PECVD_CT设备常见故障手册

<2>冷却水故障，立即通知外围设备工程师
<3>出口压力太高，则要浆泵停掉，把炉管内的气压设置为Atmo.拆开出气管进行清理
<4>如果真空泵停掉，在泵的侧面目镜上可以观察无有1-2-1连续显示，如果有，可以确定为真空泵卡死，先将炉管压力调为Atmo。然后将泵的电源关闭，将进气口拆开，用扳手把卡死的转子调到能够用手转动为止，并用吸尘器将泵和气管里面的粉尘清理一遍，然后将气管重新接好，如果仍然不能开启，则将真空泵更换
炉门冷却水报警
（Warning Water flow on TGA side stack1-4）
<1>检查相应层的冷却水流量是否低于4..如果是则将其调整到5-7
<2>对于冷却水流量显示为0的情况，则应在第一时间通知外围设备工程师，如果在两分钟内仍不能恢复，则将所有的真空泵立即关闭，同时将一线真空泵外壳打开
<3>熟悉M125-XXL工艺的基本步骤，能够处理常见的镀膜不良的问题
<4>面对紧急情况时，能够合理及时的处理；设备维护时，能够按照规程合理的进行操作
注：以下内容如没有进行特别标注均指Centrotherm PECVD
《PECVD常见设备故障及解决方法》
手推车(trolley)加载故障
<1>手推车无法被加载
检查一下store2和store3位置是否有同时存放石墨舟的情况，如果是则将其中一个手动
取下
检查一下车上水平方向的感应器上是否有脏污和磨损，如有则用氮气枪进行清理，此时禁止用无尘布之类的东西对反射镜进行擦拭
检查水平和垂直方向感应器指示灯是否正常，然后通知当班工程师
<2>自动模式下石墨舟无法从设备内拾取到store1
同时对炉管的碎片进行处理
石墨舟上规律性出现镀膜不良片时，在石墨舟足够的情况下，则更换，如不够则可在相应位置用挡片进行代替进行工艺
对于出现经常出现泛白的情况，则检查一下相应炉管是够有温度异常的设备故障，如果有则进行处理
如果经常出现镀膜不良的情况，则可以将相应的炉管用10个N2进行吹扫3分钟，然后打开N2NO吹扫2分钟
炉门无法关闭
<1>检查CMI上浆的实际位置(actpos)是否为0，如不是则将其设置到0
<2>检查一下相应层浆的限位开关是否被完全压下，如没有则手动将其按一下
<3>检查一下炉门靠近门口的光电限位开关是否到位，同时确认一下CMI上否有
“Door=undefined”的显示
炉门无法打开
<1>手动无法打开的情况时，检查一下“Mannual”“Boat”“Speed”的值是否为0，如是则将其设置，一线为350.，二线为400
External Protocol can’t
Be Writen
<1>检查一下PE设备主机（host）是否关闭，如关闭则重启启动，然后登陆工程师权限在Alarm栏里面点击“Reset”
<2>检查设备上交换机（network switch）上与主机相连的网线有无松动，如有将其拔下再重新插好
炉门无法关闭
重新插好进行工艺
<5>对于相应炉管依旧出现高频报警的情况，则手动打开炉门检查一下炉管内是否碎片太多，是否有翘起的碎片，如有则进行清理
手动结束高频报警的基本操作：
设定炉管内气压
“Mannual”→”Tab”→“vaccum”→”tube”→”pressure”→”Maximum”
往炉管内冲氮气
“Mannual”→”Gas”→”N2NO”→”Valve”→”Open”
<1>此时会提示process terminated报警信息，点击红色报警灯，在弹出的界面里选择第一项“to Store”,
<2>待退出的石墨舟加载到手推车后，手动打开炉门，检查一下炉门密封部分是否有碎片堆积，如果有太多碎片则用高温手套将碎片清理干净，然后用氮气枪吹扫一遍，然后将炉门关闭，点击CMI上的“Standby”（一线），对于二线，要手动将炉管设置到待机状态，看在炉管内压力act的值是否小于200mTorr.
等待2分钟，如果仍出现连接故障，则将工控机上电源关闭，然后打开进行重启
浆（Paddle）位置故障
<1>检查一下CMI界面上浆位置是否正确，如果有类似Actpos=--1的情况，则手动将浆运行22然后进行复位，
<2>对于界面上显示???的情况则按一下方法对CESAR进行初始化
“Service”“Tab”“Initial”
附：对于捷佳伟创PE设备，要特别注意下舟的使用次数是否已经在90以上，如是则停止在上面工艺，对于次数较少的石墨舟在捷佳伟创设备上出现镀膜不良的现象，要检查一下舟的电极口，看有没有必要更换
真空泵报警（alarm/warning pump）
<1>对与检查一下相应的真空泵上有无报警指示灯开启的情况，如果氮气中断，则通知外围设备工程师，氮气压力不足的情况可以打开真空泵上封盖，将氮气压力在1-2之间相应的调大
《PECVD（Centrotherm）紧急情况处理措施》
紧急断电
<1>首先将真空泵的总开关关闭，然后将泵上的侧面封盖全部打开
<2>记下CMI上个炉管舟号及工艺时间，对于需要补镀的石墨舟，同时也要记下CMI上显示的补镀工艺时间
<3>将还在炉管内的石墨舟取出，然后确保各层炉门及浆的位置全部在零位
<4>按正常的关机程序进行关机
炉管/主冷却冷却水报警
（Alarm Water flow cooler stack1-4）/(Alarm Water flow at main cooler)
解决措施同上
高频电源冷却水报警(Warning Water at plasma generator)
解决措施同上
炉管真空报警
（Vacuum warning）
<3>如果压力仍然抽不下去，则重新打开炉门，用沾有少量酒精的无尘布将炉门密封圈擦拭一遍
炉管/炉壁温度报警( T_Paddle /T_spike out of 1sttolerance)
<1>检查一下CMI界面上显示信息有无异常
<2>将相应炉管的冷却水水流量调大1
工控机通讯故障
（NO connecting to cesar1-4）
等待炉管内气压达到大气压ATMO
开启大氮后点击CMI上“Status”等待炉管内气压回升到大气压
当炉管下方显示ATMO状态时，关闭大氮
“Mannual”→”Gas”→”N2NO”→”Valve”→”Close”
开炉门进舟
“Mannual”→“Boat”→”Position”→”Maximum”
SLS操作
“Mannual”→”SLS”→”Position”→”Go up”
退舟
“Mannual”→“Boat”→”Position”→”Minimum”
注:对于一线PE，为了节省进舟时间，不必要再点击CMI上的“Standby”
重新进舟时，需要补镀工艺时，则先在CMI上记下补镀时间，进舟时Recipe项选择BD125，如果不需要补镀，则选择M125-XXL工艺
检查舟感应器的光线是否照射在了手推车上，正常的在没有石墨舟的情况下，舟感应器的指示灯为开启状态，如果是则将首推车的位置重新调整，使舟感应器指示灯恢复开启状态
<3>手动模式下store1位置没有Downward
同<2>，检查舟感应器是否正常
CMI死机
打开CMI界面下的护板，将CMI开关关闭然后开开进行重启
<3>检查一下进浆传送带是否有堵塞
<4>对于捷佳伟创PE，检查一下前后限位开关是否OK，检查一下报警信息栏内是否有
堵塞报警
<5>对于无法出舟的情况，要观察一下CMI上是否有SLS= undefined的情况
注：对进行过Cesar初始化操作的情况，要手动将“Mannual”“Boat”“Speed”的值重新进行设置，不然也会出行无法进行手动进舟的操作，一线值为350二线为400
《PECVD常见工艺问题及解决方法》
Centrotherm_PE
<1>花片：
在插片前，将石墨舟用氮气枪吹扫干净
规律性出现花片的情况，检查一下石墨舟位置上的石墨塞子是否磨损严重，导致硅片和舟片间有缝隙出现，如果有则将相应的石墨塞子更换
<2>镀膜不良
对于高频报警造成的镀膜不良，可按CMI上提示，直接按补镀工艺进行处理
工程师
<4>对于初步判断为掉片造成的高频报警，则检查一下已进行的工艺时间，看是否需要进
行补镀工艺，出现工艺没有自动结束的情况，则在2分钟后在CMI主菜中选定“ExitPoc
→然后选择“YES”手动结束工艺，此时会提示process terminated报警信息，点击红
色报警灯，在弹出的界面里选择第一项“to Store”.对于掉片则将硅片
附：<1>CT设备上区分HandlingStop和Emergency旋钮，后者会造成机器电源断掉
<2>捷佳伟创设备浆运动异常，譬如出现拖舟的情况，则按下上面的旋转式急停按钮即可
《PECVD（Centrotherm）设备维护事项及问题》
<1>炉管内碎片的清理
1从上到下的原则（4#炉管开始）
2尽量把浆上的舟手动放到空闲位置，如果不方便放置的话，可以通过手动调整舟在浆上的位置把所需要清理的当前浆空置
<5>将设备上特气阀门关闭
注：对于捷佳伟创设备，如果断电后，炉门仍处于开启位置，则要及时通知当班工程师
真空泵冷却水管突பைடு நூலகம்破裂