烧结炉Despatch中文手册
despatch烧结炉中文版说明书
红外烧结炉操作手册目录表1 关于这个手册1.1 手册的构成1.2 协议2 系统概况2.1 介绍2.2 系统容量2.3 系统组件2.3.1 硬件2.3.2 软件3软件描述3.1 进入3.2 主屏控制和说明3.2.1 炉状态3.2.2 程序控制3.2.3 数据标记3.2.4 温度压力监控3.2.5 菜单按钮3.2.6 灯功率3.3定义和修改程序3.3.1 创建3.3.2 修改3.4导入程序4附加功能4.1 I/O接口4.1.1 数据库控制4.1.2 网络4.1.3 超声清洗4.1.4 进入线程4.2 远程进入4.2.1 控制和指令描述 4.2.2 远程操作4.3 系统参数4.4 烘箱4.5 警报处理4.5.1 警报历史4.5.2 历史记录4.6 PID 控制4.7 校准4.8 数据显示5 附加功能5.1 监控失败5.2 UPS 操作5.2.1 UPS备份功率信号响应5.2.2 UPS电池低信号响应5.3 超声清洗5.3.1 组件5.3.2 UCS 操作5.4 红外灯电压控制5.5 选择灯开关5.6 VOC 冷凝器5.6.1 一般操作5.6.2 带移动和清洗1 关于手册1.1 手册结构手册的目的是提供操作说明，理论和红外炉的运用软件的结构。
手册分成3部分。
第2部分提供软件的概述。
第3部分提供软件的描述和不同的用户界面。
第4部分描述一些选择功能，但不是支持全部模式。
1.2 规定这个标记表示有重要信息。
标记让你通过多层菜单和对话框实现功能。
粗体的对话框提示选择软件，比如菜单和对话框。
同时提示参数名字，控制界面和菜单名字和调色板名字斜体表示变量，参考或者关键概念的说明。
这种字体有说明这是个占位符，你必须提供。
1monospace 字体这种字体说明你必须从键盘输入。
同样可用来表示正确的磁盘名字、路径、程序、子程序、设备名字、函数、变量、文件名等。
2monospace bold 字体粗体这种字体说明信息计算机自动响应monospace 文中这个字体表示你必须从键盘进入的文本或者特征，这个字体也常用在磁盘驱动器的命名、路径、目录、程序、子程序、设备驱动程序命名、函数、操作、变量、文件名以及扩展名2 系统概论2.1 介绍这个文件提供了Despatch 公司的红外炉的详细的操作说明。
VSJ-300W.S型真空烧结炉操作说明
VSJ-300W·S型真空烧结炉操作规程一、准备工作1、开机前接通水源，气源调整至合适状态。
2、检查设备各部分（包括按钮、旋钮开头）正常后，接通控制电源。
3、检查仪表及显示是否正常。
4、按控温调节器的使用说明书设定工艺曲线。
二、装料1、机械泵抽真空后，关上炉门开头，待齿圈旋开后，停机械泵。
2、手动开放气阀，待气压平衡后，开炉门，然后关放气阀。
3、用料车将工件装到炉床上。
4、手动推合炉门后，将炉门气缸旋钮旋至关闭位置。
三、自动程序操作1、手动/自动的旋钮旋至自动，并按下自动启动按钮，此时自动启动按钮灯会点亮，显示设备的操作已进入自动状态。
2、这时，本设备即可按设定的自动程序工作，完成抽真空、加热（预先设定加热程序），冷却全过程。
具体操作见《VSJ-300W·S型真空烧结炉电控程序说明书》。
3、当风冷结束并报警响铃时，表示自动结束，这时可以将炉门打开取出试料。
然后重新装料后，再按“自动启动”按钮即可。
四、手动程序操作这是为不同使用条件下设置的操作方式。
这时手动/自动开头应在手动位置。
1、抽真空⑴当确认炉门和手动隔膜放气阀关闭后，开启机械泵。
⑵待机械泵运转正常后开启前级阀，五分钟后关闭前级阀，并开启粗抽阀。
⑶当真空度高于是1X103Pa（即压强低于1X103Pa）时，可以开启罗茨泵。
工作时，如真空度降低，低于1X103Pa时，应及时关闭罗茨泵（设备装有过压保护装置）。
⑷当真空度高于（或压强低于）50Pa时，扩散泵预热60分钟后，应先关粗抽阀，然后再开主阀，实现扩散泵的高真空抽气。
几种情况处理：A：工作过程真空度降低当低于50pa时，关主阀开粗抽阀。
当真空度恢复后关粗抽阀开主阀。
B：抽低真空（粗真空）当工作真空度低于2X10-1pa（即压强高于2X10-1pa）时，只开机械泵和罗茨泵。
这时扩散泵不加热，主阀不开，但要开前级阀。
C：二次抽真空当连续工作时，一般扩散泵不停（间隔时间不大于1小时），当对炉内充气时，先关主阀和粗抽阀，然后停罗茨泵，由机械泵作扩散泵前级泵（有维持泵的可以关罗茨泵和前级泵，开维持泵的前级管路阀）。
Despatch烧结炉简介
烧结区
①
图（11）烧结1区或2区上部（外部）
注：烧结1区和2区的下部与上部基本一致，也都是6根加热管
烧结区
①
加热管
②
热电偶
③
挡板
图（12）烧结1区或2区上部（内部）
烧结区
①
加热管
图（13）烧结1区或2区下部（内部）
烧结区
①加热管
图（14）烧结34区或烧结区56区的加热管（外部）
烧结区
①
加热管
翘曲
硅片翘曲是由于合金层及铝膜的膨胀 系数与硅基片的膨胀系数不同，在热处理 的冷却阶段产生了应力引起的。合金层以 及铝膜的膨胀系数越大，冷却时收缩也就 越大。BSF厚度越小，铝膜越薄，铝膜的 膨胀系数就越小。
风帘和VOC焚烧塔
①热电偶
VOC焚烧塔③
②风帘区
图（2）风帘和VOC焚烧塔
风帘和VOC焚烧塔
在烘干炉的入口处和出口区各有一个风帘，各有一个VOC焚烧塔，使 内部氛围与外界空气相隔绝。 ①热电偶：探测焚烧塔内废气的温度 ②风帘：见图（3）和（5） ③VOC焚烧塔：烘干过程中产生的有害有机废气经过加热并点燃焚烧， 然后再由外围设备抽走。见图（4）和（5）
Despatch烧结炉
图（1） Despatch烧结炉的整体照片
Despatch烧结炉-特点
快速热升温（≥150℃/sec） 增强冷却性能（＞150℃/sec） 炉腔内温度稳定性高（±2℃） 软启动 闭路温度控制 增强的软件设置管理 先进的用户图形操作界面 主生产控制界面 数据记录 冗杂温度过高自动关机 硅片阴影最小化设计 可安全，简便地使用工作室 与视线齐平的电子装置，易于维护
目录：
• 烧结炉构造简介
烧结炉Despatch中文手册
18 .Recipe Directory :List of currently available recipes.(列出 了可以直接调用的程序) 19. MONITOR/RECIPE Tab:Identifies section screen the user is working on: eitherworking with a recipe or monitoring the current system.(当前的菜单工作还是监视状态) 20. Dryer & Furnace Temperatures:Compare current actual temperatures (in Celsius),setpoint temperatures and calculates PID CV (current actual value compared to set point value as a percentage for each recipe process parameter).(当前的温度显 示)(控制热区的模式使用的PID闭环温度控制或固定可控硅电源 控制（图14 ） 。)
1.确保冷却水报警的错误 2. 确保I/O 界面 Cooling Water Enable is是 开的 此按键是激活的,显绿色 3.确信冷却水的提供是有的, 并且进水是开的. 4.确信过滤器是开的,并且不是堵的. 5.确保过滤器旁的电磁阀是好的.
5.2There Is No Heat In A Drier Or Furnace Oven烘感干区或者烧结区不能
4.4Create Recipes创建新的温度工艺菜单
Change setpoints with up/down arrow 温度通过上下键来
Despatch烧结炉使用常见问题汇总
• 20.关于烧结8区和9区的温度差异你们建议 在多少度内算是合适,同行在其它炉子上尝 试后认为两者差异缩小,稳定性会有所提升. 关于这条经验是否也适用于DESPATCH?
• 答: 通常认为,8,9区温度差异小或者双区烧结,工艺窗口比 较大,所以相对稳定性会比较好,但是相对来讲效率不能做 到最高.而最后两区温度差异大,即单区烧结,工艺窗口会比 较窄,但是效率可能更高.温度差设多少度合适,取决于前后 道和所用浆料. 尤其是最近推出不少新的浆料,我们发现不 用公司的浆料最后两区温度设置会有很大不同. 范围可以 从最后两区相差20度到200度不等.另外,扩散方阻也是个 很重要的考虑因素, 阻值越高,结越浅,尤其是大于60以上, 建议单区烧结比较好.
• 答: 炉带太松极有可能引起炉带抖 动和带速突然变慢.
• 17.关于有机排这块,你们有什么改进,目前油污累计回落 现象比较严重,而我观察过结构,应该还是属于直立式的 那种,如果是以烟囱为模型,在转口出在增加一处吹风,确 保油污不会回落在片子上,根据经验,直囱排放出的油污 是少于弯囱的,我们现在的弥补措施是增加了外抽风,但 容易引起烧结内部峰值温度飘移,显然这不是我们所期
• 答：灯丝断了之后灯管不可能发光，可能是从侧面观察时候看到的反光。
• 13.在选用灯管时,除了线形加热功率密度外,灯管透射率也是有严 格要求的。那么下图这种灯管是否更容易造成电池片中心区域烧 结不足呢?发黄现象该如何避免呢?如果选用石墨灯管是否会有 所该善?（很明显,颜色不同区域的透光率是有较大差异的,而电 池烧结要达到最优,对主波长还是有一定要求的）
Despatch烧结炉使用常见问题汇总
Despatch操作培训
编辑和导入方案
• 方案内容： 速度 温度 极限
red 编辑方案 UnRegiste 烘干区设置
烧结区设置
选择 查看方案 导入并运 改变方案
方案
行方案 需要保存
通常直接在编辑窗口改动方案
数据记录
烧结炉的运行
稳定中 l离线的 准备就绪
ed l降温
报警
开启 1.打开电气系统 2.开启履带 3.打开加热
red Despatch 操作培训 UnRegiste CDF-7210 红外烘干烧结炉
UnR简e介gistered
CDF-7210 烘干烧结炉
UnRegistered
课前要求
ed • 如何使用以及正确的处理危险材料 ister • 正确使用个人防护装备 UnReg • 知道Windows 和 Dos 基础
软件方面的报警。履带仍然 运转。需要重设模块以重启 加热。
履带保护
过转矩 离合器打滑
UnRegistere履编d带码速器度
编码器
张紧轮
开关选在ON位置 通常操作位置
可锁定的电源开关
ed 开关选在Tripped位置
开关选在RESET位置
UnRegister 电源超出范围或是急停情况下
重设开关
开关选在OFF/Lock位置
关闭 1.关闭加热 2.<200 ℃停止履带 3.<10ipm关闭电气系统
ter 报警状态
UnRegis 正在运行的程序
提示：在线更改参数不会被保存
监控区
系统警告/报警页面
UnRegistered
消除报警
消除报警，如果没有消除，线会是黄色的
报警和事件记录
UnRegistered
烧结炉DESPATCH中文手册
提供设备所需的各类配件，确保设备的正 常运行。
质保期内的免费维修
在质保期内，设备出现非人为损坏，提供 免费维修服务。
维修与保养服务
提供设备的维修与保养服务，延长设备使 用寿命。
技术支持团队介绍
专业背景
技术支持团队由经验丰富的工程师组成，具备专业的技术知识和实践 经验。
服务范围
提供设备使用指导、故障排除、软件升级等全方位技术支持。
排烟系统
实现炉内温度、压力、气氛等参数的精确 控制，确保烧结过程的稳定性和产品质量 。
有效排除炉内产生的烟气和粉尘，保持炉内 环境清洁，同时减少对环境的污染。
03 操作指南
开机前准备
01
检查电源、气源
确保电源稳定、气源干净，各连接 处无漏气现象。
准备物料
根据生产需要准备好相应的物料， 并确保物料干燥、无杂质。
应急处理预案
发生烫伤事故时，应立即用冷 水冲洗伤口，并及时就医治疗
。
发生粉尘吸入时，应迅速脱离 现场至空气新鲜处，保持呼吸 道通畅，如呼吸困难，应及时
就医治疗。
发生触电事故时，应立即切断 电源，使触电者脱离电源，并 进行心肺复苏等急救措施，同 时拨打120急救电话。
发生机械伤害时，应立即停机 检查伤者的受伤部位和伤势， 采取必要的急救措施，并及时 就医治疗。
达标判断标准
温度均匀性
炉膛内各区域温度差异不超过±5℃，视为温度 均匀性达标。
能耗标准
空载能耗和负载能耗均符合相关行业标准，视 为能耗达标。
产品质量
通过负载烧结试验，产品无开裂、变形等缺陷，且性能指标符合要求，视为产 品质量达标。
08 售后服务与支持政策
售后服务内容
EP600中文说明书
C=控制系统
100 LC 显示屏 101 对比键 102 帮助键 103 金属箔片 104 功能键 1 105 功能键 2 106 功能键 3 107 功能键 4 108 退出键 109 确认键 110 开始键 111 停止键 112 打开铸瓷炉顶部的键 113 关闭铸瓷炉顶部的键 114 数字键
D=自动校温装置（ATK1）
目录
第一章 介绍/标记和符号 1.1 前言 1.2 标记和符号 1.3 有关操作指示的注释
第二章 安全第一 2.1 指示 2.2 健康和安全指导
第三章 产品描述 3.1 部件 3.2 危险区域和安全设备 3.3 功能描述 3.4 附件
第四章 安装与初启动 4.1 打开包装和检查部件 4.2 选择放置地点
瓷炉是根据 EN61010-1 来设计并根据相关安全规章从生产厂家处运达。为继续使产品保有 良好的外观性能及操作安全，请务必阅读本操作手册。
-使用者必须逐步熟悉注意事项和操作规章以避免事故及损坏产品。厂商将对不当使用造 成的损失不负任何责任。此损失也不包括在保修范围内。
-在开启瓷炉前，确保电源电压与标牌所示相同。
1.3 关于操作指导的几点注释
这些操作指导帮助您正确，安全且经济的使用 EP600 铸瓷炉。 这些操作指导被分成几个结构清晰的章节，可以使你快速方便的找到特殊的专题。
务必阅读这些操作指导 为了告知您危险情况，重要信息及禁忌，这些指导包含了相应的标记/符号来标识重要 的段落。 我们建议将这些指导放在一个靠近铸瓷炉的安全的地方，一边在需要时可迅速的查阅 以获取信息。 如果您丢失了操作手册，可从义获嘉伟瓦登特客服中心免费获取。
步骤6. 安装放置铸圈用的冷却格。
注意：不要将此冷却格放在易燃物附近。
2、Despatch烧结炉原理及调节方法
烧结的动力学原理
可看作是原子从系统中不稳定的高能位置迁移至自由能最低位置的 过程。厚膜浆 料中的固体颗粒系统是高度分散的粉末系统，具有很高的 表面自由能。因为系统总是力求达到最低的表面自由能状态，所以在厚膜 烧结过程中，粉末系统总的表面自由能必然要降低，这就是厚膜烧结的动 力学原理。
因此铝浆中使用的铝粉应该选择平均粒度大、含氧量低、尺寸分布区间大，粉 体呈亚球形的铝粉，其颗粒度应<9μm
平煤隆基新能源科技有限公司
4、背电场烧结
无机粘结相是一种超细玻璃粉, 它是由可形成玻璃的各种氧化物经高温熔合, 然后水淬细化得到。加入超细玻璃粉以后, 可以明显降低烧结峰值温度, 使金属 铝粉在经峰值温度后形成铝膜, 且形成的铝膜表面光滑, 不起灰, 同时膜与硅片 有较强的附着力。 在硅太阳能电池用铝浆中主要是玻璃粉影响铝浆的膨胀系数, 所以必须保证玻 璃的膨胀系数与晶体硅的膨胀系数相匹配。 有机载体包括有机高分子聚合物、有机溶剂、有机添加剂等等。它调节了浆料 的流变性, 固体粒子的浸润性, 金属粉料的悬浮性和流动性以及浆料整体的触变 性，决定了印刷质量的优劣。
平煤隆基新能源科技5、烧结常见异常处理
铝包的产生是在温度下降后，Al开始 从液态合金中析出。
铝层越厚、峰值越高越容易产生铝包。
平煤隆基新能源科技有限公司
烧结常见异常----弯曲
1
Despatch烧结炉原理 及调节方法
技术部 丝网印刷组
Contents
1 烧结简介 2 Despatch烧结炉&烧结曲线 3 正电极烧结 4 背电场烧结 5 烧结常见异常处理
DESPATCH烧结炉操作手册
红外烧结炉操作手册目录1 关于这个手册1.1 手册的构成1.2 协议2 系统概况2.1 介绍2.2 系统容量2.3 系统组件2.3.1 硬件2.3.2 软件3软件描述3.1 进入3.2 主屏控制和说明3.2.1 炉状态3.2.2 程序控制3.2.3 数据标记3.2.4 温度压力监控3.2.5 菜单按钮3.2.6 灯功率3.3定义和修改程序3.3.1 创建3.3.2 修改3.4导入程序4附加功能4.1 I/O接口4.1.1 数据库控制4.1.2 网络4.1.3 超声清洗4.1.4 进入线程4.2 远程进入4.2.1 控制和指令描述4.2.2 远程操作4.3 系统参数4.4 烘箱4.5 警报处理4.5.1 警报历史4.5.2 历史记录4.6 PID 控制4.7 校准4.8 数据显示5 附加功能5.1 监控失败5.2 UPS 操作5.2.1 UPS备份功率信号响应5.2.2 UPS电池低信号响应5.3 超声清洗5.3.1 组件5.3.2 UCS 操作5.4 红外灯电压控制5.5 选择灯开关5.6 VOC 冷凝器5.6.1 一般操作5.6.2 带移动和清洗1 关于手册1.1 手册结构手册的目的是提供操作说明，理论和红外炉的运用软件的结构。
手册分成3部分。
第1部分提供软件的概述。
第2部分提供软件的描述和不同的用户界面。
第3部分描述一些选择功能，但不是支持全部模式。
1.2 规定这个标记表示有重要信息。
标记让你通过多层菜单和对话框实现功能。
粗体的对话框提示选择软件，比如菜单和对话框。
同时提示参数名字，控制界面和菜单名字和调色板名字斜体表示变量，参考或者关键概念的说明。
这种字体有说明这是个占位符，你必须提供。
1 monospace 字体这种字体说明你必须从键盘输入。
同样可用来表示正确的磁盘名字、路径、程序、子程序、设备名字、函数、变量、文件名等。
2 monospace bold 字体粗体这种字体说明信息计算机自动响应7 monospace italic 字体说明是个字符，可以代表字母和值，你必须输入。
despatch操作界面
Despatch操作界面1.总界面1）System Status：显示当前加热状态，传送带和公用的或别的系统功能。
2）RUN：打开所有的系统。
STOP：启动终止程序，这样加热器开始冷却。
当加热器失效，加热区温度开始下降而其它功能键换是灰色。
一旦温度达到200℃，加热器显示失效并且运输停止3）EXIT：退出CDF操作系统。
4）User Information：用户信息。
显示日期和时间，用户ID号和使用的安全等级。
5）Light Tower Status：灯塔状态。
绿色，黄色，或红色灯打开或断开。
红色－警报。
黄色－警告，系统要求操作者帮助。
绿色－系统准备好或运行。
6）ACTIVE PROFILES/RECIPE IN USE：激活的配置文件/当前的程序使用中。
7）RT Graph ：数据记录/图表。
监视工艺剖面图。
8）CHILLED WATER TEMPERATURE SUPPLY/RETURN：冷冻水进水和出水温度。
10) SECURITY SETUP ：设置/安全设置。
按这个按钮并且改变或创建用户特权，只有管理员才可进行操作。
11）LOG OUT：退出系统。
12）SIGNAL CALIBRATION：校准。
显示模拟输入或输出的校准屏幕。
13）PID TUNING：比例积分微分调整。
显示PID闭环运行和控制屏幕。
14.) ALARM STATUS：显示报警状态屏幕。
15) SYSTEM PARAMETERS ：系统参数。
16）THROUGHPUT CALCULATOR：生产量计算。
计算硅片的生产量。
17）I/O ACCESS 输入/输出信号进入。
显示输入输出屏幕，直接提供输入输出控制模块。
18）Recipe Directory配方目录。
列出当前有用的配方。
19）Monitor/Recipe/Power Profile 识别屏幕各区的工作状况：正在运行的程序，功率的剖面图或者监视当前的系统。
20）Dryer & FurnaceTemperatures烘干和烧结区温度。
液化石油气烧结炉操作指导书
文件制修订记录1.0目的/Aim:1.1为操作者提供使用说明,确保使用者及设备的安全。
2.0参考文件/Reference Instruction:2.1 相关设备的操作说明书3.0设备/材料/ Equipment/Material:3.1 烧结炉3.2 液化石油气3.3 喷粉好的铁内胆：最大直径：580 mm，最大长度：1300 mm，工件厚度：1.5 ~ 3 mm4.0准备/要求/Prepare/Requirement:4.1 确保输入电压为三相380伏，电气功率：35KW。
4.2液化石油气压力：780mmAq5.0安全/维护/Safety/Maintenance:5.1 日常维护：5.1.1 每天机修人员必须用肥皂水检查石油气管道是否有漏气的现象。
如果发现有泄漏的现象，必须马上进行维修。
5.1.2 每天机修人员必须定时检查风机是否正常。
如果发现有不正常的现象，必须马上进行维修。
5.1.3 每天机修人员必须定时检查光电感应开关的发光面和接受面是否干净。
如果不干净，必须马上将其擦干净。
5.2 定期的维护：★周保养：1.鼓风机空气过滤网清洁2.炉内外清洁3.煤气管道、燃烧机气密性检查4.风机轴添加黄油5.电柜除尘网清洁★月保养：1.点火燃气管道清洗5.3 安全5.3.1 在清洗或维修石油气管道时，必须将相应的石油气管道阀门关闭。
5.3.2 保持烧结炉处的空气流通。
5.3.3 当烧结炉正在工作时，在石油气管道附近（3米的范围内）严禁明火作业（如电焊等）。
如果必需明火作业，必须将烧结炉停下来，将石油气总阀关闭，才可进行明火操作。
5.3.4 在烧结炉附近严禁摆放易燃易爆的物品，并且在其附近配备干粉灭火器。
6.0操作程序/Operation Process:6.1 开机操作6.1.1 打开设备的石油气总气阀。
打开各个分管道的气阀。
6.1.2 打开设备的总电源开关以及电柜上的电源开关。
6.1.3 将〈AUXILIARY CIRCUITS〉钥匙开关拨到ON的位置上，合上控制柜的控制电源。
烧结炉中文操作手册
目录1操作指令备注1.1标识描述1.2定义1.2.1设备用户1.2.2熟练技工1.2.3操作人员1.3版权1.4实质性过失责任2 绪论2.1身份识别2.2 尺寸2.3炉子数据2.3.1传送带2.3.2盒式快速烧结加热2.3.3冷却2.4处理温度2.5媒介供给线路2.5.1水2.5.2空气2.5.3去除废气2.5.4电流2.6 电脑设备2.7功能描述3安全3.1正确用法3.2错误用法3.3安全指示概要3.4安全装备3.4.1过热防护3.4.2紧急停止开关3.4.3“Belt stop”按钮3.5绝缘说明3.6设备操作软件说明3.7防火灭火4功能描述4.1入口/出口4.1.1入口门4.1.2出口门4.2加热4.2.1加热盒烧结FF4.2.2中间的Muffle4.3冷却4.3.1冷却盒4.3.2冷却橱4.4 设备驱动装置4.5媒介4.5.1电力供给装置4.5.2冷却水供给装置4.5.3压缩空气供给装置4.5.4文丘里管系统4.6操作/控制4.6.1CANtrol系统控制器4.6.2动力控制装置4.6.3 CAN Bus 1 和24.6.4温控装置4.6.5 CANtrol 处理控制系统4.6.6变频器4.6.7 遥控服务4.7去除废气5搬运5.1特别安全措施5.2包装类型5.3搬运5.4引入检验5.4.1交付范围5.4.2搬运损害5.4.3存储措施6组装6.1预备安装场所6.2设备核检6.3安装7试运转及停止运转7.1初始启动7.2试运转7.2.1设备-电脑7.2.1.1微软Windows用户界面7.2.1.2 CT-Visual用户界面7.2.2 手动操作面板7.2.3启动7.2.4运行模式7.2.4.1生产7.2.4.2周末运行7.3停止试运转7.4处理8操作8.1状态屏8.2导航栅8.2.1用户登录及退出8.2.2处方保存8.2.3处方加载8.2.4打印8.3跳格设定8.3.1加热8.3.1.1随处方而定的输入值8.3.1.2一般输入值8.3.1.3“Temperature”指示器值8.3.1.4“Operational States”指示器值8.3.1.5“Disturbance”指示器涵义值8.3.2气体供给8.3.3冷却系统8.3.4设置8.3.4.1输入值8.3.5警报8.3.5.1表格显示器定义8.3.5.2显示器选项8.3.5.3警报选项8.3.5.4“附加选项”菜单8.3.6测量8.3.6.1功用概要8.3.6.2测量路线定义8.3.6.3开始测量8.3.6.4连续测量8.3.6.5曲线跟踪8.3.7选项8.3.7.1数据录入8.3.7.2时间控制8.3.7.3用户管理8.3.7.4配置8.3.7.5数据根目录8.3.7.6烧结炉数据8.4网络显示器8.4.1控制系统俯视图8.4.2 CT 视觉系统目录结构9维护9.1故障诊断9.1.1信号灯9.1.2个别干扰9.1.3 ID 10-74 加热故障讯息9.1.3.1超温控制器FF9.1.3.2超温监测器FF9.1.3.3温度测量故障9.1.3.4加热回路FF9.1.3.5温度公差FF9.1.4 ID 100-104 驱动故障讯息9.1.4.1传送带停止按钮9.1.4.2变频器驱动9.1.4.3 CAN-Bus-Error变频器驱动9.1.4.4传送带停顿9.1.4.5传送带公差9.1.4.6外部传送带停止按钮9.1.5 ID 200-255 气体供给故障讯息9.1.5.1处理气压消失9.1.5.2提升气胎气压消失9.1.5.3外部排气装置故障9.1.5.4 Y321-Y335流量计9.1.6 ID 300-322 冷却故障讯息9.1.6.1冷却水箱式冷却器及固态继电器9.1.6.2冷却水回路1-39.1.6.3冷却水中间MUFFLE9.1.6.4 超1分钟温度/冷水回路9.1.6.5 上下冷却盒1/2中冷却扇停止控制9.1.7 ID 400-402 不间断电源/干线供给故障讯息9.1.7.1干线供给阶段性消失9.1.7.2动力失灵超过10秒钟9.1.7.3 L1-L3/N震荡保护开启9.1.8 ID 500-505 气胎故障讯息9.1.8.1冷却盒上半部分1/2没关上9.1.9 ID 600-662 故障/警告混杂讯息9.1.9.1驱动关闭9.1.9.2加热FF关闭9.1.9.3 加热盒FF加温9.1.9.4加热盒FF冷却9.1.9.5校准区温度公差运行后延时9.1.9.6指示灯由黄变绿延时9.1.10 ID 700-703 清洁传送带9.1.10.1刷子清洁器提升/清洁位置不正确9.1.10.2刷子清洁器汽缸开关故障9.1.11 ID801-902 继电器单独警报故障讯息9.1.11.1 V1…V59加热电路控制9.2选取部件的置换9.2.1加热9.2.1.1加热器的置换9.2.2石英轨道上的石英棒9.2.2.1加热盒式烧结FF石英棒更换9.2.2.2盒式冷却石英棒的更换9.2.3冷却系统9.2.3.1冷却盒中冷却扇的更换9.2.3.2冷却盒下半部分冷却扇的更换9.2.4驱动装置9.2.4.1传送带的更换9.2.4.2齿轮电机的更换9.2.4.3滑动离合器的更换9.2.4.4磁制离合器的更换9.2.5媒介9.2.5.1冷却水过滤器的更换9.2.5.2气体加热器的更换9.2.5.3文丘里管喷嘴的更换9.2.5.4如何置换电子流量计（FM）9.2.6操作/控制9.2.6.1单体温控器的更换9.2.6.2更换TMM5模块9.2.6.3更换CAN I/O模块9.2.6.4更换RDIO 8/24模块9.2.6.5更换固态继电器9.2.6.6更换热电偶9.2.6.7更换变频器9.2.6.8更换工业PC（温控器）9.2.6.9更换PLC 中央处理器模块（CEDIO）9.2.6.10更换PLC外延模块9.2.6.11更换BEBRO DC 发动机控制器9.2.6.12更换FANCON扇控制器9.3灭火措施10预防性维护10.1安全检查10.2 烧结炉日志10.3预防性维护间隔期10.3.1日常维护程序10.3.1.1核检设置显示器10.3.1.2核检“Alarm”表符讯息10.3.2周预防性维护程序10.3.2.1核检信号灯功能10.3.2.2核检传送带10.3.3月预防性维护程序10.3.3.1清洁传送带10.3.3.2核检传送带长度10.3.3.3核检冷却盒中冷却扇部分10.3.3.4核检传送带牵引性能10.3.3.5进行数据备份10.3.4季度预防性维护程序10.3.4.1核检单体温控器10.3.4.2清洁文丘里管喷嘴10.3.4.3清洁冷却水过滤器（大）10.3.5半年度预防性维护程序10.3.5.1清洁冷却盒10.3.6年度预防性维护程序10.3.6.1清洁加热盒烧结FF装置10.3.6.2核检温度测量值10.3.6.3核检驱动器速度校准10.3.7每四年度预防性维护程序11备用部件及服务11.1如何订购备用部件11.2备用和磨损部件清单11.3废物处理12附录12.1一致性声明，图版类型，档案12.2制图，规格单，电路图表12.3参数描述12.4控制系统12.5驱动装置12.6软件12.7备用及磨损部件12.8玷污声明12.9供应商文档12.10有独立档案的PC附件12.11图形明细操作手册正文部分：1 操作指令备注该部分内容是设备技术手册的一部分，其涵盖了相关诸如搬运、安装、试运转、运行、服务及设备维护等重要信息的操作指令。
微波烧结炉操作说明
微波烧结炉操作说明大连交通大学环境与化学工程学院物质吸收微波的能力，由介质损耗因数决定，介质损耗大，则加热后温度高。
物质不吸收微波，需用碳化硅坩埚提高加热效果。
1. 开总电闸、机柜电闸。
2. 打开磁控管冷却水的进水阀，水流量大于199，调至1000左右流量。
3. 观察机柜中各冷却水软管是否渗水、漏水。
如有此现象，停止操作，待修。
4. 样品放置，石英转盘上依次放置保温砖、保温棉，坩埚用保温棉包裹。
5. 红外对焦，按一下红外对焦仪的最上按钮，可看到红外焦点，使焦点对准坩埚中心；对焦后，关闭红外对焦，并确认。
6. 关闭炉门，如果炉门右侧有缝隙，需将炉门轴的连接处向里推。
7. 确认控制面板的“放气阀”关，机柜中手动放气白阀关，真空泵抽气阀关，真空泵水阀开，点控制面板的“真空1”，打开真空泵，微开真空泵手动抽气阀，顺序不可颠倒。
（如果颠倒顺序，由于抽气瞬间的气量太大，真空泵的出水管会剧烈震动，水四处喷溅）。
8. 设置真空上下限，控制面板中真空度，点上限，设置3.0 KPa，点下限，设为2.0 KPa，真空度在上下限之间变动，最低真空度由水环泵的特性决定。
（真空抽气管处的自动阀动作：真空泵启动，电子抽气阀开，开始抽气，至真空下限值，阀关闭，炉腔压力回升至上限值，阀开，继续抽气，即上限值为阀开启，下限值为阀关闭）9. 设置温控仪的加热程序长按SET键，4 s后进入编程，依次按SET，分别显示TD（00是以秒计时、01是以分钟计时）、STA（00，加热起始段号）、LOOP（00，程序运行终止后，再次重复运行的起始段号，适用于多次热处理），以上默认设定值均不动。
以下参数可以更改，TI00是加热起始段的加热时间，SU00是加热起始段的终止温度，“∧”键增加设定值，“∨”键减小设定值，“<”光标左移，可修改光标处的数字，每个参数设定完后，点SET保存，同时显示可修改的下一参数，以此类推，依次设定TI01、SU01、TI02、SU02、TI03、SU03……，最后一段，加热终止，TI**的设定值为0，SU**的设定值为0，程序运行至该段，微波停止加热。
烧结炉Despatch
Operating Manual操作手册Infrared Furnace红外炉子Revision History修订档案Revision Date Author Description修订日期，作者描述1.0 11-30-05 Initial Release最初发行2.0 12-06-05 Updated Ultrasonic Belt Cleaner最新的传送带超声清洗机Table of Contents内容列表1 ABOUT THIS MANUAL关于此手册..................................................1-11.1 Organization of this manual手册结构................................................. 1-11.2 Conventions 规则................................................................................. 1-12 SYSTEM OVERVIEW系统概况.............................................................2-3 2.1 Introduction介绍................................................................................... 2-32.2 System Capabilities系统功能...................................................................... 2-3 2.3 System Components.系统内容.................................................................. 2-3 2.3.1 Hardware Components硬件元件......................................................2-32.3.2 Software Components软件内容...........................................................2-33 SOFTWARE DESCRIPTION软件描述........................................3-53.1 Access入口........................................................................................ 3-53.2 Main Screen Controls and Indicators主屏控制与指示器....................... 3-6 3.2.1 Furnace Status炉子状况............................................................3-63.2.2 Recipe Controls配方控制...............................................................3-83.2.3 Data Logging Screen数据输入屏................................................................. 3-9 3.2.4 Temperature and Pressure Monitoring温度压力监控...................... 3-93.2.5 Menu Buttons菜单按纽................................................................3-93.2.6 Light Tower 灯塔....................................................................3-93.3 Define and Edit Recipes定义与编辑配方................................................... 3-9 3.3.1 Creating New Recipe创建新配方...................................................... 3-93.3.2 Editing Existing Recipe编辑已有配方................................................ 3-103.4 Load Recipe上载配方........................................................................ 3-114 ADDITIONAL FUNCTIONALITY 附加功能.................................4-124.1 I/O Access输入/输出端口.............................................................................. 4-12 4.1.1 DataSocket Controls 数据读写收发程序控制......................................4-13 4.1.2 I/O Network OK 输入/输出网OK.......................................... 4-1394.1.3 Ultrasonic Belt Cleaner传送带超声清洗机....................................... 4-13 994.1.4 I/O Access Lines输入/输出接口排列.............................................4-134.2 Remote Access远程接口........................................................... 4-1494.2.1 Controls and Indicators Description控制器与指示器描述........................ 4-15 4.2.2 Remote Access Operation远程端口操作................................ 4-164.3 System Parameters系统参数................................................. 4-164.4 Oven Profiling炉子压型.............................................................. 4-184.5 Alarm Events Management报警事故管理........................................... 4-184.5.1 Alarm History报警记录............................................................4-184.5.2 Event History故障记录.................................................................4-194.6 PID Control 进程标识符控制.................................................................... 4-20 4.7 Calibration校准............................................................................. 4-214.8 Data Log Display数据录入显示................................................................ 4-235 ADDITIONAL FUNCTIONALITY附加功能............................5-255.1 Failed Element Monitoring 失败元件监控........................................... 5-255.2 UPS Operation Support 不间断电波操作支持............................................ 5-25 5.2.1 Response to UPS ON Backup Power Signal 不间断电波开启后备动力信号反应5-25 5.2.2 Response to UPS Battery Low Signal不间断电波电池过低信号反应5-265.3 Ultrasonic Cleaning System (UCS)超声清洗系统（UCS）..................... 5-26 5.3.1 Components 元件...............................................................5-265.3.2 UCS Operation. UCS操作...........................................................5-265.4 Infra-Red Lamp Voltage Control红外灯管电压控制............... 5-285.5 Selectable Lamp Switching 可选择性灯管切换............................. 5-285.6 VOC (Volatile Organic Compound) Condenser 可挥发有机物混合冷凝5-29 5.6.1 General operation一般操作.....................................................5-305.6.2 Coil removal and cleaning 盘绕清除与清洗................................... 5-30Table of Figures数字表格Figure 2-1: InfraRed Furnace main screen.红外炉主屏............... 2-4Figure 3-1: Login screen登陆屏............................................................... 3-5Figure 3-2: SETUP Screen设置屏..................................................... 3-6Figure 3-3: Infrared Furnace main screen with Operator log in操作工登陆.红外炉主屏3-7 Figure 4-1: I/O Access Panel 输入/输出接口面板........................................... 4-12Figure 4-2: Remote Access Panel远程接口面板........................................... 4-15Figure 4-3: System Parameters Panel系统参数面板...................................... 4-17Figure 4-4: Alarm Status panel 报警状态面板.......................................... 4-18Figure 4-5: Alarm History Panel.报警记录面板............................................ 4-19Figure 4-6: Event History Panel故障记录面板................................................. 4-20Figure 4-7: PID Control Panel进程标识符控制面板................................................. 4-21 Figure 4-8: Calibration Panel校准面板........................................................ 4-22Figure 4-9: Data Log Panel数据录入面板............................................................ 4-23 Figure 5-1: Ultrasonic Cleaning System (UCS) Panel 超声清洗系统（UCS）面板..... 5-271 About this manual关于手册1.1 Organization of this manual手册结构The purpose of this manual is to provide the operator description, theory ofoperation and instructions for operating the application software of the InfraRedFurnace. The manual Is divided into 3 main sections. Section 2 provides a systemoverview of the InfraRed application software. Section 3 provides softwaredescription and operating instruction all the various user interfaces. Section 4describe some optional functionalities that are not supported by all models.此手册目的在于提供操作员工关于红外炉应用软件运行和指导性的描述。
Despatch烧结炉
上海伏日机电设备有限公司专营美国Despatch热处理系列烘箱，解决热处理的所有需求。
Despatch是一家有百年历史的提供热处理，各种加热、固化系统及环境测试解决方案的美国公司。
主要产品有工业、实验室用烘箱，洁净室用烘箱，量产烘炉，环境模拟及老化实验设备，烧结和扩散炉等，可广泛应用于电子，半导体，机械，制药，材料，交通以及各种实验室。
LAC 高性能台式炉。
这些台式炉将用于实验室环境的固化涂布作业。
LAC 台式炉的特点为水平式重复循环气流和绝佳的温度均匀性。
其结果为在要求严格的生产和实验室应用上（诸如固化、干燥、灭菌、老化测试和其它攸关制程的流程）经过证实的可靠性。
由于耐刮、烤漆的外部以及不锈钢的内部炉体，因此易于清洁。
如欲了解有关Despatch 的更多信息，请浏览我们的网站：工业用烤箱和烤炉批量式烤箱对于负荷量或产量变化较大的应用，批量式加工无疑是一个好办法。
同样，对于要求在温度或驻留（烘烤）时间等变量上具有高度灵活性的情况，批量式烤箱同样是理想的选择。
Despatch 生产品种齐全的工业用炉，可满足不同装载尺寸和产量需求。
批量式烤箱产品线包括强制对流烤箱、穿透式烤箱、惰气烤箱、HEPA 过滤ISO 5 级无尘式烤箱箱和 A 级烤箱。
应用方式包括半导体晶片级封装的黏晶固化、聚酰亚胺固化、磁性退火、干燥、杀菌、老化处理、稳定性测试、晶片级预烧及其他重要制程程序。
带式连续烤箱在高容量、可重复应用方面，连续运行可能是最佳方法。
在大批量、可重复应用方面，Despatch 连续式烤箱提供宽度为46 至91 厘米的传送带，采用电热或气热。
带式连续烤箱可确保在大批量应用情况（如制造电子元件或汽车零件）下对每个部件保持一致的热加工时间。
带式连续烤箱还可让若干分散的制程衔接起来，从而减小材料处理量，提高处理量。
我们所恪守的宗旨是不断改进制程，以实现卓越的优化效果、更为严格的温度容限、更高的产量和稳定而可重复的成果。
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4.8.4Working with the Runtime Statistics Screen运行时间段的数据
• Click RESET to clear all values and reset them to zero.(清除以前保存的数据) • Click EXIT to close and return to the main screen.退出这个对话框
14. ALARM STATUS: Display alarm status screen.(显示报警的状态) 15 .SYSTEM PARAMETERS:Press to display systems parameter screen and set those variables that remain constant in all recipes.(系统参数) 16 THROUGHPUT CALCULATOR:Calculate wafer throughput capacity (refer to Section(硅片计算器) 17 I/O ACCESS: Press to display the I/O Access screen, which provides irect access to the I/O control modules.(输入和输出控制)
4.8.2Working with the Alarm History Screen
点击Alarm History 就会出现下面的图. 显示所有的报警,点击 RESET就可以清除所有 的报警
4.8.3Working with the Data Graph Screen工作曲线
Attribute Trace List图象
Trace Selection Lists痕
Enable-Disable Check Box
Plot Selection List在痕迹选择盒里选择痕迹 Scale Dialog每条曲线的规模程度
设置15小时数据保存的大小排列 每10秒更新一次 12小时后自动保存 调整对话框里参数的设置
当清理文件时将出现此对话框
Desp构简图
烧结炉所在的位置
3. Despatch 烧结炉开关机操作规程(手动 操作模式)
3.1开机 ： 打开炉子的facilities电源 确保facilities的排放系统已运行 打开压缩空气供应，确保达到0.75MPa 打开冷却水供应，确保达到0.4MPa 启动电脑 选择运行程序并上载 依次启动utilities 、conveyor、heater按钮 如果有必要，通过流量表调节气体流量 如果有必要，调节冷却水流量 等到系统显示 ready ，开始装载硅片
4.2两种控制方式
Optional Icon A Power Control Mode(可控硅功率控制)
Optional Icon B Indicates PID Loop Temperature Control Mode(PID闭环温度控制)
4.3Status Display状态显示
Column shows Alarm State Status(报警的状 态) Column shows Column shows System Column shows Online or Offline Stabilizing or Stable Ready or Not Ready Status(联机状态) Status(稳定性状态) Status(显示系统有没有准 备好)
3.2关机
关闭加热器heater ，冷却炉带到200℃ 停止炉带conveyor 当炉带速度小于10ipm(1英寸=2.536CM)，关 闭utilities 关闭电脑 关闭炉体气体供应 关闭炉体水供应 关闭主电源
3.3烧结炉开关机操作规程(自动操作模式)
自动运行: 当注册人员在操作时，系统在导入程序后提供 一个自动按钮。 点击RUN按钮会启动自动循环系统，这样进 入运行， 然后在运输系统达到设定的工作点 并稳定工作时，加热器开始工作。当加热状态 准备好时，说明加热器到达理想的工作点。
加热
1.确信错误的报警信息,并采取纠正方法. 2.在模拟输入信号中查看加热管的状态,看是不 是在工作.绿色的说明是好的. 3.检查相关线路的保险丝是不是好的. 4.检查有没有输出电压 .可更换可控硅. 5.如果没有电压的输出,请换烧结炉的软件或者 重启. 6.如果没功率的输出,检查是不是线路出了问题.
理
在I/O控制屏幕上点击BELT CLEANING,就会出现下 面的对话框 清洗的步骤:1.时间的填写(清洗时间和进水/排水时间 的填写) 2.带速的填写 3.点击开始清理
5.1A Cooling Water Loop Does Not Have Water Flow冷却水循环没有冷却水
流出
4.6管理工艺菜单
加载 浏览
删除 恢复
4.7Changing Parameters修改参数
在修改参数后一般要做以下操作: SAVE:保存 RESTORE:恢复 EXIT:退出
4.8Fault Recovery错误恢复
点击桌面的14(ALARM STATUS),警报按键进入报警查看菜单.
17
16
15
14
13
12
11
10
4.1CDF Infrared Drying/Firing Screen桌
面各菜单的含义
1 .System Status :Displays current state of heaters, conveyor and utilities or other system functions.(显示目前的加热,传送和功效的状态) 2. ENABLE/DISABLE:Switches Turn separate systems ON (ENABLE) or OFF (加热和传送还有功效可以单独控制) 3 EXIT :Press to exit CDF System Operation. Figure 15 shows Exit dialog screen.(退出当前的操作系统) 4 User Information :Displays date and time, User ID and security level of use.(显示时间日期和用户的级别) 5 Light Tower:Status(灯的显示状态) Green, yellow, or red light turns ON or OFF corresponding to light tower status: • Red—Alarm condition • Yellow—System requires operator assistance • Green—System ready or running
4.4Create Recipes创建新的温度工艺菜单
Change setpoints with up/down arrow 温度通过上下键来
Rename recipe before saving changes在修改后保 存之前要先命名
4.5警报的控制范围的设定
前面的图是指高于5度或低于5度时会有黄色的 预警信号,高于10度或低于10度时会有红色的 报警信号.
4.8.5Working with the I/O Access Screen
电压的输入和输出和热电偶的输入等
4.8.6Working with the PID Loop Tuning and Control Screen
5. Belt Cleaning with the Ultrasonic Cleaning System (Optional)传送带的清
Alarm History
点击 Event History 后显示所有的报警 可以通过拨Show All Events和Show Alarm Events Only之间 的按键来选择所有显示和重要的报警显示
Toggle to Show All Events or Show Alarm Events Only,显示重要的报警
18 .Recipe Directory :List of currently available recipes.(列出 了可以直接调用的程序) 19. MONITOR/RECIPE Tab:Identifies section screen the user is working on: eitherworking with a recipe or monitoring the current system.(当前的菜单工作还是监视状态) 20. Dryer & Furnace Temperatures:Compare current actual temperatures (in Celsius),setpoint temperatures and calculates PID CV (current actual value compared to set point value as a percentage for each recipe process parameter).(当前的温度显 示)(控制热区的模式使用的PID闭环温度控制或固定可控硅电源 控制（图14 ） 。)
10. SETUP: Press to access set up screen and change or create userprivileges.Available only when logged in as a supervisor.(管理者可以进入的窗口) 11. LOG OUT :Press to log current user in or out.(登 录者调离当前用户) 12. CALIBRATION: Display Analog Input-Output Calibration screen.(校对当前的输出和输入) 13 .PID: Display PID Loop Tuning and Control screen.显示PID的控制