罗茨泵技术比对

国内外罗茨泵产品性能概况

一、国外厂家性能

1.1莱宝

莱宝公司的罗茨泵共分为三种系列，分别为： RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU 和 RUVAC WH/WHU。每个系列的参数如下表所述。

图1 抽速曲线图

表1 WAU和WSU技术参数

表2 WU技术参数

1.2普发

普发真空罗茨泵系列产品抽速范围在250到25,000 m3/h之间。它们可以安全地应用于各类中、低真空用途中，包括镀膜、半导体行业、研发、冶金或化学以及工艺技术中。罗茨泵中，齿轮箱和轴承带是与气泵腔是分开的。因为转子是非接触运行，从而保证了干燥的运行环境。

此外，产品还具有另外一个显著的优势，由于采用对流冷却技术，运营成本明显低于水冷却条件下的操作运行。因此，该真空泵可以被普遍应用到各个领域中。在罗茨泵的设计方面，已拥有非常成熟的设计理念，目前已经发展到涉及磁耦合的相关设计。得益于真空泵的良好密封性能，产品能够实现极低的漏率。同时，还开发了ATEX 标准认证的真空泵，适用于易爆环境的工艺，或易爆气体的抽空,具有以下几方面的特点。

（1）较大的抽速范围：从250 到 25,000 m3/h的抽速范围；

（2）坚固耐用，设计紧凑；

（3）高压缩比配合溢流阀实现快速排气；

（4）磁耦合驱动，免维护，运行可靠，无故障运行时间长；

（5）风冷结合磁耦合驱动大大降低运行成本；

（6）得益于溢流阀的整体设计，有效防止泵体温度过高；

（7）保养间隔时间长，现场维护简单易操作；

（8）提供全球范围内的现场检修服务；

（9）超过50年的专业经验和实力。

普发公司具有完整的罗茨泵产品系列，高度的灵活性，能最大程度满足工艺需求，性能参数如下所示;

图2 普发罗茨泵抽速曲线表3 普发罗茨泵技术参数

1.3爱发科

爱发科的罗茨泵具有以下的特点：

（1）洁净的真空；

（2）腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能；（3）能在高吸入压强下运作。

图3 爱发科罗茨泵抽速曲线

表4 爱发科罗茨泵技术参数

二、国内厂家性能

2.1九天真空

九天真空罗茨泵特点：

（1）泵腔内无润滑油,实现高洁净真空，能与前级干式泵组成干泵机组。（2）转子采用先进加工设备加工具有良好几何对称性,实现低噪音,高寿命。（3）泵整体采用铝合金材料,使泵散热快，长时工作时温升低，提高泵的使用寿命，铝表面做耐腐蚀处理后，能用于有腐蚀性气体介质的场合。

（4）启动快,能迅速排除突然放出的气体，在短时间内达到较高地真空。（5）结构紧凑重量轻,占地面积小。

图4 九天真空罗茨泵抽速曲线

表5九天真空科罗茨泵技术参数

2.2淄博真空设备厂有限公司

淄博真空设备厂有限公司生产的ZJP系列带溢流阀罗茨泵是通过一对相互作同步反向旋转的“8”字形转子实现真空抽气功能的。当转子和泵体形成吸气腔时，两个转子相互之间始终保持密封，从而确保排气口的气体不返流到进气口，以此实现抽气功能。由于在泵腔里没有摩擦，罗茨泵能以每分钟1500—3000转速运转而无须在泵内进行润滑。在进排气口间有内置溢流阀，当进排气口的压差达到一定值时，溢流阀自动打开，排气口的部分气体通过打开的溢流阀返流到进气口，大大降低了高压差下罗茨泵和前级真空泵（以下简称前级泵）的运行负荷。同时因为打开的溢流阀有强大的泄流作用，可以确保ZJP系列带溢流阀罗茨泵和

前级泵可以同时起动而不会使罗茨泵和前级泵过载，并可提高入口压力下罗茨泵机组的抽速。

表6淄博真空设备厂罗茨泵技术参数

2.3成都鑫南光机械设备有限公司

成都鑫南光机械设备有限公司应用及特点：

（1）噪声低（高精度的动平衡）。

（2）可实现过载保护（溢流阀的设置）。

（3）在较宽的压力范围内有较大抽速。

（4）可抽除高沸点工作介质（气体保护装置的设置）。

（5）检测方便（进、排气口处设有检测接口）。

（6）对被抽气体中含有的灰尘和水蒸汽不敏感。

（7）驱动功率小。

（8）该泵广泛应用于冶金、化工、驾纺、电子等领域。

表7成都鑫南光机械设备有限公司罗茨泵技术参数

2.4莱诺真空泵

东莞市莱诺机电科技有限公司是德国莱诺集团有限公司旗下成员企业之一，为莱诺集团在内地的主要服务商，公司集研发、销售真空泵并提供真空领域解决方案的高新技术企业，为广大用户提供最可靠的、安全易用的真空设备产品及优质专业的服务，帮助全球客户和合作伙伴取得成功。公司主要产品有：旋片真空泵、螺杆真空泵、罗茨真空泵、活塞真空泵、高压鼓风机等等。我们拥有最现代化的生产工艺、机械、设备，所有的质量控制都远远超出了DIN EN ISO 9001 的要求。广泛的真空泵系列、专业的真空知识、在真空系统建造方面的丰富经验以及广泛的服务网络，使得莱诺公司完全有能力为客户提供理想并完善的真空解决方案。

图5莱诺真空泵罗茨泵抽速曲线

表8莱诺真空罗茨泵技术参数

三、国内外差距

目前，国内罗茨真空泵在性能指标上与国外的差距，主要还是加工精度的问题，造成泵的零流量压缩比的指标低于国外泵的指标，但近几年，国内由于加工精度的不断提高，这一指标的差距已不明显。当前，主要差距还是反映在泵的使用可靠性和节能要求上，国内罗茨真空泵有以下几点缺点：

（1）国内泵的漏油还是相当普遍，轴封漏油、油杯漏油等。

（2）泵的噪音大于国外同类产品。

（3）泵在化工行业使用仍不能完全满足使用要求，泵的两端油箱经常发生油的变质而导致泵在短时间内的故障和失效。

（4）国外1200L/S抽速以及以下抽速的泵都不用水冷却，国内的同类泵都使用水冷却，不符合节能的国际潮流。

国外罗茨真空泵的主要特点：

（1）动密封系统采用机械密封，使得泵的密封更可靠，泵达到100%不会漏油，使用寿命更长。

（2）泵在最大许可压差下工作无须水冷却，泵可耐受较高温度的工况，不再为接冷却水管而麻烦，符合节水的要求。

（4）1200升/秒抽速以下泵无外部油杯润滑，省去了定期向油杯加油的工作，也避免了油杯漏油的情况。

（5）装配和拆卸十分容易，装配时无须人工调节转子的轴向间隙和转子与泵体的间隙，使得维修和保养更加方便。

（6）泵的运转平稳，低噪声。

（7）与国内同类产品比较，结构紧凑，体积小，重量轻。