莱宝镀膜机日常保养和维护修改
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其进行点检，包括转动是否有异常声音；油位是否在正常位置等。
泵的维护和保养
二、扩散泵的维护和保养
1、基本定义： 扩散泵又称金属油扩散泵。所谓扩散就是气体密度均匀化的一种过程， 扩散泵底部油受热呈雾状经导流管从泵的喷嘴喷出向四周定向高速膨 胀（而不是射流），被抽容器的气体分子扩散到油雾膨胀波中，经碰 撞压缩后被逐级送到泵出口被前级泵抽走，油蒸汽在泵壁遇冷成油流 回泵底重新受热循环工作。
电离皮拉尼复合规不在保养之列，在此不做介绍
真空计的维护和保养
一、皮拉尼规的保养
1、皮拉尼规的原理：
皮拉尼规的型号很多，如PSG400/S,PSG050,PSG500等，我们现在使用 的是PSG500型号，如下图：
其基本工作的原理为：内部热丝发 热能量随气体浓度变化而变化，其 变化的比例关系就通过计算后经显 示器反应其真空度变化。 当真空度测量不准确，通过调节零 点而无法恢复时，说明其灯丝已经 污染，需要清洗。
5
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8
9
离子源的维护和保养 三、配件更换及保养
1、工具准备： 更换离子源配件需如下工具： 加热器阴极提取器
底座陶瓷夹
阳极保护管（阳极筒）提取器
阳极管护壳提取器
离子源的保养和维护
2、配件更换：
1、拿掉钢环
5、再依次取下如图配件
2、用阳极筒提取器取出
阳极筒
3、用加热器提取器 取出加热器和阴极
6、用长镊子取出陶瓷环
真空计的维护和保养
2、皮拉尼规的维护（清洗）
灯 丝
清洗步骤： a、如图拆开，移开
灯丝部分的挡板 b、加入丙酮浸泡5
分钟 c、倒出丙酮，放置
自然干燥 d、安装灯丝挡板 e、连接好线路开机
调节零点
真空计的维护和保养
二、潘宁规（冷电离规）的保养（清洗）
1、潘宁规的工作原理：
潘宁规是通过阴极环放电产生电子，在磁场的作用下获得能量使气体 分子电离。电离后的电离子数量通过计算经显示器反应真空度。潘宁 规真空度主要作用是提供离子源真空参数。
编 写：何剑坪 审 核： 批 准： 部 门：IR一部 编写日期：2012年5月8日
2011/10/15
第一版A2
培训目录
1.泵的维护和保养 2.真空计维护和保养 3.离子源的维护和保养 4.光控维护和保养 5.日常保养
泵的维护和保养
泵的维护和保养
莱宝机泵分类
莱宝机泵主要分为下列四种：
1.前级真空泵即机械泵 2.罗茨泵 3.扩散泵 4.Polycold压缩泵
4、拿掉阴极
7.用底座陶瓷夹子取出 底座陶瓷
离子源的维护和保养
3、配件装配：
1.装底座陶 瓷环
2.装三氧化二铝 片和27.5陶瓷
环
3. 依次将21.5陶瓷环 11.5陶瓷环和阴极 装回加热器
4.将装好的加热器装回
加热器提取器中
5.将加热器装回离 子源
6.装入32.5陶瓷环
离子源的维护和保养
7.把阳极筒装回离子源
离子源的维护和保养
二、离子源的结构
离子源结构如下图1.2所示：
1
2
3
4
离子源分为阳极、阴极、线圈三大部分 a、阳极分为阳极管，阳极保护管、护壳和TP150组成（如图5.7.8） b、阴极分为石墨加热器，六硼化镧阴极，加热器底座，三氧化二铝片和一些陶瓷
绝缘器件和TP250组成（如图3.4.6） c、线圈分为偏转线圈，线圈电流发生器组成（如图9）
8.将钢环平滑装回
9. 装好后的离子源
离子源的维护和保养 注意事项：
1.提取阳极筒和加热器时不可摇晃，需一次提出，以免损 伤阳极筒和弄断加热器，装回亦是如此。
4、注意事项： a、泵芯要轻拆轻放，不可碰撞，防止变形 b、注意泵芯水冷密封圈要平滑装入 c、注入新油油量约为5升左右 d、装好泵后需对泵进行检漏，并预抽真空到4.0E-2mba左右方可加 热投入工作
真空计的维护和 保养
真空计的维护和保养
莱宝机所用真空计分类
莱宝镀膜机目前所使用的真空计有：
皮拉尼规PSG500 电离-皮拉尼复合规 冷电离规即潘宁规
置与两壁平行 d、装入阴极片 注意：拆装过程中
不可用手触碰 内部任何配件， 否则将会在工 作时引起打火！
离子源的维 护和保养
离子源的维护和保养 一、离子源的工作原理
1、离子源的工作原理： 离子源是采用低电压（8V）高电流（最高可达250A）使石墨加
热器加热阴极（六硼化镧）发射带有负电荷的电子，负电荷的电子跟 阳极正电压之间形成一个等离子源。负电荷电子跟所充氩气发生碰撞 使氩离子电离，电离后的氩离子带有负电荷经线圈磁场作用向上运动 轰击真空室的氧气和材料分子，增加其跟基片的附着力。
由于莱宝机罗茨泵和Polycold压缩泵工作性质和结构 较特殊，不在保养之列，在此也不做介绍。
泵的维护和保养
一、前级真空泵（机械泵）维护和保养
1、基本定义：
前级真空泵俗称机械泵，属于2级（高低旋片）旋片式真空泵。高旋片旋转 带动气体通过腔体经低旋片排出。
2源自文库保养目的：
旋片在高速转动过程中需要大量真空泵油润滑，而真空泵油在长期直接 接触大气和旋片高速旋转所产生的高温条件下容易发生质变，所以需对其进 行定期更换。
2、潘宁规的清洗：
照下图方法拆卸潘宁规： a、用镊子拆下阴极片 b、拆下阴极环，注意 轻摇轻晃，不能过 度搬动，防止断裂 c、倒出陶瓷绝缘垫 d、将所有拆下的配件 放入丙酮容器中浸 泡5分钟后自然晾干
真空计的维护和保养
3、潘宁规的安装：
潘宁规清洗完后自然晾干，如下图用镊子将配件逐个装回即可：
a、装入陶瓷片 b、插入阴极环 c、调整阴极环位
3、保养方法：
更换油时需将原来的旧油全部放掉，再将泵芯拆下，清洁泵芯残留物和 油污。拆下低转片排气口阀片，检查其是否有断裂并用丙酮和M3尼龙纱布清 洁其表面油污然后装回。
4、注意事项：
a、清洁完后需更换一些必要配件，如：过滤网、油封、轴套、密封垫等 b、装回备件后将新油加入可视窗一半左右位置即可。工作过程中需定期对
2、保养目的： 扩散泵油在抽气过程中会将空气中粉尘和其他杂质带入泵底，杂质和 粉尘在泵底高温状态下容易发生质变，泵油与空气接触后流回泵底与 质变的 杂质接触，就会使油质逐渐变坏，就是俗称的“氧化”，所以 需定期对扩散泵油进行更换，并对泵体及泵芯进行清洁
3、保养方法 将扩散泵从设备上拆下后逐级取下泵芯，用丙酮和碎布清洁整个泵内壁 及其所有泵芯上面的油污和油垢，自然晾干后再逐级装回即可
泵的维护和保养
二、扩散泵的维护和保养
1、基本定义： 扩散泵又称金属油扩散泵。所谓扩散就是气体密度均匀化的一种过程， 扩散泵底部油受热呈雾状经导流管从泵的喷嘴喷出向四周定向高速膨 胀（而不是射流），被抽容器的气体分子扩散到油雾膨胀波中，经碰 撞压缩后被逐级送到泵出口被前级泵抽走，油蒸汽在泵壁遇冷成油流 回泵底重新受热循环工作。
电离皮拉尼复合规不在保养之列，在此不做介绍
真空计的维护和保养
一、皮拉尼规的保养
1、皮拉尼规的原理：
皮拉尼规的型号很多，如PSG400/S,PSG050,PSG500等，我们现在使用 的是PSG500型号，如下图：
其基本工作的原理为：内部热丝发 热能量随气体浓度变化而变化，其 变化的比例关系就通过计算后经显 示器反应其真空度变化。 当真空度测量不准确，通过调节零 点而无法恢复时，说明其灯丝已经 污染，需要清洗。
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离子源的维护和保养 三、配件更换及保养
1、工具准备： 更换离子源配件需如下工具： 加热器阴极提取器
底座陶瓷夹
阳极保护管（阳极筒）提取器
阳极管护壳提取器
离子源的保养和维护
2、配件更换：
1、拿掉钢环
5、再依次取下如图配件
2、用阳极筒提取器取出
阳极筒
3、用加热器提取器 取出加热器和阴极
6、用长镊子取出陶瓷环
真空计的维护和保养
2、皮拉尼规的维护（清洗）
灯 丝
清洗步骤： a、如图拆开，移开
灯丝部分的挡板 b、加入丙酮浸泡5
分钟 c、倒出丙酮，放置
自然干燥 d、安装灯丝挡板 e、连接好线路开机
调节零点
真空计的维护和保养
二、潘宁规（冷电离规）的保养（清洗）
1、潘宁规的工作原理：
潘宁规是通过阴极环放电产生电子，在磁场的作用下获得能量使气体 分子电离。电离后的电离子数量通过计算经显示器反应真空度。潘宁 规真空度主要作用是提供离子源真空参数。
编 写：何剑坪 审 核： 批 准： 部 门：IR一部 编写日期：2012年5月8日
2011/10/15
第一版A2
培训目录
1.泵的维护和保养 2.真空计维护和保养 3.离子源的维护和保养 4.光控维护和保养 5.日常保养
泵的维护和保养
泵的维护和保养
莱宝机泵分类
莱宝机泵主要分为下列四种：
1.前级真空泵即机械泵 2.罗茨泵 3.扩散泵 4.Polycold压缩泵
4、拿掉阴极
7.用底座陶瓷夹子取出 底座陶瓷
离子源的维护和保养
3、配件装配：
1.装底座陶 瓷环
2.装三氧化二铝 片和27.5陶瓷
环
3. 依次将21.5陶瓷环 11.5陶瓷环和阴极 装回加热器
4.将装好的加热器装回
加热器提取器中
5.将加热器装回离 子源
6.装入32.5陶瓷环
离子源的维护和保养
7.把阳极筒装回离子源
离子源的维护和保养
二、离子源的结构
离子源结构如下图1.2所示：
1
2
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离子源分为阳极、阴极、线圈三大部分 a、阳极分为阳极管，阳极保护管、护壳和TP150组成（如图5.7.8） b、阴极分为石墨加热器，六硼化镧阴极，加热器底座，三氧化二铝片和一些陶瓷
绝缘器件和TP250组成（如图3.4.6） c、线圈分为偏转线圈，线圈电流发生器组成（如图9）
8.将钢环平滑装回
9. 装好后的离子源
离子源的维护和保养 注意事项：
1.提取阳极筒和加热器时不可摇晃，需一次提出，以免损 伤阳极筒和弄断加热器，装回亦是如此。
4、注意事项： a、泵芯要轻拆轻放，不可碰撞，防止变形 b、注意泵芯水冷密封圈要平滑装入 c、注入新油油量约为5升左右 d、装好泵后需对泵进行检漏，并预抽真空到4.0E-2mba左右方可加 热投入工作
真空计的维护和 保养
真空计的维护和保养
莱宝机所用真空计分类
莱宝镀膜机目前所使用的真空计有：
皮拉尼规PSG500 电离-皮拉尼复合规 冷电离规即潘宁规
置与两壁平行 d、装入阴极片 注意：拆装过程中
不可用手触碰 内部任何配件， 否则将会在工 作时引起打火！
离子源的维 护和保养
离子源的维护和保养 一、离子源的工作原理
1、离子源的工作原理： 离子源是采用低电压（8V）高电流（最高可达250A）使石墨加
热器加热阴极（六硼化镧）发射带有负电荷的电子，负电荷的电子跟 阳极正电压之间形成一个等离子源。负电荷电子跟所充氩气发生碰撞 使氩离子电离，电离后的氩离子带有负电荷经线圈磁场作用向上运动 轰击真空室的氧气和材料分子，增加其跟基片的附着力。
由于莱宝机罗茨泵和Polycold压缩泵工作性质和结构 较特殊，不在保养之列，在此也不做介绍。
泵的维护和保养
一、前级真空泵（机械泵）维护和保养
1、基本定义：
前级真空泵俗称机械泵，属于2级（高低旋片）旋片式真空泵。高旋片旋转 带动气体通过腔体经低旋片排出。
2源自文库保养目的：
旋片在高速转动过程中需要大量真空泵油润滑，而真空泵油在长期直接 接触大气和旋片高速旋转所产生的高温条件下容易发生质变，所以需对其进 行定期更换。
2、潘宁规的清洗：
照下图方法拆卸潘宁规： a、用镊子拆下阴极片 b、拆下阴极环，注意 轻摇轻晃，不能过 度搬动，防止断裂 c、倒出陶瓷绝缘垫 d、将所有拆下的配件 放入丙酮容器中浸 泡5分钟后自然晾干
真空计的维护和保养
3、潘宁规的安装：
潘宁规清洗完后自然晾干，如下图用镊子将配件逐个装回即可：
a、装入陶瓷片 b、插入阴极环 c、调整阴极环位
3、保养方法：
更换油时需将原来的旧油全部放掉，再将泵芯拆下，清洁泵芯残留物和 油污。拆下低转片排气口阀片，检查其是否有断裂并用丙酮和M3尼龙纱布清 洁其表面油污然后装回。
4、注意事项：
a、清洁完后需更换一些必要配件，如：过滤网、油封、轴套、密封垫等 b、装回备件后将新油加入可视窗一半左右位置即可。工作过程中需定期对
2、保养目的： 扩散泵油在抽气过程中会将空气中粉尘和其他杂质带入泵底，杂质和 粉尘在泵底高温状态下容易发生质变，泵油与空气接触后流回泵底与 质变的 杂质接触，就会使油质逐渐变坏，就是俗称的“氧化”，所以 需定期对扩散泵油进行更换，并对泵体及泵芯进行清洁
3、保养方法 将扩散泵从设备上拆下后逐级取下泵芯，用丙酮和碎布清洁整个泵内壁 及其所有泵芯上面的油污和油垢，自然晾干后再逐级装回即可