生物芯片工艺
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4 微流体制造工艺技术Fabrication Techniques for Microfluidics
1.基本技术
1.1光刻
1.2加法技术
1.3减法技术
1.4图形转移技术加法（liftoff），减法（selective etching）
2.硅基微制造
2.1 体加工
2.2 表面加工
Poly‐Si：
单晶Si ：SCREAM SIMPLE BSM PSM SBM microchannel examples
3.polymer‐based微制造技术3.1厚胶工艺
PMMA
SU8 举例
AZ4562
其他胶
3.2表面加工
Polymide
Parylene C D Electrodeposible PR eagle ED2100 Conductive polymer PPy Microchannel举例
3.3软光刻PDMS
nonoptical transfer
3.4微立体光刻microstereo photolith
Self‐packaged
量产
3.5 micromolding
Injection molding
Compression molding /Hot embossing PMMA open channel Injection Compression
Molding模塑工艺
3.6其他加工技术
减法：FIB，Laser ，放电
超声
电化学
Laser assisted localized electrochemical
3.7 微流体器件的组装和封装
1. 晶圆级的组装和封装
阳极键合：Si‐Glass
直接键合:同种材料
Si‐Si, Glass‐Glass, Polymer‐Polymer
Si
‐Si
Glass ‐Glass Polymer ‐Polymer
soda lime glass 钠钙玻璃PDMS ：surface treatment ：Oxygen plasma ，solvent evaporation
adhesive键合
中间层：glass epoxy PR polymer …
eutectic键合共晶合金
中间层：Si‐‐gold
2.器件级的组装和封装流体互联：
Press‐fit互联
low pressure applications
胶联Glued Interconnect
3.8生物兼容性
材料反应生物环境swelling‐crack leaching‐particle 组织和细胞的反应
inflammation
兼容性测试
In Vitro 实验室
In Vivo 活体