半导体硅片事业部-Ferrotec中国
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• Web: http://www.ferrotec.com.cn • http://www.ferrotec.co.jp
Wafer Dept.
• Add：中国上海宝山城市工业区山连路181号200444 • No.181 Shanlian Rd, Baoshan Industury Garden, • Shanghai, China. 200444
• Telephone：+86-21-3616 0798 • Fax No. ：+86-21-3616 0797 • E-Mail：wafersales@ferrotec.sh.cn
• Ferrotec Silicon Wafer Manufacture Department has a strong team with long
• wafer manufacturing experience. • Over 30% engineers, operators and inspector
环境控制
• 由东芝空调，中国电子工程设计院提供环境控制。 净空房的面积：1000级净空房有650平方米（退火，CVD，包装）100级的净空房490平方米（最终洗 净和最终检查） 纯水：Kurita的水，工艺气体：液态空气 支持系统24小时监控，净空房颗粒计数器实时监控 空气分析，ICS-1000（NOx/SOx/NH3），生产现场有温度，湿度监视器
• 2002年开始硅片项目。 • 2004年完成第一期投资，每月产能300000pcs抛光片。 • 2006年完成第二期投资，每月产能400000pcs抛光片。 • 2010年从Covalent（原东芝陶瓷株式会社）引进多晶体技术，
开始自己的晶棒拉制业务。
• Ferrotec Semiconductor Wafer Department is invested by Toshiba Ceramics (renamed as • Covalent), Mitsui & Co., Ltd. and Ferrotec Group. It introduced 4 to 6 inches silicon wafer • production line and technology from Toshiba Ceramics of Japan in 2002. It is the first • wholly foreign-owned and biggest wafer manufacture company in China Mainland. • ������ 2002 Silicon wafer project press conference and begin • ������ 2004 First part completed, Polished wafer 300,000 • pcs/month • ������ 2006 Final completed, Polished wafer 400,000 pcs/month • ������ 2010 Introduction of crystal technology from Covalent, • start own brand business.
品质监测
• ferrotec配备全套先进的测量和检测设备， 生产装置系统在制造过程中追求最高质量 标准，以达到同行业中不可替代的竞争优 势。
主要的测量设备
产品控制ERP系统
பைடு நூலகம்
硅片产品处理流程
多晶硅
拉晶
截断
滚磨
切片
倒角
研磨
腐蚀
热处理
背面处理
抛光
洗净
检查
包装
出荷
联系我们
• 上海申和热磁电子有限公司半导体硅片事业部 • Shanghai Shenhe Thermo-magnetics Co., Ltd Semiconductor
• By Toshiba air conditioner、China • Electronics Engineering Design Institute • Clean room size：Class-1000 650m2 (Anneal, CVD, Packing) • Class-100 490m2 (final clean, inspection) • DI water：Kurita water，Process Gas：Air Liquid • Support system monitor，Clean room particle counter • Air analyst ICS-1000（NOx/SOx/NH3），Temperature、moisture monitor
had a long time training in Japan.
质量认证
• 质量是我们的生存的关键 • 质量是我们的成长的根本 • 质量的理念首先是在生产的每一个过程。 ferrotec是致力于
不断提高产品质量，以满足客户的需求，超越客户的期望。
ISO9001：2008 ISO14001：2004 ISO9001：2008 ISO/TS16949：2002
半导体硅片事业部
1、简介 2、主要产品 3、精英团队 4、质量认证 5、环境控制 6、品质监测 7、主要测量设备概览 8、产品控制ERP系统 9、硅片产品处理流程 10、联系我们
硅材料事业部简介
• FTS半导体硅片事业部由东芝陶瓷株式会社（现更名为Covalent）、三井物产有限公司，Ferrotec 集团共同出资组建。在2002年引进日本东芝陶瓷生产线和技术，并推出了4至6英寸硅片的生产。这 是第一家外商独资企业在中国大陆最大的晶圆制造工厂。
主要产品
• 4英寸、5英寸、6英寸硅片 • 100mm、125mm、150mm Silicon Wafer
• 搀杂剂：硼/磷，砷，锑等等。 • Dopant：Boron/ P-,P+,P++; As, Sb/ N+,
N++
精英团队
• Ferrotec硅材料事业部是由一个有丰富晶圆制造 经验、技术力量强大的团队组成。 超过30％的工程师、技师和质量检查人员在日本 接受过至少三个月的专业培训。
Wafer Dept.
• Add：中国上海宝山城市工业区山连路181号200444 • No.181 Shanlian Rd, Baoshan Industury Garden, • Shanghai, China. 200444
• Telephone：+86-21-3616 0798 • Fax No. ：+86-21-3616 0797 • E-Mail：wafersales@ferrotec.sh.cn
• Ferrotec Silicon Wafer Manufacture Department has a strong team with long
• wafer manufacturing experience. • Over 30% engineers, operators and inspector
环境控制
• 由东芝空调，中国电子工程设计院提供环境控制。 净空房的面积：1000级净空房有650平方米（退火，CVD，包装）100级的净空房490平方米（最终洗 净和最终检查） 纯水：Kurita的水，工艺气体：液态空气 支持系统24小时监控，净空房颗粒计数器实时监控 空气分析，ICS-1000（NOx/SOx/NH3），生产现场有温度，湿度监视器
• 2002年开始硅片项目。 • 2004年完成第一期投资，每月产能300000pcs抛光片。 • 2006年完成第二期投资，每月产能400000pcs抛光片。 • 2010年从Covalent（原东芝陶瓷株式会社）引进多晶体技术，
开始自己的晶棒拉制业务。
• Ferrotec Semiconductor Wafer Department is invested by Toshiba Ceramics (renamed as • Covalent), Mitsui & Co., Ltd. and Ferrotec Group. It introduced 4 to 6 inches silicon wafer • production line and technology from Toshiba Ceramics of Japan in 2002. It is the first • wholly foreign-owned and biggest wafer manufacture company in China Mainland. • ������ 2002 Silicon wafer project press conference and begin • ������ 2004 First part completed, Polished wafer 300,000 • pcs/month • ������ 2006 Final completed, Polished wafer 400,000 pcs/month • ������ 2010 Introduction of crystal technology from Covalent, • start own brand business.
品质监测
• ferrotec配备全套先进的测量和检测设备， 生产装置系统在制造过程中追求最高质量 标准，以达到同行业中不可替代的竞争优 势。
主要的测量设备
产品控制ERP系统
பைடு நூலகம்
硅片产品处理流程
多晶硅
拉晶
截断
滚磨
切片
倒角
研磨
腐蚀
热处理
背面处理
抛光
洗净
检查
包装
出荷
联系我们
• 上海申和热磁电子有限公司半导体硅片事业部 • Shanghai Shenhe Thermo-magnetics Co., Ltd Semiconductor
• By Toshiba air conditioner、China • Electronics Engineering Design Institute • Clean room size：Class-1000 650m2 (Anneal, CVD, Packing) • Class-100 490m2 (final clean, inspection) • DI water：Kurita water，Process Gas：Air Liquid • Support system monitor，Clean room particle counter • Air analyst ICS-1000（NOx/SOx/NH3），Temperature、moisture monitor
had a long time training in Japan.
质量认证
• 质量是我们的生存的关键 • 质量是我们的成长的根本 • 质量的理念首先是在生产的每一个过程。 ferrotec是致力于
不断提高产品质量，以满足客户的需求，超越客户的期望。
ISO9001：2008 ISO14001：2004 ISO9001：2008 ISO/TS16949：2002
半导体硅片事业部
1、简介 2、主要产品 3、精英团队 4、质量认证 5、环境控制 6、品质监测 7、主要测量设备概览 8、产品控制ERP系统 9、硅片产品处理流程 10、联系我们
硅材料事业部简介
• FTS半导体硅片事业部由东芝陶瓷株式会社（现更名为Covalent）、三井物产有限公司，Ferrotec 集团共同出资组建。在2002年引进日本东芝陶瓷生产线和技术，并推出了4至6英寸硅片的生产。这 是第一家外商独资企业在中国大陆最大的晶圆制造工厂。
主要产品
• 4英寸、5英寸、6英寸硅片 • 100mm、125mm、150mm Silicon Wafer
• 搀杂剂：硼/磷，砷，锑等等。 • Dopant：Boron/ P-,P+,P++; As, Sb/ N+,
N++
精英团队
• Ferrotec硅材料事业部是由一个有丰富晶圆制造 经验、技术力量强大的团队组成。 超过30％的工程师、技师和质量检查人员在日本 接受过至少三个月的专业培训。