烧结炉Despatch中文手册

4.8.2Working with the Alarm History Screen

点击Alarm History 就会出现下面的图. 显示所有的报警,点击 RESET就可以清除所有 的报警
4.8.3Working with the Data Graph Screen工作曲线
Attribute Trace List图象
17
16
15
14
13
12
11
10
4.1CDF Infrared Drying/Firing Screen桌
面各菜单的含义

1 .System Status :Displays current state of heaters, conveyor and utilities or other system functions.(显示目前的加热,传送和功效的状态) 2. ENABLE/DISABLE:Switches Turn separate systems ON (ENABLE) or OFF (加热和传送还有功效可以单独控制) 3 EXIT :Press to exit CDF System Operation. Figure 15 shows Exit dialog screen.(退出当前的操作系统) 4 User Information :Displays date and time, User ID and security level of use.(显示时间日期和用户的级别) 5 Light Tower:Status(灯的显示状态) Green, yellow, or red light turns ON or OFF corresponding to light tower status: • Red—Alarm condition • Yellow—System requires operator assistance • Green—System ready or running
4.6管理工艺菜单
加载 浏览
删除 恢复
4.7Changing Parameters修改参数

在修改参数后一般要做以下操作: SAVE:保存 RESTORE:恢复 EXIT:退出
4.8Fault Recovery错误恢复

点击桌面的14(ALARM STATUS),警报按键进入报警查看菜单.

1.确保冷却水报警的错误 2. 确保I/O 界面 Cooling Water Enable is是 开的 此按键是激活的,显绿色 3.确信冷却水的提供是有的, 并且进水是开的. 4.确信过滤器是开的,并且不是堵的. 5.确保过滤器旁的电磁阀是好的.
5.2There Is No Heat In A Drier Or Furnace Oven烘感干区或者烧结区不能

点击该报警菜单上的(ACK DISPLAYED ALARMS) 改正报警引起的条件(做修改)

退出报警对会框 按运行键或者有效键重新开始运行.
4.8.1Working with the Event History Screen
Event HistoryACK DISPLAYED ALARMS)
Trace Selection Lists痕
Enable-Disable Check Box
Plot Selection List在痕迹选择盒里选择痕迹 Scale Dialog每条曲线的规模程度
设置15小时数据保存的大小排列 每10秒更新一次 12小时后自动保存 调整对话框里参数的设置
当清理文件时将出现此对话框
加热



1.确信错误的报警信息,并采取纠正方法. 2.在模拟输入信号中查看加热管的状态,看是不 是在工作.绿色的说明是好的. 3.检查相关线路的保险丝是不是好的. 4.检查有没有输出电压 .可更换可控硅. 5.如果没有电压的输出,请换烧结炉的软件或者 重启. 6.如果没功率的输出,检查是不是线路出了问题.



10. SETUP: Press to access set up screen and change or create userprivileges.Available only when logged in as a supervisor.(管理者可以进入的窗口) 11. LOG OUT :Press to log current user in or out.(登 录者调离当前用户) 12. CALIBRATION: Display Analog Input-Output Calibration screen.(校对当前的输出和输入) 13 .PID: Display PID Loop Tuning and Control screen.显示PID的控制
理

在I/O控制屏幕上点击BELT CLEANING,就会出现下 面的对话框 清洗的步骤:1.时间的填写(清洗时间和进水/排水时间 的填写) 2.带速的填写 3.点击开始清理
5.1A Cooling Water Loop Does Not Have Water Flow冷却水循环没有冷却水
流出
4.2两种控制方式
Optional Icon A Power Control Mode(可控硅功率控制)
Optional Icon B Indicates PID Loop Temperature Control Mode(PID闭环温度控制)
4.3Status Display状态显示
Column shows Alarm State Status(报警的状 态) Column shows Column shows System Column shows Online or Offline Stabilizing or Stable Ready or Not Ready Status(联机状态) Status(稳定性状态) Status(显示系统有没有准 备好)


14. ALARM STATUS: Display alarm status screen.(显示报警的状态) 15 .SYSTEM PARAMETERS:Press to display systems parameter screen and set those variables that remain constant in all recipes.(系统参数) 16 THROUGHPUT CALCULATOR:Calculate wafer throughput capacity (refer to Section(硅片计算器) 17 I/O ACCESS: Press to display the I/O Access screen, which provides irect access to the I/O control modules.(输入和输出控制)
4.8.4Working with the Runtime Statistics Screen运行时间段的数据


• Click RESET to clear all values and reset them to zero.(清除以前保存的数据) • Click EXIT to close and return to the main screen.退出这个对话框


18 .Recipe Directory :List of currently available recipes.(列出 了可以直接调用的程序) 19. MONITOR/RECIPE Tab:Identifies section screen the user is working on: eitherworking with a recipe or monitoring the current system.(当前的菜单工作还是监视状态) 20. Dryer & Furnace Temperatures:Compare current actual temperatures (in Celsius),setpoint temperatures and calculates PID CV (current actual value compared to set point value as a percentage for each recipe process parameter).(当前的温度显 示)(控制热区的模式使用的PID闭环温度控制或固定可控硅电源 控制（图14 ） 。)
停止自动运行 : 同样的一个RUN按钮可以停止自动过程。点 STOP按钮会启动终止程序，这样加热器开始 冷却。 当加热器失效，加热区温度开始下降而其他功 能键换是灰色。一旦温度达到200℃，加热器 显示失效并且运输停止，并立刻导致功能键就 失效。
4.操作界面
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4.4Create Recipes创建新的温度工艺菜单
Change setpoints with up/down arrow 温度通过上下键来
Rename recipe before saving changes在修改后保 存之前要先命名
4.5警报的控制范围的设定

前面的图是指高于5度或低于5度时会有黄色的 预警信号,高于10度或低于10度时会有红色的 报警信号.
Despatch烧结炉
1.外观图
2.结构简图
烧结炉所在的位置
3. Despatch 烧结炉开关机操作规程(手动 操作模式)
3.1开机 ： 打开炉子的facilities电源 确保facilities的排放系统已运行 打开压缩空气供应，确保达到0.75MPa 打开冷却水供应，确保达到0.4MPa 启动电脑 选择运行程序并上载 依次启动utilities 、conveyor、heater按钮 如果有必要，通过流量表调节气体流量 如果有必要，调节冷却水流量 等到系统显示 ready ，开始装载硅片
6 .RECIPE IN USE :Current recipe used by system.(目前用的菜单系统) 7 Data Logging: Press to monitor process profiles by choosing data to track.(历史的数据和图象) 8 CHILLED WATER/TEMPERATURE/SUPPLY/RETURN Current supply and return temperatures (Celsius).(冷却 水的进出水温度) 9 EXHAUST/ PRESSURE Current exhaust pressure in mm H2O(目前的水压)
4.8.5Working with the I/O Access Screen
电压的输入和输出和热电偶的输入等
4.8.6Working with the PID Loop Tuning and Control Screen
5. Belt Cleaning with the Ultrasonic Cleaning System (Optional)传送带的清
3.2关机





关闭加热器heater ，冷却炉带到200℃ 停止炉带conveyor 当炉带速度小于10ipm(1英寸=2.536CM)，关 闭utilities 关闭电脑 关闭炉体气体供应 关闭炉体水供应 关闭主电源
3.3烧结炉开关机操作规程(自动操作模式)
自动运行: 当注册人员在操作时，系统在导入程序后提供 一个自动按钮。 点击RUN按钮会启动自动循环系统，这样进 入运行， 然后在运输系统达到设定的工作点 并稳定工作时，加热器开始工作。当加热状态 准备好时，说明加热器到达理想的工作点。
Alarm History

点击 Event History 后显示所有的报警 可以通过拨Show All Events和Show Alarm Events Only之间 的按键来选择所有显示和重要的报警显示
Toggle to Show All Events or Show Alarm Events Only,显示重要的报警