3-32-M-J-COMM-014 48所捷佳伟创扩散炉换源作业指导书 A5
捷佳伟创晶体硅电池高温扩散炉的培训资料课件
自动机械手实现自动装卸舟功能，实现高度自动 化
炉体加热部分
主要工艺控制点：
炉门 炉体（热电偶 加热丝） 温控表主要参数设置方法
炉体加热部分
1） 功率部件
电，
变压器为低压大电流输出，原边以380V三相供
设备中任意一管工作，都不影响电网负荷的平衡。
采用
周波过零触发技术，克服了对电网的二次谐波干扰。
二：按住∠mode键3秒以上：ATU=ON。CH1， CH2分别进行自整定。先
在本地控制的模式下进行CH2的自总定，完毕后在远程模式下进行CH1 的自总定。PID参数自总定完成。
A-M手动/自动切换 r-5:RUN/STOP切换
r-L 本地/远程控制选择
三．一边按set键一边按＞mode键：
在每层相应的前面板上，分布有 触摸屏，状态指示灯、报警器、急停开 关和控制开关。
控制部分是我们调节工艺参数的 主要途径。
控制部分
工控机软件功能强大,人机接口界面友好:
⑴有工艺程序集中编辑功能。
⑵有计算机手动调试界面。
⑶工艺运行中,可方便地实现跳步﹑在线编辑﹑修改。
⑷具有程序断点启动功能。
10.932 10.932
10.932
中(偏差6µV）
靠炉口(偏差4µV）
炉门
设备中炉门 对于工艺的影响是比 较的，如果接近炉口 的方阻大量出现偏高， 且片内的方阻出现上 下分层现象，都是炉 门没关紧引起的
加热点（6个）
炉体加热部分
该部分主要配置 有： 炉管 控温热电偶、 超温保护热电偶
（5个）热电偶（外偶的分布位置由5个控温点组成）
4 恒温区长度及精度（动态,即模拟工艺状态）： 350～600℃ ≤±1℃/1100mm
回流炉作业指导书
回流炉作业指导书一、概述回流炉是一种用于加热和燃烧工艺中废气的设备，其主要功能是回收热能并减少污染物的排放。
本作业指导书旨在提供回流炉的操作指导和安全注意事项，以确保作业人员的安全和设备的正常运行。
二、操作指导1. 准备工作在进行回流炉作业之前，作业人员应先进行以下准备工作：- 确保所有操作人员已经接受过相关的培训，并具备操作回流炉所需的技能和知识；- 确保回流炉的供电和燃气系统正常运行，并且各种安全设施完好；- 检查回流炉的热交换器和管道是否清洁，并清除任何堵塞物；- 确保回流炉的控制系统和仪表工作正常，并进行必要的校准。
2. 操作步骤按照以下步骤进行回流炉的操作：- 打开回流炉的主电源，确保电源稳定；- 打开燃气供应阀门，并调节燃气流量到适当的水平；- 打开点火装置，并点火燃烧器，确保燃烧器点火成功；- 监测回流炉的温度和压力，确保它们在安全范围内；- 根据需要调节燃气流量和燃烧器的火焰大小，以达到所需的加热效果；- 定期检查回流炉的运行状态，包括温度、压力、燃气流量等，并进行必要的调整；- 在作业结束时，先关闭燃气供应阀门，然后关闭回流炉的主电源。
三、安全注意事项在进行回流炉作业时，必须遵守以下安全注意事项：1. 穿戴个人防护装备，包括耐高温手套、防护眼镜、防护服等；2. 确保作业区域通风良好，以防止有害气体积聚；3. 注意回流炉的温度和压力，避免触摸热表面或过高压力的部件；4. 不要将易燃物品放置在回流炉附近，以防止火灾；5. 确保回流炉的燃气系统正常运行，避免燃气泄漏；6. 在操作回流炉时，严禁饮酒或服用药物，以免影响判断力和反应能力；7. 在异常情况下，立即停止作业并报告相关人员，不得擅自处理。
四、常见故障处理在回流炉作业过程中，可能会遇到一些常见故障，如燃烧器点火失败、燃气供应中断等。
对于这些故障，作业人员应按照以下步骤进行处理：1. 燃烧器点火失败：- 检查燃气供应是否正常，确保燃气流量充足；- 检查点火装置是否工作正常，如有故障，及时更换或修理；- 清洁燃烧器和点火装置，以确保无堵塞或污染。
扩散标准作业
扩散基本作业
将扩散碎片、返工片放入指定场所，碎片 要按大于1/2和小于1/2分开放，填写好工 序流程卡和生产记录，要注明时间和操作 者，时间一定要准确，以便于以后查询， 将扩散后的硅片放入刻蚀传递窗口，关上 传递窗(扩散后的硅片要禁止堆积过高) 。
测方块电阻作业
将扩散好的硅片从桨上取下放在卸片台 上冷却，待硅片充分冷却后，用石英吸 笔在石英舟上等距离的抽取5片扩散面朝 炉内的硅片。将取出的硅片拿到四探针 测试仪处，打开四探针测试仪的电源 （初次测量时需预热十五分钟）正常生 产时可待机。
扩散基本作业
用带有舟叉套管的舟叉取一石英舟到装 片台上准备插片。在插片前要先检查一 下石英舟是否完好，如有裂痕要及时作 醒目标识并隔离。扩散装片采用双片单 面扩散，即在同一槽内同时插入二片硅 片，边装片边检查硅片绒面状况，有绒 面问题的要及时挑出。
扩散基本作业
将插好硅片的石英舟放至指定地点，等 待空闲的石英管，待桨完全退到外面后， 把装满硅片的舟放到碳化硅浆上，同时放 上石英档板，选择好工艺号，要选择符合 当前所做的硅片的工艺，按确定按钮，开 始运行工艺。
石英管的拆卸
先确认工艺不在运行，确认并关闭所有气 体（O2、小N2、大N2），将源瓶的阀门 旋紧，将碳化硅桨退出冷却，关闭加热电 源，待冷却至100度以下，将石英管、碳 化硅桨、石英门等按顺序卸下，将石英管 放入指定大纸箱，清洗之前要先确认管、 桨、石英门等，是否有裂纹、破损，两人 一人一头将装有石英管的纸箱抬到石英管 清洗机旁，将石英管轻轻放下。
扩散标准作业
扩散间工艺流程 扩散炉开关机作业 扩散基本作业 测方块电阻作业 扩散间换源作业 石英管清洗作业
扩散工艺流程
TCA清洗 → 饱和 → 装片 → 送 片 → 回温 → 扩散 → 关源、退舟 → 方块电阻测量→ 卸片
扩散炉维修手册分解
M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年2月目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定 (3)2.3电气接线编号规定 (3)2.4电气转接端口定义 (3)2.5计算机转接端口定义 (7)3．故障判别与维修 (11)3.1温度控制系统 (11)3.1.1温控仪上显示oooo (11)3.1.2炉子不能升温 (11)3.1.3面板上的超温指示灯亮 (12)3.1.4炉温失控 (12)3.1.5面板上的短路指示灯亮 (13)3.2自动推拉舟系统 (13)3.2.1不能自动进出舟 (13)3.2.2不能自动停舟 (14)3.3气体流量控制系统 (14)3.3.1气动阀不能受控打开 (14)3.3.2触摸屏上无气体流量显示 (14)3.3.3气体流量总是显示最大值 (15)3.3.4气体流量显示值波动大 (15)3.4 H/O合成氧化系统 (16)3.4.1火不能点燃 (16)3.4.2系统误报警 (16)1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型所企业代号（中国电子科技集团公司第48所）特点代号设计顺序号主参数（1100℃）品种代号（扩散设备）形式代号（掺杂设备）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义M 薄膜淀积设备5 掺杂设备1 扩散掺杂设备13 主参数，最高使用温度1300℃1 炉膛有效内径φ150mm，适用于3〞硅片工艺2 炉膛有效内径φ180mm，适用于4〞硅片工艺3 炉膛有效内径φ250mm，适用于6〞硅片工艺4 炉膛有效内径φ300mm，适用于8〞硅片工艺W 微控H 悬臂舟A 内燃式B 外燃式S 双温区2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：2.2元器件编号规定* * * * *0—公共器件，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层 1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * * *001～099 ；其他线号从101～999 。
CETC48扩散工序作业指导书
流至刻蚀：
1. 填写流程卡和汇总表，进行相关登记。 2. 打开通往刻蚀的传递窗，将盛满硅片的花篮以及流程卡放 于传递窗中，等待刻蚀。 版本 日期 A/0 2013-3-19 A/1 2015-10-24 更改内容 增加自动上下料设备
第 7 页 共 8 页
版本
日期
更改内容 制订 签名 日期 审核 批准
1、 头发不得外露； 2、 戴活性炭口罩； 3、 衣领需粘紧； 4、 衣 服 拉 链 拉 到 最上端； 5、 佩戴工作手套； 6、穿专用无尘鞋。
1、 风 淋门 为单向 门 不得同时打开， 风 淋时将门关紧； 2、 进 扩散 车间必 须 风淋 15 秒，严禁 擅自修改时间； 3、工作鞋必须踏在粘 尘垫上粘尘。粘尘 垫须及时更换。
炉口位置
3. 注意舟的放置方向
窄边
第 4 页 共 8 页
CETC48 扩散工序作业指导书
工位名称
工艺运 行
文件编号 版本/版次 型号
DT/TEC W-003 12 A/1 CETC48 扩散炉
运行工艺
工时（秒）
N/A
运行工艺：
是 运行
1. 2. 3.
将石英舟全部放满就可以进行工艺（选择运行工艺文件） ； 系统界面：按“是”进入下一步骤； 在点击运行按钮，即可进入自动工艺；
工装穿戴：
1. 穿好无尘服、无尘鞋，一次性橡胶手套。 2. 禁止不配戴手套或配戴脏污手套接触硅片表面、石英制 品、镊子、承载盒及真空垫板。严禁使用脏污的石英制品、 镊子、承载盒及真空垫板接触硅片。
风淋要求：
风淋要求 1. 进入扩散间必须按照规定吹风淋，严禁不吹风淋直接进入 扩散间。 2. 每天上班前应对车间进行清扫，包括地面、风淋室、传递 窗、插片台、暗房、卸片台等。其中石英吸笔及钢化玻璃 台面要用酒精擦洗。
四十八所扩散作业指导书现场版本_图文.
规范四十八所扩散炉常规维护项目的操作二、适用范围适用于佳诚太阳能有限公司电池车间扩散一到四线工序三、规范性引用文件四十八所扩散炉操作说明书四、职责设备人员:1、检查温控仪表及热电偶是否正常2、检查触摸屏是否偏移,矫正3、检查电气线路按钮开关及指示灯是否正常4、检查插片房风机是否正常5、检查变压器及炉体接线端子是否老化、发黑等现象6、保养完后,确认每台炉管加热、流量正常工艺人员:1、负责协助生产拆装废液瓶夹子2、检查有毒气体管道密封性和老化程度,是否需要更换生产员工:1、检查传动是否平滑,有无震动和异响,加润滑油2、清理净化滤网,必要时更换3、清理废气室及废气管滴下的偏磷酸4、检查恒温水槽不锈钢源瓶座是否有积水,清理5、检查恒温水槽液位是否过低;控温等是否正常6、检查气路是否有漏气现象,更换卡套和四通阀7、检查废液瓶内废液,是否需要清理五、设备主要技术参数 :六、设备介绍与操作1.1总体结构总体结构分为四大部分,见平面安装图 1,从右到左为:控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。
图 1 软着陆扩散炉平面安装图1.2分部件结构1.2.1工控机控制框图见图 2。
图 2在控制柜的底层, 安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路、电路转接控制板及各层的开关、保险等 , 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。
该柜内有 220V 的交流电,也有 15V 、 5V 直流电和控制信号线,检修时请注意区分及安全,谨防接错和短路。
1.2.2推舟净化部分推舟净化柜的顶部装有照明灯;正面是悬臂桨推拉舟机构,推舟水平运动采用步进电机 +减速机 +同步带 +同步带轮的传动机构,推动悬臂桨水平移动;推舟垂直运动采用步进电机 +减速机 +升降机的驱动机构,推动推舟底板整体上下移动。
导轨的两端和上下运动的两端都装有限位开关和极限保护开关。
靠近炉口的净化柜顶部设有漏斗状的抽气罩,与外接抽风系统连接后,用来排掉出舟时散发的大量高温有毒气体。
扩散炉(48所)简介-alan
一、扩散工艺原理 二、四探针原理 三、扩散装置示意图 四、P2O5，Cl2Leabharlann 性质 五、高温氧化/扩散系统的设备简介
扩散的工艺原理
∗ 制造PN结原理：实质上就是想办法使受主杂质(P型)， 在半导体晶体内的一个区域中占优势，而使施主杂 质(N型)在半导体内的另外一个区域中占优势，这样 就在一块完整的半导体晶体中实现了P型和N型半导 体的接触，而此时半导体晶体内部就形成PN结。 ∗ 利用磷原子(N型) 向晶硅片(P型)内部扩散的方法， 改变晶硅片表面层的导电类型，从而形成PN结。这 就是用POCl3液态源扩散法制造P-N结的基本原理。
Chint Solar Confidential
11
高温氧化/扩散系统的设备简介 高温氧化 扩散系统的设备简介
• 气源气路
O2 MFC
小N2 MFC
大N2 MFC
Chint Solar Confidential
12
高温氧化/扩散系统的设备简介 高温氧化 扩散系统的设备简介
• 闭管的炉体尾部气路
尾气液收集瓶 尾气排放管道
气源进气口
炉体尾气管
Chint Solar Confidential
7
高温氧化/扩散系统的设备简介 高温氧化 扩散系统的设备简介
• 控制部分： 控制部分：
位于控制柜的计算机控制系统分布在各个层面，而每个层面的控制系统都是相 对的独立部分，每层控制对应层的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控 制中心。 在每层相应的前面板上， 左侧分布15寸触摸屏，右侧 分布状态指示灯、报警器、 急停开关和控制开关。
Cl2
①颜色\气味\状态：通常情况下为有刺激性气味 黄绿色的气体。 ②密度：比空气密度大，标况时 是ρ=M/V(m)=(71g/mol)/(22.4L/mol)=3.17g/L 。 ③易 液化。熔沸点较低，在101kPa下，熔点-107.1°C， 沸点-34.6°C，降温加压可将氯气液化为液氯，液 氯即Cl2，其与氯气物理性质不同，但化学性质基 本相同。 ④溶解性：可溶于水，且易溶于有机溶 剂，难溶于饱和食盐水。1体积水在常温下可溶解2 体积氯气，形成氯水，密度为3.170g/L。
捷佳创DS-300A扩散炉左手
Shenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd
DS-300A 扩散炉 使用说明书
用户名称：泰州德通电气有限公司
市
捷
佳
伟
深
圳
地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区（南安科技园）A4 栋 电话：0755－81449726 传真：0755－81449925 邮编：518104 Http： E-mail：weichuang@
司 （
技
公
有
限
石英 石英
电 子
PC31.8-15C PC31.8-16A PC31.8-17A PC31.8-19A PC31.8-22C PC31.8-23A PC31.8-27A PC31.8-30A PC31.8-31A PC31.8-46 PC31.8-48A
设
PC31.8-14B
备
GE214 GE214 石英 GE214 石英 石英 石英 石英 石英 石英 石英 石英
司 （
9、电控转接板接线图
电 子
8、PLC 与继电器接线图
设
备
7、PLC I/O 表电控部分转接板线图
有
6、电控转接板接线图
限
公
技
10、炉门电磁阀与检测开关接线图
微
12、温控表接线图
佳
伟
11、驱动器与行程/光电开关接线图
创
14、元器件接地线图
圳
市
13、工控机接线图
捷
DS-300A 扩散炉技术手册
深
服务热线：0755-81449726
DS-300A 扩散炉技术手册
创
微
深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司
多晶电池扩散工序工艺标准
1 范围本标准制定了Tempress/Centrotherm/捷佳创DS-300A扩散炉的扩散参数、加工步骤、过程控制要点以及检测项目等内容。
本标准适用于作为多晶电池扩散工序作业指导书、检验规范编制的依据。
2 引用文件C-IS-008《多晶电池生产各工序工艺技术参数》3 产品或在制品生产环境3.1 环境要求：级别：三千级；温度范围18℃--25℃，湿度:40%--70%.3.2 外围要求：3.2.1 Tempress扩散炉外围要求排风要求：废排压力：≤-20mmH203.2.2 Centrotherm扩散炉外围要求3.2.2.1 排风要求总排风：大于1000m³/h单体：大于1000m³/h气柜废排：大于1000m³/hHousing：大于1000m³/h鼓泡器：大于1000m³/h3.2.2.2冷却水要求进水要求：温度：15℃--25℃，最高27℃，最小流量65L/min，去除悬浮物和颗粒，最大压强8bar绝对值出水要求：比进水至少小4Bar，温度最高40℃3.2.2.3 气体要求压缩空气：无水、无油，压力4Bar—8Bar工艺气体的纯度至少达到99.9999%，半导体级要求氮气压强：400kpa—1000kpa氧气压强：400kpa—1000kpa3.2.3捷佳创扩散炉冷却水：软水，温度：18℃--26℃，水压：4Bar--8Bar工艺气体的纯度至少达到99.9999%，半导体级要求氮气压强：400kPa--1000kPa氧气压强：400kPa--1000kPa3.2.3捷佳创扩散炉冷却水：软水，温度：18℃--26℃，水压：0.2MPa--0.4MPa氮气：0.3MPa--0.6MPa压缩空气:0.4MPa--0.6MPa废气排气口: 大于250㎡/h排气口：大于300㎡/h4 安全防护措施着装要求：戴手套、口罩，穿净化服。
5 工艺准备及易耗品Centrotherm扩散炉及机械手、tempress扩散炉、捷佳创扩散炉、方块电阻测试仪、石英舟、防热手套、橡胶手套、口罩、少子寿命测试仪、R2D机械手。
扩散工艺规范
扩散工艺规范篇一：扩散设备工艺处理规范(学习)1．目的规范扩散工艺人员处理问题的标准和方法，确保工艺控制的统一管理。
2．适用范围适用于扩散工艺人员。
3．职责本工艺规范由电池事业部工艺人员制定修改并执行。
4. 方块电阻监控4.1单晶及多晶方块电阻—-返工控制范围定义此控制范围仅作为产品是否返工的标准。
4.2单晶及多晶方块电阻—-工艺控制范围定义工艺人员以此控制范围为依据，对各生产线方块电阻进行调控。
5.扩散工序各种返工处理要求5.1扩散方块电阻偏大、偏小、片内不均匀的返工工艺人员应对方块电阻偏大、偏小、片内不均匀的炉管进行原因分析，问题处理以后,应第一时间通知扩散当班工序长，恢复相应炉管的使用。
5.1.1单晶方块电阻偏大、偏小、片内不均匀（1）单晶方块电阻的单片平均值＞48Ω/sq或者单点＞50Ω/sq），将偏大的硅片挑出，经二次清洗后，再按照返工工艺程序进行加扩。
对于片内偏差＞10Ω/sq的，工艺人员应结合制绒工序对重量的要求，考虑是否返工，返工步骤：扩散后硅片经二次清洗后，在按照正常工艺从一次清洗开始。
（2）单晶方块电阻的单片平均值＜42Ω/sq或者单点＜40Ω/sq），工艺人员确认以后，将材料放行，按照正常工艺生产。
如果方块电阻明显偏小（单片平均值＜35Ω/sq），工艺人员应结合制绒工序对重量的要求，考虑是否返工。
返工步骤：扩散后硅片经二次清洗后，在按照正常工艺从一次清洗开始。
5.1.2多晶方块电阻偏大、偏小、片内不均匀（1）多晶方块电阻的单片平均值＞57Ω/sq或者单点＞60Ω/sq），将偏大的硅片，再按照返工工艺程序进行加扩。
倘若存在以下状况，硅片应从一次清洗开始返工：（a）生产未按照文件操作，已经卸片（b）硅片受到其它污染（c）片内偏差＞12Ω/sq 。
（2）多晶方块电阻的单片平均值＜51Ω/sq或者单点＜48Ω/sq），返工步骤：扩散后硅片应从一次清洗开始返工。
5.2扩散返工工艺规定5.2.1此返工工艺仅限扩散方块电阻偏大的内部返工处理。
扩散炉操作规则扩散炉操作规则
20. 在温区-SV“数据录入” 界面上点击“炉体保 温”，再点击“确定”按 钮，完成温度600℃设定 。
开机操作（十一）
21.按下各管操作面板的“加热开”
12
按钮，“加热开”的指示灯亮， 开始升温。
注意
单台扩散只能两 管同时加热！
开机操作（十二）
22.将气柜内恒温水槽的黑色
13
开关由“切”拨为“入”， 启动恒温水槽。
关机操作（四）
7. 按下各管操作面板
的“加热关”按钮， “加热关”的指示 灯亮，开始降温。
8 关闭源瓶阀门，依 次松开进、出气口 的螺母，拔出进出 气管，并分组包扎 捆好。
关机操作（五）
9. 将内恒温水槽的黑色 开关由“入”拨为 “切”，关闭恒温水槽。
10.在“状态设置”界面点击“退 出”按钮，弹出“操作提示” 界面。
M511-4W/UM闭管扩散炉 开机、关机培训
2009.06.10
开机操作（一）
1. 打开墙壁面板上压缩空气相
2
应的手动阀，并调节相应的 调压阀使其压力为： 0.7±0.1MPa。
2. 打开墙壁面板上氮气相应的 手动阀，并调节相应的调压 阀使其压力为0.4±0.1MPa。
开机操作（二）
3. 打开墙壁面板上氧气相应的 手动阀，并调节相应的调压 阀使其压力为0.4±0.1MPa。
23.检查并设定温度20℃，按
下“启动”按 钮，启动 恒温水槽 。
24.设备炉温升值设定值，待
生产。
二：关机操作
关机操作（一）
1. 检查并确定各管 工艺已运行结束。
2. 在状态界面上点 击“推舟速度”显 示框，弹出“数据 录入”界面。
关机操作（二）
3. 在“数据录入”界
扩散炉维修手册(M5111-4W、UM系列高温扩散、氧化系统).
中国电子科技集团公司第四十八研究所M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年6月中国电子科技集团公司第四十八研究所目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定······················2.3电气接线编号规定····················2.4电气转接端口定义····················2.5计算机转接端口定义···················3．故障判别与维修······················3.1温度控制系统·······················3.1.1温控仪上显示oooo····················3.1.2炉子不能升温······················3.1.3面板上的超温指示灯亮··················3.1.4炉温失控························3.1.5面板上的短路指示灯亮··················3.2自动推拉舟系统······················3.2.1不能自动进出舟·····················3.2.2不能自动停舟······················3.3气体流量控制系统····················3.3.1气动阀不能受控打开···················3.3.2触摸屏上无气体流量显示·················3.3.3气体流量总是显示最大值·················3.3.4气体流量显示值波动大··················3.4 H/O合成氧化系统····················3.4.1火不能点燃·······················3.4.2系统误报警·······················I （3）（3）（3）（7）（11）（11）（11）（11）（12）（12）（13）（13）（13）（14）（14）（14）（14）（15）（15）（16）（16）（16）中国电子科技集团公司第四十八研究所1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型 48所）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义1300℃3〞硅片工艺4〞硅片工艺6〞硅片工艺8〞硅片工艺1中国电子科技集团公司第四十八研究所2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：代号ABCEFGHJKLMNPQRSTUVWXYZ 代号意义计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关电容加热器、扩散泵、照明灯熔断器开关电源、直流电源指示灯、报警器温控仪固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机零线质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件断路器、空气开关电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关变压器、调压器、电压互感器、电流互感器旋转编码器、变频器、整流器晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管导线、电缆接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座（头可采用XP、座可采用XS）电磁阀、电磁离合器、气动阀滤波器2中国电子科技集团公司第四十八研究所2.2元器件编号规定* * * * *如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * **连接线序号，零线号从001～099 ；其他线号从101～999 。
四十八所扩散炉教程
18
2.方块电阻的异常.
方块电阻的异常在扩散间异常中是占很大比例,方块电阻的异常的种类、可
能的原因及解决措施如下: (1)整舟方块电阻高 可能的原因：1.大氮保护开着。2.四探针测试仪没有调整好（如电流）或 故障3. 源量过少.4.扩散温度低. 解决方法：1.关闭大氮保护.2.按要求调整或让相关人员维修3. 让员工经常 检查源瓶，按要求更换源瓶.4.调整扩散温度. (2)整舟方块电阻低 可能的原因：1.换源后没有及时降低温度.2. .四探针测试仪没有调整好.3. 工艺运行完该出舟时，因其他原因没有退舟，导致扩散后的片子长时间处 在高温的管子里.4.恒温箱缺水或各种故障导致的温度升高.5. 误用方块电阻 低的工艺号.6.二次扩散.7.扩散温度高. 解决方法：1. 换源后按要求调整温度.2. 按要求调整并定时确认.3.员工应 经常关注各个扩散管的运行状态，及时发现问题.4.添水或通知设备维修.5. 让员工按流程卡上标注的工艺运行.6. 属于员工误操作.返工.7.调整扩散温 度.
按照每立方米（或每升）空气中，大于等于0.5μm的尘粒数量来划分
8
人员方面 1.扩散间员工出扩散间必须穿鞋套.其他岗位、部门员工
进入扩散间必须按要求穿洁净服、戴鞋套 2.进入扩散间时要风淋30s 3.严禁同时打开传递窗及风淋门;传递窗的两边不能同时 打开 4.员工工作服穿着整洁,头发严禁露在衣服外面 5.清洗间小车禁止推入扩散间使用 6.袖子不能高挽
可能的原因：1.进舟时间设定短.2.限位开关故障.3. 丝杠故障. 处理措施： 1.设定合适的进舟时间.2.3.通知设备人 员维修.
24
6.有关三氯氧磷方面的异常：
(1).有三氯氧磷的气味.(冒烟)
可能的原因：1.炉门密封不严. 2.气路部分连接不紧密.3.抽风小. 4.当有扩散管运行 到通扩散小氮时，其他管出舟，造成抽风相对小.5.石英炉门有缺口.6.源瓶的阀门装反 并且没有检查出来.导致三氯氧磷以液态进入石英管内. 处理措施： 1.通知设备人员调整.2.安装源瓶及四通等气路时要确保连接紧密.3.通知设 施人员处理.4.合理安排进出舟时间.5.通知设备人员更换后运行清洗工艺.6.换源时按要 求认真操作.
48所扩散炉及刻蚀机参数
M5111-4WL/UM型高温扩散/氧化系统主要技术指标及使用条件设备主要由电控柜1个、净化操作台1个、加热炉柜1个及气源柜1个四部分组成。
1.主要技术指标1.1 炉膛有效内径φ350mm（适应石英管内径φ320mm）；1.2 温度控制范围：400~1100℃；1.3恒温区长度及精度：≤±1℃/1080mm （801～1100℃）≤±1.5℃/1080mm （400～800℃）；1.4 单点温度稳定性：≤±1℃ /4h （880℃时）；1.5 温度斜变能力:最大升温速率: 15℃/min最大降温速率: 5℃/ min ；1.6具有自动斜率升降温及恒温功能；1.7内置Profile TC 实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度；1.8尾气收集方式：尾部集中收集，定向排放；1.9 具有超温、断偶、短路、断气等报警和保护功能；1.10 净化工作台净化级别：1000级（环境10000级）；1.11 送片方式：采用SiC悬臂桨自动送片机构，速度20～500mm/min.连续可调；定位精度:≤±2mm，SiC桨最大载片承重 14Kg；1.12 工艺过程由工控计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作；1.13 可存储100条工艺曲线、每条曲线不少于30个拐点；1.14 设备总功率: ≤150KVA（3管）；1.15 炉管温控系统采用五段控温。
2.使用环境要求：2.1电力供应：三相五线供电， 380VAC、50Hz,电压波动不大于±10%，频率波动不大于±1%，谐波误差小于5%2.2气源供应：供应气压0.4～0.8Mpa,压缩空气：压力0.4～0.6Mpa,用于气动阀门的的开启，设备预留3/8”接口。
2.3水源供应：去离子冷却水或软化水，水温：18℃～25℃，水压0.1～0.2Mpa ，设备预留4分内丝接口。
2.4 排废：气源柜、炉体柜、废气室及净化操作台顶部均要求有密封负压，抽气管与设备相连，总抽气流量≥6000L/；另尾气排放管道单独设立管径φ60mm，排气口压力不小于-450Pa.2.5 使用环境：环境要求优于10000级，5～40℃，相对湿度小于60%。
2.捷佳伟创扩散工序操作作业指导书
文件修订记录目录目的………………………………………………范围………………………………………………定义………………………………………………规范性引用文件…………………………………职责………………………………………………内容………………………………………………一、目的制定标准的扩散工序操作规程，规范电池片生产中的各项操作。
二、范围用于电池片生产车间内扩散工序的作业指导。
三、定义洁净室：是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动以及生产出合格产品的空间。
方块电阻不均匀度：=(R D max-R D min )/(2R D avg)*100% 四、规范性引用文件无 五、职责5 .技1术部负责生产工艺运行的正常性、稳定性并对产线进行检查、监督。
5.2 设备部负责设备开关机、故障分析、设备维护及检修。
5.3 制造部负责规范所有操作人员的操作方法，必须严格按照本文件进行操作。
六、内容6 .扩1散工艺卫生规定，见4-页7。
6.2 扩散工序操作作业指导书，见8-1页2。
6.3 四探针方阻测试作业指导书，见13页。
6.扩4散源瓶更换操作作业指导书，见14-页1。
6 6.5 石英器件清洗操作作业指导书，见17-页2。
0 6.附6件6.6. .探1针电阻率测试作业指导书，见21页。
6.7. 扩2散源瓶更换记录表，见22页。
6.8. 石3英器件清洗记录表，见23页。
扩散车间工艺卫生规定1. 环境要求1.1 洁净度需控制在1万级内，扩散间与通道压差不得小于10帕，与非区压差不得小于5帕。
1.2 温湿度：温度25±5℃,湿度W 50%.1.3 车间物料、设备和人员进入扩散间必须经过扩散风淋门进行风淋才能进入扩散间。
大型物品（石英管、石英配件、设备配件）在设备维护期间可通过常闭门进出扩散间。
1.4 扩散间为封闭式洁净空间，与清洗车间之间的传递窗仅允许运载小车通过且严禁对开，以保持扩散间的封闭状态。
2. 人员要求2.1除当班操作人员外,非当班工作人员不得随便进出扩散间。
七星扩散炉换源操作标准
一、目的建立正确操作扩散工段更换磷源的规范，以保证扩散的质量及保护机器和人身安全。
二、范围适用于电池生产线扩散工段更换磷源操作步骤和要求。
三、职责3.1工艺技术人员3.1.1负责扩散设备工序生产工艺运行的正常性、稳定性。
3.1.2负责部门内工艺运行原始资料的累积、保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。
3.1.3负责应对扩散设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。
3.2设备技术人员3.2.1负责扩散设备开关机、故障分析、设备维护及检修。
3.2.2如有工艺需求，积极配合工艺人员调整设备硬件设置。
3.2.3 负责部门内设备运行原始资料的累积，保管，随时检查设备运行状态，并记录异常，积极跟踪异常情况，处理设备故障.3.3生产人员3.3.1负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保操作安全、人身安全。
3.3.2细心总结操作经验，发现新问题或改善建议，及时向工艺技术员汇报。
3.3.3配合、协助设备的日常维护工作。
四、七星扩散炉换源操作标准检查新源瓶：1、对源瓶包装箱的外表面进行彻底打扫，保证不会对车间洁净度形成太大影响。
（图1）2、打开源箱去掉源瓶上方的保护垫，再将源瓶带外部透明塑料包装轻轻从箱中拿出，放在平稳的地方检查包装内是否有液滴。
（图2）3、拆开外包装塑料袋，左手托住源瓶底部右手轻握源瓶上部，观察源瓶的外表看瓶身是否有外观缺陷、源瓶的进出气管有无接错。
（图3）4、用PH试纸对源瓶所有的接口和接头螺母、开关阀门进行检测，看是否存在蒸汽泄漏现象。
（图4）图1 图2图3 图4换源：1、源瓶再次复检一遍。
2、旧源的拆卸：按照顺时针方向，先关闭源瓶进气口阀门，再关闭出气口阀门，拆下源瓶与导气管各个进出气口的接头。
两个气管接头暂时用PVC手套包住，防止接头污染。
打开源温控制器，先将插在源瓶内的热偶拔出，再将源瓶从源温控制器内慢慢的取出，放入原来新源包装袋中装入箱子（图5、6）图5 图63、一手握住源瓶接头部分，一手托住源瓶底部，将瓶移至恒温槽，瓶底暂时放在槽上用腾出的手握住瓶另一接头部分，将源瓶慢慢放入槽内；将源瓶进出气阀门与炉子导气管阀门对应连接起来，导气管细管与源瓶进气管连接，导气管粗管与源瓶出气管对应连接。
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工位名称
扩散换源
工时
N/A
型号
一.目的 为了规范换源过程，以达到安全生产的要求，特制定本作业指导书。
二.范围 适用于扩散间48所/捷佳伟创扩散炉换源过程。
图片示范
序号 作业步骤
作业要点
防毒
捷佳创扩散炉 异常处理
防化服
耐酸碱
1
防护准备
穿好防化服、防化靴，带好防毒面具、耐酸碱 工装若有破损，则更换新
3
开箱 位是否有裂纹，阀门是否有松动等异常现象，
第 1与页源瓶，搬共运 4 确页认无异常后方能进行源瓶转运。
常情况，应依照《扩散间源 瓶事故处理作业规范》进行
4.将源瓶转运至扩散间指定位置，换源结束后 处理。
1
3
5 工位名称
1
手提 包装袋
手托 瓶底
先关
进气阀
2
后关 出气阀
先撤 4
进气管
后撤 出气管
2.进出气导气软管安装:
先安装出气导管，再安装进气导管。
操作时，一只手扶住进出气口阀门，另一只手
4
拧下该阀门螺帽，确认导气软管内没有水和其
他污染物，将螺帽套入导气软管，导气软管缓
慢插入阀门进出口后，拧紧螺帽。
注意：导气软管插入源瓶阀门时，一定要缓慢
5
源瓶 装入设备
均匀用力，严禁用力过大，以防止将石英气管 折断。 3.导气软管安装效果的确认:
进出气
6
移出 旧源瓶
扩散换源 图片示范
双手捏住玻璃 气管根部
源瓶转移
勿对玻璃气管有 扳压力量
剪开捷内包佳创扩散炉换源作3.检业查确指认源导瓶是书否完好，是否有渗漏出现，
装袋再次
源瓶瓶体是否有裂纹，玻璃直管与瓶体连接部
检查源瓶
3
开箱 位是否有裂纹，阀门是否有松动等异常现象， 与源瓶搬运 确认无异常后方能进行源瓶转运。
操作时必须一只手扶住阀门，另一只手顺时针 源瓶散发出刺激性气味或发
关闭该阀门的旋钮。确认进出气阀门为完全关 现源瓶阀门接口处有冒烟、
闭状态后，方可撤出导气管。
断裂等异常状况，应依照
3.撤出进出气导气软管:
《扩散间源瓶事故处理作业
先撤出进气导管，再撤出出气导管。
规范》进行处理。
确认进出气阀门完全关闭后，一只手捏住进 2.检查进出气导气软管内，
手套。
工装。
防化靴
托住瓶底
拇指和食指捏紧 进出气口阀门
中指和无名指夹紧 进出气玻璃管根部
1
打开包 2
装盒取
出海绵
版本 3
首检
日期
更改内容
图片示范
版本
手提 4
包装袋
剪开内包 装袋再次 检查源瓶
2
3液位检查记录表》。
2.检查源瓶液位时，应确认没有运行工艺。一 检查源瓶液位时，若发现
源瓶转运过程中，如遇异 常情况，应依照《扩散间源 瓶事故处理作业规范》进行 处理。
4
第 4 页，共 4 页
阻大小是否正常。
1.首管运行时，扩散设备若 出现报警等异常,则立即停 止当前工艺,并通知设备人 员处理；禁止不通知设备或 工艺人员的情况下,私自消 除报警。 2.跟踪首管方块电阻变化情 况，如有异常，及时通知工 艺人员处理。
2
8
旧源瓶 退回仓库
将更换后的旧源瓶，使用小推车交给物料人 员及时退回仓库。转运过程中，小推车应缓慢 推行，避免颠簸。
2.源瓶转运过程中，如遇异 常情况，应依照《扩散间源 瓶事故处理作业规范》进行
4.将源瓶转运至扩散间指定位置，换源结束后 处理。
将旧源瓶立即退回仓库。转运过程中，小推车
应缓慢推行，避免颠簸，禁止改变路线或中途
1逗.留确。认待换源炉管没有运行工艺。
2.关闭阀门:先关进气阀门，再关出气阀门。 1.源瓶撤出设备时，若发现
只手托住源瓶底部，另一只手捏住进出气管的 源瓶散发出刺激性气味或发
观察源瓶液 根部，将源瓶垂直向上，缓慢提出恒温槽。观 现源瓶阀门接口处有冒烟、
位，确认待换 察液面与进气管（瓶内长管）口的距离是否小 断裂等异常状况，应依照
源炉管
于2cm，若小于2cm则需更换新源。
EHS制订之《扩散间源瓶事
3.换源过程中，必须由两人（监管人和操作 故处理作业规范》具体事项
严禁用力 过大
后接 出气管
先开出 气阀门
后开进 气阀门
扩散换源 图片示范
气体流 量设置
鼓泡
1
填写换 液记录
1.从源瓶小推车内取出新源瓶:
双手捏住新源瓶进出气管根部，保证源瓶的
垂直状态，缓慢从小推车源瓶放置槽内取出，
正放（瓶底朝下，阀门朝上）于恒温槽内。
捷佳创扩散炉换源作业指导书 （注意：将源瓶垂直提出源瓶放置槽时，不能 对进出气管有内外扳压的力量。）
有裂纹或泄漏等异常现象， 则应依照《扩散间源瓶事故 处理作业规范》进行处理。
快用另一只手托住瓶底，缓慢从箱内取出,轻轻
放置于平整的防滑桌面上，用剪刀剪开内包装
袋。
更改内容
作业步骤
作业要点
异常处理
3.检查确认源瓶是否完好，是否有渗漏出现，
源瓶瓶体是否有裂纹，玻璃直管与瓶体连接部 2.源瓶转运过程中，如遇异
液记录
修改 温度
旧瓶 入箱
盖上 海绵
1
盖好 包装袋
整箱
3 入库
捷佳创扩散炉换源作业指导书
1.鼓泡实验成功后，填写《扩散间源瓶换液记
7
填写换液记录 并跟踪首管设
备运行状态
录》（3-32-M-J-COMM-014-01）；并通知工艺 人员适当调整扩散工艺温度。 2.跟踪确认新源更换后，首管的设备运行状态 是否良好,源瓶和恒温槽是否正常工作,方块电
操作时必须一只手扶住阀门，另一只手逆时针
开启该阀门的旋钮。确认出进气阀门为完全开
启状态后，方可启动使用。
1.安装进出气导气管时，若 导气软管口径小于阀门口 径，则需更换新源瓶或通知 设备部门人员更换新导气软 管。 2.换源时，恒温槽水位不得 淹没到阀门位置；安装进出 气导管时，应再次检查PF软 管是否干燥无异物，确认洁 净后方可进行安装。 3.单向阀若装反或软管一端 与炉管连接端松动，则停止 换源并通知设备人员处理。 4.源瓶装入设备时，若发现 设备出现报警等异常状况， 则应立即中止工艺,并及时 通知设备人员处理,禁止不 通知设备或工艺人员的情况 下,私自消除报警。 5.换源时,源瓶散发出刺激 性气味或发现源瓶阀门接口 处有冒烟、气泡、断裂等异 常现象，立即取出源瓶，具 体应依照《扩散间源瓶事故
6
确认螺帽拧紧后，用一只手扶住阀门，另一 只手轻轻拔动该阀门连接的进出气导管。若可
以拔动，则说明导气管安装不合格，需重新安
装。
4.阀门开启:
开启阀门前，应检查单向阀是否装反，软管
一端与炉管连接端有无松动，设备有无报警等
8
异常，确定无异常后方可开启阀门。 开启阀门时，应先开启出气阀门，再开启进气
阀门。
处理作业规范》进行处理。
工时 序号
86 2
N/A 作业步骤
鼓泡实验
型号 作业要点
48所/捷佳伟创扩散炉 异常处理
再次确认，进出气导管安装正确，阀门完 全开启，源瓶装入设备中无异常后，做源瓶鼓 泡实验。 1.设置大N流量为25000sccm。 2.设置干氧流量为2000sccm。 3.设置小N流量为500sccm。 4.观察源瓶内是否有均匀的鼓泡现象。
员）在现场，换源后由监管人和操作员共同检 进行处理。
查换源是否合格，并填写《扩散间源瓶换液记
录》；监管人必须具备可熟练换源的能力。
换源过程中，由监管人进行全程监管确认，
并填写《扩散间三氯氧磷换源操作检查表》。
1.开箱后取出包装箱内海绵，首先检查源瓶是 1.开箱检查时，若发现源瓶
开箱 与源瓶搬运
否散发出刺激性气味，内包装袋是否有发黑、 发黄，标签是否有被腐蚀等泄漏现象。 2.确认源瓶无异常后，一只手提内包装袋，尽
垂直状态，缓慢从小推车源瓶放置槽内取出，
1.安装进出气导气管时，若 导气软管口径小于阀门口
正放（瓶底朝下，阀门朝上）于恒温槽内。 径，则需更换新源瓶或通知
（注意：将源瓶垂直提出源瓶放置槽时，不能 设备部门人员更换新导气软
对进出气管有内外扳压的力量。）
管。
2.进出气导气软管安装: 先安装出气导管，再安装进气导管。
5.撤出源瓶:
将装好进出气口阀门螺帽的源瓶，一只手托
住源瓶底部，另一只手捏住石英气管的根部，
将源瓶垂直向上缓慢提出恒温槽。将回收源瓶
装入塑料袋内，并轻轻放入转运小推车内的源
瓶放置槽，保持正放，即瓶底朝下，阀门朝上
。
工时
N/A
序号 作业步骤
型号 作业要点
48所/捷佳伟创扩散炉 异常处理
2
1.从源瓶小推车内取出新源瓶: 双手捏住新源瓶进出气管根部，保证源瓶的
第
填写换液记录
并3 跟页踪，首共管设4
备运行状态
录》（3-32-M-J-COMM-014-01）；并通知工艺
人2页.员跟适踪当确调认整新扩源散更工换艺后温，度首。管的设备运行状态
是否良好,源瓶和恒温槽是否正常工作,方块电
出现报警等异常,则立即停 止当前工艺,并通知设备人 员处理；禁止不通知设备或 工艺人员的情况下,私自消 除报警。
出气口阀门，另一手拧开阀门进出气口阀门螺 有无水或其他污染物，若发
帽，撤出导管，再将螺帽装回该阀门上。撤出 现导气软管内有异物，则需
4
源瓶
源瓶的导气管端口严禁接触水或污染物。
撤出设备 4.对接进出气导管:
通知设备部人员更换新的进 出气导气软管。