热蒸发镀膜步骤

1.冷却水箱；抽湿机；空调等外部设备。

2.打开真空镀膜机的电源开关。

3.查看各个工作部件是否都处于正常

工作状态，机械泵阀门、分子泵阀

门、和手动阀门是否都处于关闭状态（特别注意各个阀门是否关紧）。

4.填装材料

∙打开手动阀门，向真空室内放气，当真空室内气压和外界达到平衡时，按下顶板“上升”开关，升起顶板。

∙填装材料（注意填装的部位，保持真空室的干净）

∙按下顶板“下降”开关，使顶板下降，（注意顶板与真空室接触要保持良好状态，防止漏气）

∙关闭手动阀门

5.打开机械泵电源开关，接着缓慢打

开机械泵阀门（此时会出现声音缓慢升高后在降低）接着按下“电磁阀”

开关打开电磁阀。

6.待机械泵工作4~5分钟左右（估计真空室内的压强低于10Pa)打开真空计开关，监控真空室内的压强。

7.等到真空计仪表上显示真空室内的压强低于5Pa时，关闭机械泵阀门，按下分子泵“运行”开关，运行分子泵。

8.当分子泵转速稳定（达到27000转）后，打开分子泵阀门，分子泵进行抽真空。

9.当分子泵抽到一定的真空度时（一

般是在左右）打开蒸发电源开始镀膜。

10.根据装料的不同区间，选择不同

的蒸发电流开关。特别注意两个电流

控制开关的先后顺序.缓慢增加电

流。

11.镀膜完成后，按打开电流电源相

反的次序依次关闭电流开关，在关闭

蒸发电源。关闭分子泵阀门，按下分

子泵“停止”按钮。

12.待分子泵停止（27000转变成待

命）在此按下“电磁阀”按钮，关闭

电磁阀；关闭机械泵，等待一段时间冷却真空室内的温度。

13.打开手动阀门，放气。

14.待真空室气压与大气压平衡后，升起顶板.取出材料。（不能用手拿）

15.镀膜完成后，在此使真空室保持一定的真空度。后关闭总开关。关闭水箱冷却系统。关闭空调，关好门窗。

有什么不对的地方还请龙老师指教！

此致！谢绵钰

2011.11.15