / 倾斜，则顺时

针调节平台水平盘，若曲线水平部分 \ 倾斜，逆时针调节。

单击重新扫描。使曲线大致达到水平。

3.2.1.9.曲线拉平处理，扫描结束后在数据界面会有两条线和拖动R

和M将两条线分别移动到同一水平面的不同位置，拖动曲线下方的选择适宜的宽度

3.2.1.10. 右键选择Level将曲线拉平。

3.2.1.11. 计算数值，将拖动到待测高度的位置，此时左下角Watch List 窗口

中读出ASH的值并记录。单点测量结束。

3.2.2单点重复测量

3.2.2.1.前面9步与单点测量一致，只是在拉平处理是右键选择“Enter Software Leveling”保留参数，

然后将移动到待测量高度的位置，单击analysis

选项选择Analytical Function…..弹出对话框，在Height中勾选ASH，单击Compute。然后单击

图标，看到左侧Display Parameters中Software Leveling为Enable。

3.2.2.2.单击工具栏的图标，切换到另一界面，再单击Data file 在弹出的对话框中的Database项中

选中Log（生成报告）并设定到指定的存储位置。依次单击Apply，OK即可。在右侧Scan Routines

窗口中，右键单击数据，选择Copy to Range。弹出对话框，设定扫描次数，单击OK。

3.2.2.3.单击运行扫描，此时会弹出Dektak Database窗口，方便查看每次扫描

结果，结束后在窗口下方的Average项中显示几次扫描的平均值。

重复设定的测试次数后，单点重复扫描结束。

3.2.3 不同点测量

3.2.3.1. 只需要在多点重复测量的基础上设置停顿，在运行扫描前单击切换到另一界面，在timing

项上单击，弹出对话框在Timing选项中勾选Adjust Position Before Each Scan ，依次单击

Apply和OK即可

3.2.3.2.再单击工具栏的图标切换到样品表面图像，调旋钮使红色光标对准扫描起始位置，鼠标右键

指到结束位置，右键选择Update Alignment Reticule，定住绿色光标。

3.2.3.3.单击运行，在每次扫描前，会停顿弹出对话框确定扫描位置，调好后点击Continue。同样

会弹出Dektak Database窗口记录每次结果。

重复设定的测试次数后，不同点扫描结束。

测试完毕后关闭软件，探针自动升起，取下样品，关闭仪器电源和电脑。

4.0注意事项

4.1.探针接触在样品表面时，禁止移动样品

4.2.禁止手或其他物体触碰探针

4.3.若有问题，请及时通知相关工程师处理，切勿自行尝试修理或校正。