【初稿】大学生创新创业记录册###

大学生创新创业训练项目过程记录册

项目名称：原子层沉积（ALD）制备超薄HfO2介质工艺研究项目编号：17

负责人：杨帆

其他成员：刘伊薇、李鑫

学院系部：光电信息学院

指导教师：李世彬

执行时间：2014 年9 月8日至2015 年 4 月21 日

填写说明

1.《大学生创新训练项目研究过程记录册》是检查项目研究进展情况的主要

依据，也是评价项目研究成果的重要依据之一。项目负责人必须认真、及时、准确、真实地记录项目研究的主要过程。

2.《大学生创新训练计划项目研究过程记录册》主要记录项目研究进展情况。

如：成功的经验、失败的原因、与指导教师的交流、团队合作、经费使用明细等方面内容，要求每2周记录1次。

3.项目负责人及成员应定期请指导老师查阅项目研究过程记录，与指导老师

进行交流和研讨。

4.中期检查时项目负责人需将《大学生创新训练项目研究过程记录册》交指

导教师检查和签字后，再交学院（系、部）工作委员会联系人。

5.项目结束后，由项目负责人将《大学生创新训练计划项目研究过程记录册》

及相关材料提交指导教师检查和签字后，再提交学院（系、部）联系人进行核实、存档保管。

6.本记录册平时由项目负责人保存。

1.经费使用明细

日期经费使用摘要使用金额（元）2014.9-10 打印阅读文献50

2014.10 置购ALD金属有机源TMA、TEMAH 3000

2014.11 置购ALD系统气源普氮、氩气

2014.11 购买实验用的硅衬底

2014.11 购买实验用的化学试剂（无水乙醇、过

氧化氢、丙酮等）

2015.4 置购ALD系统气源普氮、氩气

2015.4 购买实验用的化学试剂（无水乙醇、过

氧化氢、丙酮等）

2015.4.10 XPS测试费用400

2015.4.17 XPS测试费用200

2015.4.20 原子力显微镜测试费用80

2.项目研究过程记录

时间过程记录

活动内容：进行项目初期安排

活动过程：

小组成员在讨论实验项目内容后，初步了解对ALD原子层沉积技术的了解，与老师交流沟通项目实现的目的、价值等，在与老师的沟通下，了解相关

方面的前沿知识，确定项目内容以及项目研究方案，讨论项目实现的必备

要素与环节，留以思考讨论项目的具体时间规划以及相应的实验研究安排，考虑到学院、老师的时间以及小组成员课程的时间，规划每周项目进行的

时间。

项目记录人：刘伊薇 2014 年 9 月8 日

活动内容：老师讲解项目安排及相关知识。

活动过程：

小组成员在通过前期对ALD原子沉积的大概了解后，与项目负责老师进行

沟通交流，由老师向我们讲解本创新基金项目的大致内容，规划项目的时

间进度，解答初步了解过程中小组成员的问题。

在一段讨论后，由项目负责老师以及师兄师姐为我们进行一定的知识讲解，向我们传送相关论文与资料，帮助我们做好前期知识的学习，为实验打好

基础。

项目记录人：杨帆 2014 年 9 月 23日

活动内容:理论知识学习心得的分享以及分工安排。

活动过程：

1.这一阶段主要是理论学习。在小组会议中，小组成员就前期阅读的大量

文献以及自己的理解进行各自阐述，并且就有疑问的地方进行了交流，互

相帮助解答疑难，在讨论中发现存在的问题，一些能够通过查阅网上资料

解决，遗留问题则记录下来在下次与老师沟通过程中解决。小组讨论有助

于解答疑惑、增长知识、清晰概念，从而对实验理论以及ALD的研究现状

有了更全面更深刻的认识，为之后的实验打下了良好的理论基础。

2.小组进行分工，将项目任务分成了汇总文献，文献查找，以及实验记录

等大块，由成员共同分担。

项目记录人：李鑫 2014年10 月 8 日

活动内容：就前期阅读文献、学习资料的问题进行咨询

活动过程：

小组成员整理好前期自学项目相关内容过程中的疑惑与问题一同向老师请教，在阅读文献中，我们都发现了很多认知不清的概念知识，一些知识在不同论文中又有不同的体现，容易出现混淆。我们就之前存在的问题向老师请教，项目负责老师也对我们悉心教导，解答疑惑，并对原子层沉积技术进行了较为全面的阐释，加深了我们对所学知识的印象，有助于对于所看资料、文献的理解。

项目记录人：刘伊薇 2014 年 10月 24日

活动内容：学习清洗硅片的方法，比较多种方法选择最优进行实验

活动过程：

通过查找资料，学习清洗硅片的方法，通过查找不同的方法，进行对比。在物理清洗与化学清洗方法中选择化学清洗的方式，出去原子、离子不可见的污染。常见的由溶剂萃取、酸洗（硫酸、硝酸、王水、各种混合酸等）和等离子体法等，其中双氧水体系清洗方法效果较好。我们在通过比较各种方法的优劣后选择本实验将要进行的硅片清洗方法，并进行初次的硅片清洗过程。

项目记录人：杨帆2014年11 月8日

活动内容：学习使用ALD仪器以及清洗硅片。

活动过程：

本次实验前，小组成员复习清洗硅片的过程，并在学姐的指导下完成硅片清洗。几次清洗硅片之后，小组成员首次进行了一个原子层沉积实验的完整实验周期。

在首次实验过程中出现了很多意料之外的发现。在实验过程中，我们发现了实验结果与理论现象之间的偏差，存在ALD仪器误差，实验数据需要在初始大气压强数据基础上做改动，以及注意开关气阀和源阀的顺序等一些问题。除了需要了解实验背景，还有很多细节的操作需要注意，初次实验让我们将之前学习的知识付诸实践，同时也发现了存在的问题，试验后我们也进行了实验总结，对发现的问题找出解决方法，以便在之后的实验中进行改善。

项目记录人：李鑫2014 年11 月27 日

活动内容：根据已完成内容进行总结，并安排后期项目过程

活动过程：