实验一 光电导衰退测量少数载流子的寿命

实验一光电导衰退测量少数载流子的寿命

一、实验目的

1.理解非平衡载流子的注入和复合过程；

2.了解非平衡载流子寿命的测量方法；

3.学会光电导衰退测量少子寿命的实验方法。

二、实验原理

半导体中少数载流子的寿命对双极型器件的电流增益、正向压降和开关速度等起着决定性作用。半导体太阳能电池的换能效率、半导体探测器的探测率和发光二极管的发光效率也和载流子的寿命有关。因此，半导体中少数载流子寿命的测量一直受到广泛的重视。

处于热平衡状态的半导体，在一定的温度下，载流子浓度是一定的，但这种热平衡状态是相对的，有条件的。如果对半导体施加外界作用，破坏了热平衡的条件，这就迫使它处于与热平衡状态相偏离的状态，称为非平衡状态。处于非平衡状态的半导体，其载流子浓度也不再是 n0 和 p0，可以比它们多出一部分。比平衡状态多出来的这部分载流子称为非平衡载流子，有时也称为过剩载流子。要破坏半导体的平衡态，对它施加的外部作用可以是光，也可以是电或是其它的能量传递方式。常用到的方式是电注入，最典型的例子就是 PN 结。用光照使得半导体内部产生非平衡载流子的方法，称为非平衡载流子的光注入，光注入时，非平衡载流子浓度Δn=Δp。

当外部的光注入撤除以后，注入的非平衡载流子并不能一直存在下去，它们要逐渐消失，也是原来激发到导带的电子又回到价带，电了和空穴又成对的消失了。最后，载流子浓度恢复到平衡时的值，半导体又回到平衡态，过剩载流子逐渐消失，这一过程称为非平衡载流子的复合。实验表明，光照停止后，Δp 随时间按指数规律减少。这说明非平衡载流子不是立刻全部消失，而是有一个过程，即它们在导带和价带中有一定的生存时间，有的长些，有的短些。非平衡载流子的平均生存时间称为非平衡载流子的寿命，用t 表示。由于相对于非平衡多数载流子，非平衡少数载流子的影响处于主导的、决定的地位，因而非平衡载流子的寿命通常称为少数载流子寿命。显然 1/t 就表示单位时间内非平衡载流子的复合概率。通常把单位时间单位体积内净复合消失的电子-空穴对数称为非平衡载流子的复合率。很明显，Δp/t 就代表复合率。

以光子能量略大于半导体禁带宽度的光照射样品，在样品中激发产生非平衡电子和空穴。若样品中没有明显的陷阱效应，那么非平衡电子和空穴浓度相等，他们的寿命也就相同。如果所采用的光在半导体中的吸收系数比较小，而且非平衡载流子在样品表面复合掉的部分可以忽略，那么光激发的非平衡载流子在样品内可以看成是均匀分布。假定一束光在一块n型半导体内部均匀的产生非平衡载流子Δn和Δp。在t=0时刻，光照突然停止，Δp 随时间而变化，单位时间内非平衡载流子浓度的减少应为-dΔp(t)/dt，它由复合引起，因此应当等于非平衡载流子的复合率，即

在非平衡少数载流子浓度Δp 比平衡载流子浓度n0 小得多，即小注入时，t是一恒量，与Δp(t)无关，设t=0时，Δp(0)=(Δp)0，则（1）式的解为

上式就是非平衡载流子浓度随时间按指数衰减的规律。利用（2）式可以求出非平衡载流子平均生存时间t 就是寿命t ，即

若取t=t ，由（2）式知，Dp(t ) = (Dp)0 /e ，所以寿命也等于非平衡载流了浓度衰减到原值的1/e所经历的时间。

如果入射光的能量 hν>Eg ，这样的光被半导体吸收之后，就会产生过剩载流子，引起载流子浓度的变化。因而电导率也就随之该变。对一块n 型半导体来说，在无光照的情况下，即处于平衡状态。其电导率

，这时的电导率称为“暗电导率”。当有光照时，载流子的数目增加了，电导率也随之增加，增加量为：

电导率的这个增加量称为“光电导率”。

光照停止后，过剩载流子不再产生，只有复合。由于过剩载流子逐渐减少，则光电导也就不断下降。这样，通过对光电导随时间变化的测量，就可以得到过剩载流子随时间变化的情况，也就可以求出寿命。光电导衰退法测量过剩载流子寿命，就是根据这个原理进行的。

测量少数载流子寿命的方法很多，分别属于瞬态法和和稳态法两大类。

瞬态法是由测量半导体样品从非平衡态向平衡态过渡过程的快慢来确定载流寿命。例如：对均匀半导体材料有光电导衰退法，双脉冲法，相移法；对P-N 结二极管有反向恢复时间法，开路电压衰退法。稳态法是由测量半导体处在稳定的非平衡时的某些物理量来求得载流子的寿命。例如：扩散长度法，稳态光电导法，光磁效应法，表面光电压法等。近年来，许多文章介绍扫描电镜测量半导体的少数载流子扩散长度。在硅单晶的检验和器件工艺监测中应用最广泛的是光电导衰退法和表面光电压法，这两种测试方法已经被列入美国材料测试学会(ASTM)的标准方法。

光电导衰退法有直流光电导衰退法、高频光电导衰退法和微波光电导衰退法。其差别主要在于用直流、高频电流还是微波来提供检测样品中非平衡载流子的衰退过程的手段。直流法是标准方法，高频法在硅单晶质量检验中使用十分方便，而微波法则可以用于器件工艺线上测试晶片的工艺质量。三、实验仪器

LT-2 型单晶寿命测试仪：采用高频光电导衰退法的原理设计，用于测量硅

单晶及锗单晶的非平衡少数载流子寿命。由稳压电源、高频源、检波

放大器、脉冲光源及样品电极共五部分组成，采用印刷电路和高频接

插件连接。

四、实验步骤

（1）接上电源线以及用高频连接线将CZ 与示波器Y 输入端接通，开启主机及示波器，预热15分钟。在没放样品的情况下，可调节W2使检波电压为零。

（2）在电极上涂抹一点自来水（注意:涂水不可过多，以免水流入光照孔），然后将清洁处理后的样品置于电极上面，此时检波电压表将会显示检波电压。如样品很轻，可在单晶上端压上重物，以改善接触。

（3）按下K 接通红外发光管工作电源，旋转W1，适当调高电压。

（4）调整示波器电平及释抑时间内同步，Y 轴衰减X 轴扫描速度及曲线的上下左右位置，使仪器输出的指数衰减光电导信号波形稳定下来，并与屏幕的标准指数曲线尽量吻合。通常光电导衰减曲线的起始部分不是指数，而衰退到50%以后基本进入单一指数。在光电导衰退曲线的指数部分取点，使ΔV2=1/2ΔV1。根据扫描速度刻盘

或时标打点计数，读出t2-t1，就可以得到样品的有效寿命：

（5）关机时，要先把开关K 按起

五、实验数据记录与处理

六、思考题

1.如何确定光注入是否处于小注入情况？为何实验中要采用小注入注入？

答：一般控制在“注入比”≤1%，近似按下式计算注入比：

上式中，ΔV 为示波器上测出的讯号电压值；k 是前置放大器的放大倍数；

V 是检波器后面的电压表指示值。

少数载流子寿命一般是随注入比增大而增大，尤其是高阻样品。

2.实验得到的载流子寿命是否包含了表面复合的影响？应该如何得到少数载

流子的体寿命？

答：是，利用公式

七、总结

1.在调节示波器的时候，要尽量把图像调成标准的指数曲线。

2.取点的时候注意不要读数错误，尽量取特殊点。

3.在电极上涂抹一点自来水，改善接触。